DE2027156B2

DE2027156B2 - Verfahren zum anodischen Polieren von Niobteilen

Info

Publication number: DE2027156B2
Application number: DE2027156A
Authority: DE
Inventors: Heinrich Dr. Diepers; Otto Schmidt
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1970-06-03
Filing date: 1970-06-03
Publication date: 1974-09-19
Also published as: US3689388A; DE2027156A1; AT300492B; FR2094011A1; NL166988B; FR2094011B1; GB1298419A; DE2027156C3; SE360114B; NL7106908A; NL166988C; CH523330A; JPS5438052B1

Description

60

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum anodischen Polieren von Niobteilen in einem H₂SO₄, HF und H₂O enthaltenden Elektrolyten.

Zum anodischen Polieren von Niob sind verschiedene Elektrolyte bekannt, die aus konzentrierter Schwefelsäure und Flußsäure bestehen und also H₉SO₁, HF und H₂O enthalten (»Gmelins Handbuch der anorganisrhen Chemie«, 8. Auflage, 3d. »Niob«, Teil A, Weinheim/Bergstraße, 1969, S. 286/287). Die einzelnen Poliervorschriften unterscheiden sich durch mindestens einen wesentlichen Parameter, wie z. B. Konzentration des Elektrolyten, Badtemperatur, Spannung und Stromdichte. Die Schwefelsäure dient dabei zur Oxidation des Niobs, die Flußsäure zur chemischen Auflösung der Oxidschicht. Strom und Spannung liegen vorzugsweise im sogennanten Stromplateau, einem Spannungsbereich, in dem der Strom nahezu unabhängig von der Spannung, d. h. nahezu konstant, ist.

Die Herstellung sehr glatter spiegelnder Oberflächen mit den bekannten Poliervorschriften bereitet jedoch gewisse Schwierigkeiten, insbesondere wenn eine hohe Oberflächengüte erforderlich ist. Dies ist beispielsweise bei supraleitenden Hohlraumresonatoren aus Niob der Fall. Solche Hohlraumresonatoren können insbesondere für Teilchenbeschleuniger verwendet werden. In der supraleitenden Oberflächenschicht dieser Hohlraumresonatoren findet beim Betrieb der Resonatoren Hochfrequenzabsorption statt. Um diese Hochfrequenzabsorption und damit die Verluste klein zu halten, soll die Oberflächenschicht möglichst homogen zusammengesetzt, möglichst glatt und möglichst frei von Störungen aller Art sein. Die bei der maschinellen Bearbeitung der Nioboberflächen unvermeidlichen Oberflächenrauhigkeiten müssen daher durch Polieren beseitigt werden. Ferner ist es in der Regel erforderlich, eine Oberflächenschicht von mehreren 100 μιτι Dicke abzutragen, so weit diese durch die vorhergehende Bearbeitung hervorgerufene Störungen im Kristallgitter aufweist, die zu Verlusten führen können.

Die bekannten Verfahren zum anodischen Polieren von Niob haben sich zur Herstellung von spiegelglatten Oberflächen und insbesondere zur Abtragung ganzer Oberflächenschichten als wenig geeignet erwiesen. Die Schwierigkeiten bestehen vor allem in der Konstanthaltung der einmal eingestellten Parameter, insbesondere der Konzentration der Elektrolytbestandteile, die sich während des Polierens ändern kann. Dadurch werden die Oberflächenrauhigkeiten des zu polierenden Niobteiles nicht ausreichend geglättet. Oft werden auch die polierten Flächen zu einem späteren Polierzeitpunkt wieder angeätzt, so daß neue Oberflächenstörungen entstehen, oder es können nur verhältnismäßig dünne Schichten bei gleichzeitiger Polierwirkung abgetragen werden.

Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren zum anodischen Polieren von Niobteilen anzugeben, das unter Vermeidung der erwähnten Schwierigkeiten die Herstellung sehr glatter Nioboberflächen erlaubt.

Das Verfahren besteht erfindungsgemäß darin, daß mit einem Elektrolyten aus 86 bis 93 Gewichtsprozent H₂SO₄, 1,5 bis 4,0 Gewichtsprozent HF und 5,5 bis 10,0 Gewichtsprozent H₂O bei einer Temperatur zwischen 15 und 50⁰C gearbeitet wird und eine konstante Spannung zwischen 9 und 15 V derart eingestellt wird, daß dem Elektrolytstrom überlagerte gedämpfte Stromschwingungen auftreten, und spätestens nach vollständigem Abklingen der Stromschwingungen die Spannung so lange abgeschaltet wird, bis die während der Stromschwingungen aufgebaute Oxidschicht aufgelöst ist, anschließend erneut eine konstante Spannung zwischen 9 und 15 V so eingestellt wird, daß gedämpfte Stromschwingungen auftreten, und die Folge von

Zuständen mit eingeschalteter und abgeschalteter Spannung noch mehrfach durchlaufen wird.

