DE3125193C2 - Verfahren zur Herstellung einer Flüssigkristallzelle und nach dem Verfahren hergestellte Flüssigkeitszelle - Google Patents

Verfahren zur Herstellung einer Flüssigkristallzelle und nach dem Verfahren hergestellte Flüssigkeitszelle

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DE3125193C2
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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Flüssigkristallzelle, die ein Paar einander gegenüberliegender Tragteile aufweist, von denen das eine eine ein Muster bildende Elektrode und das andere eine Gegenelektrode aufweist, welche gegenüberliegend zu der ein Muster bildenden Elektrode angeordnet ist, wobei ein Flüssigkristallmaterial sandwichartig zwischen den beiden Elektroden vorgesehen ist. Wenigstens die ein Muster bildende Elektrode (2-1) weist eine In ↓2O ↓3-Beschichtung und ein übriger Abschnitt des Tragteils, wo die In ↓2O ↓3-Beschichtung nicht angeordnet ist, weist eine CeO ↓2-Beschichtung (3) auf, deren Brechungsindex im wesentlichen gleich dem der In ↓2O ↓3-Beschichtung ist.

Description

erfüllt sind.
n\ ■ n]
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Flüssigkristallzelle, bei der sich ein Paar von Trägerplatten gegenüberliegt, von den.en eine erste eine sin Muster bildende Elektrodenanordnung und die zweite eine Gegenelektrode trägt, die gegenüber der Elektrodenanordnung angeordnet ist, bei der als Elektrodenmaterial eine Mischung aus In2O3 und SnO2 verwendet wird, bei der die Elektrodenanordnung von transparentem Isoliermaterial eingerahmt ist und bei der ein Flüssigkristallmaterial zwischen der Elektrodenanordnung und der Gegenelektrode angeordnet ist
Eine Flüssigkristallzelle mit den oben angegebenen Merkmalen ist aus der DE-OS 28 23 630 bekannt Dabei wird für das die Elektrodenanordnung einrahmende Isoliermaterial Siliciumoxid verwendet Dabei weist das Isoliermaterial die gleiche Dicke wie die Elektrodenanordnung auf. Es wird empfohlen, den Brechungsindex des Isoliermaterials gleich dem Brechungsindex der Elektrodenanordnung zu machen, weil dann keine Entspiegelung der Elektrodenanordnung erforderlich ist Diese Maßnahmen sollen zu einer Flüssigkristallzelle mit hoher optischer Qualität führen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Herstellung einer solchen Flüssigkristallzelle verfügbar zu machen, bei der in besonders hohem Mi. ße beim Nichtanliegen eines elektrischen Feldes das Muster der Elektrodenanordnung nicht als schwebendes Scheinbild sichtbar wird und beim Anlegen eines elektrischen Feldes eine klare Anzeige mit hohem Kontrast entsteht
Die Aufgabe wird dadurch gelöst, daß auf der ersten Trägerplatte (1-1) eine leitende Elektrodenschicht (2-1) aus In2O3 mit fünf Gewichtsprozent SnO2 mit dem gewünschten Elektrodenmuster aufgebracht wird und daß auf den nicht mit der Elektrodenschtcht (2-1) versehenen Bereichen dieser Trägerplatte (1-1) als transparentes Isoliermaterial CeO2 mit 20 bis 25 Gewichtsprozent CeF3 mittels eines Vakuumaufdampfverfahrens niedergeschlagen wird.
Zu einem besonders guten Ergebnis kommt man, wenn man die Weiterbildung des Verfahrens gemäß Anspruch 2 benutzt.
Die Verwendung von Ceroxid für Flüssigkristallanzeigevorrichtungen ist aus der DE-OS 26 53 818 an sich bekannt. Dort wird Ceroxid als Zwischenschicht zwischen einer transparenten Gegenelektrode und einem über der Gegenelektrode befindlichen reflektierenden Überzug verwendet. Diese Zwischenschicht aus Ceroxid dient einerseits der Verbesserung der Haftfähigkeit des reflektierenden Überzuges und soll andererseits eine zu einer optischen Beeinträchtigung führenden Instabilität des Widerstandes der Gegenelektrodenschicht vermeiden.
