DE3204851A1 - Magnetisches aufzeichnungsmaterial - Google Patents
Magnetisches aufzeichnungsmaterialInfo
- Publication number
- DE3204851A1 DE3204851A1 DE19823204851 DE3204851A DE3204851A1 DE 3204851 A1 DE3204851 A1 DE 3204851A1 DE 19823204851 DE19823204851 DE 19823204851 DE 3204851 A DE3204851 A DE 3204851A DE 3204851 A1 DE3204851 A1 DE 3204851A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- magnetic
- magnetic recording
- recording material
- film
- thin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims description 74
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims description 33
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 19
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 19
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 claims description 17
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 claims description 15
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 12
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052688 Gadolinium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052777 Praseodymium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052772 Samarium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 description 14
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 9
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 6
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 5
- -1 Polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 4
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 4
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 4
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 3
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 3
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 3
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910020634 Co Mg Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 2
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 2
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002284 Cellulose triacetate Polymers 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000861 Mg alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018505 Ni—Mg Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N Vinyl chloride Chemical compound ClC=C BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000009754 Vitis X bourquina Nutrition 0.000 description 1
- 235000012333 Vitis X labruscana Nutrition 0.000 description 1
- 235000014787 Vitis vinifera Nutrition 0.000 description 1
- 240000006365 Vitis vinifera Species 0.000 description 1
- 235000010724 Wisteria floribunda Nutrition 0.000 description 1
- NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N [(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5-diacetyloxy-3-[(2s,3r,4s,5r,6r)-3,4,5-triacetyloxy-6-(acetyloxymethyl)oxan-2-yl]oxy-6-[(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5,6-triacetyloxy-2-(acetyloxymethyl)oxan-3-yl]oxyoxan-2-yl]methyl acetate Chemical compound O([C@@H]1O[C@@H]([C@H]([C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O)O[C@H]1[C@@H]([C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@@H](COC(C)=O)O1)OC(C)=O)COC(=O)C)[C@@H]1[C@@H](COC(C)=O)O[C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004061 bleaching Methods 0.000 description 1
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 229910052743 krypton Inorganic materials 0.000 description 1
- DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N krypton atom Chemical compound [Kr] DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001004 magnetic alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011572 manganese Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 description 1
- GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N neon atom Chemical compound [Ne] GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 1
- 229920005749 polyurethane resin Polymers 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 229910052704 radon Inorganic materials 0.000 description 1
- SYUHGPGVQRZVTB-UHFFFAOYSA-N radon atom Chemical compound [Rn] SYUHGPGVQRZVTB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 239000006104 solid solution Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229920003048 styrene butadiene rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 1
- 239000011364 vaporized material Substances 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/64—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
- G11B5/65—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent characterised by its composition
- G11B5/657—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent characterised by its composition containing inorganic, non-oxide compound of Si, N, P, B, H or C, e.g. in metal alloy or compound
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/851—Coating a support with a magnetic layer by sputtering
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F41/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
- H01F41/14—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying magnetic films to substrates
- H01F41/20—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying magnetic films to substrates by evaporation
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10S428/90—Magnetic feature
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/26—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
- Y10T428/263—Coating layer not in excess of 5 mils thick or equivalent
- Y10T428/264—Up to 3 mils
- Y10T428/265—1 mil or less
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/31504—Composite [nonstructural laminate]
- Y10T428/31678—Of metal
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
WIhGAHD ΝΙΕΜΛΝΝ
K(DiUt-R GtRNHARDT GlAtSRR
MÖNCHEN 1Z
TFIfION: 0S9-y. M 70/7
(19;2-H80) ' TELEXl !.29068 KARPD
DR. M. KOHLER
DIPL-ING. C. GERNHARDT
HAMBURG
DIPL.-ING. J. GLAESER '
. ' D-8000 MÖNCHEN*
OF COUNSEL
11. Februar 1982
W. 44137/82 - Ko/He
Fuji Ptioto PiIm Co., Ltd.
Minaiui, Ashigara-SM, Kanagwa, Japan
Magnetisches Aufzeichnungsmaterial
Die Erfindung betrifft ein magnetisches Aufzeichnungsmaterial unter Anwendung einer ferromagnetischen Meta11-•
schicht als magnetische Aufzeichnungsschicht, insbesondere ein magnetisches Aufzeichnungsmaterial mit guten magnetischen
Eigenschaften und geringem Geräusch.