Die Erfindung beruht auf der überraschenden Feststellung, daß bei Elektrolyten der angegebenen Zusammensetzung und bei den angegebenen Temperaturen bei konstanten Spannungen ,m Bereich zwischen 9 und 15 V Stromschwingungen auftreten, die dem Elektrolytstrom überlagert sind und n?ch einiger Zeit abklingen. Während dieser Stromschwingungen tritt an der" Hioboberfläche eine hervorragende Polierwirkung auf. Gleichzeitig wird eine Oxidschicht aufgebaut, die zum Abklingen der Schwingungen fuhrt. Von der einaestellten konstanten Spannung sind Abweichungen von etwa +0,1 V zulässig. Bei stärkeren Abweichungen treten keine Schwingungen mit ausreichender Amplitude mehr auf. Durch Abschalten der Spannung wird erreicht, daß die Oxidschicht aufgelöst wird, so daß beim erneuten Einschalten der Spannung wiederum Stromschwingungen ermöglicht werden I)Pe Spannune muß spätestens nach dem vollständigen Abklinsen der Schwingungen abgeschaltet werden, da andernfalls die 711 polierende Nioboberfläche angeät/t wird, so daß neue Oberflächenrauhigkeiten entstehen. Durch die mehrfache Wiederholung der Perioden mit eingeschalteter und abgeschalteter Spannung werden in kurzer =>5 Zeit spiegelblanke Oberflächen erzielt. Durch zahlreiche Wiederholungen dieser Perioden können ferner auch verhältnismäßig dicke Schichten ohne störendes Ätzen der Oberfläche abgetragen werden, so daß ein Endprodukt mit spiegelblanker Oberfläche entsteht.

Die günstigste Spannung zur Herbeiführung der Stromschwingungen hängt etwas von der Zusammen-Setzung und der Temperatur des Elektrolyten ab und kann in einfacher Weise durch Hochverfahren der Spannung bis zum Einsetzen der gewünschten Schwingungen experimentell ermittelt werden.

Als besonders vorteilhaft hat es sich erwiesen, mit einein Elektrolyten aus 89.0 bis 90,5 Gewichtsprozent H₂SO₁, 2,2 bis 3.0 Gewichtsprozent HF und den restliehen Gewichtsanteilen H₂O mit einer Temperatur von 20 bis 35'C und mit konstanten Spannungen zwischen 11 und 13 V zu arbeiten. Unter diesen Bedingungen treten besonders schnelle Stromschwingungen auf, die eine besonders gute Polierwirkung ergeben.

Mit dem Abschalten der Spannung braucht nicht gewartet zu werden bis die Stromschwingungen vollständig abgeklungen sind. Um die während der Stromschwingungen auftretende Polierwirkung nicht zu schlecht auszunutzen, sollte die Spannung jedoch frühestens jeweils erst dann abgeschaltet werden, wenn die Maximalamplitude der Stromschwingungen überschritten ist. Noch günstiger ist es, mit dem Abschalten der Spannung wenigstens so lange zu warten, bis die Amplitude der Stromschwingungen avf weniger als etwa 5 % der Maximalamplitude abgeklungen ist.

Der früheste Zeitpunkt zum Wiedereinschalten der Spannung kann im Einzelfall ebenfalls leicht experimentell ermittelt werden. Solange nämlich noch eine Oxidschicht vorhanden ist, können beim Einschalten der Spannung keine erneuten Stromschwingungen auf- *° treten. Um eine vollständige Auflösung der während der Stromschwingungen aufgebauten Oxidschicht zu gewährleisten, sollte die Spannung bei ruhendem Elektrolyten vorzugsweise jeweils wenigstens etwa 4 Minuten abgeschaltet bleiben.

Die Auflösung der Oxidschicht kann beschleunigt werden, wenn der Elektrolyt wenigstens an der zu polierenden Oberfläche des Niobteils in Bewegung gehalten wird. In diesem Falle sollte die Spannung vorzugsweise jeweils wenigstens etwa 1,5 Minuten lang abgeschaltet bleiben.

