DE3200670A1

DE3200670A1 - "glimmentladungsanzeige und verfahren zu ihrer herstellung"

Info

Publication number: DE3200670A1
Application number: DE19823200670
Authority: DE
Inventors: Yoshifumi Kamakura Kanagawa Amano
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1981-01-13
Filing date: 1982-01-12
Publication date: 1982-09-02
Also published as: CA1173243A; KR830009548A; GB2091033B; JPS6360495B2; JPS57118348A; FR2497984A1; FR2497984B1; KR900003900B1; GB2091033A; DE3200670C2; US4516053A

Description

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TER MEER · MÜLLER

• STEINMElSTfeR ' ** J .1. ' Ο°ϊ& " S82P83 2006 7 0

Beschreibung

Die Erfindung geht von einer Glimmentladungsanzeige gemäß dem Oberbegriff des Hauptanspruchs aus. Insbesondere gleichspannungsbetriebene Matrixanzeigen weisen einen solchen Aufbau auf. Die ersten Elektroden bilden Anoden und die zweiten Elektroden Kathoden der Glimmentladungsanzeige. Die ersten und die zweiten Elektroden sind zeilen- bzw. spaltenförmlg angeordnet. An den Überkreuzungspunkten zweier Elektroden tritt eine Glimmentladung auf, deren Helligkeit von der Spannungsdifferenz der sich gegenüberstehenden Elektroden abhängt.

Ein herkömmlicher Aufbau der eingangs genannten Art ist in den Pig. 1 und 2 dargestellt. Dabei stellt die Fig. 1 eine Teildraufsicht und die Fig. 2 einen Teilschnitt entlang der Linie A-A in Fig. 1 dar. Eine flache Hülle 1 einer gleichspannungsbetriebenen Glimmentladungsanzeige mit Matrixaufbau weist eine erste Substratplatte 2 und eine zweite Substratplatte 3 auf, die beide z.B. aus Glasplatten bestehen. Im vorliegenden Pail 1st die ober©, erste Substratplatte 2. durohslohtlg. Die beiden Substratplatten 2 und 3 stehen unter einem vorgegebenen Abstand einander gegenüber, und sie sind entlang ihrer Ränder über eine Dichtwand, z.B. aus Glasfritte , miteinander verbunden. Durch die Substratplatten und Trennwand wird ein flacher Glimmentladungs-Hohlraum 5 eingeschlossen, der mit einem Edelgas gefüllt ist.

Auf der inneren Oberfläche des unteren, zweiten Substrates 3 ist eine Elektrodengruppe Y aufgebracht, die als Kathode dient. Die Elektrodengruppe Y weist eine Mehrzahl zueinander paralleler Elektroden Y₁, Y_g, Y₅ ... auf, die alle in einer Richtung, In diesem Fall zeilen weise, mit einem vorgegebenen gegenseitigen Abstand vorgegebener Breite aufgebracht Kind. Auf der Innenfläche des zweiten Substrates 3 ist auch eine Gruppe G isolierender Trennwände aufgebracht. Die Gruppe G

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isolierender Trennwände besteht aus einer Mehrzahl isolierender Trennwände g,, gp, g-, ..., die mit einer Längserstreckungs richtung aufgebracht sind, die rechtwinklig zur Längserstrekkungsrichtung der Elektrodengruppe Y verläuft. Die Trennwände g weisen einen vorgegebenen gegenseitigen Abstand und eine vorgegebene Breite auf. Die Höhe jeder der Trennwände g-^, So» S-x ··· wird entsprechend dem Abstand zwischen den Sühnt.rat platten 2 und 3 gewählt.

Auf der Innenfläche der oberen, ersten Substratplatte 2 ist eine Gruppe X zweiter Elektroden aufgebracht, die als Anode dient. Die Gruppe X besteht aus einer Mehrzahl zueinander paralleler erster Elektroden χ , Xg, Xjj ..., die mit im wesent lichen rechtwinkliger Längserstreckungsrichtung in Bezug auf die Längserstreckungsrichtung der Elektroden V-^y₂, y·* ... aufgebracht sind. Die ersten Elektroden χ weisen einen vorgegebenen Abstand und eine vorgegebene Breite auf.