.Die meisten üblichen magnetischen Aufzeichnungsma- .
terialien sind vom Überzugstyp, welche'Dispergierung von
Teilchen magnetischer Oxide wie y-Fe?0·,, mit Co dotiertem
γ-FepO-T, Fe-zO,, mit Co dotiertem Fe-O-, Berthollitverbindüngen
von γ-FepO., und Fe-^O, und CrO9 oder ferromagnetischen
Legierungen wie Co-Fe-Cr in einem organischen Binder, wie einem Vinylchlorid/Vinylacetat-Copolymeren, Styrol/Butadien-Copolymeren,
Epoxyharzen oder Polyurethanharz, Auftragung der erhaltenen Überzugslösung auf einennichtmagnet.ischen
Träger und Trocknung des Überzuges hergestellt wurden. Aufgrund der in den.letzten Jahren eingetretenen Erhöhungen
des Bedarfes für eine höhere Aufzeichnungdichte richtete
sich die Forschung jedoch auf binderfreie magnetische Auffleichnungematerialien,
die frei von irgendeinem organischen Binder sind und bei denen als magnetische Aufzeichnungsschicht
ein dünner ferromagnetischer Metallfilm verwendet wird, welcher durch Dampfabscheidung wie Vakuumabscheidung
Aufsprühen, Ionenpiattierung oder chemische Dampfabscheidung
(CVD) oder Plattierung wie Elektroplattierung oder stromfreie Plattierung hergestellt A^urde. Versuche wurden
auch unternommen, derartige Materialien im technischen oder wirtschaftlichen Gesichtspunkt herzustellen.
Die meisten üblichen magnetischen Aufzeichnungsmaterialien
vom Übersugstyp verwenden ein magnetisches Material, welches hauptsächlich aus einem Metalloxid mit einer
kleineron Gattigiingsmagnetisierung als ferromagnetischen
Metallen besteht. Deshalb kann die magnetische Aufzeichnungsschicht,
welche so dünn als möglich für eine Aufzeich-
nung von höherer Dichte se"1"η muß, nicht dünner alu ;;u einem
"bestimmten Vert gefertigt werden, jenneits dessen ein
AlDfall des Wiedergate-Outputs erfolgt. Als weiterer Hn chteil
umfaßt das Verfahren zur Herstellung dieser Art von Aufzeichnungsmaterialien komplizierte Stufen sowie große
getrennte Geräte für die Lösungsraittelrück^vinmÄng odor
die Vers chmutzungs "bekämpf ung. Ein Vorteil des "binderfreien
magnetischen Aufzeichnungsmaterials "besteht darin, daß eine für eine Aufzeichnung hoher Dichte erforderliche sehr dünne
magnetische Aufzeichnungsschicht unter Anwendung eines ferromagnetischen Metalls mit einer größeren Sättigungsmagnetisierung als den Magnetoxiden ohne Anwendung eines
nichtmagnetischen Materials wie eines organischen Binders
hergestellt werden kann. Ein weiterer Vorteil liegt darin, daß diese Art des Aufzeichnungsmaterials viel einfachcr
hergestellt werden kann,' als ein magnetisches Aufzeichnungsmaterialvom
Überzugstyp.
Es wurden Untersuchungen hinsichtlich der Herstellung von "binderfreien Aufzeichnungsmaterialien durch Dampfa"bscheidung
oder Ionenplattierung unternommen, da im Gegensatz zu Lösungspiattierbehandlungen diese Verfahren keine
Ahflußhehandlung erfordern, und"trotzdem einfachere Verfahren
umfassen und Filme der gewünschten Stärke durch Anwendung einer speziellen Kondensationsgeschwindigkeit (ATdscheidungsgeschwindigkeit)
TDÜden können. Verschiedene Verfahren zur Dampfabscheidung sind zur Herstellung von Mngnetfilmen
mit der für ein gutes magnetisches Aufzeichnnngnraaterial
erforderlichen Koerzitivkraft und Rechteckverhältnis
"bekannt und drei hiervon werden nachfolgend aufgeführt:
(1) Ein Verfahren zur Steuerung des Ausmaßes des Vakuums unter der Dampfahscheidungsgeschwindigkeit \vie es
in A.V. Davies u. Mitarbeiter, IEEE Trans. Magnetics,
Bd. JIAG-1, Nr. 4 (1965) S. 344 und der US-PS 3 787 ?37
■beschrieben ist,
(°) eine zwangsläufige Abscheidung, wobei Strahlen
des Dampfes eines ferronagnetischen Metalles auf ein SubijLv.'ib
in einen Win).el gerichtet werden,· wie in V/.J. Schule,
J. Appl. .Phys., Bd. 35 (1°64) S. ?55O und den US-PS 3 343
'3 und 3 34.0 <"o3 bekehrieben, und
(3) ein Verfahren zur Kondensierung des Dampfes eines
ferromagneti3chen Metalles auf einem Substrat auf Cu-Basis
unter Erhitzen, wie in der US-PS 4- 226 681 beschrieben.
