DE2409180C3 - Verfahren zum anodischen Polieren von Niobteilen - Google Patents
Verfahren zum anodischen Polieren von NiobteilenInfo
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- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
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- C25F3/22—Polishing of heavy metals
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Description
Das Hauptpatent 20 27 156.1 betrifft ein Verfahren zum anodischen Polieren von Niobteilen in einem eine
Temperatur zwischen 15° und 5O0C aufweisenden
Elektrolyten aus 86 bis 93 Gewichtsprozent H2SO4, 13 bis 4,0 Gewichtsprozent HF und 53 bis 10,0 Gewichtsprozent H2O, wobei eine konstante Spannung zwischen
und 15 V derart eingestellt wird, daß dem Elektrolytstrom überlagerte gedämpfte Stromschwingungen auftreten. Spätestens nach vollständigem Abklingen der
Stromschwingungen wird die Spannung solange abgeschaltet, bis die während der Stromschwingungen
aufgebaute Oxidschicht aufgelöst ist. Anschließend wird erneut eine konstante Spannung zwischen 9 und 15 V so
eingestellt, daß gedämpfte Stromschwingungen auftreten. Die Folge von Zuständen mit eingeschalteter und
abgeschalteter Spannung wird dabei noch mehrfach durchlaufen.
Während der Stromschwingungen, die dem Elektrolytstrom überlagert sind und nach einiger Zeit
abklingen, tritt an der Nioboberfläche eine hervorra
gende Polierwirkung auf. Gleichzeitig wird eine
Oxidschicht aufgebaut, die zum Abklingen der Schwingungen führt. Von der jeweils eingestellten konstanten
Spannung sind Abweichungen von etwa ±0,1 V zulässig. Bei stärkeren Abweichungen treten keine
Schwingungen ausreichender Amplitude mehr auf. Durch das Abschalten der Spannung wird erreicht, daß
die Oxidschicht aufgelöst wird, so daß beim erneuten Einschalten der Spannung wiederum Stromschwingungen ermöglicht werden. Die Spannung muß spätestens
nach dem vollständigen Abklingen der Schwingungen abgeschaltet werden, da anderenfalls die zu polierende
Nioboberfläche angeätzt wird, so daß neue Oberflächenrauhigkeiten entstehen. Durch die mehrfache
Wiederholung der Perioden mit eingeschalteter und
abgeschalteter Spannung werden in kurzer Zeit
spiegelblanke Oberflächen erzielt Durch zahlreiche Wiederholungen dieser Perioden können ferner auch
verhältnismäßig dicke Schichten ohne störendes Ätzen der Oberfläche abgetragen werden, so daß ein
Die günstigste Spannung zur Herbeiführung der Stromschwingungen hängt etwas von der Zusammensetzung und der Temperatur des Elektrolyten ab und
kann in einfacher Weise durch Hochfahren der
Spannung bis zum Einsetzen der gewünschten Schwingungen experimentell ermittelt werden. Als besonders
vorteilhaft hat es sich bei dem Verfahren nach dem Hauptpatent erwiesen, mit einem Elektrolyten aus 89,0
bis 903 Gew.-% H2SO4,2,2 bis 3,0 Gew.-% HF und den
♦0 restlichen Gewichtsanteilen H2O mit einer Temperatur
von 20 bis 35°C und mit konstanten Spannungen zwischen 11 und 13 V zu arbeiten. Unter diesen
Bedingungen treten besonders schnelle Stromschwindungen auf, die eine besonders gute Polierwirkung
ergeben.