Das erfindungsgemäße Verfahren hat unter anderem

insbesondere den Vorteil, daß sonst schwer kontrolherbare Änderungen der Parameter des Polierverfahrens an der Änderung der Form der gedämpften Schwingungen, beispielsweise an der Änderung der Schwingungsfrequenz, der Stärke der Dämpfung und der Höhe der "Maximalamplitude während des Zustands mit eingeschalteter Spannung erkannt werden können. Die Änderungen der Parameter können daher schon beim nächsten Verfahrensschritt durch Änderung des Konzentrationsverhältnissesder Elektrolytbestandteile oder noch günstiger durch eine Erhöhung der einzustellenden konstanten Spannung im Bereich von 9 bis 15 V korrigiert werden. Die wesentlichste Änderung der Parameter besteht in der Regel in einer leichter1 Abnähme des HF-Anteifs im Eicktrolyten, da die FIuIisäure zur Auflösung der auf dem Niobteil vorhandenen bzw. gebildeten Oxidschicht \erbraucht wird. Diese Abnahme des HF-Anteils führt zu einer Verkleinerung der Maximalamplitude der Schwingungen und kann durch eine geringfügige Spannungserhohung beim nächsten Einschalten einer konstanten_ Spannung kompensiert werden. Beispielsweise betragt die zur Kompensation erforderliche Spannungserhohung bei einer Abnahme des HF-Anteils um 0,25 ,„ etwa 0,5 bis 1 V.

Bei einem Elektrolytvolumen, das groJi ist im Vcrgleich zum zu polierenden N.obte.l sind die Anderungen der Konzentration der Elektrolytanteile bei nicht übermäßig langer Dauer des Verfahrens so geringtugig, daß Korrekturen nicht erforderlich sind. Beim w.ederholten Einschalten der Spannung kann daher in diesem

Falle jeweils die gleiche konstante Spannung eingestellt werden. Das Verfahren wird dadurch wesentlich vereinfacht. .

An Hand einiger Figuren und Ausfuhrungsbeispiele sollen das erfindungsgemäße Verfahren und die damit verbundenen Vorteile noch naher erläutert werden.

Fig. 1 zeigt schematisch eine Vorrichtung zur Durchführung des erf.ndungsgemaßen Verfahrens

F i g. 2 zeigt den für eine bevorzugte Ausfuhrungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens charakteristischen Verlauf der Stromschw.ngungen bei angelegter Spannung. „u_Uina ut π₃ς

Bei der in Fig. 1 dargestellten Vorrichtung ist das zu polierende Niobteil 1 in einem Trog 2 aneeonlnet, der den Elektrolyten 3 enthalt. Außerdem befindet »eh im Trog 2 die Kathode 4 die vorzugsweise aus Platin oder reinem Alum.n.um bestehen kann. Auch Niod kommt als Kathodenrnater.al in Frage, 1 st jed_och weniger geeignet, da durch den kathodisch f regesetzten

Wasserstoff das Niob schnell und stark versprode.und daher häufig ausgewechselt werden muß_ Eine geringe Menge Wasserstoff wird.übrigens auch .. derr1 als Anode geschalteten N.obte.l 1 gelost, kanin jedoch erforderlichenfalls durch eine Entgasung guhungzw

sehen etwa 600 und 1000⁰C >^{eicht ent}f?^rnt^J Als Matenal fur den Trog 2 eignet Aluminium, da dieses s.ch mit einer 8

schicht überzieht. Über Zuleitungen 5 ^undJj ^die beispielsweise eben alls aus Aluminium'bestehen können, sind das Niobteil 1 und *e Kathode 4 m t den Ausgängen eines Netzgerätes 7 verbunden Mit Hilfe des Netzgerätes 7 kann zwischen dem NwbtoM und der Kathode 4 eine Gleichspannung eingestellt

und auf einem konstanten Wert gehalten werden. In die Zuleitung 6 zur Kathode 4 ist ein Gerät 8 zur Aufzeichnung des Stromes, beispielsweise ein Blattschreiber, eingeschaltet. Die Stromschwingungen und die Einhaltung der Parameter des Verfahrens werden mit Hilfe der Aufzeichnungen dieses Blaltschreibers überwacht. Durch eine in eine Rohrleitung 9 eingeschaltete Pumpe 10 kann der Elektrolyt 3 im Trog 2 umgewälzt werden, so daß er wenigstens an der Oberfläche des zu polierenden Niobteils in Bewegung gehalten wird. Die Rohrleitung 9 wird zweckmäßigerweise durch einen Wärmetauscher 11 geführt, in dem der Elektrolyt, der sich bei Stromdurchgang erwärmt, beispielsweise mittels Wasser gekühlt werden kann. Die folgenden Beispiele für das erfindungsgemäße Verfahren wurden in der in Fig. 1 schematisch dargestellten Vorrichtung durchgeführt.