Durch die Trennwände g,, ^' E^ ··· ^^er Trennwandgruppe G sind bandförmige Hohlräume 5&> 5b, 5c, ... im Hohlraum ^[3 gebildet, die verhindern, daß sich eine Glimmentladung entlang einer der Kathoden, also einer der zweiten Elektroden γγ, yp, y-jj, ... ausbreiten kann. Zwischen zwei Trennwänden g IJogt jeweils eine erste Elektrode χ . An die zweiten Elektroden y^, Yq, Jj₁) der Kathodengruppe Y wird in einem Zeitmultiplexverfahren Spannung angelegt. An die ersten Elektroden x-j , x_o> x-z der Anodenelektrodengruppe X wird nacheinander oder gleichzeitig eine Spannung angelegt. Die Helligkeit einer Glimmentladung zwischen zwei sich kreuzenden Elektroden hängt von der Spannungsdifferenz zwischen diesen beiden sich einander gegenüberstehenden Elektroden ab. Dadurch wird in Punkt- oder Linien-

JiO folge eine Bildanzeige dargestellt.

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Bel OllmmentladuiigsanzelKon dor dnr^cnfccll ton Art erfolgt, die Betrachtung von der Seite der ersten Substratplatte her. Die ersten Elektroden xj_, X2, x-5 der Anodenelektrodengruppe X sind im wesentlichen in der Mitte zwischen zwei Trennwänden, die einen bandförmigen Glimmentladungs-Hohlraum 5a, 5b, 5c, einschließen, angeordnet. Um eine helle Anzeige zu erzielen, sind die ersten Elektroden aus einem durchsichtigen Material hergestellt. Derartige durchsichtige Elektroden weisen jedoch einen hohen Widerstand auf, was zu ungleichem Ansprechverhalten und damit örtlichen Helligkeitsschwankungen führt. Aus Gründen der Bildqualität müssen daher auf Kosten der Helligkeit die Elektroden auf der Beobachtungsseite im allgemeinen aus durchscheinendem Elektrodenmaterial mit geringerem elektrischen Widerstand hergestellt werden.

Normalerweise beträgt der gegenseitige Abstand der Trennwände und damit die Breite der bandförmigen Glimmentladungs-Hohlräume 5a, 5b, 5c, ... etwa 200 pm. Die zugehörigen ersten Elektroden X₁, xg» ^X5 ··· ^der Anodenelektrodengruppe X sind In dor Regel durch ein Druckverfahren hergestellt und weisen dann eine Breite von etwa 70 um auf. Auch die Trennwände g]_, S?j 83 ··· sind in der Regel durch ein Druckverfahren hergestellt. Sie weisen, da. sie eine verhältnismäßig große Höhe von etwa 100 bis I50 um aufweisen, eine Breite von etwa 100 pm auf, da der Druckprozeß mehrfach wiederholt werden muß. Damit ist die Breite jedes der bandförmigen Glimmentladungs-Hohlräume 5a, 5b, 5c ... etwa 100 pm. Von diesen sind etwa 70 pm durch jeweils eine der ersten Elektroden xl, X₂, x·* ... abgeschirmt, so daß nur noch ein Streifen von 15 pm Breite zu beiden Seite einer ersten Elektrode x\, x^, x-^ ... für das

'.50 Durchscheinen der Glimmentladung zur Verfügung steht. Diec bedeutet, daß 70 % der Breite eines Glimmentladungs-Hohlraumes 5a, 5b» 5° ··· durch die zugehörige erste Elektrode abgeschirmt wird.

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Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Glimmentladungsanzeige der eingangs genannten Art anzugeben, mit der eine größere Helligkeit al«bei gattungsgemäßen Glimmentladungsanzeigen erzielt werden kann.

