DE69110348T2 - Lösung zum Ätzen von Molybden oder Wolfram mit einem nahezu neutralen pH-Wert und Verfahren zu deren Verwendung. - Google Patents
Lösung zum Ätzen von Molybden oder Wolfram mit einem nahezu neutralen pH-Wert und Verfahren zu deren Verwendung.Info
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- C23F1/00—Etching metallic material by chemical means
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- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Weting (AREA)
- Preventing Corrosion Or Incrustation Of Metals (AREA)
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US07/516,845 US4995942A (en) | 1990-04-30 | 1990-04-30 | Effective near neutral pH etching solution for molybdenum or tungsten |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE69110348D1 DE69110348D1 (de) | 1995-07-20 |
DE69110348T2 true DE69110348T2 (de) | 1996-01-25 |
Family
ID=24057324
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE69110348T Expired - Lifetime DE69110348T2 (de) | 1990-04-30 | 1991-03-29 | Lösung zum Ätzen von Molybden oder Wolfram mit einem nahezu neutralen pH-Wert und Verfahren zu deren Verwendung. |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4995942A (de) |
EP (1) | EP0455574B1 (de) |
JP (1) | JP2628940B2 (de) |
BR (1) | BR9101651A (de) |
CA (1) | CA2039029C (de) |
DE (1) | DE69110348T2 (de) |
DK (1) | DK0455574T3 (de) |
ES (1) | ES2073717T3 (de) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02228629A (ja) * | 1989-02-28 | 1990-09-11 | Sharp Corp | 液晶表示装置 |
US5463679A (en) * | 1993-04-27 | 1995-10-31 | Tamura Electrics Works, Ltd. | Public telephone system |
US5518131A (en) * | 1994-07-07 | 1996-05-21 | International Business Machines Corporation | Etching molydbenum with ferric sulfate and ferric ammonium sulfate |
DE19535307C2 (de) * | 1995-09-22 | 1997-10-23 | Siemens Ag | Ätzlösung zur Erzeugung sehr feiner Strukturen in Molybdän-Oberflächen und Verfahren unter deren Einsatz |
FR2795745B1 (fr) * | 1999-06-30 | 2001-08-03 | Saint Gobain Vitrage | Procede de depot d'une couche a base de tungstene et/ou de molybdene sur un substrat verrier, ceramique ou vitroceramique, et substrat ainsi revetu |
KR100364831B1 (ko) * | 2000-03-20 | 2002-12-16 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 몰리브덴 금속막용 에칭 용액 |
US7158348B2 (en) * | 2002-05-01 | 2007-01-02 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Integrated lead suspension for use in a disk drive using a tri-metal laminate and method for fabrication |
JP2008523585A (ja) * | 2004-12-06 | 2008-07-03 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | エッチング溶液及びその添加剤 |
US7837929B2 (en) * | 2005-10-20 | 2010-11-23 | H.C. Starck Inc. | Methods of making molybdenum titanium sputtering plates and targets |
US8449818B2 (en) * | 2010-06-30 | 2013-05-28 | H. C. Starck, Inc. | Molybdenum containing targets |
US8449817B2 (en) | 2010-06-30 | 2013-05-28 | H.C. Stark, Inc. | Molybdenum-containing targets comprising three metal elements |
KR20140001246A (ko) | 2011-05-10 | 2014-01-06 | 에이치. 씨. 스타아크 아이앤씨 | 멀티-블록 스퍼터링 타겟 및 이에 관한 제조방법 및 물품 |
US9334565B2 (en) | 2012-05-09 | 2016-05-10 | H.C. Starck Inc. | Multi-block sputtering target with interface portions and associated methods and articles |
US11035044B2 (en) | 2017-01-23 | 2021-06-15 | Versum Materials Us, Llc | Etching solution for tungsten and GST films |
CN111346490B (zh) * | 2020-03-18 | 2022-02-08 | 山东大学深圳研究院 | 基于多酸的绿色脱硫体系及脱硫-电化学再生协同的循环脱硫副产氢气方法、系统及应用 |
CN112284866A (zh) * | 2020-10-20 | 2021-01-29 | 中国兵器工业第五二研究所烟台分所有限责任公司 | 一种钼粉烧结材料晶粒度的腐蚀检测方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3098043A (en) * | 1961-08-17 | 1963-07-16 | Burroughs Corp | Etchant for molybdenum |
US3772104A (en) * | 1972-03-30 | 1973-11-13 | Bell Telephone Labor Inc | Fabrication of thin film devices |
JPS5180631A (ja) * | 1975-01-10 | 1976-07-14 | Tokyo Shibaura Electric Co | Etsuchinguzai |
JPS5415176A (en) * | 1977-07-06 | 1979-02-03 | Fujitsu Ltd | Method of etching tungsten thin film layer |
JPS5450441A (en) * | 1977-09-30 | 1979-04-20 | Fujitsu Ltd | Etching method for molybdenum thin film |
US4747907A (en) * | 1986-10-29 | 1988-05-31 | International Business Machines Corporation | Metal etching process with etch rate enhancement |
-
1990
- 1990-04-30 US US07/516,845 patent/US4995942A/en not_active Expired - Fee Related
-
1991
- 1991-03-25 CA CA002039029A patent/CA2039029C/en not_active Expired - Fee Related
- 1991-03-29 ES ES91480057T patent/ES2073717T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1991-03-29 JP JP3089342A patent/JP2628940B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1991-03-29 DE DE69110348T patent/DE69110348T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1991-03-29 DK DK91480057.8T patent/DK0455574T3/da active
- 1991-03-29 EP EP91480057A patent/EP0455574B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1991-04-24 BR BR919101651A patent/BR9101651A/pt unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CA2039029A1 (en) | 1991-10-31 |
CA2039029C (en) | 1994-07-19 |
BR9101651A (pt) | 1991-12-10 |
DK0455574T3 (da) | 1995-10-16 |
JP2628940B2 (ja) | 1997-07-09 |
JPH05311469A (ja) | 1993-11-22 |
EP0455574A1 (de) | 1991-11-06 |
DE69110348D1 (de) | 1995-07-20 |
EP0455574B1 (de) | 1995-06-14 |
US4995942A (en) | 1991-02-26 |
ES2073717T3 (es) | 1995-08-16 |
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Legal Events
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8364 | No opposition during term of opposition | ||
8330 | Complete renunciation |