JP6019260B1

JP6019260B1 - 重量物支持装置

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Publication number: JP6019260B1
Application number: JP2016088122A
Authority: JP
Inventors: 新井　貴雄; 貴雄新井
Original assignee: 有限会社ニューリー研究所
Priority date: 2016-04-26
Filing date: 2016-04-26
Publication date: 2016-11-02
Anticipated expiration: 2036-04-26
Also published as: CN107309669A; US10632580B2; US20170304970A1; DE102016014055A1; JP2017196684A; CN107309669B

Abstract

【課題】本発明は、重量物に対して充分な支持力を確実に発揮させることができる重量物支持装置を提供することを課題とする。【解決手段】本発明は、被支持物が載置される載置台と、該載置台との間に隙間が形成されるように配置される基台と、弾性を有し且つ前記載置台と該基台との間に配置される環状の少なくとも一つのシール部材とを備え、該シール部材は、前記載置台又は前記基台の一方に形成され且つ前記載置台又は前記基台の他方に向けて開放する環状の配置溝内に配置され、前記載置台と前記基台との間で該シール部材に取り囲まれた充満空間が液体で満たされた状態で密封され、前記シール部材は、前記載置台を前記基台との間に隙間をあけて支持し且つ前記載置台と前記基台との隙間を小さくすべく圧縮可能に構成される。【選択図】図２

Description

本発明は、重量物を移動可能に支持する重量物支持装置に関する。

従来から、工作機械でワークの加工を行う場合、該ワークの位置を調整して加工に適した位置に配置する作業（いわゆる、芯出作業）が行われている。そして、加工を行うワークが重量物である場合には、ワークを移動可能に支持するための重量物支持装置が用いられている。

かかる重量物支持装置は、重量物が載置されるスベリ面を有する支持体と、該スベリ面に形成された円環状のリング溝内に配置される弾性リングを有する流体シール機構と、スベリ面と該スベリ面に載置された重量物との間で弾性リングが取り囲む空間である油圧ポケット内に加圧流体を供給する流体供給手段とを備えている。さらに、支持体には、流体供給手段から供給される油を油圧ポケット内に誘導するための流体供給路が形成されている（例えば、特許文献１参照）。

前記重量物支持装置では、重量物を支持体のスベリ面上に載置すると弾性リングが全周に亘って該重量物に密接し、これにより、油圧ポケットが形成される。

流体供給手段による油の供給を開始すると、流体供給路を通過した油が油圧ポケット内に流入するに伴って該油圧ポケット内での油の圧力が高まる。そして、油圧ポケット内の油の圧力が十分に高まると、重量物が支持体上で持ち上げられてスベリ面から離間し、重量物が支持体上で移動可能に支持される。

国際公開第２００５／０７５８５９号

ところで、上述の重量物支持装置は、スベリ面上の開放されている空間（スベリ面上の弾性リングに取り囲まれている空間）を重量物で塞ぐことによって油圧ポケットを形成しているため、油圧ポケット内の油圧圧力を高めて重量物を支持するには、外部から油圧ポケット内に油を供給することによって重量物を支持できる油圧圧力を発生させたうえで、該油圧圧力を保持する必要がある。

このような事情から、上述の重量物支持装置では、外部から油圧ポケット内への油の供給や、油圧ポケット内の油圧圧力を保持するための装置や制御が必要となるが、使用環境によってはシンプルで扱い易いものが望まれる場合がある。

そこで、本発明は、かかる実情に鑑み、外部から液体を供給することなく、重量物を支持するための圧力を発生させ且つ該圧力を保持することができる重量物支持装置を提供することを課題とする。

本発明に係る重量物支持装置は、被支持物が載置される載置台と、該載置台との間に隙間が形成されるように配置される基台と、弾性を有し且つ前記載置台と該基台との間に配置される環状の少なくとも一つのシール部材と、前記載置台と前記基台との分離を防止するための分離防止構造とを備え、前記基台と前記載置台とは、互いに対向する対向面を有し、該シール部材は、前記載置台又は前記基台の一方に形成され且つ前記載置台又は前記基台の他方に向けて開放する環状の配置溝内に配置され、前記載置台と前記基台との間で該シール部材に取り囲まれた充満空間が液体で満たされた状態で密封され、前記シール部材は、前記載置台を前記基台との間に隙間をあけて支持し且つ前記載置台と前記基台との隙間を小さくすべく圧縮可能に構成され、前記分離防止構造は、前記シール部材への前記載置台と前記基台との密接状態が維持される範囲内で、前記基台と前記載置台とが互いの対向面を接離させる相対運動、及び前記基台の対向面と前記載置台の対向面とが接離する方向に直交する方向における前記載置台と前記基台との相対移動を可能とするように構成される。

