DE3032679A1 - Chemisches polierverfahren fuer niob-teile, insbesondere von hohlraumresonatoren - Google Patents

Chemisches polierverfahren fuer niob-teile, insbesondere von hohlraumresonatoren

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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23FNON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
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    • C23F3/04Heavy metals
    • C23F3/06Heavy metals with acidic solutions

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Description

  • Chemisches Polierverfahren für Niob-Teile, insbe-
  • sondere von Hohlraumresonatoren Die Erfindung bezieht sich auf ein chemisches Polierverfahren für Niob-Teile, insbesondere von Hohlraumresonatoren, mittels eines Säuregemisches aus etwa 5,9 Gew.-% HF, etwa 25,5 Gew.-% HN03, etwa 47,3 Gew.-% H2804 und den restlichen Gewichtsprozenten H20. Ein solches Verfahren ist aus dem Buch von G.L. Miller: "Tantalum and Niobium", Verlag Butterworth Scientific Publications, London 1959, Seite 328 bekannt.
  • Niob wird unteranderemalrkEterial für supraleitende Hohlraumresonatoren verwendet. Solche Hohlraumresonatoren können insbesondere für Teilchenbeschleuniger vorgesehen sein. In der supraleitenden Oberfläche dieser Hohlraumresonatoren findet bei deren Betrieb eine Hochfrequenzabsorption statt. Um diese Absorption und die damit verbundenen Verluste klein zu halten, sollen die Oberflächenschichten möglichst homogen zusammengesetzt, möglichst glatt und möglichst frei von Störungen aller Art sein.
  • Die bei einer mechanischen Bearbeitung der Nioboberflächen eines Resonators unvermeidlichen Oberflächenrauhigkeiten mit Rauhtiefen von beispielsweise bis zu 100 1um und mehr müssen daher in besonderen Polierverfahren beseitigt werden. Zugleich ist es im allgemeinen erforderlich, Oberflächenschichten von entsprechender Dicke abzutragen, soweit diese durch die vorhergehende mechanische Bearbeitung hervorgerufene Störungen im Kristallgitter aufweisen. Diese Störungen führen namlich ebenfalls zu Verlusten.
  • Aus der DE-PS 2 027 156 ist beispielsweise ein Verfahren zum anodischen Polieren der Niobteile von Hohlraumresonatoren bekannt, bei dem ein H2S04, HF und H20 enthaltender Elektrolyt mit einem vorbestimmten Mischungsverhältnis dieser Anteile verwendet wird.
  • Gemäß dem Verfahren wird bei einer Temperatur zwischen 15 und 50 0C gearbeitet und eine konstante Spannung zwischen 9 und 50 V derart eingestellt, daß dem Elektrolytstrom überlagerte gedämpfte Stromschwingungen auftreten und spätestens nach vollständigem Abklingen der Stromschwingungen die Spannung solange abgeschaltet wird, bis die während der Stromschwingungen aufgebaute Oxidschicht aufgelöst ist. Diese Verfahrensschritte werden anschließend noch mehrmals durchlaufen. Das bekannte Verfahren ist zwar sehr gut zum Polieren von Niob-Resonatorflächen geeignet; es ist Jedoch verhältnismäßig aufwendig.
  • Dagegen sind rein chemische Polierverfahren wesentlich einfacher durchzuführen. Ein solches Verfahren zum Polieren von Niob-Flächen ist z.B. dem genannten Buch von G.L. Miller zu entnehmen. Danach sollen die zu polierenden Flächen in ein Bad aus einem Säuregemisch eingebracht werden, das einen Volumenanteil 40 ziege Flußsäure (HF), zwei Volumenanteile konzentrierte, d.h. 69 ziege Salpetersäure (HNO3) und zwei Volumenanteile konzentrierte, d.h. 98 %ige Schwefelsäure (H2S04) enthält. Dies entspricht einer Zusammensetzung von etwa 5,9 Gew.-% HF, 25,5 Gew.-% HN03, 47,3 Gew.-96 H2SO4 und 21,3 Gew.-% H20. Besondere Temperaturverhältnisse sind bei diesem bekannten Verfahren nicht zu beachten.
  • Mit dieser Säuremischung lassen sich zwar Oberflächen- schichten von Niob-Teilen abtragen. Dabei ist jedoch mehr eine Ätzung als eine Politur der Niob-Flächen zu beobachten. Das bekannte Verfahren ist deshalb zum Polieren von für Hochfrequenzanwendungen vorgesehenen Niob-Teilen wie z.B. von supraleitenden Hohlraumresonatoren nicht geeignet.
  • Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es deshalb, das eingangs genannte Verfahren zum Polieren von Niob-Teilen dahingehend zu verbessern, daß mit ihm die an eine Politur von Niob-Hohlraumresonatoren zu stellenden Anforderungen zu erfüllen sind, wobei insbesondere die Gefahr einer Anätzung der Resonatorflächen vermieden wird.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß mit den im Kennzeichen des Hauptanspruches aufgeführten Maßnahmen gelöst. Dabei sollen, wie durch den Hinweis auf ungefähre Werte der einzelnen Anteile des Säuregemisches zum Ausdruck gebracht ist, bei den genannten Werten Abweichungen von + 5 96 mit eingeschlossen sein.
