JP3746242B2 - 層流空気静圧軸受 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は静圧軸受に関し、特に高精度な層流空気静圧軸受に関する。
【0002】
【従来の技術】
空気静圧軸受は、ガイド部材と該ガイド部材に軸受間隙を介して対向して可動部材を配置し、ガイド部材又は可動部材の一方に空気供給通路を形成して軸受間隙に空気流を供給するようにしたものである。この空気静圧軸受は空気の平均化効果により、転がり軸受等と比べ移動誤差が小さく高い精度の軸受が得られる。そのため、高精度が要求される様々な装置、機械に用いられている。しかし、工作機械や測定装置における高精度化に伴い、1ナノメートル以下の加工精度や測定精度まで要求されるようになった。そのため、これまであまり問題視されることはなかった静圧軸受の微小な振動が、精度を向上させる妨げとして現れてきた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
静圧軸受の微小振動は空気の流れが乱れ、乱流の状態になることにより生じる。乱流から生じる振動は固有の振動数を持たない10〜数10kHzの振動のため、機械の共振周波数をこの微小振動の周波数の帯域外に外すことはできない。従って、実際の振動の振幅は1ナノメートル以下であるが、機械の構造によってはこの微小振動が機械を共振させ、数十ナノメートルの振動に増大することも起きうる。従来の静圧軸受はこのような微小振動は無視できるレベルのものとして、考慮されておらず、上述したように、1ナノメートル以下の加工精度や測定精度が要求される機械や装置にとっては問題となってきた。
【0004】
高精度な静圧軸受を実現するには、上述したように、軸受内の配管内を流れる空気流の乱流をなくすか、乱流に起因する振動の影響をなくす必要がある。単純に空気の供給圧を下げて行けば、流速が遅くなり配管内の乱流をなくすことができる。しかし、静圧軸受の剛性は圧力に比例するので、低い圧力で静圧軸受を使用することはできない。
そこで、本発明は、軸受の剛性を維持しつつ、極めて振動の発生のない空気静圧軸受を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】
流体の流れには層流と乱流の2つの状態があり、静圧軸受の空気通路を流れる空気の流れが乱流になることにより、上述した振動が発生するものであるから、この空気流を層流にすることができればよい。流体の流れの2つの状態はレイノルズ数Reの数値の大きさで識別することができる。レイノルズ数Reは、
Re=ρuL/μ
(ただし、ρ:密度、u:速度、L:長さ(管の直径)、μ:粘性係数)
で定義される。
層流と乱流の遷移域はRe=2000〜3000にあるため、レイノルズ数Reが2000以下であれば、層流の状態となる。そして、層流の状態では完全になめらかな流れとなるために、空気の流れに振動が生じることはない。従来の静圧軸受では、配管の直径と本数は、その中を流れる空気が大きな圧力損失を起こさない程度で最小の値となるように決定されていたが、本発明では、空気静圧軸受の中を流れる空気の全経路において、層流になるようにする。
前記レイノルズ数Reにおいて、密度ρは空気圧力に影響することから、レイノルズ数Reは、圧力、流速,管路の径に比例することがわかる。また静圧軸受に供給できる空気圧力は、使用現場において自ずから決まっている。そこで、本発明は、適用する空気供給圧力に基づいて、空気供給通路及び軸受間隙で空気流が層流となる大きさ、形状に空気供給通路及び軸受間隙を構成することによって、空気流の全経路で層流の流れ(例えばレイノルズ数Re=2000以下の流れ)を達成させるようにし、振動の発生を防止した。
【0006】
さらに、前記空気供給通路を主配管、該主配管につながる分岐配管及び該分岐配管と前記軸受間隙とにつながるオリフィスで構成し、これらの各部位において層流が形成されるようにした。そのために、必要に応じて、主配管へ空気を供給する空気流入口を前記主配管に複数設けること、主配管を複数設け主配管間を分岐配管で接続すること、乱流の生じ易い主配管の空気通路断面積を分岐配管の空気通路断面積より大きくすることで、各部位において層流が形成されるようにした。また、主配管、分岐配管の屈曲部がなめらかな曲線で構成したり、各分岐配管につながるオリフィスを2個以上の孔で構成した。また、軸受間隙を6μm以下として層流の流れを確実とした。そして、この層流空気静圧軸受を工作機械や測定器に適用した。
【0007】
【発明の実施の形態】
図1は、本発明の層流空気軸受を適用する直線移動機構の説明図である。固定部のガイド部材1に対して数μmの空気の層を形成する軸受間隙3を介して可動部材のスライド2が浮いた状態で支えられる。