Diese Verfahren erfordern jedoch zusätzlich Verfeinerungsverfahren,
da sie zur Bildung eines magnetischen Aufzeichnungsmaterials
mit den gewünschten magnetischen Eigenschaften nicht fähig sind. Sie umfassen komplizierte
Verfahren der Dampfabscheidung oder sie können lediglich
auf begrenzte Arten von Substraten angewandt werden.
Das lonenplattierverfahren kann einen Magnetfilm mit
einer großen Koerzitivkraft liefern, falls das angewandte Gas mit hohem Druck eingeführt wird. Der erhaltene Film
hat jedoch keine ausreichende Haftung an dem Substrat. Falls das Gas mit niedrigem Druck eingeführt wird, hat der erhaltene
Film eine sehr gute Haftung mit dem Substrat, jedoch sind seine magnetischen Eigenschaften so schlecht, da.?, ein
für die Praxis geeignetes magnetisches Aufzeichnungsmaterial nicht erhalten werden kann.
Ein binderfreies magnetisches Aufzeichnungsmaterial
:'!3 i-inter Anwendung eines dünnen ferronagnetischen Filmes
ergibt einen größeren Wiedergabeoutput als bei den übli- '
chen magnetischen AufKeichnungsmaterialien vom ÜberzugstyP>
jedoch besitzt er gleichfalls ein relativ hohes Geräusch, und das erhaltene S/N-Verhältnis (Signal-zu-GerauGch-Verhätnis)
ist nicht vollständig zufriedenstellend. Aus diesem Grund ist die Geräuschverringerung eine der
Aufgaben der laufenden Entwicklung von größte elin lisch-,geeigneten
binderfreien magnetischen "AufzelchnungRna tor inlien.
Eine Aufgabe der Erfindung "besteht in einem neuen
magnetischen Aufzeichnungsmaterial unter Anwendung ρίπο;;'
dünnen ferromagnetischen Metallftimes als nagnetinche Aufzeichnungsschicht,
Eine "weitere Aufgabe der Erfindung "besteht in einen ·
neuen hinderfreien magnetischen Aufzeichnungsraaterial mit
guten magnetischen Eigenschaften und niedrigem Geräusch.
Die Erfindung liefert somit ein magnetisches Aufzeichnungsmaterial mit einem dünnen auf einem nichtmagnetischen
Träger durch Dampfahscheidung oder Ionenplattierung ausgebildeten
ferromagnetischen Metallfilm, wo"bei dieser dün-•15
ne ferromagnetische Metallfilm auf der Basis von Oo ho ruht
und 0,05" bis 2,0 Gew.?« Mg enthält.
Im Rahmen umfangreicher Untersuchungen hinsichtlich der Herstellung von magnetischen Aufzeichnungsmaterialien
durch Dampfabscheidung oder Ionenplattierung wurde nun
gefunden, daß die magnetischen Eigenschaften des Materials verbessert -werden können und das Geräusch verringert werden
ka'nn, wenn ein dünner ferromagnetischer Metallfilm auf Co-•Basis
mit einem Gehalt von 0,05 bis 3,0 Gew.%"Mg angewandt
wird.
Im Rahmen der Beschreibung der Erfindung im einzelnen
kann der dünne ferromagnetische Metallfilm gemäß der Erfindung
nach an sich bekannten Verfahren der Vakuunabfscheidung
mit bekannten Apparaturen ausgebildet werden. Für Einzelheiten der Dampf absehe idungsverf ahrens viid beispielsweise.auf
L.H. Holland, Vacuum Deposition of Thin Films,
Chnpiaon & Hall Ltd., 1956; Handbook of Thin Film Technology,
L.I. Maissel & R. Glang, McGraw-Hill Co., 1970, verwiesen.