Die Lösung der Aufgabe ist zusammenfassend im Merkmal des ersten Anspruchs angegeben. Der Erfindung liegt die Erkenntnis zugrunde, daß zwar durch die üblichen Herstellverfahren Elektrodenbreiten von etwa 70 μνα erzielt werden, daß jedoch zum Erzeugen einer Glimmentladung schon eine Elektrode mit etwa 20 um Breite ausreicht. Eine derartige schmale, wirksame Elektrode läßt sich gemäß der Erfindung dadurch erzielen, daß die relativ breiten Elektrodenstreifen sozusagen unter die Trennwände geschoben sind, und zwar so weit·, daß sie mindestens noch mit einer Breite unter den Trennwänden hervorragen, die erforderlich ist, um die Glimmentladung in Gang setzen und aufrechterhalten zu können.

Die Erfindung sowie vorteilhafte Ausfiihrungsformen und Weiterbildungen derselben, sowie Herstellverfahren zum Erzeugen einer erfindungsgemäßen Glimmentladungsanzeige werden im Folgenden anhand von Figuren näher erläutert.

Es zeigen:

Fig. 3 Teildraufsicht auf einen wesentlichen Teil einer Gllmmentladunnsanzeip;e coimiß dor Rrfindun;·:;

PIiI. ^!\ Teilschnitt entlang der· Linie Λ-Λ Jn P¹Lp;. ->;

Fig. 5-9 Teilschnitt in gleicher Blickrichtung wie in

Fig. 4 auf eine erste Substratplatte in verschiedenen Herstellzuständen.

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In den Figuren 3 und 4 ist wie schon in den Figuren 1 und 2 mit 1 eine flache Umhüllung bezeichnet, die eine erste Substratplatte 2, eine zweite Substratplatte 3 und eine diese beiden unter Einhaltung eines vorgegebenen Abstandes verbindende Dichtwand 4 aufweist. Auf der ersten Substratplatte 2 sind wiederum zueinander parallele erste Elektroden χ ^, Xg, x* einer Anodenelektrodengruppe X aufgebracht. Entsprechend weist die zweite Substratplatte rechtwinklig zu den ersten Elektroden, in Zeilenrichtung verlaufende zweite Elektroden yi, Y2> ^ν3 einer Kathodenelektrodengruppe Y auf. Die ersten Elektroden und die zweiten Elektroden sind z.B. durch ein Druckverfahren aufgebracht. Auch bei der Glimmentladungsanzeige gemäß den Fig. 3 und 4 liegt wieder eine Trennwandgruppe G mit zueinander parallel laufenden Trennwänden auf.

Jedoch besteht im dargestellten Fall, wie dies insbesondere aus Fig. 4 ersichtlich ist, jede Trennwand aus einer ersten und einer zweiten Teiltrennwand Die ersten Teiltrennwi'inde g, , gp t g-*_a · · · sind auf der ersten Substratplatte 2 und die zweiten Toi!trennwände χ g_o, , ^ ... sind enti.?0 sprechend auf der zweiten Substratplattc 3 aufgebracht. Die Teiltrennwände überlappen sich jeweils, zumindest teilweise, rechtwinklig zu ihrer Längserstreckungsrichtung. In Längserstreckungsrichtung stoßen sie ohne Unterbrechung aneinander, um bandförmige Glimmentladungs-Hohlräume 5a, 5b, 5c ... abzuschließen.

Die Trennwände g_n sind so angebracht, daß sie die ersten Elektroden χ teilweise überlappen. In Blickrichtung der Fig. 4 gesehen, decken die Trennwände jeweils den rechten Rand der ersten Elektroden ab, und zwar jeweils etwas mehr als zur Hälfte. Die ersten Elektroden χ.,, Xp, x·, . . . weisen nämlich jeweils etwa eine Breite von 70 um auf; davon sind jeweils etwa 40 μπι durch eine Trennwand abgedeckt, so daß noch etwa 30 um frei liegen.

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Die beiden Elektrodengruppen X und Y und die Trennwandgruppe G auf den Substratplatten 2 und 3 können z.B.durch eine Druckmethode oder durch eine Abhebomothodo mit einem Fotolackprozeß mit Maske hergestellt worden. Dabei kann für die ersten Elektroden χ, , X£, X^ und die ersten Teil trennwände g, ί g_o j 6-^r, dieselbe Maske verwendet v/erden, die von la da. ja.

einem Verfahrensschritt zum anderen um einen vorgegebenen Weg rechtwinklig zur Längserstreckungsrichtung der ersten Elektroden verschoben wird. Dadurch läßt sich der Überlappungsgrad der ersten Elektroden X₁, x_g, X^ ... durch die ersten Teiltrennwände gn_a» Sp_ai S-r_a ··· genau einstellen.

