DE3927342A1

DE3927342A1 - Magnetische legierungen fuer magnetkoepfe

Info

Publication number: DE3927342A1
Application number: DE3927342A
Authority: DE
Inventors: Yasushi Watanabe; Hirofumi Imaoka
Original assignee: Victor Company of Japan Ltd
Current assignee: Victor Company of Japan Ltd
Priority date: 1988-08-20
Filing date: 1989-08-18
Publication date: 1990-02-22
Also published as: DE3927342C2; US4969962A

Description

Die Erfindung betrifft magnetische Legierungen für Magnet köpfe, welche insbesondere für eine magnetische Aufzeich nung mit hoher Dichte vorteilhaft sind.

In den letzten Jahren sind die Anforderungen bei einer Magnetaufzeichnung für eine Aufzeichnung mit hoher Dichte und breiten Frequenzbändern strenger geworden. Derzeit wird eine Aufzeichnung und Wiedergabe mit hoher Dichte dadurch erreicht, daß magnetische Materialien mit hoher Koerzitivfeldstärke in dem magnetischen Aufzeichnungsmedium eingesetzt werden und daß die Aufzeichnungsspuren hinsicht lich ihrer Breite schmal gemacht werden.

Es wird als notwendig angesehen, daß Magnetlegierungen, deren magnetische Sättigungsflußdichte hoch ist, als magnetisches Material für den Magnetkopf für die Aufzeichnung und Wieder gabe der Information in magnetischen Aufzeichnungsmedien, welche hohe Koerzitivfeldstärke aufweisen, eingesetzt werden. Häufig vorgeschlagene Magnetköpfe bedienen sich Fe-Si-Al- Legierungen (Sendust-Legierungen) oder amorpher Legierun gen in einem Teil oder dem Gesamtbereich des Kopfkernes. Jedoch geht die Tendenz derzeitiger magnetischer Aufzeich nungsmedien zu höheren Koerzitivfeldstärken, als jemals angenommen wurde. Wenn die Koerzitivfeldstärke beispiels weise 15,9 x 10³ A/m (2000 Oe) übersteigt, war es schwie rig, eine Information mit hoher Qualität aufzuzeichnen und zu reproduzieren, wenn Magnetköpfe eingesetzt wurden, die aus Fe-Si-Al-Legierungen oder amorphen Legierungen hergestellt waren.

Andererseits wurde ein Aufzeichnungssystem mit vertikaler Magnetisierung vorgeschlagen und in der Praxis eingeführt, bei welchem die Information durch Magnetisieren einer auf zeichnungsschicht längs deren Dicke und nicht längs der waagerechten Richtung des Mediums aufgezeichnet wurde. Damit ein Aufzeichnungssystem mit vertikaler Magnetisie rung gut arbeitet, sollte der Magnetkopf eine Dicke von nicht mehr als 0,5 µm im Spitzenabschnitt des Hauptmagnet poles aufweisen. Daher wird angenommen, daß der Magnetkopf eine hohe magnetische Sättigungsflußdichte haben sollte, selbst bei der Aufzeichnung auf einem magnetischen Auf zeichnungsmedium mit einer relativ geringen Koerzitivfeld stärke. Bekannte Legierungen für Magnetköpfe, welche eine höhere magnetische Sättigungsflußdichte als Fe-Si-Al- Legierungen oder amorphe Legierungen besitzen, sind solche magnetischen Legierungen mit einem größeren Anteil von Eisen wie z.B. Eisennitrid, Fe-Si-Legierungen und dergl.. Diese bekannten magnetischen Legierungen mit einer hohen magnetischen Sättigungsflußdichte besitzen ebenfalls eine hohe Koerzitivfeldstärke und sind daher zur Verwendung als Magnetkopf nicht zufriedenstellend. Um dies zu ver meiden, wurden Magnetköpfe mit einer vielschichtigen Struk tur vorgeschlagen, bei welchen ein magnetisches Material mit einer kleinen Koerzitivfeldstärke wie Fe-Si-Al-Legie rungen oder Permalloy-Legierungen als Schichtfilm oder Schichtfilme eingesetzt wurden.

