DE3236468A1

DE3236468A1 - Elektronenstrahlzeichensteuervorrichtung

Info

Publication number: DE3236468A1
Application number: DE19823236468
Authority: DE
Inventors: Masakazu Numazu Shizuoka Tokita
Original assignee: Toshiba Machine Co Ltd
Current assignee: Shibaura Machine Co Ltd
Priority date: 1981-10-01
Filing date: 1982-10-01
Publication date: 1983-06-09
Also published as: US4641252A; DE3236468C2

Description

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TOSHIBA KIKAI KABUSHIKI KAISHA, Tokio, Japan

Elektronenstrahlzeichensteuervorrichtung

Die vorliegende Erfindung betrifft ein mit einem Elektronenstrahl zeichnendes System und im besonderen ein mit einem Elektronenstrahl zeichnendes Steuersystem oder Vorrichtung, das rasterweise abtastet und das eine Hochgeschwindigkeitszeichnung erlaubt»

Fig. 1 zeigt ein Blockdiagramm einer allgemeinen Anordnung eines bekannten rasterweise abtastenden, mit einem Elektronenstrahl zeichnenden Steuersystems.

Nach Fig. 1 speichert ein Plattenspeicher 100 zusammengefaßte, parametrische Daten für eine Anzahl von Grundfiguren oder Muster, welche in Grundzeichenbereiche, genannt Zeilen, eingeprägt werden können« Die zusammengefaßten Daten werden im voraus von einem ganzen, zu zeichnenden Muster hergestellt«

Eine Speichersteuerung 102 steuert die Zuführung der zusammengefaßten Daten, die in dem Plattenspeicher 100 gespeichert sind, zu einer Hochgeschwindigkeitsdaten-Übertragungseinrichtung 104„

Eine Mustererzeugungseinrichtung 106 bildet aus den zusammengefaßten Daten Punktmusterdaten» Das Bezugszeichen 108 bezeichnet einen Rasterspeieher, der Speichereinheiten aufweist, wobei die Größe von deren Zellen zum Speichern der Punktmusterdaten, die von der Mustererzeugungseinrichtung 106 geliefert werden, ausreichend ist«, Das Bezugszeichen 110 bezeichnet eine elektrooptisehe Vorrichtung zum Ausrichten des Elektronenstrahls auf eine Probe 112_S die auf einem Tisch 114 befestigt ist,

welcher mit einer Tischantriebsschaltung 116 bewegt wird. Das Referenzzeichen 118 zeigt eine Treiberschaltung zur _;. Ansteuerung der elektrooptischen Vorrichtung 110.

Fig. 2 veranschaulicht das Verhältnis zwischen dem Elektronenstrahl 111 des von dem Raster abtastenden elektrooptischen Systems oder Strahlscanners 110 und einer Probe 112 auf dem Tisch 114."

Fig. 3 ist eine vergrößerte und detaillierte per-, spektivische Ansicht der Fig. 2. Den Fig. 2 und 3 kann _w entnommen werden, daß der Elektronenstrahl 111 über den Zellbereich abgelenkt wird, welcher eine Breite "d" besitzt, der 512 Bits in der X-Richtung jeder Zelle entsprechen. Der Elektronenstrahl wird entsprechend einem Punktmuster während eines einzelnen Abtastvorgangs über die Zelle EIN und AUS geschaltet. Der Tisch 114 wird, um sich in der Y-Richtung mit einer konstanten Geschwindigkeit zu bewegen, angepaßt, damit nach dem Abtasten in der Y-Richtung ein nachfolgendes Abtasten für die angrenzende Spalte ausgeführt wird.

Fig. 4 zeigt ein weiter detailliertes Blockdiagramm des bekannten Steuersystems in Fig. 1. Eine Schnittstelle 120 steuert eine Vorverarbeitungseinrichtung (PPU) 124, einen Funktionsgenerator (FG) 126, eine Schreibsteuereinheit (WCU) 128 und eine Lesesteuereinheit (RCU) 130 über einen Steuerbus 122.

Eine Hochgeschwindigkeit-Datenübertragungseinrichtung (DMA) 132 überträgt einige Einheiten der zusammengefaßten Daten zu einem Datenspeicher 134 über einen Datenbus 136. Jede Einheit der zusammengefaßten Daten für jede Zelle wird durch die Speichersteuerung 102 geführt.

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Die Vorverarbeitungseinrichtung 124 empfängt die zusammengefaßten, parametrischen Daten DA, die die Form

* ο O OP

a St β ο ο · ο

und die Lage der zu zeichnenden Figuren (Höhe, Breite, Startpunkt etc) in einer verkürzten Darstellung von dem Datenspeicher 134 über den Datenbus 136 ausweisen und die die Daten so umformt, daß sie für den Funktionsgenerator 126 geeignet sind»

Der Funktionsgenerator (FG) 126 erzeugt Raster-Austastdaten für den Elektronenstrahl von den oben erwähnten zusammengefaßten Daten DA» Die Austastdaten schließen die Befehle zum Aktivieren oder Nichtaktivieren des Elektronenstrahls zusätzlich zu den Daten ein, die die Adresse betreffen_s an welche der Befehl gerichtet ist. Die Schreibsteuereinheit (WCU) 128 erzeugt beide Adressen innerhalb der Zellspeicher 138, 140 und 142 und die 16-Bit-Austastdaten, die diese Adressen betreffen» die auf den Austastdaten beruhen und die mit dem Funktionsgenerator (FG) 126 gegebenen Adreßdaten. Die Austastdaten werden in geeigneten Zellspeichern 138, 140 oder 142 bei den ausgewählten Adressen geschrieben. Jeder Zellspeicher 138, 140 oder 142 wird so organisiert, daß er 512 Reihen mit je 32 Bytes von je 16 Bits (512 Bits χ 512 Bits) enthält. Dies entspricht genau der Größe von einer Zelle.

Die PPU 124_S der FG 126 und die WCU 128 werden nachfolgend als Punktmuster-Wandlereinrichtung (DPCU) 144 bezeichnet, welche die zusammengefaßten Daten entsprechend den zu zeichnenden Figuren in Austastdaten umformen. Die Lese-Steuereinheit 130 formt die Austas.tdaten von den Zellspeichern 138, 140 und 142 in serielle Daten um und liefert die seriellen Punktdaten zu dem elektrooptischen System 110 aus Fig. 1.

Die Datenbusse 146 und 148 verbinden die Zellspeicher 138, 140 und 142 mit der WCU 128 und der RCU 130. Die RCU 130 liest die Zellspeicher 138, 140 und 142 seriell und zyklisch aus. Wenn Daten von einem Zellspeicher aus-

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gelesen werden, können auch Daten in einen anderen Zellspeicher eingeschrieben werden. Z.B. werden Zellspeicher " so gesteuert, daß das Einschreiben in den Zellspeicher 140 gleichzeitig mit dem Lesen von Zelle 142 abläuft und das Einschreiben in den Zellspeicher 140 mit der WCU 128 zumindest vervollständigt ist, bevor die Inhalte des Zellspeichers 142 mit der RCU 130 gelesen werden. Die RCU 130 kann so ohne Schwierigkeiten Punktdaten von den drei Zellspeichern 138, 140 und 142 auslesen.

10

Kennzeichnenderweise werden die Daten von der RCU

^ 130 zu dem elektrooptischen System 110 mit einer Schnelligkeit von ungefähr 20 MHz in einen Elektronenstrahlfleck-Durchmesser von 1 /U umgesetzt. Es ist erwünscht, die Auflösung der Auszeichnungsmuster durch Reduzieren des Durchmessers des Elektronenstrahlflecks auf 0,5/U zu verbessern.

Um jedoch eine Linie, die dieselbe Breite wie die einer konventionellen in der höheren Auflösung aufweist, aufzuzeichnen, müssen, verglichen zu dem konventionellen Fall, doppelt so viele Bits abgetastet werden, was das Doppelte an Zeit erfordern würde, wenn nicht die Abtastgeschwindigkeit verdoppelt wird. Wenn die Geschwindigkeit nicht verdoppelt wird, würde das Zeichensystem zum Ausführen für ein kompliziertes Zeichenrauster 20 bis 30 h benötigen.

In dem in Fig. 4 gezeigten Steuersystem benötigt die Punktmusterwandlervorrichtung DPCU 144, 2 bis 13 * Λ0 s, um die Daten von einer Zelle zu verarbeiten. Die Übertragung der zusammengefaßten Daten vom Datenspeicher 134 zu der DPCU 144 benötigt in der Größenordnung von 2 bis 3 · 10" s, woraus mitunter eine serielle Datenübertragungsrate von der RCU I30 resultiert, die auf 20 MHz begrenzt ist, was von der relativ langsamen Verarbeitungszeit durch den FG 126 und der WCU 128 in der DPCU ver-

ursacht werden.

Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, die Punktmuster-Datenrate von der Lesesteuereinheit zu dem elektronenstrahloptischen System in der wie oben beschriebenen bekannten Art zu steigern, damit die Abtastgeschwindigkeit und damit die Zeichengeschwindigkeit zunehmen wird.

Es wird darauf hingewiesen, daß die Strukturen der PPU, des FG und der WCU im Detail in der OS ..... beschrieben sind, auf deren Inhalte sich bezogen wird.

Die Erfindung wird durch die Merkmale des Anspruchs 1 gelöst.

Gemäß dieser Erfindung ist ein Elektronenstrahlzeichensteuersystem vorgesehen, das eine erste Speichervorrichtung zum Speichern von Parametern, die zu zeichnende Figuren repräsentieren, mehrere von Punktmusterwandlereinrichtungen zum aufeinanderfolgenden Auslesen der Parameter von der ersten Speichereinrichtung und zum Erzeugen von Punktmusterdaten, die den Figuren entsprechen, mehrere von zweiten Speiehereinrichtungen zum Speichern der Punktmusterdaten, die mit den mehreren Punktmusterwandlereinrichtungen erzeugt werden und Lesesteuereinheiten zum Auslesen der Punktmusterdaten von den mehreren von zweiten Speichereinrichtungen in der gleichen Ordnung, wie die Punktmuster gespeichert wurden, enthalten sind.

Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachfolgend an Hand der Zeichnungen genauer beschrieben. Es zeigen:

t m · ·

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F I G . 1 ein allgemeines Blockdiagramm einer bekannten Zeichensteueranordnung in einem Rastersystem;

F I G . 2 und 3 schematische perspektivische Ansichten, die die Zeichenoperation eines Elektronenstrahls erläutern;

F I G . 4 ein Blockdiagramm des bekannten Zeichensteuersystems im Detail;

F I,G . 5 eine Tabelle der Anordnung von Adressen und Daten in einem in Fig. 4 gezeigten Zellspeicher; F I G . 6 ein Blockdiagramm eines Ausführungsbeispiels des Zeichensteuersystems gemäß der vorliegenden Erfindung;

FIG. 7 ein Blockdiagramm eines anderen Ausführungsbeispiels des Zeichensteuersystems gemäß der vorliegenden Erfindung;

F I G . 8 eine Tabelle des Flusses von Zelldaten in dem Steuersystem nach Fig. 7;

F I G . 9 ein Blockdiagramm eines weiteren Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung, in welchem jeder Zellspeicher mit einem Steuerbereich ausgestattet ist; F I G . 10 an einer Tabelle in kürze das Verfahren der Datenumsetzung mit der Zeichenschaltung aus Fig. 9;

FIG . 11 und 12 Abbildungen zweier Beispiele der Inhalte von einer Banktabelle;

FIG . 13 eine Tafel der Zuordnung von einer Adresse, Daten und einem Steuerbereich von einem Zellspeicher, der die Fig. 9 und 14 betrifft;

FIG. 14 ein Zeitdiagramm, das die Verarbeitungsverhältnisse zwischen der CPU, der Punktmusterdatenwandlereinrichtung und den Zellspeichern erläutert; F I G . 15 ein Flußdiagramm, das die Arbeitsabläufe der CPU in Fig. 9 erläutert, und

FIG . 16 ein Blockdiagramm eines anderen Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung, das das Ausführungsbeispiel in Fig. 9 betrifft.

OO ««Ο .»Ο «Ο »Ο "·Ο Λ ΛΛ Λ I PO

OZoDAOo - 13 -

In Fig. 6 wird eine Steuerung (CPU) 200 über eine Schnittstelle 204 an einen Steuerbus 202 geschaltet, und der Bus wird mit den jeweiligen Vorverarbeitungseinrichtungen (PPU) 206 und 208, den Funktionsgeneratoren (FG) 210 und 212 und der Schreibsteuereinheit (WPU) 214 und 216 der Punktwandlereinrichtungen (DPCU) 218 und 220 verbunden» Der Steuerbus 202 wird weiter an eine Lesesteuereinheit (RCU) 222 geschaltet

Die Direktspeicherzugrifssteuerung (DMA) 223 bewirkt die zusammengefaßten Daten DA₉ die von der Steuerung 200 mit dem CP-Bus 228 zu den Datenspeichern (DM) 224 und 226 übertragen werden. Die Punktmusterwandlereinrichtungen . (DPCU) 218 und 220 werden gleichfalls mit den Datenspeiehern (DM) 224 und 226 über den CP-Bus 228 verbunden „

Die Schreibsteuereinheiten (WCU) 214 und 216 werden mit den Zellspeichern 230, 232 und 234, und die Zellspeicher 236, 238 und 240 werden über den WCU-Bus 242 bzw. den WCU-Bus 244 zusammengeschaltet.,

Die Lesesteuereinheit (RCU) 222 wird mit den Zellspeichern 230-240 über den RCU-Bus 246 verbunden.