Beispiel !

Das zu polierende Niobteil war ein Niobzylinder, dessen Innenseite poliert werden sollte. Der Zylinder hatte einen Durchmesser von 40 mm und eine Höhe von 40 mm. Die Innenseite war fein abgedre'.it und mechanisch poliert. Die Pauhtiefe an der Oberfläche der Innenseite betrug etwa 0,5 μΐη. Als Kathode diente ein Platinrohr mit einem Durchmesser von 10 mm, das konzentrisch im Niobzylinder angeordnet war. Der Elektrolyt bestand aus 90 Volumprozent 96",',iger Schwefelsäure und 10 Volumprozent 40%iger Flußsäure. Dies entspricht einer Zusammensetzung von etwa 89,8 Gewichtsprozent H₂SO₄, 2,6 Gewichtsprozent HF und 7,6 Gewichtsprozent H₂O. Die Badtemperatur betrug25 C. Das Elektrolytvolumen bctrugol und wurde mit einer Geschwindigkeit von ! l/min durch die Pumpe umgewälzt. Mit Hilfe des Netzgerätes wurde zwischen dem Niobzylinder und der Kathode zunächst eine Gleichspannung von 12.8 V angelegt. Nach dem Anlegen dieser Spannung traten dem Elektrolytstrom überlagerte, gedämpfte Stromschwingungen auf, die mit dem Blattschreiber aufgezeichnet wurden.

Der Verlauf dieser Stromschwingungen ist in Fig. 2 dargestellt. An der Ordinate ist der Strom in Ampere, an der Abszisse die Zeit in Minuten aufgetragen. Die Abszisse verläuft in Folge der entsprechenden Bewegungsrichtung des Papiers im Blattschreiber von rechts nach links. Aus Fig. 2 ist deutlich zu erkennen, daß die Amplitude der Stromschwingungen nach einem Einschwingvorgang rasch auf einen Maximalwert ansteigt und dann langsam kleiner wird. Während der Schwingungen wurde die Spannung auf 12,8 ; 0,05 V konstant gehalten. Als nach 4,3 min die Stromschwingungen abgeklungen waren, wurde die Spannung abgeschaltet, um die Auflösung der während der Schwingungen gebildeten Oxidschicht, die mit größter Wahrscheinlichkeit aus Nb₂O₅ besteht, zu ermöglichen. Nach 3 min wurde erneut die Spannung von 12,8 V eingeschaltet, was wiederum die in Fig. 2 dargestellten Stromschwingungen zur Folge hatte. Nach 4,3 min wurde die Spannung erneut 3 min lang abgeschaltet. Die Folge der Zustände mit eingeschalteter und abgeschalteter Spannung wurde noch mehrfach durchlaufen. Nach insgesamt 80 Polierperioden, also 80 Zuständen mit eingeschalteter Spannung, war von der Innenseite des Niobzylinders eine 200 μηι dicke ⁶S Schicht abgetragen. Die Innenseite des Niobzylinders war spiegelglatt- Ihre restliche Rauhtiefe betrug weniger als 0,03 μΐη. Die spiegelglatte Oberfläche war bereits nach wenigen Polierperioden erreicht. Die restlichen Polierperioden dienten lediglich zum Abtragen der Schicht. Bei dieser Abtragung wurde die einmal erreichte Oberflächengüte nicht mehr beeinträchtigt. Mit der in diesem Beispiel verwendeten Elektrolytzusammensetzung, Badtemperatur und Spannung wurden auch bei anderen Versuchen besonders gute Ergebnisse erzielt.