Falls z.B. Eisennitrid, welches eine magnetische Legierung mit hoher magnetischer Sättigungsflußdichte ist, eingesetzt wird, werden dessen magnetische Eigenschaften bei größerer Dicke schlechter. Wenn eine Dicke von mehr als 1 µm erfor derlich ist, sollte ein vielschichtiger Film eingesetzt werden, der andere Typen von magnetischen Legierungen oder Isolationsmaterialien benutzt.

Wie aus der zuvor angegebenen Beschreibung ersichtlich ist, mußten für die Herstellung eines Magnetkopfes mit hoher magnetischer Sättigungsflußdichte magnetische Legie rungen als vielschichtiger Aufbau eingesetzt werden. Der vielschichtige Aufbau erfordert jedoch in nachteiliger Weise zusätzliche Stufen und/oder Kosten, wobei das Pro blem gegeben ist, daß die Wiederholbarkeit nur schwierig aufrechterhalten werden kann.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist die Bereitstellung einer neuen Legierung für Magnetköpfe, welche es möglich macht, einen Magnetkopf mit einer geringen Koerzitivfeld stärke unter Aufrechterhaltung einer hohen magnetischen Sättigungsflußdichte bereitzustellen, ohne daß ein viel schichtiger Aufbau zu Hilfe genommen wird, wobei eine solche Legierung gute magnetische Eigenschaften bei der Anwendung als Magnetkopf mit dünnem Film aufweisen soll und in einer gewünschten Kerndicke ohne Bildung eines vielschichtigen Aufbaus oder einer vielschichtigen Struk tur verarbeitet werden können soll, wobei solche Legierun gen für eine Verwendung in einem Magnetkopf geeignet sind und gegenüber Korrosion bei guter Wärmebeständigkeit zu sätzlich zu den gewünschten magnetischen Eigenschaften, wie sie zuvor beschrieben wurden, resistent sind, und wobei diese Legierungen in der Lage sein sollen, Systeme zur Aufzeichnung und Wiedergabe mit hoher Dichte bei ihrer Anwendung als Magnetkopf oder in Magnetköpfen zu ermög lichen.

Zur Lösung dieser Aufgabe dienen die magnetischen Legie rungen gemäß der Erfindung, welche zur Verwendung als Magnetkopf geeignet sind und welche einen größeren Anteil von Eisen und einen kleineren Anteil von Stickstoff umfas sen, wobei die Legierungen dadurch gekennzeichnet sind, daß sie weiterhin Sauerstoff in einer Menge von 1,5 bis 15 Atom-% umfassen. Vorzugsweise ist Stickstoff in einer Menge von 3 bis 20 Atom-% vorhanden, wobei der Rest Eisen ist.

Bei einer speziellen Ausführungsform wird eine magnetische Legierung bereitgestellt, welche eine Legierung der folgen den Summenformel umfaßt:
Fe_vN_wO_xM_y,
worin M=Ta, Nb, Si oder Mischungen hiervon bedeutet und v, w, x bzw. y solche Werte in Atom-% besitzen, daß
1w20, 1x20 und 0,5y6
sind, mit der Maßgabe, daß v+w+x+y=100 ist.

Die Legierung der zuvorgenannten Summenformel kann weiter hin von 0,3 bis 3 Atom-% eines Elementes der Platingruppe oder eines Elementes der Gruppe VIa des Periodensystems umfassen, um die Korrosionsbeständigkeit zu verbessern, vorausgesetzt, daß der Gesamtgehalt an Fe, N, O und eines Elementes wie Ru oder Cr und M 100 Atom-% ausmacht. Das Element der Platingruppe kann z.B. Pt, Ru oder dergl. sein, wobei Ruthenium, Ru, bevorzugt ist. Beispiele für Elemente der Gruppe VIa umfassen: Cr, W, Mo und dergl., wobei Cr bevorzugt ist.