  • Den Maßnahmen nach der Erfindung liegt die Erkenntnis zugrunde, daß sich mit dem an sich bekannten HF, HIN03, H2S04 und H20 enthaltenden Säuregemisch dennoch ein Polieren der Niobteile eines Hohlraumresonators vornehmen läßt, falls ganz bestimmte Verfahrensparameter eingehalten werden. Der Grund, warum das bekannte Verfahren nicht zu dem für supraleitende Niob-Hohlraumresonatoren gewünschten Poliereffekt führt, ist nämlich darin zu sehen, daß die Reaktion stark exotherm verläuft und insbesondere von der Größe des Niobvolumens und der Temperatur abhängig ist. Ein kleiner Niobkörper wie z.B. ein kreisscheibenförmiges Plättchen aus 0,5 mm starkem Niob-Blech mit einem Durchmesser von 1 cm hat zwar eine entsprechend geringe Wärmemasse und heizt sich deshalb nach Einbringen in das bekannte Säuregemisch etwas auf. Diese Temperaturerhöhung reicht jedoch im allgemeinen nicht aus, um die für Hochfrequenzanwendungen geforderte Polierwirkung zu erreichen. Bei einem größeren Niobkörper wie z.B. einem Resonator wird aufgrund seiner großen Wärmemasse dem ihn umgebenden Gemisch sogar noch Wärme entzogen, so daß es zu einer unerwünschten Temperaturverminderung an seiner Oberfläche kommt.
  • Die mit der Erfindung erreichten Vorteile bestehen also darin, daß bei dem an sich bekannten Mischungsverhältnis aufgrund des vorbestimmten Volumenverhältnisses von Säure zu Niob-Material und der vorbestimmten Mindesttemperatur eine erhöhte Temperatur an den Oberflächen der Niob-Teile stets gewährleistet ist. Dabei werden zwar die Korngrenzen leicht angeätzt, d.h. sie werden sichtbar. Jedoch werden die Körner mit statistischen Orientierungen nicht unterschiedlich abgetragen; d.h.
  • es ist vorteilhaft keine Stufenbildung an den Korngrenzen zu beobachten. Die Körner werden deshalb extrem glatt, falls das Niobgitter nicht durch eine zu starke Kaltverformung sehr stark gestört ist.
  • Sollen Niob-Körper mit verhältnismäßig kleinem Oberflächen- zu Volumen-Verhältnis poliert werden, so wird vorteilhaft ein noch größeres Verhältnis des Volumens des Säuregemisches zu dem Volumen der Niob-Teile vorgesehen. Gemäß einer Weiterbildung des Verfahrens nach der Erfindung sollen deshalb die Niob-Teile in ein Säuregemisch eingebracht werden, dessen Volumen mindestens das 50fache des Volumens des Niob-Materials beträgt.
  • Eine ausreichend hohe Temperatur an den zu polierenden Flächen der in das Säuregemisch eingebrachten Niobteile ist auf alle Fälle gewährleistet, wenn das Säuregemisch eine Mindesttemperatur von 700C hat.
  • Zur weiteren Erläuterung der Erfindung wird auf das nachstehend beschriebene Ausführungsbeispiel verwiesen.
  • Bei den zu polierenden Niob-Teilen handelte es sich um einen Hohlraumresonator vom TMo10-Typ, wie er z.B. in der Veröffentlich g "Cryogenicstl, Januar 1976, Seite 20, Fig. 6 veranschaulicht ist. Der Resonator war aus etwa 1 mm starkem Niob-Blech zusammengesetzt und hatte eine axiale Ausdehnung von 50 mm. Die stirnseitigen, lochscheibenförmigen, etwa 5 mm starken Flanschteile des Resonators mit einem Außendurchmesser von 54 mm hatten eine zentrale Öffnung von 12 mm Durchmesser für axiale Koppelrohre. Zwischen den Koppelrohren war der eigentliche zylinderförmige Resonatorhohlraum mit einem Innendurchmesser von 25 mm und einer axialen Ausdehnung von 15 mm angeordnet. Das Resonatorgewicht betrug etwa 195 g, so daß das Volumen etwa 23 cm3 betrug. Die gesamte Oberfläche der Niob-Teile des Resonators war etwa 175 cm2 groß. Dieser Resonator wurde gemäß der Erfindung in etwa 400 ml der bekannten Säuremischung poliert. Die Säuremischung bestand aus 80 ml 40 zeiger Flußsäure, 160 ml 69 zeiger Salpetersäure und 160 ml 98 zeiger Schwefelsäure. Dieses Säuregemisch aus Säuren allgemein gebräuchlicher Konzentrationen wurde frisch angesetzt, wobei dem Gemisch aus Fluorsäure und Salpetersäure die Schwefelsäure zugesetzt wurde. Dabei stellte sich vorteilhaft eine anfängliche Temperatur von über 75 0C ein. Da der Polierprozeß sehr schnell abläuft, waren bereits nach 30 Sekunden etwa 30 /um abgetragen, wobei die Innenseite des Resonators glänzend war. Während die Resonatorinnenflächen vor dem Polierprozeß eine mittlere Rauhtiefe von etwa 2,5 /um hatten, wurde nach der Politur eine mittlere Rauhtiefe von weniger als 0,3 /um ermittelt.
  • Das Verfahren nach der Erfindung eignet sich also vorzüglich zu einem schnellen und einfachen Polieren der Oberflächen von Hohlraumresonatoren aus Niob. Es kann selbstverständlich ebensogut auch zum Polieren beliebiger anderer Niobteile verwendet werden.
  • 4 Patentansprüche