Es wird zunächst der Fall beschrieben, in dem die ersten Elektroden X₁, Xp, X-* ... der Anodenelektrodengruppe X und die ersten Teiltrennwände ^Kia' ^g2a' ^a '*" ^^{uron einen} Druckprozeß hergestellt werden. In diesem Fall worden auf die erste Substratplatte 2 in einem ersten Verfahrensschritt die ersten Elektroden X₁, x_o, x-, ... mit dem erwähnten parallelen Muster aufgebracht. Dazu kann als leitfähige Paste z.B. eine Nickelpaste verwendet werden, wie sie unter der Handelsbezeichnung 9550 der Firma Dupont Co., Ltd. erhältlich ist. Nach dem Drucken wird die Paste einem Trocknungsprozeß unterworfen, um das Lösungsmittel in der Leitpaste zu verdampfen. Danach werden die ersten Teiltrennwände g_la, g_2a, g-,_a — aufgedruckt. Dieses Aufdrucken erfolgt mit derselben Vorrichtung, mit der die ersto Elektroden x,, x_o, x-^ ... aufgebracht wurden. Es wird auch dieselbe Maske verwendet, durch die hindurch gedruckt wird. Diese Maske wird zum Aufbringen dor ersten Tolltrenrwände z.B. um etwa '0 pm roohtwinkl ic; ;-'ur Lnngserstreckungsrichtung dor erstou Elektroden verschoben, wobei die Parallelität der Maskens trol fen 7,\x den Elektroden erhalten bleiben muß. Zum Drucken wird statt der Leitpaste nun eine Glaspaste, z.B. eine wie sie unter der Handelsbezeichnung NT-100 der Firma Nippon Toki Ltd. erhältlich ist, verwendet. Die aufgedruckten parallelen ersten Teil-

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trennwände ^£ia^{J g}2a* ^"3a *** ^{werden dann} zusammen mit den ersten Elektroden χ, , Xp, x-, . .. für 6ü Minuten bei etwa 5^0 °C ausgeheizt. Auf diese Art und Weise werden durch eine Druckmethode die ersten Elektroden x,, x~, x^ ... und die zu ^r5 diesen leicht versetzten Teil trenn wände g_la, g_2a* g-*_a ··· erhalten.

Statt der Druckmethode können auch andere Herste llmethoden verwendet werden. Wesentlich ist, daß mit ihnen erste Elektroden und Trennwände erzielt werden können, die etwas gegeneinander versetzt sind. Zum Beispiel kann eine Abhebemethode mit Fotolack mit Maske verwendet werden, wie sie nun anhand der Figuren 5 bis 9 erläutert wird. Wie in Fig. 5 dargestellt, wird zunächst eine Fotolackschicht 6 auf die erste Substratplatte 2 aufgebracht. Die Fotolackschicht 6 kann z.B. aus Vj einem lichtempfindlichen Polyvinylalkohol bestehen. Beim Ausführungsbeispiel wurde jedoch das unter der Handelsbezeichnung Liston film der Firma Dupont Co., Ltd., erhältliche Material verwendet. Die fotoempfindliche Schicht 6 wird einem Belichtungsverfahren durch eine Maske hindurch und einem Entwicklungsverfahren unterworfen, um ein streifenförmiges Muster zu erzielen. Wie in Fig. 6 dargestellt, werden später wegzunehmende Fotolackstreifen 6a erzeugt, zwischen denen Lücken bestehen, in denen die ersten Elektroden xl, X₂, x-T ... eingebracht werden. Wie in Fig. 7 dargestellt, wird auf das mit cten Fotolackstreifen 6a versehene erste Substrat 2 In einem weiteren Verfahrenaschrltt nine Leitschicht 7, z.B. aus Nickelpaste, aufgebracht, Danach werden die Lackstreifen 6a entfernt, was durch Erhitzen bei etwa ²IOO bis 500 ⁰C erfolgt. Dabei wird der Teil der leitfähigen Schicht 7, der sich über dem Lackstreifen 6a befindet, weggenommen, so daß nur noch, wie es in Fig. 8 dargestellt ist, erste Elektroden x,, Xp, χ., ... der Anodenelektrodengruppe X auf der ersten Substratplatte 2 zurückbleiben. Danach werden in einem zweiten, nicht dargestellten Verfahrensgang die Teiltrenn-