Beispiel 2

Das zu polierende Niobteil war eine Niobscheibe mit 70 mm Durchmesser, deren eine Seile poliert werden sollte. Die Niobscheibe war fein abgedreht und hatte eine Rauhtiefe von etwa 5 μηι. Als Kathode wurde eine Aluminiumscheibe von 70 mm Durchmesser verwendet, die in 40 mm Abstand der zu polierenden Seite der Niobscheibe gegenübergestellt wurde. Beide Scheiben waren waagerecht im Elektrolyten angeordnet. Der Elektrolyt bestand aus 89 Volumprozent 96 "„iger Schwefelsäure und 11 Volumprozent 40";,iger Flußsäure, hatte also eine Zusammensetzung von etwa 89,2 Gewichtsprozent H₂SO₄, 2,8 Gewichtsprozent HF und 8 Gewichtsprozent H₂O. Die Badtemperatur betrug 32 C. Das Elektrolytvolumen betrug wiederum 6 1 und wurde mit einer Geschwindigkeit von 1 l/min umgewälzt. Zwischen der Niobscheibe und der Kathode wurde eine Gleichspannung von 12,2 V angelegt und zunächst konstant ( - 0,05 V) gehalten. Bei den daraufhin einsetzenden Schwingungen im Strombereich zwischen etwa 3 und 6 A wurde die Maximalamplitude etwas langsamer erreicht als bei den in F i g. 2 dargestellten Schwingungen. Die Schwingungen klangen außerdem etwas schneller ab. Nach 1,5 min wurde die Spannung abgeschaltet, bevor die Schwingungen vollständig abgeklungen waren. Nach 3,5 min wurde die Spannung erneut eingeschaltet, 1,5 min lang konstant gehalten und dann wiederum für 3,5 min abgeschaltet. Darauf folgte eine Reihe weiterer Zustände mit eingeschalteter und abgeschalteter Spannung. Nach insgesamt 180 Polierperioden war von der Niobscheibe eine 220 rxm dicke Schicht abgetragen. Die polierte Oberfläche war spiegelglatt und hatte eine Rauhtiefe von weniger als 0,03 μπι.

Bei den Beispielen 1 und 2 hatten die Elektrolyten eine Zusammensetzung innerhalb des besonders bevorzugten Bereichs von 89,0 bis 90,5 Gewichtsprozent H₂SO₄. 2,2 bis 3,0 Gewichtsprozent HF, Rest H₂O. Ebenso lagen die Elektrolyttemperaturen im besonders bevorzugten Bereich von 20 bis 35 C und die Spannungen im besonders bevorzugten Bereich von Π bis 13 V. Nachfolgend wird noch ein Beispiel angegeben, bei dem diese Parameter außerhalb dieses besonders bevorzugten Bereichs lagen.

Beispiel 3

Das zu polierende Niobteil war ein massiver Niob zylinder mit 72 mm Durchmesser und einer Höhe vor 45 mm, dessen eine Stirnseite poliert werden sollte Diese Stirnseite war geläppt und zeigte eine Rauhtiefi von etwa 1,5 μΐη. Als Kathode wurde eine Aluminium scheibe mit 70 mm Durchmesser verwendet, die senk recht im Elektrolyttrog angeordnet und der zu polie renden Stirnseite des Niobzylinders im Abstand voi 45 mm gegenübergestellt wurde. Der Elektrolyt be stand aus 93 Volumprozent 96%iger Schwefelsäur und 7 Volumprozent 40"„iger Flußsäure, was eine Zusammensetzung von etwa 91.7 Gewichtsprozen

H₂SO₄, 1,8 Gewichtsprozent HF und 6,5 Gewichtsprozent H₂O entspricht. Die Badtemperatur betrug 42°C. Das Elektrolytvolumen betrug wiederum 6 I und wurde mit einer Geschwindigkeit von 1 l/min umgewälzt. Zwischen dem Niobzylinder und der Kathode wurde eine Gleichspannung von 14,1 V angelegt, bei weicher gedämpfte Stromschwingungen einsetzten. Diese Schwingungen im Strombereich zwischen etwa 7,5 und 15 A waren deutlich langsamer als die Schwingungen bei den Beispielen 1 und 2. Während bei den Beispielen 1 und 2 etwa 18 bis 21 volle Schwingungen pro Minute auftraten, traten im vorliegenden Beispiel nur etwa 11 volle Schwingungen pro Minute auf. Die Spannung von 14,1 V wurde 1,7 min lang konstant (±0,05 V) gehalten und dann, bevor die Schwingungen vollständig abgeklungen waren, abgeschaltet. Weitere Zustände mit abgeschalteter und eingeschalteter Spannung schlossen sich an. Nach 110 Polierperioden war von der Stirnseite des Niobzylinders eine 130 μηι starke Schicht abgetragen. Die Oberfläche der Stirnseite war spiegelglatt und hatte eine Rauhtiefe von weniger als 0,03 μηι. Gegenüber den Beispielen 1 und 2 war die Abtragungsgeschwindigkeit etwas herabgesetzt. Dennoch wurden auch beim Beispiel 3 Oberflächen hoher Güte erzielt.