Das Ausmaß des Vakuums und die Kondensationsgeschwindigkeit
(Dampfabscheidungsgeschwindigkeit) "betragen vorzugsweise
weniger als 5 x 10 Torr und liegen "beziehungsweise im Bereich von 0,6 "bis 60/um/rain.
Ein magnetisches Aufzeichnungsmaterial mit "besseren
magnetischen Eigenschaften und niedrigerem Geräusch kann durch Bildung des dünnen Magnetfilmes gemäß der Erfindung
nach dem bekannten Verfahren der Zwangsabscheidung hergestellt werden, wie es in der US-PS 3 342 632 beschrieben
ist.
Der dünne Hagnetfilm gemäß der Erfindung kann auch durch Ionenplattierung beispielsweise entsprechend den
Verfahren der japanischen Patentveröffentlichung 8328/69 und der US-PS 3 329 601 unter Anwendung eines Gerätes erhalten
werden, welches mit einem Inertgas gefüllt ist und
—3 dessen Vakuumausmaß innerhalb des Bereiches von 10 bis
—1 —3 —2
10 Torr, vorzugsweise 5 x 10 bis 5 x 10 Torr bei
einer Gleichstromspannung liegt, die allgemein in Bereich von 0,1 bis 7 kV, vorzugsweise von 0,2 bis 5,0 kV, liegt.
Die für die lonenplattierung verwendeten Gase umfassen
Stickstoff, Helium, Neon, Argon, Krypton, Xenon und Radon.. Das Gleichstrom-Ionenplattierungsverfahren kann durch ein
?[j> lIochfreijuenzerregungB-Ionenplattieriingsverfaliren. entsprechend
der Japanischen Patentveröffentlichung 113733/74 ersetzt werden, wobei eine Hochfrequenzspannung angelegt
wird, während eine Spiralelektrode zwischen eine positiv geladene Dampfauelle und ein negativ geladenes Substrat in
—4 —3 einer Gasatmosphäre bei 10 bis 10 Torr angelegt wird,
so daß dadurch ein Hochfrequenzentladungsbereich zur Ioni-,
sierung der Dampfteilchen gebildet wird. Andere Alternativen
nind das Traubenionenplattierverfaliren entsprechend
β" -
der japanischen Patentanmeldung 33890/74 und dan in der
japanischen Patentveröffentlichuns 11-525/68, 34403/74
und 47910/74 beschriebene Ionenpiattierungsverfahren, wobei
ein Strom des verdampften Materials auf die Oberfläche
gerichtet wird, nachdem.dieser "bei Durchgang
. durch Elektronenstrahlen ionisiert wurde.
Dampf quellen für die Herstellung eines ferromagne.tischen
Metallfilaes durch Dampfabscheidung und lonenplattierung
sind Gemische, feste Lösungen oder Legierungen von Co und Mg, die allein oder in Kombination mit weiteren Elementen
■wie -Fe, Nl, Si, V, Y, La, Ce, Pr, Sm, Gd, Mn, Cu und Cr
verwendet werden können. Eine geringe Menge an nichtmetallischen Komponenten wie B, N, Q oder P können gleichfalls
in der Dampfquelle enthalten sein.
Das Substrat "besteht allgemein aus Kunststoffen wie
Polyäthylenterephthalat, Polyimiden, Polyäthylennaphthalat, Polyvinylchlorid, Triacetylcellulose und Polycarbonat.
Andererseits kann es 'auch aus nichtmagnetischen Metallen wie Aluminium, Kupfer, Messing oder rostfreiem Stahl oder
selbst aus anorganischen Substanzen wie Glas oder Keramiken gefertigt sein."Es können verschiedene Formen des Substrates
-verwendet werden, beispielsweise Bänder, Bögen, Karten,
Scheiben oder Trommeln. Die Stärke und die Gestalt des Substrates wird in geeigneter Weise in Abhängigkeit
'>>3 von dem spezifischen Gebrauchszweck des herzustellenden
magnetischen Aufzeichnungsmaterialo bestimmt.