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- 11 wände g, , g_Oe/ £^_Q aufgebracht. Dazu wird die mit ersten

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Elektroden versehene Substratplatte 2 wiederum mit einer fotoempfindlichen Lackschicht 6 versehen, die dann durch dieselbe Maske hindurch, die im Herstellverfahren für die ersten Elektroden verwendet wurde, belichtet wird. Die Maske wird in diesem Fall jedoch versetzt angebracht, so daß schließlich Teiltrennwände g_1&, g_2Q, g_ ... erhalten werden, die die ersten Elektroden teilweise überlappen. Nachdem so die ersten Elektroden Überlappende Glaspastestroifen aufgebracht sind, werden diese zusammen mit den ersten Elektroden gesintert.

Da bei beiden beschriebenen Verfahren die ersten Elektroden X₁, X₂, x, ... und die Te 11 trennwände g_lQ, g_2a, g- ... auf derselben Substratplatte 2 noch derselben Methode mit derselben Maske aufgebracht werden, läßt sich die gegenseitige Verschiebung genau einstellen. TIm eine vorgegebene Höhe der Teiltrennwände g> , gp„> g-z„ ··· zu erzielen kann die Aufbringmethode auch mehrmals unter Verwendung derselben Maske durchgeführt werden.

Auf der anderen Substratplatte 3 wird auf ähnliche Art und Weise die Kathodenelektrodengruppe Y aufgebracht. Z.B. kann dafür ein Druckprozeß unter Verwendung von Nickelpaste verwendet werden. Dann werden unter Verwendung derselben Maske, die zur Herstellung der ersten Elektroden χ,, X₂, x^ und der ersten Teiltrennwände gi_a> ßp_a> G^ ··· diente, auf der zweiten Substratplatte jü zweite Tel!trennwände R₁, , C_Ok» E₇v ··· aufgebracht. Um die vorgegebene? Höhe dieser TeJ 1 trennwände zu erzielen, kann der Druckprozeß zum Beispiel achtmal wiederholt werden. Danach werden die zweiten Teiltrennwände ebenfalls einem Sinterprozeß unterworfen, wie dies auch bei den ersten Teiltrennwänden erfolgte. Falls die ersten Teiltrennwände gi_ai Sp₃* S^_a ··· schon ausreichend hoch sein sol]ten, ist es nicht erforderlich, die zweiten Teil hrormwHnrU* K₁₁ » Zn\ > S*k ··· hoch auszuführen. V/Ήίη .schon du· MVlltroMri-

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wände g_la, g_2a, g~ ... so hoch ausgeführt werden, daß ihre Höhe dem Abstand der beiden Substratplatten 2 und 3 entspricht, ist es nicht mehr erforderlich, die zweiten Te 1-trennwände gi_b» SpK* ^g3h "'" ^anzul:)rinS^en· Statt durch einen Druckprozeß können nach dem Anbringen der zweiten Elektroden Jr₁, y₂, y., ... die zweiten Teiltrennwände g_lt), g_2t), g^., ... auch durch die beschriebene Abhebemethode mit Fotolack mit einer Maske angewandt werden.

Jeweils an einem Ende der Elektroden X₁, X₂, x, ... bzw. yij Y₂* ^y·* ··· Jeder der Elektrodengruppen X bzw. Y sind noch Anschlüsse 8 bzw. 9 angebracht, die sich auf Kantenbereiche 2a bzw. 3a der Substratplatten 2 bzw. 3 erstrecken. Die Anschlüsse 8 bzw. 9 erstrecken sich außerhalb des durch die Dichtwand 4 abgeschlossenen Hohlraumes 5 der Substratplatten 2 und 3.

