DE3025442A1

DE3025442A1 - Beruehrungsfreies abdichtungselement

Info

Publication number: DE3025442A1
Application number: DE19803025442
Authority: DE
Inventors: Takashi Ichiyanagi; Kiyokazu Imanishi
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1979-07-06
Filing date: 1980-07-04
Publication date: 1981-01-29
Also published as: DE3050805C1; DE3025442C2; CA1147369A; US4354686A

Description

Berührungsfreies Dichtungselement

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein .berührungsfreies Abdichtungselement gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 Ein derartiges Abdichtungselement ist zur Abdichtung einer isolierten Kammer verwendbar, in welche ein Material, wie ein filmartiges Plastikband, kontinuierlich mit hoher Geschwindigkeit eingeführt wird.

Bei einer Aufwickelvorrichtung wird ein Band kontinuierlich mit hoher Geschwindigkeit auf eine Aufwickelspule aufgewickelt. Wenn die Aufwickelgeschwindigkeit einen bestimmten Wert überschreitet, wird die das Band umgebende Luft sukzessiv in einen schmalen Raum eingesaugt, der sich zwischen dem Bandwickel auf der ' Aufwickelspule und dem aufzuwickelnden Teil des Bandes ergibt. Aufgrund des Einsaugens der Luft wirkt auf das Band eine ein Schwimmen bewirkende Kraft, die durch eine unstabile komprimierte Luftschicht aufgrund der Keil- oder Quetschwirkung verursacht wird. Ferner wird das zugeführte Band unregelmäßigen äußeren Kräften ausgesetzt, beispielsweise aufgrund von Veränderungen der Bandspannung, die durch eine exzentrische Rotation der Spule und/oder mechanische Vibrationen der mechanischen Teile des Aufwickelgerätes entstehen. Aufgrund derartiger unregelmäßiger Kräfte vibriert das Band in der Querrichtung, was zu Unregelmäßigkeiten des Auf wickel-

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Vorgangs, beispielsweise einer ungleichmäßigen Aufwicklung der Randbereiche des Bandes führt. Bei einem Band mit einer Breite von einem halben Zoll (1,27 cm) ergeben sich beispielsweise solche AufWicklungsschwierigkeiten, wenn das Band mit einer Geschwindigkeit von mehr als 5 bis 6 m/s aufgewickelt wird. Wenn das Band ungleichmäßig aufgewickelt wird, dann ergibt sich nicht nur ein unschön aussehender Bandwickel, sondern auch eine Verwellung des Bandes selbst. Dies führt dazu, daß das Band leicht beschädigt werden kann und daß der Zuführvorgang des Bandes bei der Aufzeichnungswiedergabe unstabil wird.

Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein berührungsfreies Abdichtungselement zur Abdichtung einer isolierten bzw. gesonderten Kammer zu schaffen, in welche dünnes Material kontinuierlich mit hoher Geschwindigkeit eingeführt werden kann, ohne daß dabei Kontaktprobleme mit der Innenfläche des Abdichtungselementes auftreten.

Erfindungsgemäß wird dies durch Vorsehen der in Anspruch 1 aufgeführten Merkmale erreicht.

Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich anhand der Unteransprüche.

Im Rahmen der vorliegenden Erfindung wird somit ein verbessertes berührungsfreies Abdichtungselement für die Abdichtung einer isolierten Kammer mit einem schlitzförmigen Kanal, durch welchen

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das Band durchgeführt wird, geschaffen. Dabei wird ein hydrostatisches Gaslager innerhalb eines im Abdichtungselement gebildeten Schlitzkanals erzeugt, so daß das Band berührungsfrei durch den Schlitz geführt und aufgrund des Abdichtungselementes eine verbesserte Abdichtung erreicht wird.

Die Erfindung soll nunmehr anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert und beschrieben werden, wobei auf die beigefügten Zeichnungen Bezug genommen ist. Es zeigen:

Fig. 1 eine schematische Querschnittansicht eines Modells eines Aufwickelteils für eine Modellanalyse des Phänomens des unregelmäßigen Aufwickeins bei einem herkömmlichen Aufwickelvorgang;

Fig. 2 eine graphische Darstellung der Druckverteilung innerhalb der Einlaß- und der Auslaßöffnung des Aufwickelteilmodells von Fig. 1?