Der dünne ferromagnetische Metallfilm gemäß der Erfindung,
der auf Co-Basis beruht, bedeutet, daß er mindestens 75 Gew.?o Co enthält. Er kann mehr als 75 Gew./'-Co
und 0,05 bis 3,0 Gew.^ Mg enthalten, wobei der Rest aus Fe, Ni, Si, V, Y, La, Ce, Pr, Sm, Gd, Mn, Cu oder Cr oder
Gemischen hieraus besteht. Die Zusammensetzung des Restes
wird durch den spezifischen Gebrauchszweck des magnetischen
Aufzeichnungsmaterials bestimmt. Der ferromagnetische
Metallfilm ist vorzugsweise etwa 0,02 bis 5/Ura, stärker
bevorzugt 0,05 bis 2/um, dick.
b Die vorliegende Erfindung wird nachfolgend im einzelnen
anhand der folgenden Beispiele beschrieben, die lediglich zur Erläuterung dienen, ohne die Erfindung zu
begrenzen.
Ein 23/um dickes Band einer Polyäthylenterephthalatfolie
wurde auf dem Substrathalter einer handelsüblichen Vakuumabscheidungsapparatur mit einer durch Elektronenstrahl
erhitzen Verdampfungsquelle befestigt, welche mit einer Co-Mg-Legierung beschickt war. Das Gerät wurde auf ■
[3 5 x 10 Torr evakuiert und der Co-Mg-Legierung wurde bei
500 8/sec zur Bildung eines Filmes von 0,15/um Dicke kondensiert
(Vakuumdampfabscheidung). Die Beziehung des Kg-Gehaltes
der Magnetschicht (Film), ihre magnetischen Eigenschaften und Geräuschniveau ergeben sich a.us der nachfolgenden
Tabelle I. Das Geräuschniveau \var dasjenige des
Massengeräusches des Bandes, welches auf einem Audiocassettenbanddeck
vom Philips-Typ ablaufen gelassen wurde.
— TT7 —
TaI)Gl | Te Γ | Geräusch | |
Magnetische | Eigenschaften | 15 | |
Mg-Gehalt d. Magnet schicht (Gew ,fo) |
Koerzitiv kraft (Oe) |
Rechteek- verhältnis |
18 |
O | 95 . | 0,80 | 5 |
0,02 | 85 | 0,78 | 0 |
0,05 | 220 | 0,80 | -? |
0,2 | 410 | 0,82 | 0 |
0,8 | 520 | 0,83 | —3 |
.1,5 | 480 | 0,88 | 6 |
2,0 | 530 | 0,78" | 12 |
3,0 | 370 . | 0,70 | |
4,5 | 75 | 0,55 | |
Die Werte "belegen, daß darapfaTageschieäene Magnetfilme,
die auf der Basis Co "beruhen und welche 0,05 "bis 3,0 Gow.yo
Mg "besitzen, gute magnetische Eigenschaften und niedriges
tasgnetisches Gerätisch zeigen und infolgedessen zur Bildung
eines guten magnetischen Aufzeichnungsmaterial verwendet
werden können.
Ein dünner magnetischer Co-Ni-Mg-Legierungsfilm von
einer Dicke von 0,2/um .wurde auf einem 15/um dicken Band
aus Polyäthylenterephthalatfolie wie in Beispiel 1 ausgebildet, wobei jedoch der Co-Ui-Hg-Dampf in einem Auftreffwinkel
von 56 "bei einem Yakuumsausmaß "bzw. einer Kondensationsgeschwindigkeit
(Dampfabscheldungsgeschwindii-kei.t)
—h O
von 2x10· Torr "bzw. 1000 A/sec abgeschieden wurde. Die
Beziehung des Mg-Gehaltes der Magnetschicht, der magnetischen
Eigenschaften und des Geräuschniveau ergibt sich aus der nachfolgenden Tabelle II. Das Geräuschniveau war
dMsjenige, welches in einem Seitband von 3,5 HHz auftrat,
wonn dns r.ignnl nuf der Wand probe, bei A MHa mit einem
VJIS-Videobandrecorder aufgezeichnet wurde.
Mg-GehaIt der Magnetschicht (Gew.^) |
Tabelle II | Rechteck verhältnis |
Geräusch (dB) |
|
0 | • 0,82 | 8 | ||
10 | 0,02 ' | Magnetische Eigenschaften | 0,80 | 12 |
0,05 | Koerzitiv kraft (Oe) |
0,93 | 4 | |
0,3 | 580 | 0,94 | 2 | |
1,0 | 560 ■ | 0,92 | 2 | |
1,5 | 810 | 0,93 | 0 | |
15 | 2,0 | 880 | 0,94 | 0 |
3,0 | 990 | 0,92 | 2 | |
5,0 | 970 | 0,79 | 10 | |
960 | ||||
850 | ||||
590 | ||||
PO Das Co/Ni-Verhältnio betrug 90 : 10 (Gewichtsverhältnis)
bei sämtlichen Proben.