Eine Glimmentladungsanzeige der beschriebenen Art kann auf dieselbe Art und Weise betrieben werden, wie bisher bekannte Glimmentladungsanzeigen. Die Glimmentladung findet wiederum jeweils an einem Kreuzungspunkt zwischen sich überkreuzenden Elektroden χ-,, Xp, x-, ... und y, , yp, y^ ... in den bandförmigen Glimmentladungs-Hohlräumen 5a, 5b, 5c ... statt. Während jedoch bei bisher bekannten Glimmentladungsanzeigen die Glimmentladung stark durch die ersten Elektroden X₁, x₂, x-^ ·· abgedeckt wird, ist dies bei einer Glimmentladungsanzeige der angegebenen Art weit weniger der Fall. Bei jeweils gleichem gegenseitigen Abstand der Trennwände von 200 pm und einer Trennwandbreite von 100 jam bleiben in beiden Fällen für die Breite der bandförmigen Glimmentladungs-Hohlräume etwa 100 um übrig. Während bei bekannten Glimmentladungsanzeigen davon 70 /um durch die ersten Elektroden jeweils abgedeckt wurden, werden bei einer Glimmentladungsanzeige der angegebenen Art nur noch etwa 30 pm von den 100 jüm abgedeckt, da die ersten Elektroden jeweils zu ihrem größten Teil unter einer zugehörigen Trennwand angeordnet sind. VJährend also be:l bi.sher

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bekannten Glimmentladungsanzeigen nur 30 % der Breite eines bandförmigen Glimmentladungs-Hohlraumes frei durchstrahlt werden konnten, können bei Glimmentladungsanzeigen der angegebenen Art 70 % der Breite frei durchstrahlt worden. Damit ist eine Helligkeitssteigerung auf über das Doppelte bisher bekannter Anzeigen möglich.

Da bei Glimmentladungsanzeigen der angegebenen Art nur wenig der Breite eines bandförmigen Glimmentladungs-Hohlraums abgedeckt wird, müssen die ersten Elektroden x,, x_?, x., ... nicht mehr notwendigerweise aus einem durchscheinenden oder gar durchsichtigen leitfähigen Material hergestellt sein, sondern sie können aus einer Metallschicht hoher Leitfähigkeit hergestellt sein, was zu einer erheblich verbesserten Ansprechsicherheit führt.

Es ist weiterhin von großem Vorteil, daß dio ersten Elektroden X₁, X^, χ-, ... und die Trennwände g_la, g_2a, g., ... mit demselben Muster hergestellt werden, was eine genaue örtliche Beziehung der beiden zueinander zulaßt, was auch bei Massenherstellung gleichmäßige Eigenschaften der Glimmentladungsanzeigen untereinander zuläßt.

Wenn die freiliegende Breite jeder der ersten Elektroden xl, xpj x-2 . · ·, die in die zugehörigen bandförmigen Glimmentladungs-Hohlräume 5a, 5b, 5c ... ragen, größer als etwa 20 pm ist, wirken diese Elektroden als zuverlässige Anoden zum Auslösen einer Glimmentladung.

In der gegebenen Beschreibung wurden bestimmte Angaben zu Abmessungen, Materialien und Herstellverfahren gemacht. Auf diese ist eine Glimmentladungsanzeige der angemeldeten Art jedoch nicht beschränkt. Wesentlich ist vielmehr, daß bei einer Glimmentladungsanzeige der angemeldeten Art die ersten Elektroden nicht mehr mit ihrer ganzen Breite bandförmige Glimmentladungs-Hohlräume abschirmen, sondern daß sie nur noch teilweise unter zugehörigen Teiltrennwänden oder Trennwänden hervor in die Glimmentl adunp;sräume ragen.