Bei einer Flüssigkristallzelle, die mit dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellt ist, kann man besonders gute optische Ergebnisse erzielen, wenn man die Maßnahmen gemäß Anspruch 3 oder gar noch die Maßnahmen des Anspruchs 4 anwendet. Durch die Abstimmung der Dicken und der Brechungsindizes der beteiligten Schichten gemäß den in den Ansprüchen 3 und 4 angegebenen Beziehungen kommt es zu einer besonders guten optischen Zusammenwirkung der in das isolierende Material eingebetteten Elektrodenanordnung und der zusätzlichen Antireflexbeschichtung und gegebenenfalls der zusätzlichen transparenten Isolierschicht zwischen der Elektrodenanordnung und dem sie einrahmenden Isoliermaterial und der die Elektrodenanordnung tragenden Trägerplatte.
Auf der Elektrodenanordnung eine Entspiegelungsschicht und zwischen der Trägerplatte und der Elektrodenanordnung eine Schutzschicht vorzusehen, ist an sich aus der DE-OS 28 27 258 bekanni.
Die Erfindung wird im folgenden anhand schematischer Zeichnungen an mehreren Ausführungsbeispielen noch näher erläutert Es zeigt
F i g. 1 einen Querschnitt einer Flüssigkristallzelle nach einer ersten Ausführungsform der Erfindung; die Fig. 2 und 3 Querschnitte einer zweiten und einer ι ο dritten Ausführungsform der Erfindung; und F i g. 4 eine Ansicht mit Darstellung der Raumform eines Wolfram-Schiffchens, welches zum Vakuumniederschlag einer CeF3CeC>2-Beschichtung verwendet wird.
In F i g. 1 ist ein Paar rechteckiger Träger 1-1 und 1-2 aus Glas (auf Natriumsilikatbasis) dargestellt, von denen jeder einen Brechungsindex a> aufweist An einer innsren Oberfläche eines der transparenten Träger 1-1 ist eine transparente leitfähige Beschichtung 2-1 aufgebracht die beispielsweise ein Siebensegment- bzw. »E3«-Muster bildet, eine Dicke dt aufweist und einen Brechungsindex nt hat Auf dem Abschnitt des transparenten Trägers, wo die das Muster bildenden Elektroden nicht angeordnet sind, ist eine transparente isolierende Beschichtung 3 angeordnet, welche dieselbe Dicke d\ hat wie die transparente leitfähige Beschichtung 2-1 und deren Brechungsindex π\· im wesentlichen gleich dem obengenannten Brechungsindex ist Beispielsweise kann die transparente ieitfähige Beschichtung 2-1 ein Indiumoxid 1^03 aufweisen, welches einen to Brechungsindex von 1,80 hat und 5,0 Gewichtsprozent eines Zinnoxids SnÜ2 enthält, während die transparente isolierende Beschichtung 3 CeÜ2 mit 20,0 Gewichtsprozent von CeF3 enthält und durch Vakuumniederschlag unter Verwendung eines Wolfram-Schiffchens so ^ aufgebracht ist, daß sie einen Brechungsindex von 1,80 aufweist. Sowohl die transparente Ieitfähige Beschichtung 2-1 als auch die transparente Isolierbeschichtung 3 haben eine Dicke von 300 A.
Auf einer inneren Oberfläche des anderen transpa- to renten Trägers 1-2 ist eine transparente Ieitfähige Beschichtung 2-2 aufgebracht, die als Gegenelektrode dient, der die musterbildende Elektrode auf dem transparenten Träger 1-1 gegenüberliegt und diesen gemeinsam ist und dieselbe Dicke d\ =300 Ä hat wie die transparente Beschichtung 2-1.