上記構成の重量物支持装置によれば、液体が満たされた充満空間は、載置台と基台との間でシール部材に取り囲まれた密封状態の空間によって構成される。従って、前記重量物支持装置では、充満空間内の液体の流出が阻止され、且つ充満空間内への空気の侵入も防止されるため、充満空間が密封状態で保持される。

また、シール部材が載置台を基台との間に隙間をあけて支持し且つ載置台と基台との隙間を小さくすべく圧縮可能となっているため、重量物が載置台に載置されると、該重量物の荷重によって載置台が液体とシール部材とを圧縮しながら基台に接近する。これに伴い、充満空間内の液体の圧力が高まり、該圧力が重量物に作用することによって、重量物が小さい力で移動可能な状態で支持される。

そして、載置台から重量物を取り除くと、シール部材が弾性回復し、載置台と基台との間隔（隙間）が元に戻る。

以上のように、前記重量物支持装置では、液体で満たした充満空間が、重量物を支持する前後において密封された状態（すなわち、液体の充満空間からの漏れと充満空間への空気の侵入が防止されている状態）で維持されるため、外部から液体を供給することなく液体の圧力を容易に高めることが可能になる。
また、前記載置台と前記基台とを相対移動させたときに前記シール部材への前記載置台と前記基台との密接状態が維持されるため、液体の充満空間からの漏れが確実に防止され、かつ充満空間への空気の侵入も合わせて防止される。

本発明の重量物支持装置において、前記シール部材を複数備え、該複数のシール部材のそれぞれは、単一の前記載置台と単一の前記基台との間に配置され、複数のシール部材のそれぞれが取り囲む領域内に前記充満空間が形成されてもよい。

かかる構成によれば、単一の載置台と単一の基台との間に複数の前記充満空間が形成されるため、載置台の中心から外れた位置に重量物の荷重が集中しても、該載置台が基台に対して傾いてしまうことを防止できる。

本発明の重量物支持装置において、前記充満空間内の液体の圧力を制御する圧力制御構造を備え、該圧力制御構造は、充満空間に連通し且つ液体で満たされた状態で密封された空間である貯蔵空間が内部に形成される調整室を有し、該調整室は、貯蔵空間内の圧力変更を可能に構成されてもよい。

上記構成の重量物支持装置によれば、調整室の内部には充満空間に連通し且つ液体で満たされた状態で密封された空間である貯蔵空間が形成され、且つ該貯蔵空間内の圧力変更が可能であるため、貯蔵空間の圧力を変更することで充満空間内の液体の圧力を調整することができる。

以上のように、本発明に係る重量物支持装置は、充満空間内に外部から液体を供給することなく、重量物を支持するための圧力を発生させ且つ該圧力を保持することができるという優れた効果を奏し得る。

図１は、本発明の第一実施形態に係る重量物支持装置の斜視図である。図２は、同実施形態に係る重量物支持装置の縦断面図である。図３は、同実施形態に係る重量物支持装置の載置台の底面図である。図４は、同実施形態に係る重量物支持装置の基台の平面図である。図５は、同実施形態に係る重量物支持装置の拡大図であって、図２の領域Ａの拡大図である。図６は、同実施形態に係る重量物支持装置の説明図であって、（ａ）は、重量物を載置台に載せていない状態の説明図であり、（ｂ）は、載置台に載せた重量物を支持している状態の説明図である。図７は、本発明の他の実施形態に係る重量物支持装置の斜視図である。図８は、本発明の別の実施形態に係る重量物支持装置の斜視図である。図９は、本発明の別の実施形態に係る重量物支持装置の断面図であって、図８のＩＸ−ＩＸ線における断面図である。図１０は、本発明のさらに別の実施形態に係る重量物支持装置の斜視図である。図１１は、本発明のさらに別の実施形態に係る重量物支持装置の断面図であって、図１０のＸＩ−ＸＩ線における断面図である。

以下、本発明の第一実施形態に係る重量物支持装置について添付図面を参照しつつ説明する。本実施形態に係る重量物支持装置は、重量物を移動可能に支持するためのものである。なお、本実施形態において、重量物とは、例えば、工作機械で加工する対象となるワークや、ワークを載せるための架台等のことである。