Leerseite

Claims

PATENTANWÄLTE

TER MEER - MÜLLER - STEINMEISTER

Beim EuropilKtwn Patentamt zugelauene Vertreter Prof. RepreMntatlves before the European Patent Office - Mandatalrea agrdet pr*e !'Office europeen des breveta

Dipl.-Chem. Dr. N. ter Meer Dipl.-Ing. H. Steinmeister ?&£" A^^ecK-Straese=,

D-8000 MÜNCHEN 22 D-4800 BIELEFELD 1

Case: S82P8

MÜ/Je/b 12. Januar 1982

SONY CORPORATION
7-35 Kitashlnagawa 6-chome, Shinagawa-ku, Tokyo 141, Japan

Glimmentladungsanzeige und Verfahren zu ihrer Herstellung Priorität: 13. Januar 1981, Japan, Nr. 3441/81

Patentansprüche

Glimmentladungsanzeige mit

- einer ersten (2) und einer zweiten (3) Substratplatte, die unter Einhalten eines gegenseitigen Abstandes längs ihrer Ränder durch eine Dichtwand (4) miteinander verbunden sind,

- einer glimmentladungsfähigen Gasfüllung im Hohlraum (5) zwischen den Substratplatten und der Dichtwand,

- ersten zueinander parallelen Elektroden (X) auf der ersten Substratplatte (2),

- zweiten zueinander parallelen, zu den ersten Elektroden (X) unter einem Winkel stehenden zweiten Elektroden (Y) auf der zweiten Substratplatte (3), und

- Trennwänden (G) parallel zu den ersten Elektroden (X), mit gegenseitigen Abständen, die den Abständen zweier benachbarter erster Elektroden entsprechen, und mit

- jeweils einer Trennwandbreite, die in etwa der Breite einer ersten Elektrode entspricht, dadurch gekennzeichnet, daß jede Trennwand (G) jeweils eine erste Elektrode (X) teilweise überlappt.

TERMEER. MÜLLER · STEINMEi§Tty?
2. Glimmentladungsanzeige nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß jede Trennwand (G) aus zwei Tel!trennwänden gebildet ist, von denen die eine (g_na) auf der ersten Substratplatte (£) und die zweite (g_nb) auf der zweiten Substratplatte (4) angebracht ist, und daß die Teiltrennwände aneinander stoßen.
J5. Glimmentladungsanzeige nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Höhe der Trennwände (G) im wesentlichen dem gegenseitigen Abstand der beiden Substratplatten (2, 3) entspricht.
4. Glimmentladungsanzeige nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die ersten Elektroden (X) Metallelektroden sind.
5. Verfahren zum Herstellen einerQimentladungsanzeige nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß auf der ersten Substratplatte (2) zunächst die ersten Elektroden (X) aufgebracht werden und daß danach die Trennwände (G) mit einem gegenseitigen Abstand, der dem gegenseitigen Abstand der ersten Elektroden (X) entspricht, so aufgebracht werden, daß jede Trennwand (G) eine erste Elektrode (X) teilweise überlappt.
6. Verfahren nach Anspruch 5» dadurch gekennzeichnet, daß die ersten Elektroden (X) und die Trennwände (G) durch jeweils eine Maske hindurch in einem Druckverfahren hergestellt werden.

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7. Verfahren nach Anspruch 5* dadurch gekennzeichnet, daß die ersten Elektroden (X) durch ein Fotoentwicklungsverfahren hergestellt werden, bei dem zunächst mit einem Fotolack (6) durch Belichten durch eine Maske parallele Lackstreifen (6a) auf der ersten Substratplatte (2) erzeugt werden, daß dann das Elektrodenmaterial (7) aufgebracht wird und daß dann die Fotolackstreifen (6a) mit dem darauf befindlichen Elektrodenmaterial entfernt werden, so daß parallele erste Elektroden (X) auf der ersten Substratplatte (2) zurückbleiben, und daß die Trennwände (G) auf dieselbe Weise hergestellt werden.
8. Verfahren nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß zum Aufbringen der ersten Elektroden (X) in einem ersten Verfahrensschritt und der Trennwände (G) in einem zweiten Verfahrensschritt dieselbe Maske verwendet wird, die vom ersten zum zweiten Verfahrensschritt rechtwinklig zur Längserstreckungsrichtung der ersten Elektroden (X) verschoben wird.
9. Verfahren nach einem der Ansprüche 5 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Trennwände (G) durch Übereinanderlagern mehrerer ,Schichten in wiederholten Verfahrensschritten aufgebracht, worden.