図2は、図1に示す直線移動機構の断面説明図である。スライド2の内部には空気通路を形成する空気配管が櫛歯状に通じており(なお、この空気配管の配設側は、スライド2側でもガイド部材1側でもよいが、この図1、図2で示す例ではスライド2側に設けた例を示している。)、この空気通路は、主配管10、該主配管10につながる複数の分岐配管11,11,・・・、該各分岐配管11の先端に設けられ、それぞれの分岐配管11とガイド部材1とスライド2間に設けられた軸受間隙3をつなぐオリフィス12で構成されている。この主配管10、分岐配管11、オリフィス12、軸受間隙3で空気静圧軸受を構成している。
【0008】
主配管10の空気流入口13から導入された空気は、該主配管10を通り、各分岐配管11に導かれ、その先端に設けられたオリフィス12から空気は空気静圧軸受面、すなわち軸受間隙3に供給される。この軸受間隙3に供給された空気圧によって、スライド2はガイド部材1から浮いた状態が保持される。
【0009】
図3は、図1、図2に示すようなタイプの従来の直線移動機構における空気静圧軸受の空気の流れの説明図である。空気流入口13から、空気は主配管10、各分岐配管11、オリフィス12を通り軸受間隙3に供給されるが、空気流入口13から供給された空気は主配管10から分岐配管11へ分岐が繰り返される毎に少しずつ流速が遅くなっていく。また、前述したように空気の流れが層流か乱流かはレイノルズ数Reの大きさで決まり、このレイノルズ数Reの大きさは流速に比例する。
【0010】
そのため、空気流入口13に近い主配管10の部分では、空気の流速は速く乱流Ftになるが、末端に行くにしたがって層流Flとなる。乱流と層流の間には遷移域が存在するが、図3では簡単にするために乱流Ftと層流Flの2つの状態のみを示している。なお、分岐配管11内はオリフィス12の1個分の流量となり流速が低下するから層流Flとなる。
【0011】
以上のように、主配管10の空気流入口13近傍では乱流Ftが生じ、これが振動発生の原因となる。これを避けるために、空気の圧力を下げてレイノルズ数Reを下げていき、主配管10のすべての領域においても層流Flが形成させるようにする方策があるが、この方策では空気静圧軸受の剛性は空気の圧力に比例することから、軸受の剛性の低下となり好ましくない。
そこで、本発明は、空気静圧軸受の剛性は低下させず、空気供給通路全領域で空気の流れが層流を形成するように、空気静圧軸受の空気通路、軸受間隙を構成したものである。
【0012】
図4は、本発明の層流空気静圧軸受の一実施形態の説明図であり、上述した主配管10における乱流Ftの発生を防止するために、主配管10の直径を大きくしたものである。すなわち、前述したように、空気流が層流になるか乱流になるかはレイノルズ数Reを求めればわかる。また、この空気静圧軸受を使用する使用現場において、該空気静圧軸受に供給できる空気圧力は決まっている。そのため、レイノルズ数(Re=ρuL/μ)における、密度ρは空気圧力によって決まるから、一定である。その結果、レイノルズ数Reは速度u、管の直径Lに比例することになる。
【0013】
そこで、主配管10の直径を例えば2倍(2L)とすると、流速は主配管10断面積に比例して4分の1となる(u/4)。その結果、管の直径×流速は2分の1(2L・(u/4)=L・u/2)となり、レイノルズ数Reは1/2となり、層流を得ることができる。よって、図4に示した本発明の実施形態では、使用する圧縮空気源からの空気圧力に基づいて、レイノルズ数Reが2000以下となるように、主配管の直径の大きさを決めた。
【0014】
また、図5は、この主配管10での乱流発生を防止するための別な態様の説明図である。主配管10に導入される空気の導入口である空気流入口13を増加させたものである。図5に示す例では、空気流入口13a,13bが図2に示す従来例と比較して2倍に増加されている。主配管10に導入される空気は複数の分岐配管11、オリフィス12を介して排出されるものであり、主配管10に導入される空気の入り口が増加されれば、その分、主配管10に空気流入口13の近傍の流速は小さくなる。例えば、図2に示した例と図5に示した例では、空気流入口2倍となっていることから、図5に示す実施形態おける空気流入口13a,13bの近傍は、図2に示す形態と比較し、1/2の流速となる。その結果、レイノルズ数Reは、1/2となり低下し、層流となり乱流の発生を防止することができる。
【0015】
図6は、主配管10での乱流発生を防止させる他の方法を実施した本発明の他の実施形態の説明図である。この実施形態は主配管10の数を増加させたもので、図6に示す例では、主配管を10a,10bと2倍にし、主配管10a,10bを分岐配管11で接続している。この例も主配管の管の直径が大きくなったときと同じ、又は、空気流入口が増加されたときと同一の理由で、レイノルズ数Reを小さくできるものである。