Die Erfindung wird anhand der Zeichnung näher erläutert, in der Zeichnung sind:

Fig. 1 eine Zerstäubungsapparatur (Sputtering Apparatur) zur Herstellung der magnetischen Legierungen für Magnetköpfe gemäß der Erfindung;

Fig. 2 eine graphische Darstellung der Koerzitivfeldstärke (Hc) und der magnetischen Sättigungsflußdichte (Bs) in Abhängigkeit von der Veränderung der Dicke eines Films aus magnetischer Legierung;

Fig. 3 eine graphische Darstellung der Koerzitivfeldstärke in Abhängigkeit von Änderungen in der Temperatur der Wärmebehandlung für verschiedene magnetische Legierungen;

Fig. 4 eine graphische Wiedergabe der Koerzitivfeldstärke in Abhängigkeit von Änderungen in der Temperatur der thermischen Behandlung für verschiedene Mag netlegierungen; und

Fig. 5 eine graphische Darstellung des Verhältnisses von Bs-Werten vor dem Eintauchen der magnetischen Legierungen in Salzlösung und nach dem Eintauchen in Abhängigkeit von der Veränderung der Standzeit nach dem Eintauchen in die Salzlösung.

Die Erfindung wird anhand bevorzugter Ausführungsformen näher ins einzelne gehend erläutert.

In der Fig. 1 der Zeichnung ist eine Zerstäubungsappara tur zur Herstellung einer magnetischen Legierung wiederge geben.

In der Fig. 1 ist ganz allgemein eine Zerstäubungsappara tur A, welche auch als Sputtering-Apparatur bezeichnet wird, dargestellt, welche einen Vakuumbehälter 1 aufweist, der hiermit verbundene Strömungsmesser 2, 3 und 4 für O₂, N₂ bzw. Ar aufweist. Der Vakuumbehälter 1 besitzt an gegen überliegenden Seiten ein Paar von Targethaltern 5, welche jeweils ein Target 6 und einen Magnet 7, wie in der Figur gezeigt, aufweisen. Jeder Targethalter 5 besitzt eine Abschirmung 8 und eine Isolation 9. Jeder Halter 5 weist Öffnungen 10 auf, durch welche Kühlwasser in eine Öffnung eintritt und von der anderen Öffnung zur Kühlung des Tar gets 6 austritt. Am unteren Teil des Vakuumbehälters 1 ist ein Substrathalter 11 vorgesehen, auf welchem ein Substrat 12 montiert ist. Mit 13 ist eine Blende zum Ab decken des Substrates 12 zur Vermeidung der Inkorporation von Verunreinigungen und mit 14 eine Gleichstromquelle, welche mit den Targethaltern 5 zur Erzeugung eines Plas mas 15 verbunden sind, bezeichnet.

Beim Betrieb werden O₂, N₂ und Ar gasförmig zunächst über die jeweiligen Strömungsmesser 2, 3 und 4 in dem Vakuum behälter 1 in den gewünschten Mengen eingeführt.

Ein Paar aus Targets 6, welche aus reinem Eisen mit oder ohne Zusatzelemente wie Ta, Nb, Si, dem Element der Pla tingruppe oder der Gruppe VIa oder einer Mischung hier von bestehen, ist vorgesehen. Falls das zusätzliche Ele ment verwendet wird, kann das Target eine Legierung aus Fe und dem Zusatzelement sein, oder es kann ein Verbund target sein, bei welchem ein Target aus reinem Eisen mit einer Abstufung verwendet wird und ein Chip des Zusatzele mentes in die Abstufung eingesetzt ist. Die Targets 6 und die Targethalter 5 werden an ein Minuspotential der Gleich stromquelle 14 angeschlossen. Als Ergebnis wird das Plas ma 15 zwischen den Targets 6 gebildet und mittels der Magnete 7 fokussiert, woraufhin das Argon in dem Behäl ter 1 in dem Plasma als Ar⁺ ionisiert wird. Die Ar⁺-Ionen in dem Plasma kollidieren mit den Targets 6, welche dem Minuspotential ausgesetzt sind. Dies bewirkt eventuell, daß Atome des Eisens und/oder der Zusatzelemente freige setzt werden. Die so freigesetzten Eisenatome mit oder ohne die Atome der anderen Zusatzelemente kombinieren mit Sauerstoff- und Stickstoff-atomen oder -molekülen und wachsen auf dem Substrat 12 auf.