Eine große Anzahl Nuten oder Riefen ist auf den Oberflächen der transparenten leitfähigen Beschichtung 2-1 und der transparenten isolierenden Beschichtung 3 auf den transparenten Träger 1-1 einerseits und der ·" Oberfläche der transparenten leitfähigen Beschichtung 2-2 auf dem transparenten Träger 1-2 andererseits ausgebildet, die sich in Richtungen normal zueinander erstrecken und dazu dienen, an ihnen entlang die Ausrichtung der Längsachse der Flüssigkristallmoleküle 5^ zu bewirken. Die Nuten oder Riefen beruhen auf einem Reibverfahren unter Verwendung eines Poliertuches, sind jedoch in den Zeichnungen nicht dargestellt.
Die beiden transparenten Träger 1-1 und 1-2 haften aneinander über Abstandstücke 4 und 4', so daß deren b0 geriebene Oberflächen zueinander parallel verlaufen und einen vorbestimmten Abstand haben. Eine Schicht aus Flüssigkristallzusammensetzung 5, beispielsweise ein nematischer Flüssigkristall, wird in den Hohlraum injiziert, der zwischen den beiden transparenten ω Trägern 1-1 und 1-2 gebildet ist, um die Herstellung einer Flüssigkristallzelle 6. fertigzustellen. Die Flüssigkristallmoleküle, die sich einerseits in Kontakt mit der transparenten leitfähigen Beschichtung 2-1 und der transparenten isolierenden Beschichtung 3 auf dem transparenten Träger 1-1 und andererseits in Kontakt mit der transparenten leitfähigen Beschichtung 2-2 auf dem Träger 1-2 befinden, sind dementsprechend längs der Richtung der Reibbeeinflussung ausgerichtet, aber um einen Winkel von 180 oder 90° von den geriebenen Oberflächen der transparenten leitfähigen Beschichtung 2-1 und der transparenten Isolierbeschichtung 3 zur anderen transparenten leitfähigen Beschichtung 2-2 verdreht
Die resultierende FlüssigkristallzeUe 6. wird durch ein Paar· Polarisatoren 7-1 und 7-2 in einer vertikalen Richtung flankiert, wie es durch die gestrichelte Linie dargestellt ist; daraus resultiert eine Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung des TN-FEM-Typs (twisted nematic electric field drive Typ, also einer Bauart mit Steuerung durch ein elektrisches Feld und verdrehtem nematischem Flüssigkristall). Es sei festgehalten, daß die beiden Polarisatoren 7-1 und 7-2 so angeordnet sind, daß sie normales Licht so verwenden, daß ihre Polarisationsachsen normal zur Reibrichtung an den transparenten Trägern 1-1 und 1-2 verlaufen.
Wenn die beschriebene Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung betrieben wird, leiden tatsächlich die das Muster bildenden Elektroden dann, wenn kein elektrisches Feld herrscht oder keine Spannung zwischen den transparenten Beschichtungen 2-lund 2-2 angelegt ist, niemals mehr an einer reliefbildenden Verschaltung bei auftreffendem Licht. Wenn ferner eine gewünschte Arbeitsspannung zwischen den das Muster bildenden Elektroden auf der transparenten Leitfähigkeitsbeschichtung 2-1 und der transparenten Leitfähigkeitsbeschichtung 2-2 angelegt wird, erscheint eine sehr klare Anzeige auf den das Muster bildenden Elektroden.