Mit dem Abschalten der Spannung braucht nicht gewartet zu werden, bis die Stromschwingungen
vollständig abgeklungen sind. Um die während der Stromschwingungen auftretende Polierwirkung nicht zu
schlecht auszunutzen, sollte die Spannung jedoch frühestens jeweils erst dann abgeschaltet werden, wenn
die Maximalamplitude der Stromschwingungen überschritten ist. Der früheste Zeitpunkt zum Wiedereinschalten der Spannung kann im Einzelfall ebenfalls
leicht experimentell ermittelt werden. Solange nämlich noch eine Oxidschicht vorhanden ist, können beim
Einschalten der Spannung keine erneuten Stromschwingungen auftreten. Um eine vollständige Auflösung der
während der Stromschwingungen aufgebauten Oxid
schicht zu gewährleisten, sollte die Spannung bei
ruhendem Elektrolyten vorzugsweise jeweils wenig' stens etwa 4 Minuten abgeschaltet bleiben. Die Auflösung der Oxidschicht kann beschleunigt werden, wenn
man den Elektrolyten während der Auflösung an der zu
&5 polierenden Oberfläche des Niobteils in Bewegung hält.
In diesem Fall sollte die Spannung vorzugsweise jeweils wenigstens etwa '.,5 Minuten lang abgeschaltet bleiben.
Das Verfahren nach dem Hauptpatent eignet sich
hervorragend zur Herstellung von spiegelglatten Nioboberflächen mit hoher Oberflächengüte und zur
Abtragung ganzer Oberflächenschichten mit gleichzeitiger Polierwirkung. Eine hohe Oberflächengüte ist
beispielsweise bei supraleitenden Hohlraumresonatoren aus Niob erforderlich. Solche Hohlraumresonatoren
können insbesondere für Teilchenbeschleuniger verwendet werden. In der supraleitenden Oberflächenschicht
der Hohlraumresonatoren findet beim Betrieb der Resonatoren Hochfrequenzabsorption statt. Um
diese Hochfrequenzabsorption und damit die Verluste klein zu halten, soll die Oberflächenschicht möglichst
homogen zusammengesetzt, möglichst glatt und möglichst frei von Störungen aller Art sein. Die bei der
maschinellen Bearbeitung der Nioboberflächen unvermeidlichen Oberflächenrauhigkeiten müssen daher
durch Polieren beseitigt werden. Ferner ist es in der Regel erforderlich, eine Oberflächenschicht des Niobteils
von mehreren 100 μπι abzutragen, soweit diese
durch die vorhergehende Bearbeitung hervorgerufene Störungen im Kristallgitter aufweist, die zu Verlusten
führen können. Allgemein sind spiegelglatte Nioboberflächen immer dann von Vorteil, wenn Hochfrequenz-
bzw. Wechselstromverluste in den supraleitenden Niobteilen vermieden werden sollen. Dies gilt insbesondere
auch für supraleitende Niobseparatoren für Teilchenbeschleunigerund für beispielsweise rohrförmige
Niobleiter für supraleitende Wechselstromkabel.
Während kleinere Niobteile insbesondere geometrisch einfacher Form mit Hilfe des Verfahrens nach
dem Hauptpatent ohne besondere zusätzliche Vurkehrungen in einfacher Weise elektrolytisch poliert werden
können, hat es sich jedoch gezeigt, daß beim Polieren der Innenflächen von Niobhohlkörpern bzw. beim
Polieren von Niobbauteilen die verhältnismäßig lang im Vergleich zum Durchmesser des zum Polieren verwendeten
Elektrolytgefäßes sind, erhebliche Schwierigkeiten auftreten können. Während des Zustandes mit
eingeschalteter Spannung, d. h. beim Stromdurchgang durch den Elektrolyten zwischen Kathode und Niobteil,
findet nämlich an der Kathode eine starke Entwicklung von gasförmigem Wasserstoff statt, der von der
Kathode aus im Elektrolyten aufsteigt. Diese Gasentwicklung wirkt sich sehr störend aus. Die Gasblasen
können nämlich unmittelbar an der zu polierenden Fläche des Niobteils entlangströmen und mit dieser in
Berührung geraten. Dadurch und durch die durch den aufsteigenden Wasserstoff in den Elektrolyten gebrachte
Bewegung wird offenbar die Ausbildung einer anodischen Grenzschicht, in welcher vorwiegend der
Spannungsabfall zwischen Niobteil und Kathode erfolgen soll, so stark gestört, daß die für eine gute
Polierwirkung erforderlichen Stromschwingungen weitgehend unterdrückt werden bzw. überhaupt nicht
auftreten. Außerdem besteht insbesondere bei Niobhohlkörpern mit komplizierter geometrischer Struktur
die Gefahr, daß sich im Inneren des Niobhohlkörpers Gaspolster bilden, so daß Teile der zu polierenden
Innenfläche überhaupt nicht mehr vom Elektrolyten benetzt und somit auch nicht poliert werden.