図１及び図２に示すように、本実施形態に係る重量物支持装置１は、重量物Ｏが載置される載置台２と、該載置台２との間に隙間Ｄが形成されるように配置される基台３と、弾性を有し且つ基台３に向けて開放するようにして載置台２に形成された環状の溝（後述する配置溝２１０）内に配置される環状のシール部材４とを備えている。

載置台２は、図２及び図３に示すように、載置される重量物Ｏを受ける載置面２０と（図２参照）、該載置面２０とは反対側に位置し且つ基台３に対向する対向面２１とを有する。

対向面２１には、シール部材４を配置する無端環状の溝である配置溝２１０が形成されている。また、対向面２１には、配置溝２１０に取り囲まれた領域内に位置する受圧面２１１と、配置溝２１０の外側の領域に位置するスベリ面２１２とが含まれている。なお、本実施形態では、対向面２１の受圧面２１１とスベリ面２１２とを支持面２１３として以下の説明を行う場合がある。

配置溝２１０は、図２に示すように、円環状の平面である底面２１０ａと、底面２１０ａの内周縁全周から起立する内壁面２１０ｂと、底面２１０ａの外周縁全周から起立する外壁面２１０ｃとによって画定されている。

配置溝２１０は、配置されたシール部材４が部分的に対向面２１よりも基台３側に突出する深さとなるように形成されている。そのため、図５に示すように、配置溝２１０に配置されたシール部材４は、載置台２に重量物Ｏを載置していない非支持状態、及び載置台２に載置した重量物Ｏを支持している支持状態のそれぞれの状態において、部分的に該配置溝２１０から基台３側に向けて突出している。

このように、本実施形態に係る重量物支持装置１では、前記支持状態、及び前記非支持状態のそれぞれの状態において、シール部材４の一部が配置溝２１０から基台３側に向けて突出しているため、シール部材４と載置台２及び基台３との密接状態を維持しながら載置台２のスベリ面２１２と基台３の封止面３０の距離が拡大又は縮小するようにして、載置台２を基台３に対して接離させることができる。

配置溝２１０の幅（内壁面２１０ｂと外壁面２１０ｃとの間隔）は、シール部材４の幅よりも大きくなるように設定されている。そのため、本実施形態では、配置溝２１０に配置されたシール部材４が、外壁面２１０ｃの全周に亘って当接し且つ内壁面２１０ｂに対しては間隔をあけて対向している。

受圧面２１１は、シール部材４の配置溝２１０から突出した部分の先端よりも載置面２０側に位置するように形成されている。なお、受圧面２１１は、重量物Ｏを支持する前後で基台３（基台３の後述する封止面３０）との間に隙間Ｄを確保することができれば、前記直交方向において、スベリ面２１２と同レベルとなる位置に形成されていてもよいし、スベリ面２１２よりも基台３側又はスベリ面２１２よりも載置面２０側に位置するように形成されていてもよい。また、本実施形態では、受圧面２１１とスベリ面２１２とが平行である。

基台３は、図２及び図４に示すように、載置台２に向けて配置される対向面（本実施形態では、封止面という）３０を有する。封止面３０は、スベリ面２１２に対して平行な面である。

本実施形態に係る基台３の封止面３０は、前記非支持状態、及び前記支持状態のそれぞれの状態において、載置台２のスベリ面２１２に対して前記直交方向で隙間Ｄをあけて対向する。

基台３の封止面３０と載置台２のスベリ面２１２との隙間Ｄは、前記非支持状態で最大であり、前記非支持状態から前記支持状態に切り替わることで小さくなるように構成されている。なお、基台３と載置台２とは、前記支持状態において互いの間に隙間Ｄが残された状態となるように構成されている。

封止面３０は、全域に亘って平らに形成された面であり、載置台２の対向面２１に対向するように配置されている。また、封止面３０には、配置溝２１０に配置されているシール部材４が圧接しているため、封止面３０と配置溝２１０の底面２１０ａとが協働してシール部材４を圧縮している。

本実施形態では、封止面３０におけるシール部材４が当接している領域をシール領域３００とし、該シール領域３００の内側の領域を内側受圧領域３０１とし、該シール領域３００の外側の領域を外側スベリ領域３０２として以下の説明を行う場合がある。