Claims (4)

  1. Patentansprüche 1. Chemisches Polierverfahren für Niob-Teile, insbesondere von Hohlraumresonatoren, mittels eines Säuregemisches aus etwa 5,9 Gew.-% HF, etwa 25,5 Gew.-% HN03, etwa 47,3 Gew.-% H2S04 und den restlichen Gewichtsprozenten H20, d a d u r c h g e k e n n z e i c h -n e t , daß die Niob-Teile in ein Säuregemisch eingebracht werden, das eine Mindesttemperatur von 400C hat und dessen Volumen mindestens das 15fach des Volumens des Niob-Materials beträgt.
  2. 2. Polierverfahren nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die Niob-Teile in ein Säuregemisch eingebracht werden, dessen Volumen mindestens das 50fache des Volumens des Niob-Materials beträgt.
  3. 3. Polierverfahren nach Anspruch 1 oder 2, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die Niob-Teile in ein Säuregemisch eingebracht werden, das eine Mindesttemperatur von 700C hat.
  4. 4. Polierverfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die Niob-Teile in eine frisch angesetzte Säuremischung eingebracht werden, dem als letzte Säure der vorbestimmte Anteil an H2S04 zugesetzt wurde.
DE19803032679 1980-08-29 1980-08-29 Chemisches Polierverfahren für Niob-Teile, insbesondere von Hohlraumresonatoren Expired DE3032679C2 (de)

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