Beim Polieren der Innenfläche von Niobhohlkörpern komplizierter geometrischer Struktur oder großer
Länge können diese Schwierigkeiten durch ein in der deutschen Offenlegungsschrift 21 46 794 beschriebenes
Verfahren dadurch vermieden werden, daB ein mit wenigstens einer öffnung versehener Niobhohlkörper
zum Polieren seiner Innenfläche nur teilweise in den Elektrolyten derart eingetaucht und um eine durch die
öffnung verlaufende Drehachse derart drehbar angeordnet wird, daß zwischen dem Elektrolytspiegel und
allen oberhalb des Elektrolytspiegels befindlichen Teilen der Innenfläche des Niobhohlkörpers in jeder
ο Stellung des Niobhohlkörpers ein zusammenhängender, durch die öffnung mit der äußeren Umgebung in
Verbindung stehender freier Raum vorhanden ist und beim Drehen des Niobhohlkörpers die einzelnen Teile
seiner Innenfläche nacheinander in den Elektrolyten
in eintauchen, jedoch kein Teil der Innenfläche ständig im
Elektrolyten verbleibt, daß ferner die Kathode durch die öffnung in den Niobhohlkörper eingeführt und im
Elektrolyten derart gegenüber dem Niobhohlkörper angeordnet wird, daß der Bereich des Elektrolyten, in
welchem die an der Kathode bei Stromdurchgang gebildeten Gase zum Elektrolytspiegel aufsteigen, frei
von Teilen der Innenfläche des Niobhohlkörpers ist, und daß der Niobhohlkörper während des Anliegens der
konstanten Spannung und der anschließenden Auflösung der Oxidschicht in Ruhe gehalten und nach
Auflösung der Oxidschicht vor einem erneuten Anlegen einer konstanten Spannung um die Dre!<.>chse weitergedreht
wird. Bei diesem Verfahren können .ilso die bei
Stromdurchgang gebildeten Gasblasen zunächst zum Elektrolytspiegel aufsteigen, ohne diejenigen Teile der
Innenfläche, die sich jeweils im Elektrolyten befinden und polier' werden, zu erreichen. Anschließend kann das
Gas in den freien Raum über dem Elektrolytspiegel aufsteigen und durch die öffnung ungehindert aus dem
Niobhohlkörper austreten.
Während dieses bekannte Verfahren sich hervorragend zum Polieren der Innenfläche von Niobhohlkörpern
mit komplizierter geometrischer Struktur eignet, ist es zum Polieren der Innenfläche einfacherer
Niobhohlkörper, beispielsweise von Niobrohren, verhältnismäßig aufwendig und zum Polieren der Außenflächen
von Niobrohren oder beispielsweise der Flächen von langen Niobplatten nicht geeignet.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, das Verfahren nach dem Hauptpatent so zu verbessern, Jaß einerseits die erwähnten, mit der Wasserstoffentwicklung an der Kathode verbundenen Schwierigkeiten auch beim Polieren der Außenseiten von Niobbauteilen, insbesondere von langen Niobrohren oder Niobplatten,
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, das Verfahren nach dem Hauptpatent so zu verbessern, Jaß einerseits die erwähnten, mit der Wasserstoffentwicklung an der Kathode verbundenen Schwierigkeiten auch beim Polieren der Außenseiten von Niobbauteilen, insbesondere von langen Niobrohren oder Niobplatten,
« vermieden werden und andererseits das Polieren der
Innenfläche von Niobhohlkörpern einfacherer geometrischer Struktur gegenüber dem aus der deutschen
Offenlegungsschrift 21 46 794 bekannten Verfahren weiter vereinfacht wird.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß zum Fernhalten der an der Kathode bei
Stromdurchgang gebildeten Gasblasen vom Niobteil eine durchlöcherte Trennwand zwischen dem Niobteil
und der Kathode angeordnet wird.