シール部材４は、全周に亘って載置台２と基台３とに密接している。そのため、載置台２と基台３との間には、シール部材４に取り囲まれ且つ密封された空間である充満空間Ｓが形成されている。充満空間Ｓには、液体（本実施形態では、油）Ｆが満たされている。従って、本実施形態では、載置台２と基台３との間でシール部材４に取り囲まれた充満空間Ｓが、液体Ｆで満たされ且つ密封された状態となっている。

シール部材４は、図５に示すように、弾性を有する円環状の封止リング４０と、円環状であり且つ該封止リング４０に外嵌させる保護リング４１とを備えている。

封止リング４０は、断面が円形状である。また、封止リング４０は、配置溝２１０内に配置されたときに、該配置溝２１０から部分的に突出する大きさとなるように形成されている。すなわち、封止リング４０の太さ（断面における直径）は、配置溝２１０の深さよりも大きくなっている。

保護リング４１は、封止リング４０と基台３との間に挟み込まれる規制部４１０と、該規制部４１０に連続し且つ配置溝２１０内に配置される周壁部４１１とを有する。また、保護リング４１の内周側には、封止リング４０の外形に沿った形状の収容凹部４１２が形成されている。

上述のように、封止リング４０では、封止リング４０が配置溝２１０から部分的に突出しているため、該封止リング４０に外嵌されている規制部４１０も配置溝２１０から部分的に突出している。

周壁部４１１は、全周に亘って配置溝２１０の外壁面２１０ｃと封止リング４０とによって挟み込まれるとともに、基台３の封止面３０に当接している。

本実施形態に係る重量物支持装置１は、以上の通りの構成である。次に、本実施形態に係る重量物支持装置１の使用方法について添付図面を参照しつつ説明を行う。

重量物支持装置１は、前記非支持状態である場合においては載置台２と基台３との間隔が最大となっている。そして、載置面２０に重量物Ｏを載置すると、該重量物Ｏの荷重によって載置台２がシール部材４の封止リング４０を圧縮しながら基台３に接近し、載置台２と基台３との間隔が狭まるにつれて充満空間Ｓ内の液体Ｆの圧力が高まる。

これにより、液体Ｆに発生した圧力が載置台２に作用する（液体Ｆに発生した圧力で重量物Ｏの荷重の一部を受ける）ことによって、載置台２とともに該重量物Ｏを非常に小さな力でスベリ面２１２に平行な面内で直線移動、又は回転移動させることができる。

なお、載置台２が基台３に接近する際に、載置台２の対向面２１が基台３の封止面３０に対して傾斜し、該対向面２１の一部が該封止面３０に接触した場合は、液体Ｆに発生した圧力と、対向面２１と該封止面３０との接触部分に生じる反力とによって、重量物Ｏを支持した状態となる。この場合においても、液体Ｆに発生した圧力で重量物Ｏの荷重の一部を受けているため、該重量物Ｏを非常に小さな力で直線移動、又は回転移動させることができる。

そして、載置台２から重量物Ｏを取り除くと、載置台２が基台３から離間する方向に移動して載置台２と基台３との間の隙間Ｄが広がり、充満空間Ｓ内の液体Ｆの圧力が下がる（元に戻る）。これに伴い、シール部材４が弾性回復し、重量物支持装置１は、再び重量物Ｏを支持できる状態（待機状態）となる。

以上のように、重量物支持装置１では、予め封入された液体Ｆで満たされた充満空間Ｓが、重量物Ｏを支持する前後において密封された状態（すなわち、充満空間Ｓからの液体Ｆの外への漏れと、充満空間Ｓへの空気の侵入が防止されている状態）で維持されるため、重量物Ｏが載置面２０に載置されることで液体Ｆの圧力が自然に高まる。

従って、重量物支持装置１は、充満空間Ｓ内に外部から液体を供給することなく、重量物Ｏを支持するための圧力を発生させ且つ該圧力を保持することができ、シンプルで扱い易いという優れた効果を奏し得る。

また、重量物支持装置１では、シール部材４を全周に亘って配置溝２１０の外壁面２１０ｃに当接させているため、充満空間Ｓ内の液体Ｆの圧力が高まって該液体Ｆからシール部材４に対して外向きの圧力が作用しても、シール部材４の外側への移動や伸びが外壁面２１０ｃによって規制される。従って、重量物支持装置１は、充満空間Ｓの配置溝２１０の径方向への体積変化が抑えられるため、液体Ｆの圧力が効率良く高まる。

