JP4807680B2 - 静圧継手 - Google Patents
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Description
した課題を解決した。
摩擦駆動装置を用いて、出力部をツイストローラ摩擦駆動装置の螺旋送りされる出力軸としたので、さらに微少、例えばナノオーダ、さらに高精度の位置決めも可能な静圧継手を提供するものとなった。
2 送り装置(ボールねじ、ツイストローラ摩擦駆動装置)
3 出力部(出力軸)
4 第一部材
5,6 第二部材
11 第一の受け面
12 第二の受け面(静圧平面又は他方の受け面)
13 第三の受け面
14 第四の受け面(他方の受け面又は静圧平面)
15 静圧軸受(部)
20 絞り
30 静圧素子
31 絞り部
32 開口部
33 開口面
35 固定側
36 固定部
100 移動テーブル
h 第二及び第四の受け面の距離
Claims (2)
- 移動テーブルと、該移動テーブルを所定の一軸方向に移動させるための送り装置と、前記移動テーブルと前記送り装置との間に設けられ、前記送り装置の送りを前記移動テーブルに伝達するための静圧継手であって、
前記一軸方向とは直角方向の両面にそれぞれ第一及び第二の受け面が形成された第一部材と、微少隙間をもって前記第一の受面に対向するように配置された第三の受け面、及び微少隙間をもって前記第二の受面に対向するように配置された第四の受け面を有する第二部材と、を有し、
第二部材が前記移動テーブルに固定され、前記第一部材が前記送り装置の出力部に固定されており、
前記第一及び第三の受け面間に流体を供給する絞りが前記第一又は第三の受け面に突出することなく設けられ、前記絞りから供給される流体により第一及び第三の受け面とで静圧軸受が形成され、
前記第二及び第四の受け面の一方が前記一軸方向に直角の静圧平面とされ、他方に前記静圧平面と微少隙間による絞りを形成し流体圧を供給する開口部を先端に有する開口面を有し、前記開口面が固定側に対して前記一軸方向に伸縮可能にかつ前記他方の受け面より突出して前記他方の受け面側に前記固定側が固定された静圧素子が設けられ、前記微少隙間による絞りから供給される流体により前記第二及び第四の受け面とで静圧軸受が形成され、
前記第二及び第四の受け面の距離を外部から設定する設定器と、
前記第二及び第四の受け面の距離を測定する測定器と、を設け、
前記測定器の出力信号と前記設定器の設定信号とを比較し、前記設定信号より前記出力信号が大きいときは前記開口面が前記静圧平面近づき、前記設定信号より前記出力信号が小さいときは前記開口面が前記静圧平面より離れるように制御し、前記第二及び第四の受け面の距離を前記設定器で設定された距離になるよう制御されており、
前記出力部は螺旋送りされる出力軸であり、前記円板状の第一部材が前記出力軸の先端に固定されており、前記第一部材が前記出力軸と共に螺旋送りされ、前記静圧平面が第二の受け面側に設けられていることを特徴とする静圧継手。 - 前記送り装置はツイストローラ摩擦駆動装置であって、前記出力部は前記ツイストローラ摩擦駆動装置の螺旋送りされる出力軸であることを特徴とする請求項1記載の静圧継手。
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JP2005257643A JP4807680B2 (ja) | 2005-09-06 | 2005-09-06 | 静圧継手 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2005257643A JP4807680B2 (ja) | 2005-09-06 | 2005-09-06 | 静圧継手 |
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JP2007071269A JP2007071269A (ja) | 2007-03-22 |
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ID=37932905
Family Applications (1)
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JP2005257643A Active JP4807680B2 (ja) | 2005-09-06 | 2005-09-06 | 静圧継手 |
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-
2005
- 2005-09-06 JP JP2005257643A patent/JP4807680B2/ja active Active
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JP2007071269A (ja) | 2007-03-22 |
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