DE4446185C2 - Vorrichtung zum Einkoppeln eines UV-Laserstrahls in ein konfokales Laser-Scanmikroskop - Google Patents
Vorrichtung zum Einkoppeln eines UV-Laserstrahls in ein konfokales Laser-ScanmikroskopInfo
- Publication number
- DE4446185C2 DE4446185C2 DE4446185A DE4446185A DE4446185C2 DE 4446185 C2 DE4446185 C2 DE 4446185C2 DE 4446185 A DE4446185 A DE 4446185A DE 4446185 A DE4446185 A DE 4446185A DE 4446185 C2 DE4446185 C2 DE 4446185C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- laser
- optical fiber
- scanning microscope
- fiber element
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Revoked
Links
- 230000008878 coupling Effects 0.000 title claims description 14
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 title claims description 14
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 title claims description 14
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims description 40
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 2
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 10
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 5
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 2
- KCTKQZUYHSKJLP-UHFFFAOYSA-N 2-(4-methyl-5-oxo-4-propan-2-yl-1h-imidazol-2-yl)pyridine-3-carboxylate;propan-2-ylazanium Chemical compound CC(C)[NH3+].N1C(=O)C(C(C)C)(C)N=C1C1=NC=CC=C1C([O-])=O KCTKQZUYHSKJLP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 244000309464 bull Species 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004624 confocal microscopy Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000000960 laser cooling Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000006552 photochemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 238000012549 training Methods 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
- G02B21/002—Scanning microscopes
- G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
- G02B21/002—Scanning microscopes
- G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
- G02B21/0032—Optical details of illumination, e.g. light-sources, pinholes, beam splitters, slits, fibers
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
- G02B21/002—Scanning microscopes
- G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
- G02B21/0036—Scanning details, e.g. scanning stages
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/16—Microscopes adapted for ultraviolet illumination ; Fluorescence microscopes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Einkoppeln eines UV-Laserstrahls in ein
konfokales Laser-Scanmikroskop, mit einem UV-Laser und einer Einrichtung zum
Parallelausrichten des UV-Laserstrahls auf den Strahlengang des Laser-Scan
mikroskops, und mit einem zwischen dem UV-Laser und der Justiereinrichtung ange
ordneten flexiblen Lichtleitfaserelement, das den UV-Laserstrahl zu dem Laser-Scan
mikroskop leitet und dabei die Übertragung mechanischer Schwingungen des
UV-Lasers auf das Laser-Scanmikroskop vermindert.
Aus dem Stand der Technik sind prinzipiell zwei unterschiedliche Möglichkeiten zum
Einkoppeln des Lichtstrahls eines Lasers in ein Laser-Scanmikroskop bekannt. Bei
spielhaft sei hier auf die Offenlegungsschrift der internationalen Patentanmeldung
WO 92/18850 und auf die Offenlegungsschrift der europäischen Patentanmeldung
0 592 089 hingewiesen. In beiden Druckschriften wird eine direkte Einkopplung des
UV-Laser-Lichts über eine mechanisch starre Anordnung von optischen Bausteinen,
wie Linsen, Filter, Lochblenden, etc. beschrieben. Infolge dieser Art der Einkopplung
entstehen sehr große optisch-mechanisch zusammenhängende Systeme mit not
wendigerweise langen Strahlengängen. Lange Strahlengänge wiederum führen zu
Justierinstabilitäten des Systems. Ein großes Problem bei der Justierung solcher Sy
steme stellen die durch die Kühlung bedingten Vibrationen des Lasers dar. Bei einer
optisch-mechanischen Direkteinkopplung des Laser-Lichtstrahls in das Scan
mikroskop werden die Vibrationen der Laserkühlung oftmals auf das Mikroskop
übertragen, so daß Bildstörungen entstehen und eine dauerhafte Justierung erheb
lich erschwert wird.
