JP2741195B2 - レーザーダイオードアレイを用いる光走査光学系 - Google Patents

レーザーダイオードアレイを用いる光走査光学系

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JP2741195B2
JP2741195B2 JP62040193A JP4019387A JP2741195B2 JP 2741195 B2 JP2741195 B2 JP 2741195B2 JP 62040193 A JP62040193 A JP 62040193A JP 4019387 A JP4019387 A JP 4019387A JP 2741195 B2 JP2741195 B2 JP 2741195B2
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孝司 一宮
健一 高梨
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株式会社 リコー
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Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) この発明は複数ビームを同時に走査する光学系、特に
光源としてレーザーダイオードアレイを用いた走査光学
系に関する。 (従来技術) 同時に複数の走査線を走査すれば実質的に走査速度を
上げることが出来るので、複数ビームを同時に走査する
光学系が公知である。この中、複数光源としてレーザー
ダイオードアレイを用いるものは、光源の取扱いが容易
になる。このようなレーザーダイオードアレイを用いた
走査光学系は、例えば特開昭56−69611号にその例が見
られる。 レーザーダイオードをアレイ化した場合、熱の発散や
製作技術等の制約によってアレイのピッチ1は、1=0.
1mm程度が限界である。コリメータレンズの焦点距離をf
mm、ダイオード数をnとすれば、アレイ端部のダイオ
ードからのコリメートされた平行光束は、角度にして θ[rad]=n1/f だけの拡がりを有し、回転多面鏡による各ダイオードの
共通の光走査範囲は光源1個の場合に比べ極めて狭いも
のとなってしまう。この問題を解決するためには、回転
多面鏡の径を大きくしなければならず、高速回転をさせ
るためには駆動力の大きなモータが必要となり、コスト
も上昇し、大型化する。このため、特開昭56−69611号
では、コリメータレンズの偏向器側の瞳面の光学的に共
役な位置が偏向器の極く近傍に配されるように光学系が
構成されている。この方法は、レーザーアレイの発光点
が多数の場合には有効であるが、光源から偏向器までの
光路長を長くし、走査装置を大型のものとしてしまう。 (この発明が解決しようとする問題点) 上記のように、コリメータレンズの偏向器側の瞳面の
光学的に共役な位置が偏向器の極く近傍にくるように光
学系を配する方法は、装置を大型にするが、発光点が2
〜3点の場合は、その儘偏向器に入射させても回転多面
鏡の径をそれ程大きくすることがない。この発明はこの
ような場合に用いられる走査装置を得ようとするもので
ある。 (問題点を解決するための手段) この発明においては、レーザーダイオードアレイを用
いる光走査光学系は、アレー状光源側から順に、光源か
らの各光束を平行光束とするコリメート部、偏向面内で
アフォーカルで、かつ偏向面と垂直な面内でコリメート
部からの光束を線状に結像する第1の結像光学系、該第
1結像光学系からの光束を偏向する偏向器、該偏向器か
らの光束を上記被走査面上に集光させる第2の結像光学
系からなる走査光学系において、上記第1の光学系はコ
リメータ部から順に偏向面内で屈折力を有するシリンド
リカルレンズ及び正の屈折力を有する球面単レンズから
なり、第2の結像光学系は偏向面と垂直な方向で偏向反
射面と被走査面とを共役関係に置くことを特徴とする。 図面を参照して説明すれば、第1図はこの発明の光走
査光学系の偏向面内(以下、主走査方向と呼ぶ)の、第
2図は偏向面と垂直な方向(以下、副走査方向と呼ぶ)
の基本的な構成をしめす。1は光源で、この発明では半
導体レーザーアレイ、特に第3図に示すような発光部が
2点のものを用いる。2は光源1から出射した光束を平
行光束とするコリメートレンズ、第1の結像光学系を構
成する3、4はそれぞれシリンドリカルレンズと球面レ
ンズであり、シリンドリカルレンズ3は主走査方向にの
み正の屈折力を有しており、Aはシリンドリカルレンズ
3により集光面である。5は回転多面鏡の偏向反射面で
あり、第2図に示すようにコリメートレンズ2から出射
した光束は、副走査方向では球面レンズ4で偏向反射面
5の近傍に線状に結像する。主走査方向では第1図に示
すように、第1の結像光学系で拡径され、コリメートレ
ンズの射出径よりもそのエクスパンド比だけ太い光束が
偏向反射面5に入射する。 6、7、8は第2の結像光学系であり、第4図に示す
ように副走査方向で偏向反射面5と被走査媒体9とを共
役関係とし、いわゆる倒れ補正機能を有している。 (作用) 上記光源1は第3図に示すように、接合面10から、接
合面と垂直な方向に長軸を持つ2つの楕円状のビーム
B1,B2が出射される。また、Lは2つの発光点の接合面1
0方向のピッチである。Lは上記のようにほぼ0.1mm程度
が限界であり、ビームの発散角は接合面10と垂直方向が
エネルギー半値で30゜幅、平行方向が10゜幅程度であ
る。従って、コリメートレンズ2を出射したときの光束
の径は、コリメートレンズ2のN.A.が非常に小さくない
限り、結合面10と垂直な方向の方が大きくなる。 第5図に示すように、上記第2の結像光学系によって
ビームB1が被走査媒体9上で走査する線をl1、そのスポ
ットをSP1とし、ビームB2が被走査媒体9上で走査する
線をl2、そのスポットをSP2とし、SP1とSP2との副走査
ピッチをPSとする。PSは第8のように接合面10を主走査
方向に対して傾ける角度θによって決定されることは知
られている。 しかし、上記のようにコリメートレンズ2出射後の光
束径は接合面の方向でその大きさが異なり、主走査方向
に細く、副走査方向に太い光束になるため、第2の結像
光学径だけでは適正なスポット形状を得ることが出来な
い。 すなわち、第6図は従来の走査光学系を示し、コリメ
ートレンズ2と偏向反射面5の間に副走査方向のみ屈折
力を持つ1個のシリンドリカルレンズCを用いており、
11は1の発光面、12は第2の結像光学系を示す。このと
きピッチPSを決めるため光源1の接合面を僅かにθだけ
傾けて使用するが、このためスポットSP1、SP2の副走査
方向の大きさはシリンドリカルレンズCで制御出来る
が、主走査方向はコリメートレンズ2で決ってしまう。
この発明においては、第7図に示すように、主走査方向
のみ屈折力を有するシリンドリカルレンズ3と球面レン
ズ4によりコリメートレンズ2の出射光を主走査方向に
拡幅し、副走査方向は球面レンズ4によって偏向面近傍
に集束させ、スポットSP1、SP2の形状およびピッチPS
決めることが出来る。 第7図において、発光面11とコリメートレンズ2との
間隔をa、コリメートレンズ2とシリンドリカルレンズ
3の間隔をdO、シリンドリカルレンズ3とその集光面A
との間隔をbとしたとき、間隔aはコリメートレンズの
焦点距離fCと等しく、間隔bはシリンドリカルレンズの
焦点距離fCYに等しいことは云うまでもない。そして、
本発明においては、従来技術と異なり、コリメートレン
ズ2とシリンドリカルレンズ3の間隔をdOを以下の条件
を満たす範囲で自由に設定できることを特徴とする。 0<dO<|fCY+fC| そして、本発明の実施例において上記間隔a、b、dO
がどの様にとられるかを第1図、第9図に示す。下限は
レンズが接触しないためであり、上限は光源1からシリ
ンドリカルレンズの間隔を不必要に取らないためであ
る。また、コリメートレンズの出射光束幅が主走査方
向、副走査方向で異なるため、 1<fs/|fcy|<2 が成り立つ。下限は第1結像光学系がビームエキスパン