Für mehrere Minuten nach dem Starten des Zerstäubungsvor ganges wird die Blende 13 zum Abdecken des Substrates 12 betätigt, so daß die Verunreinigungen von der Oberfläche der Targets 6 nicht auf dem Substrat abgelagert werden. Danach wird die Blende 12 entfernt.

Die Strömungsraten der Gase einschließlich O₂, N₂ und Ar werden jeweils durch Benutzung der Strömungsmesser 2, 3 und 4 gesteuert. Durch die Steuerung kann eine Legie rung der Formel Fe-O-N oder Fe_vN_wO_xM_y, mit oder ohne Ru, mit den gewünschten Mengen an Sauerstoff und Stickstoff erhalten werden. Es sei darauf hingewiesen, daß das Argon indirekt zur Steuerung der Mengen von Sauerstoff und Stick stoff in den schließlich erhaltenen Filmen der Magnetlegie rung, welche gleichzeitig mit dem Zerstäubungsvorgang gebildet wurden, benutzt wird.

Auf diese Weise wurden mehrere Typen von magnetischen Legierungen gemäß der Erfindung und für Vergleichszwecke hergestellt.

Zunächst wurde die magnetische Sättigungsflußdichte (Bs) und die Koerzitivfeldstärke (Hc) in Abhängigkeit von den Gehalten an Sauerstoff und Stickstoff in einem Film einer Fe-N-O-Legierung mit einer Dicke von 1 µm nach einer Wärme behandlung bei 300°C gemessen. Die Ergebnisse sind in der Tabelle 1 wiedergegeben.

Zum Vergleich wurden diese Eigenschaften auch für reines Eisen in die Tabelle aufgenommen.

Tabelle 1

Wie aus der Tabelle 1 ersichtlich ist, wobei die Proben 1 bis 3 erfindungsgemäße Legierungen sind, die Proben 4 bis 7 dem Vergleich dienen und Bezugswerte angeben, bewirken die Gehalte an Sauerstoff und Stickstoff in der Fe-N-O-Legierung einen bemerkenswerten Einfluß auf die magnetische Sättigungsflußdichte (Bs) und die Koerzitiv feldstärke (Hc). Gute Ergebnisse werden erhalten, wenn die Gehalte an N bzw. O in den Bereichen von 3 bis 20 Atom-% und von 1,5 bis 15 Atom-% liegen.

Weiterhin wurde die Fe-N-O-Legierung mit einer Zusammen setzung umfassend 3 Atom-% Sauerstoff und 3 Atom-% Stick stoff auf einem kristallisierten Glassubstrat, welches Oxide enthielt, in unterschiedlicher Dicke zur Bestimmung der magnetischen Sättigungsflußdichte (Bs) und der Koerzi tivfeldstärke (Hc) hergestellt. Die Beziehung zwischen der Dicke und den Werten für Bs oder Hc ist in der Fig. 2 zusammen mit der Abhängigkeit dieser Werte für eine Fe-N- Legierung wiedergegeben.

Aus der Figur ist ersichtlich, daß die magnetische Sätti gungsflußdichte (Bs) mit zunehmender Dicke zunahm, wenn die Dicke bis zu 0,5 µm betrug, daß jedoch die Koerzitiv feldstärke (Hc) abnahm. Wenn die Dicke 0,5 µm überstieg, war für die magnetische Sättigungsflußdichte (Bs) bzw. die Koerzitivfeldstärke (Hc) im wesentlichen bei Werten von 0,17 Tesla (1,7 kO) und etwa 39,8 A/m (0,5 Oe) die Sättigung erreicht. Wenn daher die Fe-N-O-Legierung als Film auf einem Substrat bzw. einer Unterlage aus einem Oxide enthaltenden kristallisierten Glas ausgebildet wird, sollte deren Dicke vorzugsweise nicht weniger als 0,5 µm betragen, um gute magnetische Eigenschaften zu erzielen.

Auf der anderen Seite nimmt der Hc-Wert für die Fe-N-Legie rung zu und der Bs-Wert nimmt ab, wenn die Filmdicke an steigt.