Alternativ zu einer Direkteinkopplung besteht die Möglichkeit der faseroptischen
Lichteinkopplung, wie sie bspw. in der US 5 161 053 u. a. auch für die Ein
kopplung von UV-Laserlicht beschrieben wird. Das Laserlicht wird über ein flexibles
Lichtleitfaserelement in den Strahlengang des Mikroskops geleitet. Auf diese Weise
läßt sich der Laser von dem Mikroskop quasi mechanisch entkoppeln, so daß die
kühlungsbedingten Vibrationen des Lasers nicht auf das Mikroskop übertragen wer
den, sondern von dem flexiblen Lichtleitfaserelement abgefangen werden. Außerdem
können dadurch die Strahllängen des Systems erheblich verkürzt werden. Es sind
bereits Lichtleitfasern für UV-Laserlicht auf dem Markt. Tests haben jedoch gezeigt,
daß deren Transparenz bei Bestrahlung mit mehr als 10 mW bereits nach wenigen
Stunden irreversibel auf weniger als 10% der ursprünglichen Transparenz zurück
geht. Zurückzuführen ist dies vermutlich auf chemische bzw. photochemische
Reaktionen zwischen der eigentlichen lichtleitenden Faser und deren Beschichtung,
der sog. Coating. Aus diesem Grunde werden bislang UV-Laser in der Regel direkt in
das Mikroskop eingekoppelt.
Die DD 2 16 323 A1 beschreibt einen elektromechanischen Licht-Chop
per für vier verschiedene Wellenlängen, bei dem eine einzige rotierende Scheibe
sowohl das Primärlicht als auch das zu messende Sekundärlicht herausfiltert. Im
nachveröffentlichten "Hanbook of Biological Confocal Microscopy", 2. Edition, edited by J.B. Pawley,
Plenum Press (1995), Kapitel 27, Seite 434 wird die zerstörerische Wirkung von
UV-Strahlung auf Reflexionsbeschichtungen von Linsen und Spiegeln beschrieben.
Der Erfindung liegt nun die Aufgabe zugrunde, zugleich die Meßgenauigkeit und die
Lebensdauer eines UV-Laser-Scanmikroskops zu erhöhen.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung zum Einkoppeln eines UV-Laserstrahls in ein
konfokales Laser-Scanmikroskop löst die voranstehende Aufgabe durch die Merk
male des Patentanspruchs 1. Danach ist die eingangs genannte Vorrichtung derart
ausgebildet, daß zwischen dem Ausgang des UV-Lasers und dem Eingang des
Lichtleitfaserelements ein Strahlunterbrecher angebracht ist, der den UV-Laserstrahl
zu dem Lichtleitfaserelement nur dann freigibt, wenn der UV-Laserstrahl für die Bild
aufnahme tatsächlich auch benötigt wird und somit die UV-Belastung des Licht
leitfaserelements herabsetzt.
Erfindungsgemäß ist zunächst erkannt worden, daß zur Minimierung des Justierauf
wands die mechanische Entkopplung des Lasers vom Mikroskop erforderlich ist. Es
ist ferner erkannt worden, daß Lichtleitfaserelemente, die sich für Licht anderer
Wellenlängen bewährt haben, auch in Verbindung mit UV-Laserlicht das Mittel der
Wahl sind. Davon ausgehend ist erkannt worden, daß die Verschlechterung der
Transparenz einer Lichtleitfaser zum einen von der Bestrahlungsleistung und zum
anderen von der Bestrahlungsdauer abhängt, so daß die Lebensdauer einer Licht
leitfaser bzw. deren Brauchbarkeit zum Einkoppeln des UV-Laserlichts erheblich
verlängert werden kann, wenn eine Bestrahlung der Lichtleitfaser nur während des
Scannens, also zur Aufnahme von Bildern, erfolgt. Es ist nämlich auch erkannt wor
den, daß eine Bestrahlung des Lichtleitfaserelements mit UV-Laserlicht bspw. wäh
rend des Anlaufens des Lasers oder der Objekteinrichtung vor dem eigentlichen Ab
bilden bzw. anderen Experimentvorbereitungszeiten oder zum Justieren der ge
samten optischen Anordnung nicht erforderlich ist. Es ist schließlich erkannt worden,
daß eine Bestrahlung des Lichtleitfaserelements auf einfache und vorteilhafte Weise
mit Hilfe eines zwischen dem UV-Laser und dem Lichtleitfaserelement angeordneten
Strahlunterbrechers abgestellt werden kann, der das Lichtleitfaserelement nur wäh
rend des Scannens freigibt.