さらに、重量物支持装置１は、載置台２が前記直交方向で基台３に接離することによって充満空間Ｓ内の液体Ｆの圧力が変化するように構成されているため、重量物Ｏを載置台２に載せるとともに充満空間Ｓ内の液体Ｆの圧力が高まり、重量物Ｏを載置台２から取り除くとともに充満空間Ｓ内の液体Ｆの圧力が下がる（元に戻る）。従って、重量物支持装置１は、充満空間Ｓ内の液体Ｆに重量物Ｏの支持に必要な圧力を発揮させた状態と、充満空間Ｓ内の液体Ｆに重量物Ｏの支持に必要な圧力を発揮させていない状態とを外部からの操作（液体Ｆの供給や、回収等）を必要とせず自動的に切り替えることができる。

そして、重量物支持装置１では、重量物Ｏを支持するための圧力を発生させるための液体Ｆがシール部材４に取り囲まれた空間（載置台２と基台３とシール部材４とによって画定された空間）に予め封入された状態で組み立てられているため、充満空間Ｓ内に外部から液体Ｆを供給するための装置や、外部から該充満空間Ｓに供給される液体Ｆの流れを制御するための装置等が不要となり、小型化及び簡素化を図ることができる。

なお、本発明の重量物支持装置１は、上記一実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々変更を行うことは勿論である。

上記実施形態において、重量物支持装置１は、一つのシール部材４を備えていたが、この構成に限定されない。例えば、重量物支持装置１は、複数のシール部材４を備え、載置台２と基台３との間で各シール部材４が取り囲む充満空間Ｓのそれぞれを液体Ｆで満たし且つ密封した状態にしてもよい。すなわち、重量物支持装置１は、少なくとも一つのシール部材４を備えていればよい。

図７に示す重量物支持装置１では、単一の載置台２と単一の基台３との間に複数のシール部材４が配置されており、載置台２と基台３との間で各シール部材４が取り囲む充満空間Ｓのそれぞれが液体Ｆで満たされ且つ密封された状態になっている。

かかる重量物支持装置１によれば、載置台２の中心から外れた位置に重量物Ｏの荷重が集中しても、該載置台２が基台３に対して傾いてしまうことを防止できる。なお、重量物支持装置１が複数のシール部材４を備えるようにする場合は、各シール部材４の分布（すなわち、各充満空間Ｓの分布）を均一化することが好ましい。

上記実施形態において、特に言及しなかったが、重量物支持装置１は、例えば、載置台２と基台３との分離を防止するための分離防止構造５を備えるようにしてもよい。分離防止構造５は、例えば、図８及び図９に示すように、載置台２に形成され且つ基台３の側面と対向する当止部５００と、該当止部５００に連続し且つ基台３の封止面３０とは反対側の面に対向する保持部５０１とを有する少なくとも一つの規制部５０を備える構成としてもよい。なお、図８及び図９に示す重量物支持装置１は、四つの規制部５０を備えている。

規制部５０は、互いの間隔が等間隔又は略等間隔となるようにして基台３の回りに配置されている。

当止部５００は、シール部材４と載置台２と基台３で構成する充満空間Ｓが破壊されることなく（開放されることなく）密接状態を維持できる範囲内で基台３上での載置台２のスライドや回転を許容するように構成されている。

保持部５０１は、シール部材４への載置台２と基台３との密接状態を維持できる範囲内で、前記直交方向における載置台２と基台３との接離を許容するように構成されている。

このように、分離防止構造５は、シール部材４に対する載置台２と基台３との密接状態が解除されない範囲内で前記直交方向における載置台２と基台３との接離、及び前記スベリ方向での載置台２と基台３との相対移動が可能となるように構成されている。従って、前記重量物支持装置１では、液体Ｆの充満空間Ｓからの漏れが確実に防止され、かつ充満空間Ｓへの空気の侵入も合わせて防止される。

上記実施形態において、特に言及しなかったが、重量物支持装置１は、充満空間Ｓ内の液体Ｆの圧力を制御する圧力制御構造６を備えていてもよい。

圧力制御構造６は、例えば、図１０及び図１１に示すように、圧力制御構造６は、充満空間Ｓに連通し且つ液体Ｆで満たされた状態で密封された空間である貯蔵空間６００が内部に形成される調整室６０を有し、該調整室６０は、貯蔵空間６００の圧力変更を可能に構成されてもよい。

より具体的に説明すると、圧力制御構造６は、調整室６０内に配置された可動壁部６１と、該可動壁部６１の外周全周と調整室６０との間を封止する封止部材６２と、可動壁部６１を調整室６０内で移動させるための操作部６３とを有するようにしてもよい。