• 4 · *
.-".Λ::. 3 2 O Λ 8 5 1
Ein dünner magnetischer Co-Cr-Mg-Legierungsfilra mit
einer Stärke von 0,30 /um wurde auf einem 15/um dicken
Band einer Polyamidfolie wie in Endspiel 2 ausgebildet, wobei jedoch der Auftreffwinkel 43° "betrug und das Ausmaß
des Vakuums bzw. die Kondensationsgeschwindigkeit (Vakuumabscheidungsgeschwindigkeit)
8 χ icT^Torr b:-w.
'1500 S/sec "betrugen. Das Geräuschniveau der erhaltenen
Bandprobe' wurde wie in Beispiel 1 gemessen. Die Beziehung
des Mg-Gehaltes der Magnetschicht, ihre magnetischen Kigenschaften
und das Geräuschniveau ergehen sich aus Tabelle III.
Tabelle | III | 0,78 | Geräusch (dB) |
|
Magnetische | Eigenschaften | 0,75 | 8 | |
Mg-Gehalt der Magnetschicht |
Koerzitivkraft Rechteck- (Oe) verhältnis |
0,92 | 6 | |
0 | 320 | • 0,93 | 0 | |
0,01 | 350 | 0,92 | 0 | |
0,05 | 690 | 0,94 | • 2 | |
0,25 | 720 | 0,80 | 0 | |
1,25 | 780 | 8 | ||
3,0 | 650 | |||
5,0 | 300 |
Das Co/Cr-Verhältnis "betrug 97 : 3 (Gewichtsverhältnis)
"bei sämtlichen Proben. Die Vierte belegen, daß die raacrietisehen
Aufzeichnungsmedien mit dampfabgeschiedenen Co-Cr-Pilmen
mit einem Gehalt von 0,05 bis 3,0 Gew.73 an Kr, rute
mn;jnetische Eigenschaften und ein niedriges Geräuschniveau
1io;>:i ti'ο η.
Bp i n_ni.cl A
Ein 25/um dicker Polyimidfilm wurde-auf der Kathodenplatte
einer handelsüblichen Ionenpiattierapparatür "befestigt,
worin die Verdampfungsquelle auf der Anodenseite
mit einer Co-V-Mg-Legierung "beschickt war. Das Gerät wurde·
zunächst auf 5 x 10" Torr evakuiert und- dann mit Argon zur
Erhöhung des Druckes in dem Gerat auf etwa 1 "Torr gefüllt
und erneut auf 5 x 1O~ Torr evakuiert. Das Innere des Gerätes
wurde teilweise durch Argon ersetzt, welches durch ein Nadelventil geliefert wurde, so daß der Druck in der
—P
Apparatur "bei 2 -x 10 Torr gehalten wurde.. Eine Spannung
Apparatur "bei 2 -x 10 Torr gehalten wurde.. Eine Spannung
von 2,2 kV wurde zwischen den Elektroden zur Erzeugung einer •15 Glimmentladung angelegt, während die Legierung in der Verdarapfungsquelle
zur Ausführung der Ionenplattierung verdampft wurde. Die erhaltenen Bandprohen hatten die in Tabelle
IV aufgeführten magnetischen Eigenschaften und das dort angegebene niedrige Geräuschniveau. Das Geräuschniveau
wurde wie in Beispiel 2 gemessen.
Hg-Gehalt der | Tabelle | IV | Geräusch | |
Magnetschicht (Gew.$) |
Magnetische Ei.ς | enscha ften | (dB) | |
O | Koerzitivkraft | Rechteck | 6 | |
0,03 | (Oe) | verhältnis | 12 | |
0,05 | 260 | 0,55 | 0 | |
?5 | 0,1 | 265 | 0,62 | 1 |
0,2 | 450 | 0,79 | ||
1,0 · | • 530 | 0,80* | 0 | |
1,8 | 520 | 0,82 | 0 | |
550 | 0,80 | |||
30 | 570 | 0,82 | ||
Tnbollo TV
Kg-Gehalt der Koerzitivkraft Rechtecli-Hn^netnchicht
(Oq)' Verhdltnio (an)
2,2 | .550 - · | 0,85 | 2 |
• 3,0 | 500 | 0,82 | O |
4,0 | 390 | 0,60 | 5 |
5,0 | 320 | 0,55 | 8 |
Sämtliche Proben besaßen eine Magnetschicht mit einer
Dicke von 0,12/um, die ein Co/V-Verhaltnis von 80 :
.(Gewichtsverhältnis) aufwies.