Es gibt nun verschiedene Möglichkeiten, einen solchen Strahlunterbrecher zu reali
sieren. Der Strahlunterbrecher kann in Form einer mechanischen Blende oder Fahne
realisiert sein, durch die der Lichtstrahl des UV-Lasers einfach ausblendbar ist. Dabei
ist zu beachten, daß sich derartige mechanische Strahlunterbrecher relativ langsam
schalten lassen. Die Schaltung kann bspw. elektromagnetisch angetrieben werden
und automatisch mit dem Scannen synchronisiert werden. Der Strahlunterbrecher
kann aber auch in vorteilhafter Weise durch elektro- und/oder magneto-optische
Modulationsmittel gebildet sein, durch die der Lichtstrahl des UV-Lasers abgelenkt
wird. Als derartige optische Schalter können bspw. Modulationsmittel in Form von
schnellen Flüssigkristallen oder anderen optisch aktiven Komponenten eingesetzt
werden, die computergesteuert geschaltet werden können und so ebenfalls zeitlich
mit dem Scannen koordiniert werden können.
In einer vorteilhaften Ausgestaltung kann die erfindungsgemäße Vorrichtung einen
oder mehrere Filter umfassen, die zwischen dem UV-Laser und dem Strahlunterbre
cher oder zwischen dem Strahlunterbrecher und dem Lichtleitfaserelement angeord
net sind. Derartige Filteranordnungen werden zum Ausblenden von bestimmten
Wellenlängenbereichen des Laserlichts eingesetzt. Die Notwendigkeit zur Verwen
dung von Filteranordnungen ergibt sich in der Regel aus der Art der durchzuführen
den Messungen und Meßobjekte. Wesentlich ist, daß bei der beanspruchten Anord
nung der Filter im Strahlengang vor dem Lichtleitfaserelement auch die Filter vom
Mikroskop mechanisch entkoppelt sind. Dies ist insbesondere bei Verwendung eines
Filterrades vorteilhaft, das mehrere Filter umfaßt welche durch mechanische Bewe
gung, nämlich Drehung des Rades, im Strahlengang positioniert werden. Die Dre
hung des Filterrades ist genauso wie die Kühlung des UV-Lasers mit Vibrationen
verbunden, die möglichst nicht auf das Mikroskop übertragen werden sollten.
Als besonders vorteilhaft hat sich die Verwendung eines Single-Mode-Lichtleitfaser
elements erwiesen, da sich dann das Licht im Laser-Scanmikroskop besonders gut
fokussieren läßt. Zur besseren Energieübertragung vom UV-Laser zum Laser-Scan
mikroskop sind in einer vorteilhaften Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vor
richtung an einem Ende des Lichtleitfaserelements ein Lichteinkoppler und entspre
chend am anderen Ende des Lichtleitfaserelements ein Lichtauskoppler angeordnet.
Der besondere Vorteil der erfindungsgemäßen Vorrichtung besteht darin, daß der
UV-Laserstrahl nur dann in die Lichtleitfaser gespeist wird, wenn er zur Bildauf
nahme tatsächlich benötigt wird. Ein weiterer Vorteil besteht darin, daß eine Justie
rung des UV-Lasedichtstrahls auf den Strahlengang des Laser-Scanmikroskops auch
mit sichtbarem Licht vorgenommen werden kann. D.h., daß der UV-Laser zum Ju
stieren nicht eingeschaltet sein muß, zumindest jedoch eine Bestrahlung des
Lichtleitfaserelements mit UV-Laserlicht zum Justieren nicht erforderlich ist. In einer
vorteilhaften Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist zur Justierung mit
sichtbarem Licht ein optischer Baustein zwischen dem Lichtleitfaserelement und der
eigentlichen Justiereinrichtung angeordnet, über den das aus dem Lichtleitfaserele
ment austretende sichtbare Licht mit definiertem Strahlengang auf die Justier
einrichtung geführt wird. In der Regel wird der optische Baustein zur Parallelisierung
des aus dem Lichtleitfaserelement austretenden sichtbaren Lichts dienen. Es kann
sich dabei in vorteilhafter Weise um eine Lochblenden-Optik mit einer Linse oder ei
nem Linsensystem, einer sog. Pinhole-Optik, handeln. Möglich wäre auch der Einsatz
einer Teleoptik zur Verkürzung des Strahlengangs. Der optische Baustein dient ledig
lich zur Justierung mit sichtbarem Licht. Beim eigentlichen Scannen mit UV-Laserlicht
spielt dieser optische Baustein keine Rolle. Er könnte daher nach dem Justieren aus
dem Strahlengang der Meßanordnung entfernt werden, bspw. durch Herausschwen
ken.
Auch die Justiereinrichtung kann auf unterschiedlichste Weise realisiert sein. Sie wird
jedoch regelmäßig ein Ablenkungselement umfassen, wozu bspw. eine einstellbare
Linse oder auch ein dichroitischer Strahlteiler oder Strahlvereiniger - je nach Meßan
ordnung - dienen kann.
Es gibt nun verschiedene Möglichkeiten, die Lehre der vorliegenden Erfindung in
vorteilhafter Weise auszugestalten und weiterzubilden. Dazu ist einerseits auf die
dem Patentanspruch 1 nachgeordneten Ansprüche, andererseits auf die nachfol
gende Erläuterung eines Ausführungsbeispiels der Erfindung anhand der Zeichnung
zu verweisen. In Verbindung mit der Erläuterung des bevorzugten Ausführungsbei
spiels der Erfindung werden auch im allgemeinen bevorzugte Ausgestaltungen und
Weiterbildungen der Lehre erläutert.
Die einzige Figur zeigt in schematischer Darstellung einen möglichen Aufbau
der erfindungsgemäßen Vorrichtung zum Einkoppeln des Lichtstrahls eines
UV-Lasers in ein Laser-Scanmikroskop.
Die in der einzigen Figur dargestellte Vorrichtung dient zum Einkoppeln des Licht
strahls eines UV-Lasers 1 in ein Laser-Scanmikroskop 2. Das Laser-Scanmikroskop
2 ist hier lediglich andeutungsweise durch einen sog. Scanspiegel 13 und ein Okular
14 dargestellt. Die Vorrichtung umfaßt eine Justiereinrichtung 3 zum Ausrichten des
Laser-Lichtstrahls auf den Strahlengang des Laser-Scanmikroskops 2. Außerdem ist
zwischen dem UV-Laser 1 und der Justiereinrichtung 3 ein flexibles Lichtleitfaserele
ment 4 angeordnet. Aufgrund der Flexibilität des Lichtleitfaserelements 4 wird der La
ser 1 quasi mechanisch vom Laser-Scanmikroskop 2 entkoppelt, so daß bspw. küh
lungsbedingte Vibrationen des Lasers 1 nicht auf das Laser-Scanmikroskop 2 über
tragen werden.
Erfindungsgemäß ist zwischen dem UV-Laser 1 und dem Lichtleitfaserelement 4 ein
sog. Strahlunterbrecher 5 angeordnet, über den das Lichtleitfaserelement 4 nur wäh
rend des Scannens, also zur Aufnahme von Bildern, für den Lichtstrahl des UV-La
sers 1 freigebbar ist.
Im hier dargestellten Ausführungsbeispiel ist der Strahlunterbrecher 5 in Form einer
mechanischen Blende dargestellt, die den Laser-Lichtstrahl einfach vor dem Licht
leitfaserelement 4 ausblendet. Diese Blende 5 wird vorzugsweise automatisch, syn
chronisiert mit dem Scannen betätigt. Bei geöffnetem Strahlunterbrecher 5 fällt der
Laserlichtstrahl auf einen am Ende des Lichtleitfaserelements 4 angeordneten Licht
einkoppler 6. Entsprechend ist am anderen Ende des Lichtleitfaserelements 4 ein
Lichtauskoppler 7 angeordnet. Das Lichtleitfaserelement 4 in dem dargestellten
Ausführungsbeispiel ist eine Single-Mode-Lichtleitfaser.
Zwischen dem Lichtleitfaserelement 4 bzw. dem Lichtauskoppler 7 und der Justier
einrichtung 3 ist ein optischer Baustein 8 angeordnet, der zur Justierung des aus dem
Lichtleitfaserelement 4 austretenden Laser-Lichtstrahls dient. Die Justierung erfolgt
allerdings nicht mit dem Laser-Lichtstrahl selbst, sondern bei - mit Hilfe des Strahl
unterbrechers 5 - ausgeblendetem Laser-Lichtstrahl mit Hilfe von sichtbarem Licht,
das aus dem Lichtleitfaserelement 4 austritt. Der optische Baustein 8 dient dazu, die
ses sichtbare Licht zu parallelisieren. Dazu umfaßt der optische Baustein 8 eine
Lochblendenoptik mit einer Lochblende 9 und zwei Linsen 10 und 11, die jeweils im
Strahlengang vor und hinter der Lochblende 9 angeordnet sind. Im hier dargestellten
Ausführungsbeispiel ist ferner ein Umlenkspiegel 12 vorgesehen, der sich jedoch
nicht auf die Funktion der Lochblendenoptik auswirkt. Mit Hilfe der Lochblendenoptik
wird der Strahlengang des aus dem Lichtleitfaserelement 4 austretenden sichtbaren
Lichts entsprechend dem zu erwartenden Strahlengang des Laser-Lichtstrahls aus
gerichtet. Auf diese Weise ist eine Justierung der Gesamtanordnung für das UV-La
serlicht unter Zuhilfenahme von sichtbarem Licht möglich.
Als Justiereinrichtung 3 dient in dem hier dargestellten Ausführungsbeispiel ein
dichroitischer Strahlteiler bzw. Strahlvereiniger. Der Laserstrahl wird über den Scan
spiegel 13, durch das Okular 14, durch die Tubuslinse 15 und das Objektiv 16 auf
das Objekt 17 gelenkt. Der vom Objekt 17 zurücklaufende Lichtstrahl wird in zwei
Teilstrahlen mit unterschiedlicher Wellenlänge aufgeteilt. Diese Teilstrahlen werden
in unterschiedliche Richtung gelenkt.
Der nicht abgelenkte Teil des vom Objekt 17 kommenden Lichtstrahls
(Fluoreszenzlicht oder Reflexionslicht) wird über eine Pinhole-Optik 18 dem konfo
kalen Detektor 19 zugeführt.
Hinsichtlich weiterer vorteilhafter Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen Vorrich
tung zum Einkoppeln des Lichtstrahls eines UV-Lasers in ein Laser-Scanmikroskop,
die in der einzigen Figur nicht dargestellt sind, wird auf den allgemeinen Teil der Be
schreibung verwiesen.
Abschließend sei noch darauf hingewiesen, daß die erfindungsgemäße Lehre nicht
auf das voranstehend erörterte Ausführungsbeispiel beschränkt ist. Die erfindungs
gemäße Lehre läßt sich vielmehr auch bei Verwendung von konstruktiv andersartigen
Strahlunterbrechern und einer anderen optischen Anordnung für das Justieren mit
sichtbarem Licht realisieren.
Claims (6)
1. Vorrichtung zum Einkoppeln eines UV-Laserstrahls in ein konfokales
Laser-Scanmikroskop,
- - mit einem UV-Laser (1) und einer Einrichtung (3, 8) zum Parallelausrichten des UV-Laserstrahls auf den Strahlengang des Laser-Scanmikroskops (2),
- - und mit einem zwischen dem UV-Laser (1) und der Justiereinrichtung (3) an geordneten flexiblen Lichtleitfaserelement (4), das den UV-Laserstrahl zu dem Laser-Scan mikroskop (2) leitet und dabei die Übertragung mechanischer Schwingungen des UV-Lasers (1) auf das Laser-Scanmikroskop (2) vermindert,
dadurch gekennzeichnet,
- - daß zwischen dem Ausgang des UV-Lasers (1) und dem Eingang des Licht leitfaserelements (4) ein Strahlunterbrecher (5) angebracht ist,
- - der den UV-Laserstrahl zu dem Lichtleitfaserelement (4) nur dann freigibt, wenn der UV-Laserstrahl für die Bildaufnahme tatsächlich auch benötigt wird und somit die UV-Belastung des Lichtleitfaserelements (4) herabsetzt.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Strahlunterbre
cher (5) als eine den UV-Laserstrahl ausblendende mechanische Blende oder als ein
den UV-Laserstrahl ablenkender elektro- und/oder magneto-optischer Modulator
ausgebildet ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen
dem UV-Laser (1) und dem Strahlunterbrecher (5) eine Filteranordnung zum Einstel
len eines gewünschten Wellenlängenbereichs eingebracht ist.
4. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 3, dadurch ge
kennzeichnet, daß das Lichtleitfaserelement (4) als Single-Mode-Lichtleitfaser aus
gebildet ist und/oder einen Lichteinkoppler (6) sowie einen Lichtauskoppler (7) auf
weist.
5. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 4, dadurch ge
kennzeichnet, daß die Einrichtung (3, 8) zum Parallelausrichten des UV-Laserstrahls
auf den Strahlengang des Laser-Scanmikroskops (2) eine Justiereinrichtung (8) auf
weist, die mit sichtbarem Licht justierbar und nach dem Justiervorgang aus dem
Strahlengang des Laser-Scanmikroskops (2) entfernbar ist.
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4446185A DE4446185C2 (de) | 1994-08-25 | 1994-12-23 | Vorrichtung zum Einkoppeln eines UV-Laserstrahls in ein konfokales Laser-Scanmikroskop |
EP95926395A EP0734539B1 (de) | 1994-08-25 | 1995-07-06 | Vorrichtung zum einkoppeln des lichtstrahls eines uv-lasers in ein laser-scanmikroskop |
US08/793,005 US5903688A (en) | 1994-08-25 | 1995-07-06 | Device for feeding a UV laser into a confocal laser scanning microscope |
DE59510458T DE59510458D1 (de) | 1994-08-25 | 1995-07-06 | Vorrichtung zum einkoppeln des lichtstrahls eines uv-lasers in ein laser-scanmikroskop |
PCT/EP1995/002627 WO1996006377A1 (de) | 1994-08-25 | 1995-07-06 | Vorrichtung zum einkoppeln des lichtstrahls eines uv-lasers in ein laser-scanmikroskop |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4430012 | 1994-08-25 | ||
DE4431912 | 1994-09-08 | ||
DE4446185A DE4446185C2 (de) | 1994-08-25 | 1994-12-23 | Vorrichtung zum Einkoppeln eines UV-Laserstrahls in ein konfokales Laser-Scanmikroskop |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4446185A1 DE4446185A1 (de) | 1996-02-29 |
DE4446185C2 true DE4446185C2 (de) | 1997-03-27 |
Family
ID=25939483
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE4446185A Revoked DE4446185C2 (de) | 1994-08-25 | 1994-12-23 | Vorrichtung zum Einkoppeln eines UV-Laserstrahls in ein konfokales Laser-Scanmikroskop |
DE59510458T Revoked DE59510458D1 (de) | 1994-08-25 | 1995-07-06 | Vorrichtung zum einkoppeln des lichtstrahls eines uv-lasers in ein laser-scanmikroskop |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE59510458T Revoked DE59510458D1 (de) | 1994-08-25 | 1995-07-06 | Vorrichtung zum einkoppeln des lichtstrahls eines uv-lasers in ein laser-scanmikroskop |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (2) | DE4446185C2 (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102009021993A1 (de) | 2009-05-19 | 2010-12-02 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Laserquelle für die Laserscanmikroskopie |
DE102014201472A1 (de) | 2014-01-28 | 2015-08-13 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Verfahren zur Reduktion mechanischer Schwingungen bei elektrooptischen Modulatoren und Anordnung mit einem elektrooptischen Modulator |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19633185C2 (de) * | 1996-04-16 | 2000-06-15 | Leica Microsystems | Mehrfarbige Punktlichtquelle für ein Laserscanmikroskop |
WO1997039375A1 (de) | 1996-04-16 | 1997-10-23 | Leica Lasertechnik Gmbh | Punktlichtquelle für ein laserscanmikroskop und verfahren zum einkoppeln von mindestens zwei lasern unterschiedlicher wellenlänge in ein laserscanmikroskop |
DE19643558C1 (de) * | 1996-10-24 | 1998-04-09 | Leica Mikroskopie & Syst | Mikroskop mit einem Annäherungssensor |
US6738558B2 (en) | 1996-10-24 | 2004-05-18 | Leica Microsystems Wetzlar Gmbh | Microscope with a proximity sensor |
DE19758744C2 (de) * | 1997-01-27 | 2003-08-07 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Laser-Scanning-Mikroskop |
DE20122783U1 (de) | 2000-06-17 | 2007-11-15 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Anordnung zum Untersuchen mikroskopischer Präparate mit einem Scanmikroskop und Beleuchtungseinrichtung für ein Scanmikroskop |
DE10115577A1 (de) | 2000-06-17 | 2001-12-20 | Leica Microsystems | Scanmikroskop mit mehrbandiger Beleuchtung und optisches Bauteil für ein Scanmikroskop mit mehrbandiger Beleuchtung |
US6898367B2 (en) | 2000-06-17 | 2005-05-24 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Method and instrument for microscopy |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DD216323A1 (de) * | 1983-05-18 | 1984-12-05 | Magdeburg Medizinische Akad | Elektromechanischer licht-chopper fuer vier verschiedene wellenlaengen |