Darüber hinaus wurden Legierungen vom FeNOM-Typ, worin M eines der Metalle Ta, Nb, Ru oder Mischungen hiervon bedeutet, unter Verwendung der mit Bezug auf die Fig. 1 beschriebene Apparatur hergestellt. Nach einer thermischen Behandlung bei 300°C wurden die Legierungen in Form eines Films mit einer Dicke von 1 µm der Messung der magnetischen Sättigungsflußdichte (Bs) und der Koerzitivfeldstärke (Hc) unterzogen. Die Ergebnisse sind in der Tabelle 2 angegeben.

Tabelle 2

In dieser Tabelle sind die magnetische Sättigungsfluß dichte (Bs) und die Koerzitivfeldstärke (Hc) in bezug auf die Gehalte an Ta, Nb, Si und/oder Ru angegeben. Die Gehalte wurden durch quantitative Analyse einschließlich Elektronenspektroskopie für die chemische Analyse (ESCA) und Elektronenstrahlmikroanalyse (EPMA) gemessen und sind in Atom-Prozent angegeben.

Der Analysenfehler beträgt etwa ±20%. Die Koerzitivfeld stärke ist ein Wert, der nach der thermischen Behandlung bei 300°C im Vakuum gemessen wird. Wie aus der Tabelle 2 ersichtlich ist, besteht die Probe 8 nur aus Eisen und die Probe 9 besteht aus Eisen, dem Sauerstoff zugesetzt wurde und die Probe 10 aus Eisen, zu welchem Stickstoff zugesetzt wurde.

Zusätzlich sind die Proben 21 bzw. 22 eine Legierung aus Fe und Si und eine Legierung aus Fe, O und Si. Diese Pro ben sind daher Vergleichsproben. Die Proben 11 bis 20 und 23 bis 30 sind magnetische Legierungen gemäß der Er findung. Bei bestimmten Vergleichslegierungen wurden rela tiv gute Ergebnisse erzielt. Beispielsweise ist die Probe 23 eine Fe-Si-O-Legierung, welche einen niedrigen Hc-Wert besitzt, dieser Wert nimmt jedoch abrupt bei einer Tempera tur der thermischen Behandlung von höher als 300°C zu. Dies ist nachteilig, weil die Legierung als Magnetkopf mittels einer Glasformtechnik aufgebracht wird, wobei dies ein typischer Bearbeitungsvorgang bei der Herstellung eines Magnetkopfes ist. Die Probe 21, welche eine Fe-Si- Legierung ist, besitzt einen zu hohen Hc-Wert. Zusätzlich hat die Fe-N-Legierung 10 einen relativ geringen Hc-Wert, jedoch ist der Wert höher als 80 und damit für eine Ver wendung als Magnetkopf nicht zufriedenstellend. Insbeson dere ist die Fe-N-Legierung hinsichtlich der Wärmestabili tät nicht zufriedenstellend.

Die Ergebnisse der Tabelle 2 zeigen, daß bei einem Gehalt an Sauerstoff von weniger als 1 Atom-% ein beträchtlicher Effekt der Zugabe von Sauerstoff nicht gefunden wird, d.h. daß die Koerzitivfeldstärke kaum niedriger wird. Über 20 Atom-% verschlechtern sich die Weichmagnet- Eigenschaften beträchtlich, d.h. der Bs-Wert erniedrigt sich mit Zunahme des Hc-Wertes. Daher soll der Gehalt an Sauerstoff im Bereich von 1 bis 20 Atom-%, vorzugsweise von 1 bis 10 Atom-% liegen. Innerhalb dieses Bereiches besitzt die magnetische Legierung einen hohen Bs-Wert und einen kleinen Hc-Wert.

Wenn der Gehalt an Stickstoff weniger als 1 Atom-% beträgt, wird eine nennenswerte Verbesserung der magnetischen Eigen schaften nicht gefunden. Oberhalb von 20 Atom-% erniedrigt sich der Bs-Wert und nimmt der Hc-Wert zu. Daher kann ein hoher Bs-Wert nicht erreicht werden. Daher sollte der Gehalt an Stickstoff vorteilhafterweise im Bereich von 1 bis 20 Atom-%, bevorzugt von 1 bis 10 Atom-% liegen, wobei die erhaltene magnetische Legierung innerhalb die ser Bereiche einen hohen Bs-Wert bei kleinem Hc-Wert auf weist.