図１０及び図１１に示す重量物支持装置１では、可動壁部６１及び封止部材６２で調整室６０内を仕切ることによって、貯蔵空間６００を形成している。また、貯蔵空間６００は、載置台２に穿設された連通路６４を介して充満空間Ｓに連通している。

そのため、圧力制御構造６は、前記支持状態において、操作部６３で可動壁部６１を移動させて貯蔵空間６００の容積を広げると、充満空間Ｓ内の液体Ｆの圧力を下げることができ、貯蔵空間６００の容積を狭めると、充満空間Ｓ内の液体Ｆの圧力を高めることができる。従って、圧力制御構造６は、貯蔵空間６００の容積を変更して充満空間Ｓ内の液量を変化させることで該充満空間Ｓ内の液体Ｆの圧力を調整することができる。

また、図１０及び図１１に示す重量物支持装置１では、前記支持状態において、充満空間Ｓ内の液体Ｆの圧力を下げることで、載置台２と基台３とを接触させることができるように構成されていてもよい。このようにすれば、載置台２と基台３とを接触させることで、基台３上での載置台２及び重量物Ｏの動きを停止させることができる（すなわち、位置を固定することができる）。

上記実施形態において、シール部材４は、載置台２に配置されていたが、この構成に限定されない。例えば、シール部材４は、基台３に配置されていてもよい。すなわち、シール部材４は、載置台２及び基台３の何れか一方に配置されていればよい。

上記実施形態において、シール部材４は、封止リング４０と保護リング４１とが別体で構成されていたが、この構成に限定されるものではなく、例えば、封止リング４０と保護リング４１とが一体的であってもよい。

上記実施形態では、シール部材４を配置するための配置溝２１０が載置台２に形成されていたが、この構成に限定されない。例えば、配置溝２１０は、載置台２側に向けて開放するようにして基台３に形成されていてもよい。

１…重量物支持装置、２…載置台、３…基台、４…シール部材、５…分離防止構造、６…圧力制御構造、２０…載置面、２１…対向面、３０…封止面、４０…封止リング、４１…保護リング、５０…規制部、６０…調整室、６１…可動壁部、６２…封止部材、６３…操作部、６４…連通路、２１０…配置溝、２１０ａ…底面、２１０ｂ…内壁面、２１０ｃ…外壁面、２１１…受圧面、２１２…スベリ面、３００…シール領域、３０１…内側受圧領域、３０２…外側スベリ領域、４１０…規制部、４１１…周壁部、４１２…収容凹部、５００…当止部、５０１…保持部、６００…貯蔵空間、Ｄ…隙間、Ｆ…液体、Ｏ…重量物、Ｓ…充満空間

Claims

被支持物が載置される載置台と、
該載置台との間に隙間が形成されるように配置される基台と、
弾性を有し且つ前記載置台と該基台との間に配置される環状の少なくとも一つのシール部材と、
前記載置台と前記基台との分離を防止するための分離防止構造とを備え、
前記基台と前記載置台とは、互いに対向する対向面を有し、
該シール部材は、前記載置台又は前記基台の一方に形成され且つ前記載置台又は前記基台の他方に向けて開放する環状の配置溝内に配置され、
前記載置台と前記基台との間で該シール部材に取り囲まれた充満空間が液体で満たされた状態で密封され、
前記シール部材は、前記載置台を前記基台との間に隙間をあけて支持し且つ前記載置台と前記基台との隙間を小さくすべく圧縮可能に構成され、
前記分離防止構造は、前記シール部材への前記載置台と前記基台との密接状態が維持される範囲内で、前記基台と前記載置台とが互いの対向面を接離させる相対運動、及び前記基台の対向面と前記載置台の対向面とが接離する方向に直交する方向における前記載置台と前記基台との相対移動を可能とするように構成される
重量物支持装置。
前記シール部材を複数備え、
該複数のシール部材のそれぞれは、単一の前記載置台と単一の前記基台との間に配置され、
複数のシール部材のそれぞれが取り囲む領域内に前記充満空間が形成される
請求項１に記載の重量物支持装置。
前記充満空間内の液体の圧力を制御する圧力制御構造を備え、
該圧力制御構造は、充満空間に連通し且つ液体で満たされた状態で密封された空間である貯蔵空間が内部に形成される調整室を有し、
該調整室は、貯蔵空間内の圧力変更を可能に構成される
請求項１又は請求項２に記載の重量物支持装置。