In der vorgenannten Anordnung steuert die Steuerung (CPU) 200 die DPCU's 218 und 220 über den Steuerbus 202, damit die Punktmusterdaten von der DPCU 218 zu der Zellspeichergruppe, die die Zellspeicher 230-234 einschließt, und von der DPCU 220 zu der Zellspeichergruppe, die die Zellspeicher 236 bis 240 einschließt, abwechselnd zugeführt werden.

Obwohl dieses Ausführungsbeispiel veranschaulicht, daß die DPCU's 218 und 220 die zusammengefaßten Daten von den Datenspeichern (DM) 224 und 226 empfangen, ist es nicht notwendig, die Anordnung in dieser Weise zu beschränken. Einigö Anordnungen können so durchgeführt werden, daß die

Steuerung 200 das Timing der Berechnung für die DPCU¹ s 218 und 222 reguliert, damit die seriellen Punktdaten von der RCU 222 in einer hohen Übertragungsrate erhalten werden. Die Berechnungszeit für jede Zelle hängt weitestgehend von der Anzahl der Grundfigurmuster ab, welche in der Zelle liegen, und damit ist die Berechnungszeit für jede Zelle nicht konstant. Dieser Zustand kann dazu benutzt werden, die Datenflußflexibilität zu maximieren. Beispielsweise können Daten von der DPCU zu dem Zellspeicher 230, dann von der DPCU 218 zu dem Zellspeicher 232, von der DPCU 220 zu dem Zellspeicher 236, von der DPCU 218 zu dem Zellspeicher 234 und schließlich von der DPCU 220 zu dem Zellspeicher 240 fließen. In diesem Fall wird der Befehl, welche ZeIlspeicher 230 bis 240 geladen werden, in der Steuerung gespeichert, und die RCU 222 liest die Zellspeicher bis 240 nach dieser Anweisung aus. In Fig. 6 besitzt die RCU 222 eine Banktabelle BT, welche eine Information von der Steuerung 200 empfängt und speichert, die den Befehl betrifft, wie die RCU 222 die in den Speichern 230 bis gespeicherten Daten auszulesen hat. Z.B. kann die BT einen Sechsstufenzähler enthalten, und die Information wird über den Bus 202 von der CPU 200 zu der RCU 222 im voraus oder gleichmäßig zugeführt.

In diesem Ausführungsbeispiel ist ein Paar von Punktwandlereinrichtungen vorgesehen und es ist offensichtlich, daß gerade höhere Geschwindigkeit das Lesen mit mehr vorgesehenen Punktmusterwandlereinrichtungen ermöglicht.

Die Fig. 7 und 8 zeigen ein anderes Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung. Fig. 7 zeigt ein Blockdiagramm einer Schaltung 248 zum Erhöhen des Zeichen-Vorgangs, und sie wird zu einer DMA Schnittstelle (DMAIF) 250 geschaltet, die sich von einer Direktspeicherzugriffssteuerung 252 ausdehnt.

-"15"-

Die DMAIF 250 wird über den CP-Bus 254 zu den Datenspeichern (DM) 256 und 258 geschaltet. Der Speicher 256 wird weiter über den PPU-Bus 260 an die Punktmusterwandlereinrichtung (DPCU) 256 geschaltet, und der Datenspeieher 258 wird weiter über den PPU-Bus 264 an die Punktmusterwandlereinrichtung (DPCU) 266 angeschlossen« In Fig» 7 werden die Punktwandlereinrichtungen 262 und 266 jede aus vier gedruckten Schaltungsplatinen erstellt (#1 bis #4), wobei jede eine PPUy einen FG und eine WCU enthalten. So kann z.B., jede DPCU 262 als ein System ähnlich dem in Fig. 6 betrachtet werden.

Die Punktmusterwandlereinrichtungen 262 und 266 werden zu den Zellspeichergruppen (CELMG) 268 und 270 über den WCU-Bus 272 bzw. den WCU-Bus 274 geschaltet, und die Speichergruppen 268 und 270 werden miteinander und mit der Lesesteuereinheit (RCU) 276 über den RCU-Bus 278 verbunden. (In der Fig. 7 enthält die RCU 276 zwei Einrichtungen #1 und #2). Die seriellen Punktmusterdaten von der Lesesteuereinheit 276 werden zu dem Strahlscanner 110 geführt, um so die Austaststeuerung durchzuführen. Die Schaltung 280 führt die Punktmusterumwandlung gemäß der vorliegenden Erfindung in einer multiplexen Form, die eine Verbindung zwischen dem CP-Bus 254 und dem RCU-Bus 278 besitzt. Das Ausschalten der Einrichtung 280 und alle, bis auf eine gedruckte Schaltungsplatine der DPCU 262, (so daß die DPCU 262 eine einzige PPU, FG und WCU besitzt) ergibt die in Fig. 4 dargestellte Anzeigensteuerschal tung. Weil in diesem Ausführungsbeispiel die PPU-Busse 260 und 264 getrennt vorgesehen sind_s werden die DPCU's 262 und 266 einzeln an die Datenspeicher 256 und 258 gekoppelt, und diese Verbindung ist verglichen mit dem einzigen CP-Bus-System, wie in Fig. 6 gezeigt, vorteilhafter für die Hochgeschwindigkeitsbedienung.

Fig. 8 zeigt ein Diagramm, das den Datenfluß in dem System¹ iläch Fig. 7 erläutert- Die Daten für jede

BAD

-•"16·-

d.h. Nr. 1 Zelldaten, Nr. 2 und so fort, werden von dem Hauptspeicher der CPU 200 (in Fig. 6) zu der DMA 252 übertragen. In diesem Fall werden die ungeradzahligen Zelldaten, solche wie Nr. 1, Nr. 3» Nr. 5» Nr. 7 und Nr. 9 zu dem Datenspeicher 256 übertragen, und die ungeradzahligen Zelldaten, solche wie Nr. 2, Nr. 4, Nr. 6 und so fort werden zu dem Datenspeicher 258 zu dem DMAIF 250 übertragen. Dann werden die Zelldaten Nr. 1, Nr. 3, Nr. 5, Nr. 7 und so fort in dem Datenspeieher 256 mit der Punktmusterwandlereinrichtung DPCU 262 in Punktmusterdaten umgesetzt, und diese umgesetzten Musterdaten werden zu den Zellspeichern 282, 284 und 286 aufeinanderfolgend, wiederholt und in dieser Ordnung übertragen.

Die Zelldaten Nr. 2, Nr. 4, Nr. 6 und so fort in dem Datenspeicher 258 werden in der gleichen Weise mit der Punktmusterwandlereinrichtung 266 in Punktmusterdaten umgesetzt, und diese umgesetzten Musterdaten werden zu den Zellspeichern 288, 290 und 292 aufeinanderfolgend, wiederholt und in dieser Ordnung übertragen. Die Zellspeicher der beiden Zellspeichergruppen 268 und 270 speichern die Punktmusterdaten in den Zellspeichern in der Reihenfolge von 282, 288, 284, 290, 286 und 292 aufeinanderfolgend, wiederholt und in dieser Reihenfolge, wenn sie in zeitserieller Form gemessen werden, und die Lesesteuereinheit RCU 276 in Fig. 7 bezeichnet jeden Zellspeicher in dieser Reihenfolge so, wie die Punktmusterdaten ausgelesen werden. Folglich werden die Zellspeicher in der korrekten Zelldatenreihenfolge, d.h. Nr. 1, Nr. 2, Nr. 3 und so fort gelesen.

In dem vorgenannten Ausführungsbeispiel, gezeigt in Fig. 7 und 8, werden die Zellspeicher aufeinanderfolgend gelesen, und die Punktmusterwandlereinrichtungen 262 und 266 werden abwechselnd benutzt. Das Ziel der vorliegenden Erfindung ist so, sicherzustellen, daß die Zelldaten

in der Reihenfolge ausgelesen werden, in welcher die Zellen in dem rasterabtastenden System gezeichnet werden sollen. Weiter können die Punktmusterwandlereinrientgingen abwechselnd oder mitunter fortlaufend (d.h» wahlfrei, abhängend von der Länge der Zeit, die zum Verarbeiten der Daten von einer Zelle notwendig ist) benutzt werden, um die Zeichengeschwindigkeit , d.h. die Lesegeschwindigkeit der seriellen Daten von der RCU zu steigern. Deshalb kann die Reihenfolge der Bezeichnung der Zellspeicher nicht wie in dem vorgenannten Beispiel bestimmt werden, weil irgendeine leere Speicherzelle verwendet werden kann» Beispielsweise wenn die Zellspeicher zum Speichern in der Reihenfolge von DPCU 262-CP Speicher 282 - DPCU 266 - Zellspeicher 290 - DPCU 262 Zellspeicher 286 - DPCU 266 - Zellspeicher 238 - DPCU 262 - Zellspeicher 284 und so fort adressiert werden, speichert die CPU 200 diese Ordnung und steuert die RCU 276 so, daß sie die Zellspeicher in dieser Reihenfolge ausliest.

Dieses System wird auf ein wahlfreies System bezogen. Dieses wahlfreie System ist darin vorteilhaft, daß die Zellspeicher willkürlich adressiert werden können, sogar wenn die Punktmusterwandlung für die einzelnen Zelldaten verschiedene Berechnungszeit benötigt.

Die sequentiellen Systme und die wahlfreien Systeme können geeignet kombiniert werden. In der vorgenannten Beschreibung sind drei Zellspeicher in jeder Gruppe .enthalten, tfnd.es ist möglich, falls erforderlich, die Anzahl zu steigern. Es ist auch möglich, die Zeichengeschwindigköit weiter zu vergrößern durch Vorsehen von Mehrfachgrüppeh der PPU, FG und WCU in jeder der Punktmusterwandlereinrichtungen 262 und 266. 35

i"igi 9 zeigt weiter ein anderes Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung und veranschaulicht an einem

Blockdiagraimn, das ein Zeichens teuer sy stem darstellt, das zwei Punktmusterdatenwandlereinrichtungen (DPCU) 294 und 296 besitzt. In Fig. 9 wird eine Zeichenschaltung 298 an eine Steuerung CPU 300 über den CP-Bus geschaltet, und die zusammengefaßten Daten, die in einem Hauptspeicher (MM) 304 innerhalb der Steuerung CPU

;."' gespeichert werden, werden zeitlich in einem Zelldatenspeicher (DM) 306 über die DMA Steuerung 308, dem CP-Bus 302, der DMA Schnittstelle 310 und dem CP-Bus 312 gespeichert. Der Steuerbus und der Datenbus in Fig. 9, die jeden Block verbinden, werden als ein einzelner Grundbus gezeigt. Der CP-Bus 312 ist mit den zwei Punktmusterdatenwandlereinrichtungen 294 und 296 verbunden und liefert die Zelldaten für die Berechnung zu den Punktmusterdatenwandlereinrichtungen 294 und 296.

Die DPCU's 294 und 296 werden mit den Zellspeichern 314 bis 324 über die Schreibsteuerbusse (Y/CU-Bus) 326 und 328 verbunden, und die Punktmusterdaten werden so für jede Zelle, die mit den DPCU¹S 294 und 296 verarbeitet werden, mit den oben erwähnten Bussen WCU-Bus 326 und 328 zugeführt und in einem beliebigen Zellspeicher 314 bis 324 gespeichert. Die Punktmusterdaten, die in den Zellspeichern gespeichert werden, werden mit der Lesesteuereinheit 330 in serielle Daten umgeformt und dann dem Strahlscanner 110 zugeführt.

Fig. 10 veranschaulicht ein Diagramm, das den Datenfluß von dem Hauptspeicher 304 der CPU 300 zu der Lese-Steuereinheit (RCU) 330 zeigt. In Fig. 10 sind die Zelldaten Nr. 1, Nr. 2, ... Nr. 10, linkgs gezeigt, zusammengefaßte parametrische Daten, und die Ziffer bezeichnet die Reihenfolge der zu zeichnenden Zellen. Alle Zelldaten in dem Hauptspeicher 304 werden mit der DMA Übertragung übertragen nach und gespeichert in dem Datenspeicher 306. AD1, AD2 und so fort, wie in Fig. 10 gezeigt, sind die Adressen, an welche die Speicherung der Daten für die

Zellen in dem Speicher 306 beginnt.

Nach Beenden der Datenwandlung für jede Zelle übertragen die Punktmusterdatenwandlereinrichtungen 294 5 oder 296 die Zelldaten zu den Speichern 314 bis 324, und die CPU 300 unterbricht dann. Als Folge der Unterbrechung bewirkt die CPU 300 Zelldaten in dem Datenspeicher 306, die zu den Wandlereinrichtungen 294 oder 296 übertragen werden sollen, welche den Unterbrechungsbefehl ausgegeben hat.