In der Fig. 3 ist die Koerzitivfeldstärke relativ zu der Temperatur der thermischen Behandlung für die bekannte Eisennitridlegierung der Probe 10 und der Legierungen der Proben 12 und 16 gemäß der Erfindung wiedergegeben. Wie aus der Fig. 3 ersichtlich ist, zeigen die magnetischen Legierungen gemäß der Erfindung geringe Hc-Werte und be sitzen daher gute thermische Stabilität. Falls der Gehalt an Ta und/oder Nb jedoch weniger als 0,5 Atom-% beträgt, erniedrigt sich der Hc-Wert nicht und die thermische Sta bilität wird nicht nennenswert verbessert. Oberhalb von 6 Atom-% werden magnetische Legierungen mit hohem Bs-Wert und einem niedrigen Hc-Wert bei guter thermischer Stabili tät nicht erhalten. Daher sollte der Gesamtgehalt dieser Zusatzelemente vorteilhafterweise im Bereich von 0,5 bis 6 Atom-% liegen.

Die Fig. 4 zeigt die Veränderung der Koerzitivfeldstärke in Abhängigkeit von der Temperatur der thermischen Behand lung für die Vergleichslegierungen der Proben 10 und 21 und der erfindungsgemäßen Fe-O-N-Si-Legierung 24. Hieraus ist ersichtlich, daß die Fe-O-N-Si-Legierung einen niedri gen Hc-Wert und eine gute thermische Stabilität besitzt. Falls der Gehalt an Si weniger als 0,5 Atom-% beträgt, wird ein signifikanter Effekt auf den Hc-Wert und die thermische Stabilität nicht erwartet werden können. Ober halb von 6 Atom-% nimmt der Hc-Wert beträchtlich zu bei Erniedrigung des Bs-Wertes. Daher sollte der Si-Gehalt vorteilhafterweise im Bereich von 0,5 bis 6 Atom-% liegen.

Hinsichtlich der Legierungen mit der Summenformel
Fe_vN_wO_xM_y,
worin M ein Metall aus der Gruppe Ta, Nb, Si und Mischun gen hiervon bedeutet, sollte die Bedingung erfüllt sein, daß v, w, x bzw. y solche Werte in Atom-Prozent aufweisen, daß gilt:
1w20, 1x20 und 0,5y6,
mit der Maßgabe, daß v+w+x+y=100 sind. Falls eine solche Mischung eingesetzt wird, schließt sie als M Ta und Nb, Ta und Si, Nb und Si und Ta, Nb und Si ein, wobei eine Mischung aus Ta und Si bevorzugt wird.

Darüber hinaus kann die Korrosionsbeständigkeit der Legie rung, wie sie zuvor beschrieben wurde, beträchtlich ver bessert werden, wenn ein Element der Platingruppe oder der Gruppe VIa des Periodensystems noch zusätzlich hinzu gefügt wird. Dies wurde experimentell durch einen Test be stätigt, bei welchem eine Probe in eine 2 Gew.-%ige Salz lösung für 1 h eingetaucht wird, wonach sie aus der Lösung entnommen und in einer Klimatisierungskammer unter kontrol lierten Bedingungen bei 60°C und 90% relativer Feuchte stehengelassen wird. Die Korrosionsbeständigkeit wird durch Messung der magnetischen Sättigungsflußdichte Bs vor dem Eintauchen und nach dem Stehenlassen und Bildung des Verhältnisses des Bs-Wertes nach dem Stehenlassen und des Bs-Wertes vor dem Eintauchen in Abhängigkeit von der Standzeit bestimmt. Die Legierungen der Proben 24 und 28 und eine Fe-O-N-Si-Cr-Legierung mit einer ähnlichen Zusammensetzung wie die Legierung der Probe 28, wobei Ru durch Cr ersetzt war, wurden untersucht. Die Ergeb nisse sind in der Fig. 5 dargestellt, wobei die y-Koordi nate das Verhältnis wiedergibt und die x-Koordinate die Standzeit angibt. Aus der Fig. 5 ist ersichtlich, daß die Legierung der Probe 28 mit dem Ru-Gehalt und die Legie rung mit dem Cr-Gehalt besser als die von Ruthenium freie Legierung der Probe 24 sind. Falls der Gehalt an Ru oder Cr weniger als 0,3 Atom-% beträgt, wird die Korrosionsbe ständigkeit nicht signifikant verbessert. Oberhalb von 3 Atom-% werden die Werte für Bs und Hc in negativer Wei se beeinflußt. Daher sollte der Gehalt an Ru oder Cr von 0,3 bis 3 Atom-% betragen, vorausgesetzt, daß der Gesamt gehalt an Fe, O, N, Ru oder Cr und M 100 Atom-% ausmacht. Die Elemente Ru und Cr wurden in dem zuvor beschriebenen Test eingesetzt, jedoch können vergleichbare Ergebnisse erhalten werden, wenn andere Elemente der Platingruppe und der Gruppe VIa des Periodensystems verwendet werden. Die Elemente der Platingruppe oder der Gruppe VIa des Periodensystems können einzeln oder in Kombination ver wendet werden, vorausgesetzt, daß der Gesamtgehalt der in Kombination eingesetzten Elemente im Bereich von 0,3 bis 3 Atom-% liegt.