Die C asblasen können bei dieser Verfahrensweise die
zu polierende Nioboberfläche nicht erreichen und somit die Ausbildung der ermähnten anodischen Grenzschicht
nicht beeinträchtigen. Der Strom zwischen Anode und Kathode kann trotzdem durch die Löcher in der
Trennwand hindurdtfließen.
Um ein ungehindertes Aufsteigen des kathodisch entwickelten Wasserstoffs zum Elektrolytspiegel zu
ermöglichen, ist es insbesondere beim Polieren oines rotationssymmetrischen Niobteils vorteilhaft, dieses im
M Elektrolyten mit etwa senkrecht zum Elektrolytspiegel
verlaufender Symmetrieachse anzuordnen und eine zylinderförmige Trennwand koaxial dazu zwischen der
zu polierenden Niobfläche und der Kathode vorzuse-
hen. Die an der Kathode gebildeten Gasblasen können dann zwischen dieser und der Trennwand /um
Elektroly!spiegel aufsteigen.
Obwohl der Strom zwischen Anode und Kathode, wie
bereits erwähnt, durch die Löcher in der Trennwand hindurchfließen kann, erhöht sich jedoch im Bereich der
Trennwand infolge der Verkleinerung des Querschnittes für den Stromfluß der elektrische Widerstand. Dies
kann zwar durch eine entsprechende Erhöhung der zwischen dem Niobteil und der Kathode angelegten
Snannung ausgeglichen werden, die Bedingungen für die Ausbildung der erwünschten gedämpften Strom
schwingungen können sich jedoch infolge dieser Widerstandserhöhung unter Umständen etwas verschlechtern.
Dies kann jedoch dadurch vermieden werden, daß eine Trennwand aus Aluminium verwendet
und während der Zustände mit eingeschalteter Spannung die Spannung zwischen Niobteil und Kathode
derart eingestellt wird, daß die zur Herbeiführung der rohrförmige Kathode 6 angeordnet, die vorteilhaft aus
Aluminium bestehen kann und mit Löchern 7 versehen ist. Der Anteil der Löcher 7 an der Oberfläche der
Kathode 6 beträgt dabei beispielsweise knapp 20%. Zwischen der zu polierenden Innenfläche des Niobteiles
1 und del Kathode 6 ist koaxial /ti dieser eine mit
Löchern 8 versehene, vorzugsweise ebenfalls aus Aluminium bestehende rohrförmige Trennwand 9
vorgesehen, bei welcher der Löcheranteil an der
Gesamtoberfläche etwa 30% beträgt. Die Löcher können beispielsweise einen Durchmesser \on etwa
2 mm haben.