Fig. 3 eine graphische Darstellung der sich bei einer Anordnung gemäß Fig. 1 ergebenden Schwimmkraft in Abhängigkeit des Umgebungsdrucks, bei verschiedenen Bandgeschwindigkeiten ü;

Fig. 4 eine schematische Ansicht einer Aufwickelvorrichtung mit einer einen verminderten Druck aufweisenden Kammer;

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Fig. 5a und b eine Front- bzw. Seitenquerschnittansicht eines mit einem Durchführkanal versehenen Abdichtungselementes ;

Fig. 6a und b eine Seiten- bzw. Frontquerschnittansicht eines berührungsfreien Abdichtungselementes gemäß der Erfindung, wobei Fig. 6b eine Schnittansicht entlang der Linie A-A von Fig. 6a darstellt;

Fig. 7a und b eine Seiten- bzw. Frontquerschnittansicht einer anderen Ausführungsform des berührungsfreien Abdichtungselementes gemäß der Erfindung, wobei Fig. 7b eine Schnittansicht entlang der Linie B-B von Fig. 7a darstellt;

Fig. 8 und 9 je eine perspektivische Ansicht des unteren Teils einer Ausführungsform des berührungsfreien Abdichtungselementes gemäß der Erfindung;

Fig. 10 und 11 seitliche Schnittansichten zweier weiterer Ausführungsformen des berührungsfreien Abdichtungs- ■ elementes gemäß der Erfindung;

Fig. 12a bis c eine Frontal-QuerSchnittansicht bzw. eine Draufsicht sowie eine perspektivische Ansicht auf den Bodenteil einer weiteren Ausführungsform des berührungsfreien Abdichtungselementes gemäß der

Fig. 13a und b eine Frontal-QuerSchnittansicht bzw. eine Draufsicht auf den Bodenteil einer weiteren Ausführungsform des berührungsfreien Abdichtungselementes gemäß der Erfindung und

Fig. 14 eine Seiten-Querschnittansicht einer abgewandelten Ausführungsform des berührungsfreien Abdichtungselementes gemäß der Erfindung.

Die vorliegende Erfindung schafft ein berührungsfreies Abdichtungselement zur Abdichtung einer isolierten Kammer, wobei an einem Wandteil dieser Kammer für das Hindurchführen eines Bandes ein Schlitzkanal vorgesehen ist, dessen Querschnitt größer als der des Bandes ist.

Im Rahmen einer älteren Anmeldung der Anmelderin (P 30 09 123.7) sind ein Verfahren und eine Vorrichtung vorgeschlagen worden zum Aufwickeln eines Bandes innerhalb einer Kammer, die unter einem Druck niedriger als der Atmosphärendruck steht.

Der Bandaufwickelteil ist modellartig in Fig. 1 dargestellt. Es sei angenommen, daß die beiden Ebenen 53a und 53b mit unendlicher Breite mit einer Geschwindigkeit U in der durch die Pfeile angegebenen Richtung bewegt werden, und daß sie einen schmalen, sich verjüngenden Spalt 52 bilden, dessen öffnungsweite a auf der Einlaßseite größer als die öffnungsweite b auf der Auslaßseite ist. Die Änderung des Druckes P, der in dem

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Spalt 52 im Verhältnis zum Umgebungsdruck P erzeugt wird,

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kann als eine Funktion des Abstandes von der Spalteinlaßseite a mittels der Methode endlicher Differenz als ein Problem einer Druckfluidschmierung berechnet werden. Aufgrund derartiger Berechnungen ergibt sich, daß mit abnehmendem Umgebungsdruck P„

auch der erzeugte Druck P abnimmt. Fig. 3 zeigt die Beziehung zwischen dem Umgebungsdruck P„ und der erzeugten Schwimmkraft,

berechnet durch Integrieren der Druckverteilung gemäß Fig. 2, wobei die Geschwindigkeit U als Parameter herangezogen ist.