Die Legierungen gemäß der Erfindung zeigen gute magnetische Eigenschaften, wenn sie als Einschichten-Struktur oder Einschichten-Aufbau verwendet werden. Selbstverständlich können die erfindungsgemäßen Legierungen auch als viel schichtiger Aufbau eingesetzt werden, bei welchem die Schichten der Legierung gemäß der Erfindung und die Schich ten von anderen weichmagnetischen Legierungen wie einer Fe-Si-Al-Legierung alternativ übereinander angeordnet sind.

Claims

1. Magnetische Legierung, welche zur Verwendung als Mag netkopf angepaßt ist und einen größeren Anteil von Eisen und einen kleineren Anteil von Stickstoff umfaßt, dadurch gekennzeichnet, daß die Legierung weiterhin Sauerstoff umfaßt.

2. Magnetische Legierung nach Anspruch 1, dadurch gekenn zeichnet, daß die Legierung von 3 bis 20 Atom-% Stick stoff, von 1,5 bis 15 Atom-% Sauerstoff umfaßt und der Rest Eisen ist.

3. Magnetische Legierung der folgenden Summelformel:
Fe_vN_wO_xM_y,
worin M eines der Elemente Ta, Nb, Si oder Mischungen hiervon bedeutet, und v, w, x und y jeweils solche Werte in Atom-% besitzen, daß gilt:
1w20, 1x20 und 0,5y6,
mit der Maßgabe, daß v+w+x+y=100 ist.

4. Magnetische Legierung nach Anspruch 3, dadurch gekenn zeichnet, daß M=Si bedeutet.

5. Magnetische Legierung nach Anspruch 3, dadurch gekenn zeichnet, daß M=Ta bedeutet.

6. Magnetische Legierung nach Anspruch 3, dadurch gekenn zeichnet, daß M=Nb bedeutet.

7. Magnetische Legierung nach Anspruch 3, dadurch gekenn zeichnet, daß M eine Mischung von Ta und Si bedeutet.

8. Magnetische Legierung nach Anspruch 3, dadurch gekenn zeichnet, daß
1x10.

9. Magnetische Legierung nach Anspruch 3, dadurch gekenn zeichnet, daß
1w10.

10. Magnetische Legierung nach Anspruch 3, dadurch gekennzei chnet, daß sie weiterhin 0,3 bis 3 Atom-% wenigstens eines Elementes der Platingruppe oder der Gruppe VIa des Periodensystems umfaßt, mit der Maßgabe, daß der Gesamt gehalt von Fe, O, N und des oder der Elemente und von M 100 Atom-% beträgt.

11. Magnetische Legierung nach Anspruch 10, dadurch gekenn zeichnet, daß das Element Ru ist.

12. Magnetische Legierung nach Anspruch 10, dadurch gekenn zeichnet, daß das Element Cr ist.