Die Kathode 6 ist über eine Verbindungsleitung 10
mit dem Minuspol, die Trennwand 9 über eine
Verbindungsleitung Il mit dem Steuerteil und das
Niobteil 1 über eine Vcrbindungsleitung 12 mit dem
Pluspol einer Konstantspannungsquelle Π. beispielsweise eines Netzgerätes, verbunden. In die Vcrbindungsleitung
12 ist ein blattschreiber 14 eingeschalte!.
f " I"11-11 '"""1"(-""HIf UlIfUl Il IIIKII.I III.IIV. M/II.Mclil-
te Spannung /wischen der Trennwand und dem Niobteil anliegt Vorteilhaft kann dabei der Spannungsabfall
/wischen Niobteil und Trennwand als Steuergröße für die Spannung zwischen Niobteil und Kathode verwendet
werden. Im Bereich /wischen der nunmehr eine I lilfskathode bildenden Trennwand und der Anode
ergeben sich bei dieser Verfahrensweise die gleichen Verhältnisse wie beim Verfahren ohne Trennwand
/wischen Kathode und Anode, ohne daß jedoch die Gasentwicklung den Poliervorgang beeinträchtigt. An
der Ililfskathode entwickelt sich nur die geringe
Wasserstoffmenge, die dem Steuerstrom des /ur Einstellung der Spannung /wischen Kathode und
Niobteil dienenden Netzgerätes entspricht. Allerdings muß das Net/gerät die zusätzliche Spannung zwischen
Trennwand und Kathode aufbringen, so daß die im Elektrolyt freiwerdende Verlustwärme entsprechend
ansteigt. Durch Verwendung einer durchlöcherten Kathode mit einem Anteil der Löcher an der
Kathodenfläche von höchstens 20% kann dem entgegengewirkt werden. Das Abströmen des Wasserstoffs
wird dann nämlich weiter erleichtert, so daß sich ein
krenneerer Spannungsabfall /wischen Kathode und
Trenn« and einstellt. Der angegebene Anteil der Löcher an der Kathodenfläche gewährleistet dabei eine sehr
gleichmäßige Stromverteilung. Vorzugsweise wird eine Trennwand mit einem Anteil der Löcher an der
I "ennw andfläche von höchstens 500O verwendet. Die
Locher sollen jedoch so klein sein, daß Wasserstoffblasen nicht hindurchtreten können.
Anhand der F i g. 1 bis 3, die verschiedene Ausführungsbeispiele
für das erfindungsgemäße Verfahren zeigen, soll die Erfindung noch näher erläutert werden.
In Fi g. 1 ist das anodische Polieren der Innenfläche
eines becherförmigen Niobteils 1 dargestellt. Das Niobteil I ist in einem Elektrolyttrog 2 angeordnet, der
beispielsweise mit einem Elektrolyten 3 aus einer Mischung von 90 Vol.-% 96%iger Schwefelsäure und
10 Vol.-% 40%iger Flußsäure gefüllt ist. Diese Mischung entspricht einer Zusammensetzung von etwa
89.8 Gew.-% H2SO1. 2.6 Gew.-% HF und /.6 Gew.-<Vb
HjO. Die Elektrolyttemperatur wird mit Hilfe von Kühlwasser 4, das sich in einem den Elektrolyttrog 2
umgebenden Kühlwassertrog 5 befindet, auf einer konstanten Temperatur von beispielsweise 28=C gehalten.
Innerhalb des zu polierenden Niobteils 1. dessen Längsachse etwa senkrecht zum Elektrolytspiegel
verläuft, ist koaxial zu dieser Längsachse eine der beim Polieren entstehenden Stromschuingtingen
dient. Elektrolyt 3 und Kühlwasser 4 können mit Hilfe von in E ι g. I nicht dargestellten Rohrleitungen und
Pumpen umgewälzt werden.