Wie sich eindeutig aus den vorstehenden Beispielen ergibt, besitzt das magnetische Aufzeichnungsmaterial mit
einer Magnetschicht, welche durch Dampfabscheidung oder
Ionenpiattierung gebildet wurde und welche auf der Basis
von Co aufgebaut ist und welche 0,05 bis 3,0 Gew.^ Mg
enthält, nicht nur gute magnetische Eigenschaften, sondern auch ein niedriges Geräuschniveau.
Die Erfindung wurde vorstehend anhand bevorzugter Ausführungsformen beschrieben, .ohne daß die Erfindung
hierauf begrenzt ist.
Claims (6)
- - D-800O MONCHPNDlPUNG. W. NIEMANN HERZOG WIl HF IM M R.11. Februar 1982 W. 44137/82 - Ko/HePatentansprüche ■ .My Magnetisches Aufzeichnungsmaterial, "bestehend aus einem nichtmagnetischen Träger als Grundlage und einem auf einer Oberfläche dieser Grundlage ausge-"bildeten dünnen ferromagnetischen Metallfilm, wobei der Film durch Vakuumdampfabscheidung gebildet wurde, dadurch gekennzeichnet, daß der PiIm aus 75 Gew.?S oder ηehr Oo und 0,05 bis 3,0 Gew.$ Mg besteht,
- 2. Magnetisches Aufzeichnungsmaterial, "bestehend nur. einem nichtmagnetischen Träger als Grundlage undeinem dünnen ferromagnetischen auf einer Oberfläche der Grundlage ausgebildeten Metallfilm, der durch Ionenplattierung gebildet wurde, dadurch gekennzeichnet, daß der PiIm aus 75 Gew.% oder mehr Co und 0,05 bis 3,0 Gew.^ Mg besteht.
- 3. Magnetisches Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Yakuuradamofabscheidung unter einem Vakuum imdurchgeführt wurde.ter einem Vakuum im Bereich von weniger als 5 x 10 rTorr
- 4. Magnetisches Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der dünne320A8b1tic eben lietall'film eine Stärke von etwa 0,02 "bis 5 /um "besitzt.
- 5. Magnetisches Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 4» dadurch gekennzeichnet, daß der ferromagnetische Metal.1-film eine Stärke von 0,05 "bis 2/um "besitzt.
- 6. Magnetisches Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 1 his 5, dadurch gekennzeichnet, daß der dünne ferromagnetische Metallfilm ein zusätzliches Element aus der Gruppe von Fe, Ni, Si, V, Y, La, Ce, Pr, Sm, Gd, Mn, Cu oder Cr enthält.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1990681A JPS57134907A (en) | 1981-02-13 | 1981-02-13 | Magnetic recording medium |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3204851A1 true DE3204851A1 (de) | 1982-09-09 |
DE3204851C2 DE3204851C2 (de) | 1992-08-20 |
Family
ID=12012251
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19823204851 Granted DE3204851A1 (de) | 1981-02-13 | 1982-02-11 | Magnetisches aufzeichnungsmaterial |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4588636A (de) |
JP (1) | JPS57134907A (de) |
DE (1) | DE3204851A1 (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0196071A1 (de) * | 1985-03-26 | 1986-10-01 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Aufzeichnungsträger mit senkrechter Magnetisierung |
EP0262224A1 (de) * | 1985-05-27 | 1988-04-06 | Sumitomo Metal Mining Company Limited | Magnetisches aufnahmemedium |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61158025A (ja) * | 1984-12-28 | 1986-07-17 | Canon Inc | 磁気記録媒体 |
US4688118A (en) * | 1986-07-01 | 1987-08-18 | Hewlett-Packard Company | Servo gain compensation in a disc drive |
CN1321355C (zh) * | 2004-12-31 | 2007-06-13 | 兰州大成自动化工程有限公司 | 真空镀膜工艺过程的自动检测方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS51149008A (en) * | 1975-05-23 | 1976-12-21 | Fuji Photo Film Co Ltd | Magnetic recording medium manufacturing method |
JPS6037970B2 (ja) * | 1976-11-12 | 1985-08-29 | 富士写真フイルム株式会社 | 磁気記録媒体の製法 |