Die DPCU's 294 und 296 werden je mit Registern AC und BC ausgestattet« Die Register AC speichern die Startadresse AD1 von allen Zelldaten,, welche von dem Datenspeicher 306 zu den DPCU's 294 und 296 zugeführt werden» Die Register BC speichern einen Code zum Erkennen, welcher der Zellspeicher 314 bis 324 Punktmusterdaten von den Wandlereinrichtungen DPCU 294 oder 296 empfangen soll.

Die in den Registern AC und BC gespeicherten Daten werden von der CPU 300 zugeführt. Die Lesesteuereinheit 330 liest aufeinanderfolgend die Punktmusterdaten aus, die in den Zellspeichern 314 bis 324 gespeichert sind, setzt die Daten in serielle Daten um und liefert die seriellen Daten an den Strahlscanner 110.

Zahlreiche Methoden können für das Ordnen des Lesens der Punktmusterdaten von den Zellspeichern 314 bis 324 angewendet werden. Die Punktmusterdaten müssen von den Speichern 314 bis 324 in einer Reihenfolge entsprechend der Ordnung der Zelldatennummern Nr. 1_r Nr. 2, Nr. 3, und so fort in dem Hauptspeicher 304 der CPU 300 ausgelesen werden. Zahlreiche Verfahren werden nachfolgend weiter beschrieben.

• ■

• *

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Wenn nach einer ersten Methode ein Unterbrechungsbefehl mit der Punktmusterdatenwandlereinrichtung oder 296 ausgegeben wird, bewirkt die CPU 300 um zu speichern, in den Registern AC und BC der unterbrechenden DPCU beide, die Leitadresse der nächsten Zelle, die von dem Datenspeicher 306 ausgelesen werden soll und welchen der Datenspeicher 314 bis 324 die Punktmusterdaten zugeordnet werden sollen. Wenn die Daten für die Register AC und BC von der CPU 300 gesendet werden, werden diese Daten auch über den CP-Bus 332 (Fig. 9) in der Banktabelle BT gespeichert, welche als ein Register in der RCU 330 arbeitet. Die Fig. 11 und 12 zeigen zwei Musterinhalte der Banktabelle BT, welche die Zeilspeichernummer zeigt, die der Zellspeicherdatennummer entspricht, die mit der CPU 300 gegeben wird und die RCU 330 spezifiziert so aufeinanderfolgend den geeigneten Zellspeicher mit Bezug auf die Tabelle BT, so wie die Punktmusterdaten von dem spezifizierten Zellspeicher empfangen werden.

In einer zweiten, wie in Fig. 9 gezeigten Methode, kennzeichnet der Steuerbereich CNTAR von jedem Zellspeicher 314 bis 324 die Anzahl der nächsten Zellspeicher zum Speichern der Daten von der Punktmusterwandlereinrichtung 294 oder 296 aufeinanderfolgend in jenem Zellspeicher. Folglich kann die RCU 330 die Zellspeicher aufeinanderfolgend durch Prüfen der Nummer der Zellspeicher, die als nächste in dem Steuerbereich CNTAR von jedem Zellspeicher ausgelesen werden sollen, spezifizieren. In diesem Beispiel sind die Banktabelle BT und der CP-Bus 332 nicht erforderlich.

In Fig. 13 wird ein Zellspeicher, typisch den Zellspeichern 314 bis 324 gezeigt, welcher mit einem Steuerbereich CNTAR ausgestattet ist, in welchem die nächste auszulesende Speicherzelle gespeichert werden kann, sowie Daten zum Umkehren des Lesens der Zellspeicheradresse

und Umkehren der Zeichnung, in welcher der Elektronenstrahl an und aus ist.

Ein drittes Verfahren wird mit Bezug auf Fig, 9 beschrieben. Eine Anordnung kann so errichtet werden, daß nachdem die Berechnung mit der DPCU 294 oder 296 vervollständigt wurde,, die DPCU 294 oder 296 einen Zellspeicher prüft und spezifiziert,, welcher noch keine Punktmusterdaten besitzt, bevor das Ergebnis der Berechnung zu einer der Zellspeicher 314 bis 324 übertragen

wird. Nummern, die die leeren Zellspeicher kennzeichnen, ****■ werden aufeinanderfolgend in der oben erwähnten Banktabelle BT gespeichert, wie mit den gestrichelten Linien von der DPCU 294 und 296 zu dem CP-Bus 332 gezeigt. Verglichen mit den oben erwähnten ersten und zweiten Verfahren, kann das Laden auf der CPU 300 leicht reduziert werden.

In einem vierten Verfahren, welches keine Banktabelle BT₅, DPCU 294 oder 296 verwendet, wird geprüft, welcher der Zellspeicher 314 bis 324 leer ist. Dann wird in den Steuerbereich CNTAR des Zellspeichers eingeschrieben;, der gerade eine Anzeige des nächst zu erfüllenden Zellspeichers eingibt.
^ ₂₅ -

Fig. 14 ist ein Zeitdiagramm, das die Arbeitsweise der CPU 300 in dem vorgenannten ersten Verfahren veranschaulicht.

Diese Figur zeigt das Zeitintervall, während welchem die Punktmusterdatenwandlereinrichtungen 294 und 196 und die Lesesteuereinheit 330 mit den spezifizierten Zellspeichern aufeinander einwirken. Die schraffierten Anteile kennzeichnen einen Wartezustand.

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Angenommen, daß das Zeichnen mit der Zeit T beginnt, wurden die DPCU¹s 294 und 296 gleichzeitig die in jedem

Zellspeicher speichernden Punktmusterdaten, wie in dieser Figur gezeigt, berechnen. Im Detail, wenn die Zelldaten, die in den Zellspeichern nach den in Fig. 11 gezeigten Mustern gespeichert werden sollen, gibt die CPU 300 einen GO-Befehl zu der Zeit Tq als Antwort eines Unterbrechungsbefehls von der DPCU 294 aus, damit die Zelldaten 1 zu der DPCU 294- gegeben werden. In der gleichen Zeit speichert die CPU 300 eine Anzeige des Zellspeichers 314 in dem Register BC der DPCU 294 und gibt dem Register AC in

O der DPCU 294 die Startadresse, die die Adresse des Datenspeichers 306 kennzeichnet, wo die Daten für die Zelle 1 zu speichern sind. Die DPCU 294 wandelt aufeinanderfolgend die Zelldaten 1 in Punktmusterdaten um. Ebenso richtet die CPU 300 die DPCU 296 auf die berechneten Daten für die Zelle 2. Für diesen Zweck gibt die CPU dem Register BC in der DPCU 296 eine Anzeige, die den Zeil- ·. speicher 316 zum Speichern der Daten aus der Zelle 2 als Punktmusterdaten betrifft.