Zum Polieren der Innenfläche des Niobteiles I wird mit Hilfe der Konstantspannungsquelle 13 zwischen der
Kathode 6 und dem Niobteil I eine so hohe Gleichspannung eingestellt, daß der Spannungsabfall
zwischen '™m Niobteil I und der Trennwand 9 12.5 V
beträgt. Über dem mit der Trennwand 9 durch die Leitung Il verbundenen Steuerteil wird die beispielsweise
etwa 16 V betragende Spannung zwischen dem Niobteil I und der Kathode 6 so geregelt, daß die
Spannung zwischen Niobteil und Trennwand zunächst konstant (±0.05 V) bleibt. Unmittelbar nach dem
Anlegen der Spannung treten dem Elektrolytstrom überlagerte gedämpfte Stromschwingungen auf. Die
Amplitude der .Stromschwingungen steigt nach einem Einschwingvorgang rasch auf einen Maximalwert an
und wird dann langsam kleiner. Bei einem Innendurchmesser des Niobteils 1 von etwa 40 mm. einen
Durchmesser der Kathode 6 von etwa 10 mm und einem Durchmesser der rohrförmigen Trennwand 9 von etwa
20 mm sowie einer Länge der genannten Teile von etwa 100 mm beträgt der mittlere Strom etwa 25 A und die
maximale Amplitude der dem Strom überlagerten Schwingungen etwa 5 A. Pro Minute treten etwa
20 Stromschwingungen auf.
Der an der Kathode 6 entstehende Wasserstoff steigt innerhalb dieser und im Raum zwischen der Kathode
und der Trennwand 9 zum Elektrolytspiegel auf. ohne die Innenfläche des Niobteils 1 zu erreichen. An .'er
Trennwand 9 selbst entsteht so wenig Wasserstoff, daß praktisch keine Durchwirbelung des Elektroylten im
Bereich zwischen der Trennwand 9 und der Innenfläche des Niobteiles 1 erfolgt und die Ausbildung der
anodischen Grenzschicht an der Innenfläche des Niobteils 1 nicht gestört wird.
Beispielsweise nach 1.5 Minuten, nachdem die
Maximalamplitude der Stromschwingungen überschritten ist. wird die Spannung etwa 8 Minuten lang
abgeschaltet, um die Auflösung der während der Schwingungen an der Innenfläche des Niobteils 1
gebildeten Oxidschicht zu ermöglichen. Dabei kann der Elektrolyt beispielsweise mit einer Geschwindigkeit von
1 l/min umgewälzt werden. Beim Umwälzen des Elektrolyten ist darauf zu achten, daß auch innerhalb des
becherförmigen Niobteils 1 ein Elektrolytaustausch
erfolgt. Dies kann beispielsweise dadurch geschehen, daß man frischen Elektrolyten mittels eines Schlauches
dem Innenraum der rohrförmigen Kathode 6 zuführt.
Nach der Auflösung der Oxidschicht wird wiederum zwischen der Kathode 6 und dem Niobteil 1 1.5 Minuten
lang eine so hohe Gleichspannung angelegt, daß die Spannung zwischen dem Niobteil I und der Trennwand
9 12,5 V beträgt. Dann wird die Spannung wieder zur
Auflösung der Oxidschicht 8 Minuten lang abgeschaltet. Bei jedem derartigen Polierschritt wird von der
Innenfläche des Niobteils 1 eine etwa 1.5 μπι starke
Schicht abgetragen. Zur Abtragung einer beispielsweise 150 um starken Schicht sind daher etwa 100 Polierschritte,
d. h. eine einhundertmalige Folge der Zustände mit eingeschalteter und abgeschalteter Spannung,
erforderlich.
Die Anordnung der Kathode und der Trennwand ist beim erfindungsgemäßen Verfahren jeweils dem zu
polierenden Niobteil anzupassen. Fig. 2 zeigt eine Anordnung zum einseitigen Polieren eines Niobbleches
20. Eine Kathode 2t ist gegenüber der zu polierenden Seite des Niobbleches 20, eine Trennwand 22 zwischen
beiden angeordnet. In Fig. 3 ist eine Anordnung zum
Polieren der Außenseite eines Niobrohres 30 dargestellt. Das Niobrohr 30 ist koaxial von einer rohrförmigen
Kathode 31 umgeben. Zwischen und koaxial zu beiden ist eine rohrförmige Trennwand 32 vorgesehen.