Bei der zweiten Ausführungsform der Erfindung gemäß Fig.2 weist die FlüssigkristallzeUe 10 ferner transparente isolierende Beschichtimgen 11-1 und 11-2 auf, die eine gewünschte Dicke dt bzw. einen Brechungsindex nz haben und einerseits auf der transparenten leitfähigen Beschichtung 2-1 und der transparenten isolierenden Beschichtung 3 auf der inneren Oberfläche des einen transparenten Trägers 1-1 und andererseits auf der transparenten leitfähigen Beschichtung 2-2 auf dem anderen Träger 1-2 aufgebracht sind. Die entsprechenden Oberflächen der beiden transparenten isolierenden Beschichtungen 11-1 und 11-2 sind in ähnlicher Weise, wie es im Zusammenhang mit F i g. 1 beschrieben wurde, einem Reibverfahren zur Riefenbildung unterworfen worden. Im übrigen ist die FlüssigkristallzeUe gemäß F i g. 2 im wesentlichen der anhand F i g. 1 beschriebenen Zelle ähnlich, wobei insoweit dieselben Bezugszeichen benutzt sind.
Die Materialien und Dickenwerte der wesentlichen Funktionselemente 1-1, 1-2,2-1, 2-2, 3, 5,11-1 und 11-2 der FlüssigkristallzeUe 10 und die Wellenlänge λ des zur Beleuchtung der Musterelektroden dienenden Lichtes sind so gewählt, daß sie die folgenden Beziehungen (I) erfüllen:
n\
π2
λ/4
/if · /?4 « /I0 · n\
(D
dabei bedeuten λ die Wellenlänge des Beleuchtungslichtes des darzustellenden Musters, ns, den Brechungsindex des Flüssigkristallmaterials 5, d\ die Dicke der transpa-
renten Leitfähigkeitsbeschichtungen 2-1, der transparenten Isolierbeschichtung 3 und der transparenten leitfähigen Beschichtung 2-2, n\ den Brechungsindex dieser ßeschichtungen 2-1, 3 und 2-2, d2 die Dicke der transparenten Isolierbeschichtungen 11-1 und 11-2 und /72 den Brechungsindex dieser Beschichtungen 11-1 und 11-2.
Die Gleichung (I) ist aus einer theoretischen Berechnung abgeleitet, welche die kritische Bedingung zeigt, bei der reflektiertes Licht in folgenden Bereichen minimal gehalten wird: An den Grenzflächen zwischen dem transparenten Träger 1-1 und der transparenten leitfähigen Beschichtung 2-1 sowie der transparenten isolierenden Beschichtung 3, an den Grenzflächen zwischen dem transparenten Träger 1-2 und der transparenten leitfähigen Beschichtung 2-2 sowie an den Grenzflächen zwischen der Flüssigkristallschicht 5 und der jeweiligen transparenten isolierenden Beschichtung 11-1 und 11-2.
Zweckmäßig wird die Wellenlänge λ des Lichtes, welches zur Darstellung des Musters dient, so gewählt, daß sie bei 5500 Ä liegt. Diese Auswahl beruht auf einer Sichtbarkeitskurve, die bei Voruntersuchungen der Erfindung gewonnen wurde, um die maximal erwünschte Sichtbarkeit sicherzustellen.
Die transparenten leitfähigen Beschichtungen 2-1 und 2-2 weisen Indiumoxid In2O3 mit 5,0 Gewichtsprozent von Zinnoxid SnCh auf, um so einen Brechungsindex von ^1 = I1SO zu erhalten. Die transparente isolierende Beschichtung 3 wird so hergestellt, daß sie einen Brechungsindex n,'= 1,80 erhält, in dem CeO2 mit 25,0 Gewichtsprozent von CeFj nach einem Vakuumniederschlagsverfahren unter Verwendung eines Wolfram-Schiffchens niedergeschlagen wird. Die Dicke dieser Beschichtungen 2-1,3 und 2-2 ist mit d\ = 750 Ä gewählt. Sowohl der transparente Träger 1-1 als auch der transparente Träger 1-2 sind aus Glas (auf Natriumsilikatbasis) mit einem Brechungsindex Ho= 1,52 aufgebaut. Das Flüssigkristallmaterial 5 weist die Produktnummer »ROTN-403« von (Ter Firma Roche auf. Wie die transparente !solierbeschichtung 3 mit dem Brechungsindex /72=1,80 enthalten die transparenten Isolierbeschichtungen 11-1 und 11-2 CeO2 mit 25,0 Gewichtsprozent CeF3 mit einer resultierenden Dicke von 750 Ä. Der Brechungsindex nt des Flüssigkristalls 5 beträgt im Betrieb 1,52: dann erfüllt die resultierende Flüssigkristallzelle 10 die Anforderungen der Gleichung (I).