Das erfindungsgemäße Verfahren weist eine Reihe von Vorteilen auf. Es können beliebig dicke Schichten polierend abgetragen werden, ohne daß zu irgendeinem Zeitpunkt die einmal erreichte Oberflächengüte beeinträchtigt wird. Bei einem Dauerversuch wurde

z. B. eine 1,5 mm dicke Schicht bei stets gleichbleibend hoher Oberflächengüte abgetragen. Ein sichtbarer Oberflächenglanz wird bereits nach wenigen Polierperioden erzielt. Es werden sowohl Mikro- als auch Makrorauhigkeiten, beispielsweise Drehriefen, eingeebnet. Das Verfahren spricht nur auf Unebenheiten der Oberfläche an und die Oberflächengüte ist unabhängig von der Orientierung des Kristallkornes der zu polierenden Oberfläche. Chemisch stark geätzte

ίο Körner und Korngrenzen werden eingeebnet. Außerdem ist das Verfahren weitestgehend unanhängig von der Elektrodengeometrie und vom Elektrodenabstand. Der Temperatureinfluß ist gering und kann durch geringe Spannlingsänderungen berücksichtigt werden.

Zum Auflösen der Oxidschicht nach Abschalten der Spannung muß das zu polierende Niobteil nicht unbedingt im Elektrolyten verbleiben. Die Oxidschicht kann beispielsweise auch durch Eintauchen des Niobteils in ein anderes Bad, beispielsweise in eine wäßrige Wasserstoffperoxidlösung mit mehr als 2 Gewichtsprozent H₂O₂, chemisch aufgelöst werden. Nach Auflösung der Oxidschicht wird das Niobteil dann wieder in den Elektrolyten eingesetzt und erneut Spannung angelegt. Die Auflösung der Oxidschicht im Elektrolyten selbst ist jedoch besonders einfach und wird daher bevorzugt.

Das Verfahren eignet sich vorzüglich zum Polieren der Oberflächen von Hohlraumresonatoren aus Niob. Es kann natürlich auch zum Polieren beliebiger anderer Niobteile verwendet werden.

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

Claims

Patentansprüche:

1. Verfahren zum anodischen Polieren von Niobteilen in einem H₂SO₄, HF und H₂O enthaltenden Elektrolyten, dadurch gekennzeichnet, daß mit einem Elektrolyten aus 86 bis 93 Gewichtsprozent H₂SO₄, 1,5 bis 4,0 Gewichtsprozent HF und 5,5 bis Io,0 Gewichtsprozent HoO bei einer Temperatur zwischen 15 und 50' C gearbeitet und eine konstante Spannung zwischen 9 und 15 V derart eingestellt wird, daß dem Elektrolytstrom überlagerte gedämpfte Stromschwingungen auftreten und spätestens nach vollständigem Abklingen der Stromschwingungen die Spannung so Jange abgeschaltet wird, bis die während der Stromschwingungen aufgebaute Oxidschicht aufgelöst ist, anschließend erneut eine konstante Spannung zwischen 9 und 15 V so eingestellt wird, daß gedämpfte Stromschwingungen auftreten, und die Folge von Zuständen mit eingeschalteter und abgeschalteter Spannung noch mehrfach durchlaufen wird.

2. Verfahren nach Anspruch I, dadurch gekennzeichnet, daß mit einem Elektrolyten aus 89,0 bis 90,5 Gewichtsprozent H₂SO₄, 2,2 bis 3,0 Gewichtsprozent HF und den restlichen Gewichtsanteilen H₂O mit einer Temperatur von 20 bis 35" C und mit konstanten Spannungen zwischen 11 und !3 V gearbeitet wird.

3. Verfahren nach Anspruch i oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die konstante Spannung frühestens jeweils dann abgeschaltet wird, wenn die Maximalamplitude der Stromschwingungen überschritten ist.

4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die konstante Spannung abgeschaltet wird, wenn die Amplitude der Stromschwingungen auf weniger als etwa 5% der Maxirnalampütude abgeklungen ist.

5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Spannung jeweils wenigstens etwa 4 Minuten lang abgeschaltet bleibt.

6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Elektrolyt wenigstens an der zu polierenden Oberfläche des Niobteils in Bewegung gehalten wird.

7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Spannung jeweils wenigstens etwa 1,5 Minuten lang abgeschaltet bleibt.

8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß bei einem im Vergleich zum zu polierenden Niobteil großen Elektrovolumen jeweils die gleiche konstante Spannung eingestellt wird.