【0016】
また、主配管10,分岐配管11において、図7(a)に示すように配管の屈曲部では、流路の凹部、凸部付近で乱流Ftになりやすい。そこで、図7(b)に示すようにこの屈曲部も可能な限りなめらかな曲線に加工して局所的な乱流発生を防止する。
【0017】
さらに、オリフィス12の部分は、流路が最も細くなる部分であり、図8(a)に示すように、流速が増大しレイノルズ数Reが高くなり乱流Ftになりやすい。そこで、図8(b)に示すように、オリフィスの数を増加させてこの部分の空気の流れも層流とする。図8に示す例では、分岐配管11の先端に2つのオリフィスの孔12a、12bを設けて乱流発生を防止している。
【0018】
上述した各実施形態では、この空気静圧軸受に適用される供給空気圧に基づいて、各部位でレイノルズ数が2000以下となるように空気通路の大きさ、形状を決定し、そのような構成となるようにした。すなわち、レイノルズ数が2000以下となるように、主配管10、分岐配管11及びオリフィス12の大きさ、数、形状を決定し空気流通路を設計した。
【0019】
また、上述した配管以外にも、オリフィス12から流れ出る流量を減らすことによって、主配管10,分岐配管11,オリフィス12の空気流通路に流れる空気の流れの流速を小さくすることもできることから、軸受間隙3を従来は10〜20μmである点を6μm以下とした。これによって、オリフィス12から流れ出る流量を減らしレイノルズ数を下げた。この軸受間隙3を小さくすることは、軸受剛性を強くするという効果もある。
【0020】
図9は、本発明の層流空気静圧軸受を適用した、工作機械や測定器などの精密位置決めに用いられる直動移動機構の一実施形態の斜視図であり、図10は同実施形態の断面図である。
【0021】
固定部110には一対のガイド部材111a,111bが設けられ、該ガイド部材111a,111bにガイドされて可動部材のスライド120が直動できる。該スライド120は、固定部110にはモータ130が取り付けられ、該モータ130のロータ軸にはねじ131が取り付けられている。スライド120には該ねじと螺合するナットを備えている。モータ130を駆動し、ねじ131、ナット機構によって、回転運動から直動運動変換してスライド120をガイド部材111a,111bに沿って直動させるものである。
【0022】
そして、このスライド120は、図10に示すように本発明の層流空気静圧軸受で構成されている。すなわち、スライド120の脚部がガイド部材111a,111bの底面、側面、天面と対向し、これらの部分で軸受間隙3を構成し、空気流が、スライド120に設けられた主配管10,分岐配管11を介してオリフィス12からこの軸受間隙に流れ出て層流空気静圧軸受を構成している。また、図示はしていないが、ねじの部分も層流空気静圧軸受で構成し、完全な非接触式によりスライド120を1nm単位で位置決め可能としている。
【0023】
図11は、本発明の層流空気静圧軸受を適用した、回転テーブル装置の一実施形態の斜視図であり、図12は同実施形態の断面図である。この実施形態も工作機械や測定器などの精密な位置決めが必要な機械、装置に適用されるものである。
【0024】
この実施形態では、この回転テーブル装置自体でモータを構成しており、固定部210がモータ(ACサーボモータ)のステータを構成している。また、可動部材である回転するロータ部分220がモータのロータをも構成している。ロータ部分220の上面には加工するワークや各種部材を取付可能にするために、溝や穴が形成されている。また、固定部(ステータ)210に係合される部分は鍔状に形成され、該鍔状部分の周面部に磁石221が配設されている。固定部210は、ロータ部分220の鍔状部分の上下周面及び側周面に対向する面が形成され、この対向面間で軸受間隙3を構成している。固定部210には、ロータ部分220の磁石221に対向する位置にコイル211が配設され、さらに、主配管10、分岐配管11の空気通路を形成する配管が配設され分岐配管11の各先端にはオリフィス12が配設されている。この各オリフィス12から、前記ロータ部分220の鍔状部分の上下周面及び側周面とこれに対向する固定部210の面間で形成された軸受間隙3に空気を流出させるようになっている。なお、ロータ部分220にはコード板222が設けられ、このコード板222に対向して、固定部210には、受光素子212が設けられ、ロータ部分220の回転位置を検出できる構造となっている。
【0025】
ロータ部分220は、固定部210と完全な非接触構造となっていること、さらに上述したように、固定部210に設けた空気流通路の主配管10、分岐配管11、オリフィス12、軸受間隙3で構成される層流空気静圧軸受によって、この実施形態では10万分の1度の位置決めを可能とし、高精度な回転位置決めができる。
【0026】