Die jeweiligen Oberflächen der transparenten isolierenden Beschichtungen 11-1 und 11-2 der oben beschriebenen Flüssigkristallanzeigezelle 10 werden dem Reibverfahren in Richtungen normal zueinander unterworfen, um die Ausrichtung der Längsachsen der Flüssigkristallmoleküle einzuschränken; die Zelle 10 ist in einer vertikalen Richtung mit Polarisatoren 7-1 und 7-2 flankiert welche die transparenten Träger 1-1 und 1-2 überlagern, wobei ihre Polarisationsachsen normal zur Reibrichtung der transparenten Träger 1-1 und 1-2 verlaufen, wie es durch die gestrichelte Linie dargestellt ist. Dadurch wird die Herstellung der Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung der TN-FEM Bauart vervollständigt
Aus von den Erfindern durchgeführten Experimenten ergibt sich, daß dann, wenn die oben beschriebene Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung betrieben wird, und ein gewünschtes Spannungsniveau zwischen bestimmten ausgewählten Mustern bildenden Elektroden auf der transparenten leitfähigen Beschichtung 2-1 einerseits und der transparenten leitfähigen Beschichtung 2-2 der Gegenelektrode andererseits angelegt wird, kein Reflexionslicht an den folgenden Grenzflächen erscheint: Zwischen einem Abschnitt des transparenten Trägers 1-1, welcher dem ausgewählten Elektrodenmuster entspricht, und der transparenten leitfähigen
Beschichtung 2-1 sowie der transparenten isolierenden Beschichtung 3, zwischen den ausgewählten Musterelektroden auf der transparenten leitfähigen Beschichtung 2-2 und dem transparenten Träger 1-2, zwischen einem Abschnitt der Flüssigkristallschicht 5, welcher
,o dem ausgewählten Elektrodenmuster entspricht, und den zwei transparenten Isolierbeschichtungen 11-1 und 11-2. Daraus ergibt sich eine Musterdarstellung mit bemerkenswert hohem Kontrast. Wenn kein elektrisches Feld einwirkt, kann man in einer Weise, die ähnlich der bei der Flüssigkristallzelle 6. ist, die Muster
bildenden Elektroden auf den transparenten ieitfähigen Beschichtungen 2-1 und 2-2 nicht als schwebendes Muster erkennen.
Die Flüssigkristallzelle 20 gemäß der dritten Ausfüh-
rungsform der Erfindung nach F i g. 3 unterscheidet sich von der oben beschriebenen Zelle IQ darin, daß sie außerdem transparente Isolierbeschichtungen 21-1 und 21-2 aufweist. Diese haben einen gewünschten Brechungsindex n3 bzw. eine gewünschte Dicke d3, sind
2, zwischen der inneren Oberfläche des transparenten Trägers 1-1 und der Darstellungsmuster bildenden transparenten Leitfähigkeitsbeschichtung 2-1 sowie der transparenten Isolierbeschichtung 3 und zwischen der inneren Oberfläche des transparenten Trägers 1-2 und
jo der die gemeinsame oder Sammelelektrode bildende transparenten Ieitfähigen Beschichtung 2-2 angeordnet. Im übrigen entspricht die Flüssigkristallzelle gemäß F i g. 3 im wesentlichen der gemäß F i g. 2; insoweit sind wiederum gleiche Bezugszeichen verwendet
si Die Materialien und Dickenwerte der Funktionselemente 1-1,1-2,2-1,2-2,3,5,11-1,11-2,21-1 und 21-2 der Flüssigkristallzelle 20 und die Wellenlänge λ des zur Beleuchtung der Musterelektroden dienenden Lichtes sind so gewählt, daß sie folgende Beziehungen (II) erfüllen:
η, · d\ <=> n2 ■
d3 » λ/4
n0 · n\
n\ ■ n}
(Π)
Ähnlich wie im Falle der Beziehungen (I) sind die oben definierten Beziehungen (II) aus theoretischen Berechnungen abgeleitet welche die kritische Bedingung angeben, unter der reflektiertes Licht an folgenden
so Grenzflächen minimal ist: Zwischen dem transparenten Träger 1-1 und der transparenten Ieitfähigen Beschichtung 21-1, zwischen der transparenten isolierenden Beschichtung 21-1 und der transparenten Ieitfähigen Beschichtung 2-1 sowie der transparenten isolierenden
Beschichtung 3, zwischen dem transparenten Träger 1-2 und der transparenten leitfähigen Beschichtung 21-2, zwischen der transparenten isolierenden Beschichtung 21-2 und der transparenten Ieitfähigen Beschichtung 2-2 und zwischen der Flüssigkristallschicht 5 sowie den
jeweiligen transparenten Isolierbeschichtungen 11-1 und H-Z
Ähnlich wie im Falle der Flüssigkristallzelle 6, ist zweckmäßig die Wellenlänge λ des Lichtes, welches zur Musterdarstellung dient bei bzw. mit 5500 A gewählt Das Flüssigkristallmaterial 5 weist das bereits erwähnte Material mit der Produktnummer »ROTN-403« der Firma Roche auf. Sowohl der transparente Träger 1-1 als auch der transparente Träger 1-2 sind aus Glas (auf
Natriumsilikatbasis) mit einem Brechungsindex /ίο= 1,52 gewählt. Die transparenten Isolierbeschichtungen 21-1 und 21-2 weisen typischerweise Niobiumoxid Nb2Ü5 auf und haben einen Brechungsindex n>= 1,90 und eine Dicke di = 700 Ä. Die transparenten leitfähigen Be-Schichtungen 2-1 und 2-2 weisen typischerweise Indiumoxid In2O1 mit 5,0 Gewichtsprozent Zinnoxid SnC>2 auf, so daß sich dabei ein Brechungsindex n\ = 1,80 ergibt. Zusätzlich wird die transparente lsolierbeschichtung 3 so hergestellt, daß sie einen Brechungsindex iu /7|' = 1,8O hat, indem CeC>2 mit 25,0 Gewichtsprozent CeF3 in einem Vakuumniederschlagsverfahren aufgebracht wird. Die Dicke dieser Beschichtungen wird mit 750 Ä gewählt. Zusätzlich weisen die transparenten Isolierbeschichtungen 11-1 und 11-2 Siliciumoxid S1O2 mil einer Dicke von 900 A und einem Brechungsindex von /72= 1,47 auf. Der Brechungsindex /74 des Flüssigkristalls 5 liegt unter Betriebsbedingungen bei 1,52. Dann erfüllt die resultierende Flüssigkristallzelle 20 die Anforderungen der Beziehungen (II). 2»
Die jeweiligen Oberflächen der transparenten Isolierbeschichtungen 11-1 und 11-2 der oben beschriebenen Flüssigkristallanzeigezelle werden einem Reibverfahren in normal zueinanderliegenden Richtungen unterworfen, um die Ausrichtung der Flüssigkristallmoleküle einzuschränken. Die Zelle 20 wird in einer vertikalen Richtung mit den Polarisatoren 7-1 und 7-2 flankiert, welche die transparenten Träger 1-1 und 1-2 überlagern, wobei ihre Polarisationsachsen normal zur Richtung des Reibens der transparenten Träger 1-1 und 1-2 verlaufen, wie es durch gestrichelte Linien dargestellt ist. Dadurch wird die Herstellung einer Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung der TN-FEM-Bauart vervollständigt.