ダとして機能するための条件であり、上限は光学性能上
の限界である。 (実施例) 以下、図面を参照してこの発明の実施例を説明する。 第2結像系の一例を以下に示す。第1図に示す実施例
において6はアナモフィックな単レンズ、7は正の屈折
力を有する球面単レンズ、8はトーリック面を有するア
ナモフィック単レンズからなり、r2iは主走査方向のレ
ンズの曲率半径、r2i′は副走査方向のレンズの曲率半
径、d2iはレンズ面間隔、d0は偏向反射面とr1の間隔、n
ziはλ=780nmでの屈折率、fM、fSは第2の結像光学系
の主走査方向、副走査方向の焦点距離、βは副走査方向
の偏向反射面と被走査媒体との共役関係における結像横
倍率として、以下の構成を有する。 第1の結像光学系は第1図、第2図の実施例において
は以下のようであり、表中、、r1iはシリンドリカルレ
ンズ3、球面レンズ4の主走査方向のレンズ曲率半径、
r1i′はシリンドリカルレンズ3、球面レンズ4の副走
査方向のレンズ曲率半径、d1iはそのレンズ面間隔、n1i
はλ=780nmにおける屈折率、fcy、fsは夫夫シリンドリ
カルレンズ3、球面レンズ4の焦点距離である。 また、第9図、第10図の実施例においては以下のよう
である。 (発明の効果) この発明は、上記の構成を有するので、複数の走査線
を同時に走査出来るので、記録、表示が高速で出来る
か、または偏向器の速度を遅く出来る。光学レイアウト
が簡単で、光学部品も好くなくて済み、コストを引き下
げることが出来る。走査線が複数になっても像面湾曲が
小さいので高密度のレーザー書き込み系が得られる等の
効果を奏する。
【図面の簡単な説明】 第1図はこの発明の光走査光学系の1実施例の偏向面内
の光学配置図、第2図は偏向面と垂直な方向の光学配置
図、第3図は発光部が2点の半導体レーザーアレイの斜
視図、第4図は副走査方向の倒れ補正機能の説明図、第
5図は副走査ピッチPSの説明図、第6図は従来の走査光
学系、第7図はこの発明の走査光学系の基本構成図、第
8図は副走査ピッチPSの決定法の説明図、第9図、第10
図は、他の実施例の光学配置図である。 1:レーザーアレイ、2:コリメートレンズ 3:シリンドリカルレンズ、4:球面レンズ 5:偏向反射面、6:アナモフィックレンズ 7:球面単レンズ、8:トーリック面を有するアナモフィッ
ク単レンズ、9:被走査媒体 10:接合面、11:レーザーアレイ発光面 12:第2の結像光学系
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭56−69611(JP,A) 特開 昭58−184117(JP,A) 特開 昭60−233616(JP,A)

Claims (1)

  1. (57)【特許請求の範囲】 1.アレー状に配列された2あるいは3の光源からの光
    束によって被走査面を走査する走査光学系において、 上記アレー状光源側から順に、光源からの各光束を平行
    光束とするコリメート部、偏向面内でアフォーカルで、
    かつ偏向面と垂直な面内でコリメート部からの光束を線
    状に結像する第1の結像光学系、該第1結像光学系から
    の光束を偏向する偏向器、該偏向器からの光束を上記被
    走査面上に集光させる第2の結像光学系からなり、 上記第1の結像光学系はコリメータ部から順に偏向面内
    で屈折力を有するシリンドリカルレンズ及び正の屈折力
    を有する球面単レンズからなり、 第2の結像光学系は偏向面と垂直な方向で偏向反射面と
    被走査面とを共役関係におき、 かつ、コリメート部と第1結像光学系のシリンドリカル
    レンズの間隔dO、fCY、fCをそれぞれ第1結像光学系の
    シリンドリカルレンズおよびコリメート部の焦点距離と
    したとき 0<dO<|fCY+fC| の条件を満足することを特徴とするレーザーダイオード
    アレイを用いる光走査光学系
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