wie in Fig. 14 gezeigt wird, wenn die DPCU 294 die Zelldaten 1 verarbeitet hat, ein Unterbrechungsbefehl b zu der CPU 300 gegeben. Weil die Daten aus Zelle 2 verarbeitet worden sind, sendet die CPU 300 Daten, die sich auf die .Adresse in dem Datenspeicher 306 der Daten für Zelle 3 beziehen und eine Anzeige, die sich auf den Zellspeicher 318 bezieht zu den Registern AC bzw. BC, damit die DPCU 294 die Zelldaten 3 verarbeiten wird. Nach Beenden der Verarbeitung der Zelldaten 3 wird in ähnlicher Weise ein Unterbrechungsbefehl c ausgegeben.

weil die DPCU 296 immer noch die Daten aus der Zelle 2 verarbeitet, gibt die CPU 300 notwendige Daten zum Verarbeiten der Zelldaten 4 an die DPCU 294. Nach Beenden der Verarbeitung der Zelldaten 4 wird ein Unterbrechungsbefehl d ausgegeben. Weil die DPCU 296 die Zelldaten 2 verarbeitet, werden die Zelldaten für die DPCU 294 gekennzeichnet.

Wenn als nächstes ein Unterbrechungsbefehl e ausgegeben wird, bevor die Verarbeitung der Zelldaten 5 abgeschlossen wurde, adressiert die CPU 300 die DPCU 296, die Zelldaten 6 zu verarbeiten«

Dann wird ein Unterbrechungsbefehl f durch die DPCU 294 ausgegeben, bevor die Verarbeitung der Zelldaten 6 abgeschlossen wurde, und die CPU 300 kennzeichnet die Zelldaten 7 für die DPCU 294. Zu dieser Zeit wird eine Anzeige für den Zellspeicher 314 in dem Register BC der DPCU 294 gespeicherte Wenn_s nachdem ein Unterbrechungsbefehl g ausgegeben wird, kennzeichnet die CPU 300 die Zelldaten 8 für die DPCU 296 und speichert eine Anzeige des Zellspeichers 316 im Register BC der DPCU 296 „ ¥eil die zu zeichnenden Punktmusterdaten in allen Zellspeichern 314 bis 324 gespeichert werden, werden die ZeIldaten 7 und 8 nicht verarbeitet, und die Vorrichtung erwartet den Start der Zeichnung»

Die Zeichnung wird zu der Zeit T gestartet und nachdem die RCU 330 die Punktmusterdaten aus dem Zellspeicher 314 ausgelesen hat, führt die DPCU 294 die Verarbeitung für die Zelldaten 7 aus, speichert die Ergebnisse in dem Zellspeicher 314»

Wenn die Inhalte des Zellspeichers 316 vollständig ausgegeben wurden, führt die DPCU 296 die Verarbeitung für die Zelldaten 8 aus, damit die Ergebnisse in dem Zellspeicher 316 gespeichert werden. Wenn als nächstes ein Unterbrechungsbefehl h durch die DPCU 294 ausgegeben wird, kennzeichnet die CPU 300 die Zelldaten 9 für die DPCU 294, um sie in dem Zellspeicher 318 zu speichern» Weil der Zellspeicher 318 bisjetzt noch nicht vollständig ausgelesen wurde, wartet die DPCU 294. Nach Beenden des Leseverfahrens, werden die Zelldaten 9 in der DPCU 294 verarbeitet. Dieses Verfahren läuft wie gezeigt ununterbrochen ab. Die benötigte Zeit zum Zeichnen jeder Zeile iät gleich.

Fig. 15 zeigt ein Flußdiagramm, das die Ablaufbefehle erläutert, die mit der CPU 300 zu der DPCU 294 und der DPCU 296 ausgegeben werden. In der Figur werden der n-Zähler und der N-Zähler in der CPU 300 in dem Schritt 334 mit n=1 und N=1 vorab bestimmt, wobei "n" und "N" den Index kennzeichnen, der dem Zellspeicher "Mn" und der Adresse "AD»/' entspricht. Für dieses Flußdiagramm wird jeder Zellspeicher 314 bis 324 als einer der Zellspeicher M1 bis M6 betrachtet. Dann werden im Schritt 336 die Register BC und AC der DPCU 294 auf Mn bzw. AD_n gesetzt. Als nächstes wird im Schritt 338 ein GO-Befehl, d.h. ein Rechenbefehl, an die DPCU 294 ausgegeben. In Schritt 340 werden der η-Zähler und der N-Zähler schrittweise weitergeschaltet. Weiter werden in Schritt 324 Mn und AD_n entsprechend dem neuen η und N in den Registern BC und AC der DPCU 296 gespeichert. In Schritt wird ein GO-Befehl, d.h. ein Rechenbefehl, an die DPCU 296 ausgegeben. In Schritt 346 werden der n-Zähler und der N-Zähler schrittweise wieder weitergeschaltet. Die CPU 300 wartet dann auf eine Unterbrechung.

Wenn ein Unterbrechungsbefehl von der DPCU 294-296 empfangen wird, bestimmt die CPU 300 welche DPCU den Unterbrechungsbefehl im Schritt 348 ausgegeben hat.

Wenn die Unterbrechung durch die DPCU 294 ausgegeben wird, werden die Register BC und AC der DPCU 294 auf Mn und AD_n im Schritt 350 gesetzt. Dann wird im Schritt ein GO-Befehl an die DPCU 294 gegeben. Wenn die Unterbrechung durch die DPCU 296 ausgegeben wird, werden die Register BC und AC der DPCU 296 auf Mn bzw. AD_n im Schritt 354 gesetzt. Dann wird im Schritt 356 ein GO-Befehl an die DPCU 296 gegeben. Dann werden η und N im Schritt 346 schrittweise zunehmen.

Die Fig. 14 und 15 wurden mit Bezug auf Fig. 11 erläutert. Die Zellspeicher können jedoch entsprechend allen

Zelldaten in Fig. 11 in jeder anderen Reihenfolge, wie vorausgehend erwähnt, gekennzeichnet werden» Die Inhalte der Banktabelle BT der RCU werden in einem anderen Beispiel in Fig. 12 gezeigt.
5

In dem Beispiel nach Figo 9 muß jede Speicherzelle mit Eingangskanälen für den WCU-Bus 326 und den WCU-Bus 328 ausgebildet werden. Dies kann durch Einteilen der Zellspeicher in zwei Gruppen, wie in Fig. 6 angezeigt, umgangen werden«.