Aus den Resultaten von Untersuchungen im Zusammenhang mit der Erfindung ergibt sich, daß dann, wenn die oben beschriebene Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung angesteuert ist und ein gewünschtes Spannungsniveau zwischen ausgewählten Elektroden de- Muster bildenden Elektroden auf der transparenten leitfähigen Beschichtung 2-1 und der transparenten leitfähigen Beschichtung 2-2 angelegt wird, kein Reflexionslicht an folgenden Grenzflächen entsteht: Zwischen ausgewählten Elektroden der Muster bildenden Elektroden auf der transparenten leitfähigen Beschichtung 2-1 sowie der transparenten isolierenden Beschichtung 3 und der transparenten isolierenden Beschichtung 21-1, zwischen der transparenten isolierenden Beschichtung 21-1 und dem transparenten Träger 1-1, zwischen den ausgewählten Muster bildenden Elektroden auf der transparenten leitfähigen Beschichtung 2-2 und der transparenten isolierenden Beschichtung 21-1, zwischen der transparenten isolierenden Beschichtung 2i-2 und dem transparenten Träger 1-2 und zwischen einem Abschnitt der Flüssigkristallschicht 5, welcher den ausgewählten Muster bildenden Elektroden entspricht und den beiden transparenten isolierenden Beschickungen 11-1 und H-Z Dadurch gewinnt man eine Musterdarstellung mit bemerkenswert hohem Kontrast In einer Weise, die der bei den Flüssigkristallzellen 6. und 10 ähnelt, sind die Muster bildenden Elektroden auf den transparenten leitfähigen Beschichtungen 2-1 dann, wenn kein elektrisches Feld entwickelt wird, nicht schwebend sichtbar.
Aus dem vorhergehenden ergibt sich, daß folgendes in einfacher Weise vorgenommen werden kann: Die Auswahl geeigneten Materials für die transparenten Isolierbeschichtungen 11-1 und 11-2, die sich in Kontakt mit der Flüssigkristallschicht 5 befinden, und zwar als Ausrichtungsfilm, welcher beispielsweise die Ausrichtung der Längsachsen der Flüssigkristallmoleküle in einer vorbestimmten Richtung bestimmt, als nur ein Beispiel; passendes Material, welches sich für den Reibvorgang und zur Reduzierung der Herstellungskosten eignet, indem man die transparenten isolierbeschichtungen 21-1 bzw. 21-2 zwischen dem transparenten Träger 1-1 und der das Muster bildenden Elektrode darstellenden transparenten leitfähigen Beschichtung 2-1 sowie der transparenten Isolierbeschichtung 3 und zwischen dem transparenten Träger 1-2 und der die gemeinsame Elektrode bildenden transparenten Leitfähigkeitsbeschichtung 2-2 vorsieht und das Material der transparenten Isolierbeschichtung 21-1 und insbesondere ihren Brechungsindex /7j und ihre Dicke di in der oben beschriebenen Weise wählt.
Obwohl die Erfindung im Zusammenhang mit den Flüssigkristallanzeigezellen £, 10 und 2Ö beschrieben und dargestellt ist, ist sie auch hei .snderen Bauarten von Flüssigkristallzellen anwendbar, um zu vermeiden, daß die Muster der Elektroden als schwebende Scheinbilder unter Bedingungen, bei denen kein elektrisches Feld wirksam wird, sichtbar werden, und um eine sehr klare und mit hohem Kontrast versehene Darstellung dann zu gewinnen, wenn die Bedingungen eines elektrischen Feldes vorliegen.
Die nachfolgende Tabelle führt die Brechungsindizes der CeO2 und CeF3 enthaltenden Beschichtungen auf.