CA1325537C (en) * | 1988-08-01 | 1993-12-28 | Timothy Peter Dabbs | Confocal microscope |
CA2106296C (en) * | 1991-04-10 | 2002-03-26 | Allison Christyne Bliton | Confocal imaging system for visible and ultraviolet light |
US5283433A (en) * | 1992-10-05 | 1994-02-01 | The Regents Of The University Of California | Scanning confocal microscope providing a continuous display |
-
1994
- 1994-12-23 DE DE4446185A patent/DE4446185C2/de not_active Revoked
-
1995
- 1995-07-06 DE DE59510458T patent/DE59510458D1/de not_active Revoked
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102009021993A1 (de) | 2009-05-19 | 2010-12-02 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Laserquelle für die Laserscanmikroskopie |
DE102009021993B4 (de) | 2009-05-19 | 2023-11-09 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Scanmikroskop und zugehörige Verfahren |
DE102014201472A1 (de) | 2014-01-28 | 2015-08-13 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Verfahren zur Reduktion mechanischer Schwingungen bei elektrooptischen Modulatoren und Anordnung mit einem elektrooptischen Modulator |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE59510458D1 (de) | 2002-12-19 |
DE4446185A1 (de) | 1996-02-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2852203C3 (de) | Lichtleiteinrichtung für eine mit Auflicht betriebene Abbildungsvorrichtung | |
EP1257882B1 (de) | Vorrichtung zur wellenfronterfassung | |
DE3610165C2 (de) | ||
DE3137031C2 (de) | Mehrfachstrahlenbündel-Abtastoptiksystem | |
DE69832940T2 (de) | Beobachtungsgerät und Gerät zum Verschmelzungsspleissen von optischen Fasern | |
DE10038622A1 (de) | Scan-Mikroskop,optische Anordnung und Verfahren zur Bildaufnahme in der Scan-Mikroskopie | |
DE19622359A1 (de) | Vorrichtung zur Einkopplung der Strahlung von Kurzpulslasern in einem mikroskopischen Strahlengang | |
DE4324849A1 (de) | Projektionssystem zum Projizieren eines Farbvideobilds und zugehörige Transformationsoptik | |
EP0734539B1 (de) | Vorrichtung zum einkoppeln des lichtstrahls eines uv-lasers in ein laser-scanmikroskop | |
EP2359178A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur dynamischen verlagerung eines lichtstrahls gegenüber einer den lichtstrahl fokussierenden optik | |
DE102015112960B3 (de) | Vorrichtung für die konfokale Beleuchtung einer Probe | |
DE4446185C2 (de) | Vorrichtung zum Einkoppeln eines UV-Laserstrahls in ein konfokales Laser-Scanmikroskop | |
DE102019008304B3 (de) | Fluoreszenzmikroskop mit stabilisierter Justage und Verwendung einer Baugruppe zur Aufrüstung eines Fluoreszenzmikroskops | |
DE102012216284A1 (de) | Mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage | |
DE4323129C2 (de) | Inverses Mikroskop | |
DE10014334C2 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur ortsaufgelösten Brechkraft-Bestimmung | |
WO2008037346A1 (de) | Laserscanningmikroskop mit element zur pupillenmanipulation | |
CH634664A5 (de) | Abtastvorrichtung zur kartesischen abtastung und weitergabe von bildfeldern. | |
DE10233074A1 (de) | Optische Vorrichtung zum Vereinigen von Lichtstrahlen und Scanmikroskop | |
DE4113279C2 (de) | Konfokales optisches Rastermikroskop | |
DE10215162B4 (de) | Strahlteilervorrichtung und Laserrastermikroskop | |
WO2008046494A1 (de) | Beleuchtungsanordnung | |
DE10029680A1 (de) | Mikroskop-Aufbau | |
DE10031458B4 (de) | Scan-Mikroskop mit einem Zirkulator | |
DE2718711A1 (de) | Vorrichtung zur abtastung eines objektes mit einem lichtstrahl |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
D2 | Grant after examination | ||
8363 | Opposition against the patent | ||
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: LEICA MICROSYSTEMS HEIDELBERG GMBH, 69120 HEIDELBE |
|
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: LEICA MICROSYSTEMS HEIDELBERG GMBH, 68165 MANNHEIM |
|
8331 | Complete revocation |