Obwohl die Fig. 9 und 16 Beispiele zeigen, die zwei Punktmusterwandlereinrichtungen besitzen, kann schnelleres Zeichnen durch Bereitstellen von mehr Wandlereinrichtungen und ebenso mehr Zellspeichern erreicht werden. Wie in Fig. 14 gezeigt, werden die Zelldaten 1 bis 6 mit den Zellspeichern 314 bis 324 verknüpft„ bevor das Zeichnen gestattet wird, und in diesem Fall kann eine Anordnung gebildet werden, damit die Zellspeicher anstatt des Vorsehens der Banktabelle BT in der RCU 330 mit einem Sechsstufenzähler gekennzeichnet werden»

Gemäß der oben beschriebenen vorliegenden Erfindung ermöglicht das Vorsehen-der BT in der RCU 330 das beliebige Kennzeichnen der Zellspeicher 314 bis 324, sogar wenn die Umwandlung in die Punktmusterdaten verschiedene Zeit benötigt, die von der Menge der Daten in jeder Zelle abhängt. Ferner kann nach der vorliegenden Erfindung der Steuerbereich in jedem Zellspeicher mit Informationen über den nachfolgenden Zellspeicher mit der CPU 300 versehen werden. Die RCU kann bezogen auf die Informationen in dem vorausgehenden Zellspeicher den nächst zu lesenden Zellspeicher bestimmen. In diesem Fall können die Informationen für den Speicherzellsteuerbereich mit der CCPU oder mit der DPCU selbst (gegebenenfalls in Verbindung mit der CPU) erzeugt werden. Dann ist die

Banktabelle BT nicht erforderlich, weshalb sich in vorteilhafter Weise eine einfache System- oder Vorrichtungsstruktur ergibt.

Weiter verwendet die vorliegende Erfindung mehrere von Punktmusterwandlereinrichtungen, welche in einer mehrfachen Form so vorliegen, um für die Berechnung abwechselnd benutzt zu werden. Die resultierenden Punk'tmusterdaten werden in den Zellspeichern gespeichert, welche in einer sequentiellen, wahlfreien oder Kombinationsform adressiert werden, und die LeseSteuereinheit RCU liest die Punktmusterdaten, die in jeder Punktmusterwandlereinrichtung gespeichert sind, in der Reihenfolge der Zellspeicher aus. Die Punktmuster können so, verglichen mit dem bekannten System, wesentlich schneller gelesen werden, und die Zeichengeschwindigkeit kann so gesteigert werden.

Die vorliegende Erfindung beschränkt sich nicht nur auf die Beschreibung der bevorzugten Ausführungsbeispiele, und deshalb sind zahlreiche Änderungen und Variationen in den Ausführungsbeispielen möglich, ohne daß der Bereich der Ansprüche überschritten wird.

Claims

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Patentanwälte¹;; ·;

Beicliel u. Reiglido

Parkstraße 13
6000 Frankfurt a. M. 1

TOSHIBA KIKAI KABUSHIKI KAISHA, Tokio, Japan

My Elektronenstralilzeichensteuervorrichtungj gekennzeichnet durch

eine erste Speichereinrichtung zum Speichern von Parametern, die die zu zeichnenden Figuren darstelleng Punktmusterwandlereinrichtungen zum aufeinanderfolgenden Auslesen der Parameter von der ersten Speichereinrichtung und zum Erzeugen von Punktmusterdaten, die den Figuren entsprechen;

zweite Speichereinrichtungen zum Speichern von Punktmusterdaten_t die mit den mehreren Punktmusterwandlereinrichtungen erzeugt werden5 und

Lesesteuereinrichtungen zum Auslesen der Bfusterdaten von den zweiten Steuereinrichtungen in derselben Ordnung,, wie die Punktmusterdaten gespeichert wurden. " 20
2. Vorrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß weiter enthalten sind

eine Zentralverarbeitungseinhelt» welche einen Hauptspeicher besitzt^ der eine Gruppe von Parametern speichert „ die die Figuren repräsentieren;

ein Steuerbus, der die Steuerverarbeitungseinheit, die Punktmusterwandlereinrichtungen und die Lesesteuereinrichtungen zusammenschalten

Direktspeicherzugriffseinrichtungen zum Entnehmen von Daten aus dem Hauptspeicher%

Einrichtungen, die die Direktspeichereinrichtungen und die Punktmusterwandlereinrichtungen zusammenschaltenj ein Lesebus, der die Steuereinrichtung und die zweiten Speichereinrichtungen verbindet5 und

ein Schreibbus j, der die Punktwandlereinriclitungen und die zweiten SpeiehereinriehtimgüB verbindet»
3. Vorrichtung nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet, daß der Schreibbus mehrere Busse enthält, wobei jeder der Busse mit einer der Punktmusterwandlereinrichtungen bzw. mit einer Untergruppe der zweiten Speichereinrichtungen verbunden ist.
4. Vorrichtung nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet, daß die Lesesteuereinheit Banktabelleinrichtungen zum Speichern von Information enthält, die die Ordnung betreffen, mit welcher die Lesesteuereinrichtung alle in den zweiten Steuereinrichtungen gespeicherten Punktmusterdaten ausliest.
5. Vorrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß weiter enthalten sind,

eine Zentralverarbeitungseinheit, welche einen Hauptspeicher besitzt, der eine Gruppe von Parametern speichert, die die Figuren repräsentieren;

Direktspeicherzugriffseinrichtungen zum Entnehmen von Daten aus dem Hauptspeicher;

CP Buseinrichtungen, die die Direktspeicherzugriffseinrichtungen und die erste Speichereinrichtung zusammenschalten;

Parameterbuseinrichtungen, alle zum Verbinden der ersten Speichereinrichtung, mit je einer der Punktmusterwandlereinrichtungen;

Schreibbuseinrichtungen, alle zum Verbinden einer der Punktmusterwandlereinrichtungen mit einer Untergruppe der zweiten Speicher; und

Lesebuseinrichtungen, die die zweiten Speiehereinrichtungen und die Lesesteuereinheit verbinden.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5,
dadurch gekennzeichnet, daß die erste Speichereinrichtung mehrere Datenspeicher enthält, wobei jeder Datenspeicher mit den CP Buseinrichtungen und mit einer der Parameterbuseinrichtungen verbunden wird.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6,
dadurch gekennzeichnet,, daß für jeden der Datenspeicher eine zugehörige Punktmusterwandlereinrichtung und eine zugehörige Untergruppe der zweiten Speichereinrichtungen auf einer gedruckten Schaltungsplatine befestigt sind, welche Verbindungsteile zu den CP Buseinrichtungen und der Leseeinrichtung besitzen.
8. Vorrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß weiter enthalten sind,

eine Steuereinheit, die mit einer ersten Speichereinrichtung zum Speichern von Parametern ausgestattet ist, die die zu zeichnenden Figuren repräsentieren;

zweite Speichereinrichtungen zum Speichern der Parameter ;

eine Datenübertragungseinrichtung zum Zusammenschalten der ersten und zweiten Speichereinrichtungj