Tabelle
CeF3-Anteil (in %)
Brechungsindex
Dicke (A)
Niederschlagsgrate
(Ä/sec)
50,0 30,0
1,67 1,72
750 750
1,25 0,75
25,0 20,0 15,0
1,79 1,80 1,84
750 300 300
0,94 0,75 0,75
Der Niederschlag wurde unter einem Vakuum von 3 ■ IO-4 torr vorgenommen, und zwar unter einer O2-Atrnosphäre, während das Substrat bis auf 25GPC aufgeheizt wurde. Die Bildung der CeFrCeQ2-Beschichtungen beruhte auf Widerstandsheizung unter Verwendung eines Wolfram-Schiffchens, wie es in Fig.4 dargestellt ist Dabei bedeuten S= 2,0mm, t=0,1 mm, H= 10,0 mm, L= 100,0 mm, /=50,0 mm;0,8 g von CeF3-CeO3 wurden im Schiffchen angebracht.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (4)

Patentansprüche:
1. Verfahren zur Herstellung einer Flüssigkristallzelle, bei der sich ein Paar von Trägerplatten gegenüberliegt, von denen eine erste eine ein Muster bildende Elektrodenanordnung und die zweite eine Gegenelektrode trägt, die gegenüber der Elektrodenanordnung angeordnet ist, bei der als Elektrodenmaterial eine Mischung aus In2O3 und SnCb verwendet wird, bei der die Elektrodenanordnung ι ο von transparentem Isoliermaterial eingerahmt ist und bei der ein Flüssigkristallmaterial zwischen der Elektrodenanordnung und der Gegenelektrode angeordnet ist dadurch gekennzeichnet, daß auf der ersten Trägerplatte (1-1) eine leitende Elektrodenschicht (2-1) aus In2C>3 mit fünf Gewichtsprozent SnOi mit dem gewünschten Elektrodenmuster aufgebracht wird und daß auf den nicht mit der Elektrodenschicht (2-1) versehenen Bereichen dieser Trägerplatte (1-1) als transparentes Isoliermaterial CeO2 mit 20 bis 25 Gewichtsprozent CeF3 mittels eines Vakuumaufdampfverfahrens niedergeschlagen wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß dem CeO2 20 Gewichtsprozent CeF3 beigefügt werden.
3. Flüssigkristallzelle, bei der sich ein Paar von Trägerplatten gegenüberliegt, von denen eine erste eine ein Muster bildende Elektrodenanordnung und die zweite eine Gegenelektrode trägt, die gegenüber der Elektrodenanordnung angeordnet ist, bei der die Elektrodenanordnung von transparentem Isoliermaterial eingerahmt ist und bei der ein Flüssigkristallmaterial zwischen der Elektrodenanordnung und der Gegenelektrode angeordnet ist, wobei die Trägerplatten je einen Brechungsindex no, die Elektrodenanordnung und das transparente Isoliermaterial je einen Brechungsindex ti\ und eine Dicke d\ und das Flüssigkristallmaterial einen Brechungsindex /74 aufweisen, hergestellt mit dem Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß auf der Elektrodenanordnung (2-1) und dem sie einrahmenden Isoliermaterial (3) eine transparente isolierende Antireflexbeschichtung (11-1) mit einem Brechungsindex n2 und einer Dicke c/2 angeordnet ist und daß die Beziehungen
rf] « n2 ■ d2 w λ/4
n\ ■ tu, = M0 · n\
50
erfüllt sind, wobei, λ die Wellenlänge des Beleuchtungslichtes ist.
4. Flüssigkristallzelle nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der Elektrodenanordnung(2-l) sowie dem sie einrahmenden Isoliermaterial (3) und der die Elektrodenanordnung tragenden Trägerplatte (1-1) eine transparente Isolierschicht (21-1) mit dem Brechungsindex n3 und einer Dicke dj angeordnet ist und daß die Beziehungen bo
«ι · d\ » «2 · di « «3 · di »/1/4
DE3125193A 1980-06-26 1981-06-26 Verfahren zur Herstellung einer Flüssigkristallzelle und nach dem Verfahren hergestellte Flüssigkeitszelle Expired DE3125193C2 (de)

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