Fig. 3 ergibt, daß die Schwimmkraft pro Längeneinheit in der Querrichtung abnimmt, wenn der Umgebungsdruck P„ abnimmt, und

daß diese Schwimmkraft durch die Geschwindigkeit U nicht sehr stark beeinflußt wird, wenn der Umgebungsdruck unterhalb von 0,1 Atmosphären (atm) liegt.

Die oben erwähnten Resultate erhält man durch einfache Berechnungen unter Verwendung des in Fig. 1 dargestellten Modells. Bei einem wirklichen Bandaufwickelteil führen die Bandbreite, die Bandspannung, die Biegesteifigkeit usw. zu einer Verkomplizierung des Ganzen. Jedoch ändert dies nichts and der prinzipiellen Erkenntnis, daß bei einer Reduzierung des Umgebungsdruckes die Schwimmkraft abnimmt.

Fig. 4 zeigt eine schematische Ansicht einer Aufwickelvorrichtung mit einer unter verringertem Druck stehenden Kammer, wie sie gemäß der bereits erwähnten älteren Anmeldung vorgeschla-

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gen worden ist. In dieser älteren Anmeldung ist eine Aufwickelvorrichtung mit einem Dichtungselement 7 versehene, unter verringertem Druck stehende Kammer 6 vorgeschlagen worden. Ein Band 4 wird dabei mit einer Geschwindigkeit im Bereich von 10 m/s und einer Bandspannung von einigen 10 g auf eine Spule 1 aufgewickelt. Es sind Bandführungen 9 vorgesehen, um das Band 4 in der richtigen Weise zu führen. Durch Verwendung der unter verringertem Druck stehenden Kammer 6, im folgenden kurz Unterdruckkammer 6 genannt, ergibt sich die Möglichkeit, das Band 4 mit sehr hoher Geschwindigkeit und dazu unter geringer Bandspannung aufzuwickeln.

Ein weiterer Vorschlag in der älteren Anmeldung geht dahin, ein Abdichtungselement mit zwei Druckwalzen zu verwenden, um zu verhindern, daß von außen her Luft in die Unterdruckkammer einströmen kann. Bei Verwendung eines derartigen Abdichtungselementes ergibt sich eine gute Aufrechterhaltung der Abdichtung, da das Band direkt in Berührung mit den Druckwalzen steht. Es besteht jedoch die Gefahr einer Beschädigung der Oberfläche des Bandes. Ferner erweist es sich als schwierig, die Zuführspannung des Bandes zu steuern und den Zuführvorgang zu stabilisieren.

In der älteren Anmeldung ist bereits erwähnt worden, daß die Verwendung von berührungsfreien- Abdichtungselementen vorzuziehen ist. Ein derartiges berührungsfreies Abdichtungselement ist in

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den Fig. 5a und b gezeigt. Fig. 5a zeigt dabei eine stirnseitige Querschnittsansicht eines Abdichtungselementes mit einem langen und schmalen Durchführkanal 10, dessen Öffnungshöhe H geringfügig größer als die Dicke T des durchzuführenden Bandes 4 ist. Eine Abdichtwirkung erhält man durch den Viskositätswiderstand der Luft an schmalen Zwischenräumen 11a und 11b, die zwischen der jeweiligen Wandoberfläche des Durchführkanals bzw. Förderweges 10 und der je zugehörigen Oberfläche des Bandes gebildet werden.

Ferner ist es bekannt zum Erhalt einer Dichtwirkung eine Labyrinthdichtung zu verwenden, bei der die Querschnittsfläche eines Strömungsweges abrupt geändert wird. Bei einer solchen kontaktfreien Dichtung mit der herkömmlichen Labyrinthdichtung ist es jedoch erforderlich, kleine Zwischenräume zwischen den relativ zueinander bewegten Gegenständen sicherzustellen, während die Dichtungswirkung aufrechterhalten wird. Aber obwohl kleine Zwischenräume bei einem Dichtungselement eines starren Körpers verfügbar sind, besteht bei einem aufzuwickelnden Band die Möglichkeit, daß es durch eine kleine äußere Kraft aus der richtigen Zuführposition im Dichtungselement gelangen kann. Dies gilt besonders für ein Band guter Flexibilität, wie bei einem Polyesterfilm. Es ist daher schwer, während des Zuführens des Bandes immer kleine Zwischenräume bzw. Abstände sicherzustellen.

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Diese Situation wird nun anhand von Fig. 5b analysiert. Fig. 5b zeigt eine seitliche Querschnittsansicht eines Zuführkanals, wobei durch diesen ein Band von einer Seite I, die unter atmosphärischem Druck P steht, zu einer Seite II einer Kammer, die unter einem ver-

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ringerten Druck bzw. Unterdruck P_Q steht, führt..Nimmt man an, daß der Zuführungskanal mit einem vollkommenen viskosen Fluid gefüllt ist, sind die Druckverteilung P₁ (in Fig. 5b mit einer gestrichelten Linie dargestellt) an der oberen Oberfläche des Bandes 4 und die Druckverteilung P„ an der unteren Oberfläche des Bandes 4 identisch, selbst wenn die Zuführposition des Bandes 4 geändert wird. Das heißt, selbst wenn schmale lichte Abstände h^ und h^ beidseits des Bandes 4 einander nicht gleich sind, sind die Druckverteilungen P^ und P„ identisch. Das heißt, daß an der Zuführposition keine tragende Kraft auftritt. Somit kann das zugeführte Band 4 aufgrund einer äußeren Kraft die richtige Position verlassen und mit der inneren Oberfläche des Zuführkanals in Berührung kommen. Diese unstabile Zuführung verursacht manchmal ein Schwingen des zugeführten Bandes, und im schlimmsten Fall führt es zu einem Abschneiden des Bandes bei der Zuführung.

In der älteren Anmeldung findet sich der weitere Vorschlag, ein berührungsfreies Dichtungselement unter Verwendung einer hydrostatischen Gaslagerungswirkung zu benutzen, um zu verhindern, daß Luft in die Unterdruckkammer strömt.

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Fig. 6a zeigt eine seitliche Querschnittsansicht eines berührungsfreien Dichtungselementes nach einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Fig. 6b zeigt eine frontale Querschnittsansicht dieses Dichtungselementes längs der Linie A-A in Fig. 6a. Das berührungs- bzw. kontaktfreie Dichtungselement umfaßt einen oberen Block 14a und einen unteren Block 14b, wobei ein schmaler Schlitzkanal 10 zur Durchführung eines Bandes 4 vorgesehen ist. Gaszufuhrlöcher 16a und 16b sind an der oberen und an der unteren Wand der Blöcke 14a und 14b und sind durch das Band 4 hindurchgesehen einander gegenüberliegend angeordnet. Von den Gaszufuhrlöchern 16a und 16b wird Gas auf die Oberflächen des Bandes 4 geblasen, wodurch eine hydrostatische Gaslagerung gebildet wird. Daher wird die Zuführposition des Bandes 4 in der Mitte des Schlitzkanals 10 gehalten. Dabei erweist es sich als vorteilhaft, die Größe der Spalträume zwischen der oberen Wandung des Schlitzkanals 10 und der oberen Oberfläche des Bandes 4 und zwischen der unteren Wandung des Schlitzkanals und der unteren Oberfläche des Bandes 4 so klein wie möglich zu machen, um eine zufriedenstellende Dichtungswirkung zu erhalten. Die Spaltgröße wird dabei vorzugsweise unterhalb von 100 μΐη gewählt, um im Spaltraum eine laminare Strömung des gasförmigen Fluids zu bewirken. Das bedeutet, daß die Differenz zwischen der Abmessung H des Schlitzkanals 10 und der Dicke T des Bandes 4 kleiner als 200 μΐη sein sollte. Es ist natürlich auch möglich, im Schlitzkanal 10 mehr als ein Paar Gaszufuhrlöcher vorzusehen.

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Fig. 7a ist eine Querschnitt-Seitenansicht eines berührungsfreien Dichtungselementes einer zweiten Ausfuhrungsform der Erfindung. Fig. 7b zeigt eine Querschnittsfrontansicht dieses Dichtungselementes längs der Linie B-B in Fig. 7a. Bei dieser Ausführungsform wird poröses Material verwendet, um im Schlitzkanal 10 eine hydrostatische Gaslagerung zu bilden. Dieses berührungsfreie Dichtungselement umfaßt einen oberen Block 14a und einen unteren Block 14b mit Teilen 17a und 17b aus porösem Material, wie gesinterter Bronze. Gas wird von der gesamten Oberfläche der porösen Teile 17a und 17b auf die Oberflächen des Bandes 4 geblasen, wodurch das Band 4 in der Mitte des Schlitzkanals 10 gehalten wird.

Ähnliche hydrostatische Gaslagerungen begrenzter Oberfläche kann man auch bei den in Figuren 8 und 9 gezeigten folgenden Ausführungsformen erhalten. Fig. 8 zeigt eine Perspektivansicht eines Bodenteils 14b eines berührungsfreien Dichtelementes einer dritten Ausführungsform. Der Bodenteil 14b ist mit mehreren Nuten 12a und 12b eines in Fig. 8 gezeigten Musters versehen. Ein anderer Teil, der dem Bodenteil 14b ähnlich ist, wird als oberer Teil verwendet, so daß ein Schlitzkanal mit den Nuten zur Durchführung eines Bandes 4 gebildet wird. Enden 13a und 13b der Nuten 12a und 12b öffnen sich zur unter atmosphärischem Druck stehenden Seite.

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Fig. 10 zeigt eine seitliche Querschnittsansicht eines berührungsfreien Dichtungselementes nach einer weiteren Ausführungsform der Erfindung. Bei diesem berührungsfreien Dichtungselement werden elastische Halter verwendet, um im Schlitzkanal kleine Spalträume zu erhalten. Zwei Blöcke 21a und 21b werden je von einem Balg 22a bzw. 22b getragen und von Hauptblöcken 23a und 23b elastisch gehalten. Die Blöcke 21a und 21b sind mit Gaszufuhrlöchern 16a bzw. 16b versehen, durch die Gas auf die Oberflächen des Bandes 4 geblasen wird. Die Blöcke 21a und 21b sind somit oberhalb und unterhalb des Bandes 4 positioniert, und zwar unter Aufrechterhaltung schmaler Spalträume , die durch den Druck innerhalb der Spalträume, einen Druck P in Kammern 24a und 24b innerhalb der Bälge 22a und 22b und ferner durch die elastische Kraft der Bälge 22a und 22b festgelegt sind.

Fig. 11 zeigt eine seitliche Querschnittsansicht einer weiteren Ausführungsform eines erfindungsgemäßen berührungsfreien Dichtungselementes. Ein Schlitzkanal ist in hohlen Blöcken 25a und 25b aus Kautschuk oder Gummi gebildet. In ähnlicher Weise wie bei dem berührungsfreien Dichtungselement nach Fig. 10 ergibt sich die Möglichkeit, die Größen der schmalen Spalträume in dem Schlitzkanal zu steuern, selbst wenn Bänder unterschiedlicher Dicke verwendet werden.

Bei den berührungsfreien Dichtungselementen, wie sie in den

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Figuren 10 und 11 gezeigt sind, wird ein Strahl durch das Gas am Ausgang des Schlitzkanals/ das heißt, an der öffnung auf der Seite verminderten Druckes, erzeugt. Wenn die Bandzuführung mit einer Spannung von einigen 10 g durchgeführt wird, um das Band nicht zu dehnen, und wenn das Band eine Dicke von höchstens einigen 10 μΐη aufweist (das heißt, die Steifigkeit des Bandes ist gering), führt der Gasstrahl zu einer unstabilen Bandförderung und kommt es zu einem Bandflattern. Dieses Bandflattern macht nicht nur die Bandspannung unstabil, sondern beeinträchtigt auch die Durchführungsposition des Bandes im berührungsfreien Dichtungselement. Dadurch kann das Band mit der inneren Oberfläche des Schlitzkanals in Berührung kommen, und im schlechtesten Fall kann das Band abgeschnitten werden. Um diese Schwierigkeiten zu überwinden, ist es zu bevorzugen, im berührung sfreien Dichtungselement einen Auslaßnebenkanal vorzusehen, durch den der größte Teil des von den Gaszuführungslöchern kommenden Gases abgelassen und die Menge des mit dem Band in die Unterdruckkammer fließenden Gases verringert oder ein solcher Gasfluß unterdrückt werden kann.

Fig. 12a zeigt eine frontale Querschnittsansicht einer weiteren Ausführungsform eines erfindungsgemäßen berührungsfreien Dichtungselementes. Figuren 12b und 12c zeigen eine Draufsicht bzw. eine Perspektivansicht des Bodenteils des berührungsfreien Dichtungselementes nach Fig. 12a. Ein oberer Block 14a und ein unterer Block 14b mit einer Nut 13, die eine Tiefe H aufweist,

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bilden einen Durchführungskanal 10. Typischerweise wird bei einer Dicke des Bandes 4 von 20 μπι für die Nut 13 eine Tiefe H von 40 um gewählt. Das heißt, die schmalen Zwischenräume bzw. lichten Abstände zwischen den Oberflächen des Bandes 4 und den inneren Oberflächen des Durchführungskanals 10 sind je 10 μπι. Der andere Block 14b ist ferner mit drei Paaren Auslaßnebenkanälen 26 versehen, die bezüglich der Längsrichtung des Bandes 4 symmetrisch angeordnet sind, wie es in den Figuren 12b und 12c gezeigt ist.

Der größte Teil des von vier Gaszufuhrlöchern 16 ausgeblasenen Gases wird über drei Paare Auslaßlöcher 27 mittels einer (nicht gezeigten) Absaugeinrichtung abgesaugt. Als Absaugeinrichtung kann eine Vakuumpumpe dienen, die zum Evakuieren des Gases in der Unterdruckkammer verwendet wird. Das Gas wird von den vier Paaren Gaszufuhrlöchern mit Hilfe einer geeigneten Kompressoreinrichtung auf die beiden Oberflächen des Bandes geblasen, wodurch im Inneren des Durchführungskanals 10 ein hydrostatisches Gaslager erzeugt wird. Die Wirkung des hydrostatischen Gaslagers führt zu einer Steifigkeit des zugeführten Bandes, wodurch das zugeführte Band 4 stabil transportiert wird, und zwar frei von Problemen einer Berührung mit den inneren Oberflächen des Durchführungskanals 10. Die Lochgröße der der Unterdruckkammer am nächsten liegenden Gaszufuhrlöcher kann vorzugsweise kleiner gewählt werden als die der anderen Gaszufuhrlöcher, um die Menge des in die Kammer fließenden Gases klein zu halten.

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Dadurch, daß man die Ab- bzw. Auslaßlöcher 27 bei dem berührungsfreien Dichtungselement dieser Ausführungsform vorsieht, ist es möglich, die Menge des direkt in die Unterdruckkammer strömenden Gases klein zu halten und somit das Vakuum in der Kammer verminderten Druckes zu verbessern. Es ist ferner möglich, die Zuführposition des Bandes 4 im Durchführungs- bzw. Zuführkanal 10 zu stabilisieren, wodurch man zu einer besseren Dichtungswirkung kommt, bei der man frei ist von dem Problem einer Berührung mit den inneren Oberflächen des Zuführkanals

Bei der in den Figuren 12a, 12b und 12c gezeigten Ausführungsform sind drei Paar Ablaßnebenkanäle und vier Paar Gaszufuhrlöcher 16 vorgesehen. Wie in den Figuren 13a und 13b gezeigt ist, läßt sich eine ähnliche Wirkung dadurch erhalten, daß man ein Paar Ablaßnebenkanäle 28 und Ablaßlöcher 27 und fünf Paar Gaszufuhrlöcher in dem berührungsfreien Dichtungselement vorsieht. Wesentlich ist, daß der Zuführkanal wenigstens ein Paar Ablaßnebenkanäle und wenigstens ein Paar Gaszufuhrlöcher aufweist.

Bei den in den Figuren 12a, 12b und 12c und in den Figuren 13a und 13b gezeigten Ausführungsformen ist die Höhe der Ablaßnebenkanäle gleich der Öffnungshöhe des Durchfuhrkanals, weil ein Dichtungselement mit einem solchen Aufbau leicht hergestellt werden kann. Es ist natürlich auch möglich, die Höhe der Ablaßnebenkanäle größer als die Öffnungshöhe des Zuführkanals zu machen, wie es in Fig. 14 gezeigt ist, oder die Höhe dieses

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Ablaßnebenkanals kleiner zu machen als die Öffnungshöhe des Durchführungskanals. Worauf jedoch am meisten geachtet werden sollte, ist, daß die Bandzuführung nicht durch die Ablaßgasströmung beeinträchtigt wird. Dabei ist es beispielsweise wichtig, daß die Mitte des Zuführungskanals mit der Mitte der Höhe der Ablaßnebenkanäle zusammenfällt und daß die Ablaßnebenkanäle symmetrisch bezüglich der Längsrichtung des zugeführten Bandes angeordnet sind. Die Ablaßnebenkanäle können auch bei den berührungsfreien Dichtungselementen anderer als der in den Figuren 12 und 13 gezeigten Ausführungsformen vorgesehen werden, wodurch man eine ähnliche Wirkung erreicht.

Das erfindungsgemäße Dichtungselement kann also zur Abdichtung einer isolierten Kammer verwendet werden, die unter einem vom atmospärischen Druck abweichenden Druck steht. Erfindungsgemäße berührungsfreie Dichtungselemente können daher für eine Anzahl Anwendungsgebiete eingesetzt werden, beispielsweise bei der Herstellung von Kondensatoren durch Aufdampfen metallischen Materials auf eine Kunststoffolie in einer Vakuumkammer.

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Claims

Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. 1006, Oaza-Kadoma, Kadoma-shi Osaka, Japan u.Z.: Q 424 M3 (Hi/Ste) 4. JuIi 1980 Berührungsfreies Dichtungselement Prioritäten: Japan Nr. Sho 54-86180 vom 6. Juli 1979 Japan Nr. Sho 54-105298 vom 17. August 1979 Patentansprüche

1./ Berührungsfreies Dichtungselement zur Abdichtung einer isolierten Kammer, gekennzeichnet durch einen in einem Wandteil der isolierten Kammer angeordneten, der Durchführung eines Bandes (4) und der Erzeugung einer hydrostatischen Gaslagerungswirkung dienenden Durchführkanal (10), dessen Querschnittsfläche größer als die des Bandes (4) ist.

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2. Dichtungselement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Differenz zwischen der Größe einer Seite einer öffnung des Durchführkanals (10) und der Dicke des Bandes (4) weniger als 200 μπι beträgt.

3. Dichtungselement nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet durch wenigstens ein Paar Gaszuführelernente (16; 16a, 16b; 17a,17b) zum Aufblasen eines Gases auf die beiden Oberflächen des Bandes (4).

4. Dichtungselement nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Durchführkanal (10) wenigstens ein Paar Nuten (12a,12b; 15) in den oberhalb und unterhalb des Bandes (4) liegenden Oberflächen aufweist und daß wenigstens ein Paar Enden (13a,13b) der Nuten auf der dem Atmosphärendruck zugekehrten Seite des Durchführkanals (10) geöffnet sind.

5. Dichtungselement nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens ein Paar Gaszufuhrelemente (17a, 17b) aus einem porösen Material bestehen.

6. Dichtungselement nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens die oberen und unteren Flächen des Durchführkanals (10) mittels elastischer Materialien (22a,22b) gehalten sind.

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7. Dichtungselement nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens die oberen und unteren Flächen des Durchführungskanals (10) aus einem elastischen
Material (25a,25b) bestehen.

8. Dichtungselement nach einem der Ansprüche 3 bis 7, gekennzeichnet durch wenigstens eine öffnung (27) zum Abführen des auf die beiden Oberflächen des Bandes (4) geblasenen Gases.

9. Dichtungselement nach einem der Ansprüche 3 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Gaszufuhrelemente (16; 16a,16b) Öffnungen aufweisen, die im wesentlichen senkrecht auf eine
Oberfläche des Bandes (4) gerichtet sind.

1 0. Dichtungselement nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß die öffnungen (27) bezüglich der Längsrichtung des Bandes (4) symmetrisch angeordnet sind.

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