Punktmusterdatenwandlereinrichtungen zum Erzeugen von Punktmusterdaten, die den Figuren in jeder der mehreren Zellen entsprechen, durch aufeinanderfolgender, Auslesen der Parameter aus den zweiten Speichereinrichtungen;

Buseinrichtungen zum Zusammenschalten der Steuerung, der zweiten Speichereinrichtungen und der Punktmusterdatenwandlereinrichtungen;

wobei die Steuerung die Einrichtungen zum Geben einer Startadresse der Parameter, die in den zweiten Speichereinrichtungen gespeichert v/erden, an eine der Punktmusterdatenwandlereinrichtungen enthält, wenn die eine Punkt-

musterdatenwandlereinrichtung einen Befehl ausgibt, wodurch die eine Wandlereinrichtung die entsprechenden Parameter aus den zweiten Speichereinrichtungen übereinstimmend mit der Startadresse liest; dritte Speichereinrichtungen zum Speichern der Punktmusterdaten für jede Zelle, die mit den Punktmusterdatenwandlereinrichtungen erzeugt werden; und

Lesesteuereinheiten zum Auslesen der Punktmusterdaten aus den dritten Speichereinrichtungen und zum Umwandeln der Punktmusterdaten in serielle Daten.
9. Vorrichtung nach Anspruch 8,

dadurch gekennzeichnet, daß

die dritten Speichereinrichtungen mehrere Zellspeieher enthalten, die in Untergruppen unterteilt sind; und daß

die Vorrichtung weiter einen Schreibsteuerbus enthält, der zwischen jede der ZeilSpeicheruntergruppen und eine der Punktmusterdatenwandlereinrichtungen geschaltet ist, damit jede der Punktmusterdatenwandlereinrichtungen eine der ZeilSpeicheruntergruppen benutzt.
10. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die dritten Speichereinrichtungen mehrere Zellspeicher enthalten,

jede der Punktmusterdatenwandlereinrichtungen mit vierten Speichereinrichtungen zum Speichern von zellspeicherbezeichnenden Informationen ausgestattet ist, welche einen der Zellspeicher kennzeichnen; und daß

die Lesesteuereinheit mit Banktabelleinrichtungen zum aufeinanderfolgenden Speichern von zellspeicherbezeichnenden Informationen ausgestattet ist, die von der Steuerung zu jeder der vierten Speichereinrichtungen in jeder der Punktmusterdatenwandlereinrichtungen zugeführt werden, wodurch die Lesesteuereinheit die Banktabellspeichereinrichtungen aufeinanderfolgend für bezeichnete Zellspeicher ausliest.
11. Vorrichtung nach Anspruch 8,
dadurch gekennzeichnet_s daß die dritten Speichereinrichtungen mehrere Zellspeicher enthalten; daß jede der Punktmusterdatenwandlereinrichtungen eine leere einzelne der Zellspeicher kennzeichnet, von welcher schon alle Daten ausgelesen wurden, wenn die Wandlereinrichtung die Umwandlung für eine Zelle beendet, speichert das Ergebnis der Umwandlung entsprechend der nachfolgenden Zelle in dem gekennzeichneten Zellspeicher und liefert aufeinanderfolgend bezeichnende Informationen, die den gekennzeichneten Zellspeicher betreffen zu der Lesesteuereinheit und daß die Lesesteuereinheit mit Banktabellspeichereinrichtungen zum Speichern zellspeicherbezeichnender Informationen ausgestattet ist, die mit den Punktmusterdatenwandlereinrichtungen gegeben werden.
12« Vorrichtung nach Anspruch 1I₁,

dadurch gekennzeichnet, daß die dritten Speichereinrichtungen mehrere Zellspeicher enthalten;

mehrere Punktmusterdatenwandlereinrichtungen an wenigstens einige der Zellspeicher geschaltet werden; und daß

jede der ¥andlereinrichtungen bestimmt, welcher der Zellspeicher leer ist und die Punktmusterdaten in den leeren Zellspeicher einspeichert«,
13. Vorrichtung nach Anspruch 8,
dadurch gekennzeichnet, daß die dritten Speichereinrichtungen mehrere Zellspeicher enthalten und daß jede der Zellspeicher Einrichtungen zum Speichern der zellspeicherbezeichnenden Information enthalten, die diejenigen der Zellspeicher betreffen, die als nächste mit der Lesesteuereinheit ausgelesen werden.
14. Vorrichtung nach Anspruch 13» dadurch gekennzeichnet, daß die Steuerung jede der Punktmusterdatenwandlereinrichtungen mit der Startadresse für die Parameter von jeder Zelle, zellspeicherbezeichnende Informationen zum Speichern des Umwandlungsergebnisses der Parameter liefert und daß die folgende zellspeicherbezeichnende Information anzeigt, welcher der Zellspeicher als nächstes zu lesen ist.
10
15. Vorrichtung nach Anspruch 8,
dadurch gekennzeichnet, daß die dritten Speichereinrichtungen mehrere Zellspeicher enthalten und daß die Steuerung für jede der Punktmuster-Wandlereinrichtungen die Startadresse und zellspeicherbezeichnende Informationen kennzeichnet, die anzeigen, in welchem der Zellspeicher das Umwandlungsergebnis für Zelldaten gemäß der Startadresse gespeichert werden soll, bevor ein Zeichenvorgang startet und Punktmusterdaten in allen der Zellspeicher speichert und daß die Lesesteuereinheit mit einer Einrichtung zum Zurückhalten der Sequenz der Zellspeicher ausgestattet ist, welche mit der Steuerung gekennzeichnet wurden, bevor ein Zeichenvorgang startet, wodurch die Lesesteuereinheit aufeinanderfolgend die Zellspeicher mit bezug auf die Rückhalteeinrichtung ausliest, nachdem ein Zeichenvorgang gestartet wurde.
16. Vorrichtung nach Anspruch 15» dadurch gekennzeichnet, daß die Rückhalteeinrichtung einen Zähler enthält, welcher bis zu einer Ziffer gleich zu der Anzahl der Zellspeicher zählt, wobei der Zähler jedesmal beim Lesen von einem Zellspeicher, der vervollständigt wurde, schrittweise weitergeschaltet wird.