なお、図9、図10に示した直動移動機構のモータ130も図11,12で示す回転テーブル装置と同様な形態で構成され、前記モータ130のロータもステータに層流空気静圧軸受により非接触構造で支えられている。
【0027】
図13は、本発明の層流空気静圧軸受の効果をみるために、本発明の層流空気静圧軸受と従来の通常の空気静圧軸受を用いて実験を行い、振動を測定したものである。空気の供給圧力を1kgf/cm2から6kgf/cm2まで上げて、それぞれ振動を測定したもので、空気の供給圧力が3kgf/cm2までは、両者はほとんど変わりはなく、振動は測定不可能なレベルであり、ほとんど振動は発生していない。しかし、3kgf/cm2を超えると、通常の空気静圧軸受では徐々に振動が大きくなっている。しかし、本発明の層流空気静圧軸受では空気の供給圧力が3kgf/cm2を超えても、依然として振動は測定不可能なレベルであり、最高の空気の供給圧力6kgf/cm2では、振動の発生が、本発明の層流空気静圧軸受と通常の空気静圧軸受では格段の差が生じている。
以上の通り、本発明の層流空気静圧軸受によって、1ナノメートル以下の精度で空気軸受を安定化させることができる。
【0028】
【発明の効果】
本発明は、空気の流通路、軸受間隙において空気の流れを層流とするように構成することによって、振動発生要因をなくしたので、1ナノメートル以下の精度で安定している空気静圧軸受を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の層流空気軸受を適用する直線移動機構の説明図である。
【図2】図1に示す直線移動機構の断面説明図である。
【図3】図1、図2に示すようなタイプの従来の直線移動機構における空気静圧軸受の空気の流れの説明図である。
【図4】本発明の層流空気静圧軸受の一実施形態の説明図である。
【図5】本発明が適用するの主配管での乱流発生を防止するための別な態様の説明図である。
【図6】本発明の他の実施形態の説明図である。
【図7】空気流通路を形成する配管の屈曲部での空気の流れを説明する説明図である。
【図8】オリフィスでの乱流発生を防止するための説明図である。
【図9】本発明の層流空気静圧軸受を適用した直動可動機構の斜視図である。
【図10】図9に示す直動可動機構の断面図である。
【図11】本発明の層流空気静圧軸受を適用した回転テーブル装置の斜視図である。
【図12】図11に示す回転テーブル装置の断面図である。
【図13】本発明の層流空気静圧軸受と従来の通常の空気静圧軸受に対する実験結果を示す図である。
【符号の説明】
1 ガイド部材
2 スライド
3 軸受間隙
10 主配管
11 分岐配管
12 オリフィス
13 空気流入口
110 固定部
111a,111b ガイド部材
120 スライド
130 モータ
131 ねじ
210 固定部
211 コイル
212 受光素子
220 ロータ部分
221 磁石
222 コード板
Claims (10)
- ガイド部材と該ガイド部材に軸受間隙を介して対向して配置された可動部材と、前記ガイド部材又は前記可動部材の一方に空気供給通路を形成して前記軸受間隙に空気流を供給するようにした空気静圧軸受において、
前記空気供給通路は複数の空気供給口を持ち、該空気供給通路を通過した空気はオリフィスを通って軸受隙間に供給され、使用する空気供給圧力に基づいて、前記空気供給通路及び軸受間隙で空気流が層流となる形態に前記空気供給通路及び前記軸受間隙が構成されていることを特徴とする層流空気静圧軸受。 - 前記空気供給通路は、主配管、該主配管につながる分岐配管及び該分岐配管と前記軸受間隙とにつながるオリフィスで構成されている請求項1記載の層流空気静圧軸受。
- 前記主配管を複数設け、主配管間を分岐配管で接続した請求項2記載の層流空気静圧軸受。
- 前記主配管の空気通路断面積を分岐配管の空気通路断面積より大きくした請求項2乃至3の内いずれか1項に記載の層流空気静圧軸受。
- 前記主配管、分岐配管の屈曲部がなめらかな曲線で構成された請求項2乃至4の内いずれか1項に記載の層流空気静圧軸受。
- 各分岐配管につながるオリフィスを2個以上の孔で構成した請求項2乃至5の内いずれか1項に記載の層流空気静圧軸受。
- 前記軸受間隙を6μm以下とした請求項1乃至6項の内いずれか1項に記載の層流空気静圧軸受。
- 前記空気供給通路及び軸受間隙の各部位における空気流のレイノルズ数が2000以下となる大きさ形状に前記空気供給通路及び軸受間隙が形成されている請求項1乃至7項の内いずれか1項に記載の層流空気静圧軸受。
- 請求項1乃至8のいずれか1項に記載の層流空気静圧軸受を適用した工作機械。
- 請求項1乃至8のいずれか1項に記載の層流空気静圧軸受を適用した測定器。
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