Durch das erfindungsgemäße Verfahren werden insbesondere beim anodischen Polieren von Niobteilen
verhältnismäßig einfacher geometrischer Struktur die mit dem Auftreten von Wasserstoff an der Kathode
entstehenden Schwierigkeiten praktisch völlig vermieden.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
130 225/128
Claims (6)
1. Verfahren zum anodischen Polieren von Niobteilen in einem eine Temperatur zwischen 15°
und 50° C aufweisenden Elektrolyten aus 86 bis 93 Gewichtsprozent H2SO.», 1,5 bis 4,0 Gewichtsprozent HF und 5,5 bis 10 Gewichtsprozent HjO, wobei
eine konstante Spannung zwischen 9 und 15 Volt derart eingestellt wird, daß dem Elektrolytstrom
überlagerte gedämpfte Stromschwingungen auftreten, und spätestens nach vollständigem Abklingen
der Stromschwingungen die Spannung solange abgeschaltet wird, bis die während der Stromschwingungen aufgebaute Oxidschicht aufgelöst ist, anschließend erneut eine konstante Spannung zwischen 9 und 15 Volt so eingestellt wird, daß
gedämpfte Stromschwingungen auftreten, und die Folge von Zuständen mit eingeschalteter und
abgeschalteter Spannung noch mehrfach durchlaufen wird, nach Patent 20 27 156.1, dadurch
gekennzeichnet, daß zum Fernhalten der an der Kathode hei Stromdurchgang gebildeten Gasblasen vom Niobteil eine durchlöcherte Trennwand
zwischen dem Niobteil und der Kathode angeordnet wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zum Polieren eines rotationssymmetrischen Niobteils dieses im Elektrolyten mit etwa
senkrecht zum Elektrolytspiegel verlaufender Symmetrieachse angeordnet und eine zylinderförmige
Trennwand koaxial dazu zwischen der Nioboberfläche und der Kathode vorgesehen wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß eine Trennwand aus Aluminium
verwendet und während der Zustände mit eingeschalteter Spannung die Spannung zwischen Niobteil und Kathode derart eingestellt wird, daß die zur
Herbeiführung der gedämpften Stromschwingungen erforderliche konstante Spannung zwischen der
Trennwand und dem Niobteil anliegt.
4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Spannungsabfall zwischen Niobteil
und Trennwand als Steuergröße für die Spannung zwischen Niobteil und Kathode verwendet wird.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß eine durchlöcherte
Kathode mit einem Anteil der Löcher an der Kathodenfläche von höchstens 20% verwendet
wird.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß eine Trennwand mit
einem Anteil der Löcher an der Trennwandfläche von höchstens 50% verwendet wird.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19742409180 DE2409180C3 (de) | 1974-02-26 | 1974-02-26 | Verfahren zum anodischen Polieren von Niobteilen |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19742409180 DE2409180C3 (de) | 1974-02-26 | 1974-02-26 | Verfahren zum anodischen Polieren von Niobteilen |
Publications (3)
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---|---|
DE2409180A1 DE2409180A1 (de) | 1975-09-04 |
DE2409180B2 DE2409180B2 (de) | 1980-10-23 |
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ID=5908487
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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DE19742409180 Expired DE2409180C3 (de) | 1974-02-26 | 1974-02-26 | Verfahren zum anodischen Polieren von Niobteilen |
Country Status (1)
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---|---|
DE (1) | DE2409180C3 (de) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0046913B1 (de) * | 1980-08-29 | 1984-12-05 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren zum chemischen Polieren von Niob-Teilen, insbesondere eines Hohlraumresonators |
CN105386117A (zh) * | 2015-11-24 | 2016-03-09 | 常州乐奥医疗科技有限公司 | 一种支架的电化学抛光装置和抛光方法 |
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1974
- 1974-02-26 DE DE19742409180 patent/DE2409180C3/de not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE2409180A1 (de) | 1975-09-04 |
DE2409180B2 (de) | 1980-10-23 |
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