DE2801452C2 (de) * | 1978-01-13 | 1985-03-28 | Agfa-Gevaert Ag, 5090 Leverkusen | Magnetisches Aufzeichnungsmaterial |
JPS576436A (en) * | 1980-06-10 | 1982-01-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Magnetic recording medium |
JPS5715406A (en) * | 1980-07-02 | 1982-01-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Thin-metalic-film type magnetic recording medium and manufacture thereof |
-
1981
- 1981-02-13 JP JP1990681A patent/JPS57134907A/ja active Granted
-
1982
- 1982-02-11 DE DE19823204851 patent/DE3204851A1/de active Granted
- 1982-02-12 US US06/348,611 patent/US4588636A/en not_active Expired - Fee Related
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
E.P. Wohlfahrt, Ferromagnetic Materials, Vol. 2, North Holland Publishing Co., 1980, S. 392-399 * |
Patents Abstracts of Japan 54-140505 * |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0196071A1 (de) * | 1985-03-26 | 1986-10-01 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Aufzeichnungsträger mit senkrechter Magnetisierung |
EP0262224A1 (de) * | 1985-05-27 | 1988-04-06 | Sumitomo Metal Mining Company Limited | Magnetisches aufnahmemedium |
EP0262224A4 (de) * | 1985-05-27 | 1989-10-04 | Sumitomo Metal Mining Co | Magnetisches aufnahmemedium. |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS57134907A (en) | 1982-08-20 |
DE3204851C2 (de) | 1992-08-20 |
JPH0462163B2 (de) | 1992-10-05 |
US4588636A (en) | 1986-05-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3538852C2 (de) | ||
DE3415794A1 (de) | Magnetisches aufzeichnungsmedium und verfahren zu seiner herstellung | |
DE2435887C2 (de) | Vorrichtung zur kontinuierlichen Herstellung eines Magnetaufzeichnungsbandes | |
DE2731924A1 (de) | Magnetisches aufzeichnungsmedium und verfahren zu dessen herstellung | |
DE3302900C2 (de) | ||
DE2435901C2 (de) | Verfahren zum Herstellen von Magnetaufzeichnungsmaterial | |
DE3810244A1 (de) | Ferromagnetfilm und damit hergestellter magnetkopf | |
DE4140983A1 (de) | Magnetkopf in duennschichttechnik und verfahren zu dessen herstellung | |
DE69909569T2 (de) | Korrosionsbeständiger dauermagnet und verfahren zu seiner herstellung | |
DE3425755A1 (de) | Verfahren zur herstellung eines magnetaufzeichnungstraegers | |
DE2729486C3 (de) | Verfahren zur Herstellung einer magnetischen Dünnschicht | |
DE3216863A1 (de) | Magnetisches aufzeichnungsmaterial | |
DE2622597A1 (de) | Verfahren zur herstellung magnetischen aufzeichnungsmaterials durch dampfniederschlagung im elektrischen feld | |
DE2537593A1 (de) | Verfahren zur herstellung einer magnetischen oxidschicht hoher koerzitivkraft | |
DE2549509C3 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Überzuges aus einem magnetischen Oxid | |
DE3228044C2 (de) | Magnetisches Aufzeichnungsmaterial | |
DE3204851A1 (de) | Magnetisches aufzeichnungsmaterial | |
DE2632582A1 (de) | Beschichtung fuer isolierende substrate, insbesondere videoplatten | |
DE3927342A1 (de) | Magnetische legierungen fuer magnetkoepfe | |
DE3538442A1 (de) | Magnetisches medium fuer die aufzeichnung mit waagerechter magnetisierung und verfahren zu seiner herstellung | |
DE4021376C2 (de) | Magnetkopf und Verfahren zu seiner Herstellung | |
DE3335165C2 (de) | ||
DE3242015C2 (de) | ||
DE3501561C2 (de) | Magnetisches Aufzeichnungsmedium | |
DE3503309C2 (de) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8128 | New person/name/address of the agent |
Representative=s name: KOHLER, M., DIPL.-CHEM. DR.RER.NAT., 8000 MUENCHEN |
|
8128 | New person/name/address of the agent |
Representative=s name: SOLF, A., DR.-ING., 8000 MUENCHEN ZAPF, C., DIPL.- |
|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |