JP3746199B2 - 位置決め装置 - Google Patents
位置決め装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3746199B2 JP3746199B2 JP2001005596A JP2001005596A JP3746199B2 JP 3746199 B2 JP3746199 B2 JP 3746199B2 JP 2001005596 A JP2001005596 A JP 2001005596A JP 2001005596 A JP2001005596 A JP 2001005596A JP 3746199 B2 JP3746199 B2 JP 3746199B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- opening
- positioning
- distance
- piezoelectric element
- thrust
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
この発明はナノテクノロジ分野で使用される超精密工作機械・計測機器などの移動テーブル、ステージの直線移動における超精密位置決め装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来の超精密位置決め技術にはねじ送り機構、摩擦駆動機構、リニアモータ、圧電素子などが使われている。また、静圧軸受の圧力を調節することで位置決めする技術も発表されている。ねじ送り機構および摩擦駆動機構はモータなどの回転型アクチュエータの回転運動を直線運動に変換するために使用され、数百ミリメータに及ぶストロークとナノメータオーダの位置決め分解能を持っている。しかし、ねじ送りや摩擦駆動においては、運動変換機構が機械的に複雑で、摩擦力の発生が位置決め性能を低下させているので、サブナノメータでの位置決めが困難である。また、リニアモータはテーブルを直接駆動でき、ねじ送り等と同等の数百ミリメータに及ぶストロークとナノメータオーダの位置決め分解能を持っている。しかし、リニアモータはストロークの伸長がコスト増につながること、発熱、振動の影響があることなどで、やはりサブナノメータでの位置決めは困難である。また、静圧軸受の絞り開度を電磁弁で制御することで軸受面圧力を調節して軸を位置決めする技術が研削盤の微少切り込み装置として発表されている。しかしながら、小型の油圧シリンダとも見なせるこの機構の性能はストロークは数十マイクロメータ、位置決め分解能はサブマイクロメータオーダである。
【0003】
一方、圧電素子は、圧電効果によりPZT等の結晶を電気信号により変形させることで、高々数十マイクロメータ程度のストロークではあるが、サブナノメータでの位置決めを行えるものがある。例えば、圧電素子をテーブルに直接接触させ、弾性ヒンジなどを案内機構として位置決め動作させるものが知られている。また、空気静圧軸受の軸受面間距離を圧電素子で駆動して、位置決めする技術も発表されている。しかしながら、圧電素子はストロークが短いという短所のほか、駆動されるテーブルの大きさが制限されるという問題があった。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、ナノテクノロジ分野において、超精密位置決め性能に対する要求はますます高まっている。工作機械においては市販品レベルの非球面加工機等においても1nmの位置決め分解能を達成しており、研究室レベルではサブナノメータの位置決め分解能に関する研究報告も発表されている。計測機器ではAFM等ではすでにサブナノメータの分解能での測定が行われている。そのような技術的動向の中で、ピコメータオーダに迫るより高分解能の位置決め機構の開発が望まれている。
【0005】
このような観点から従来の位置決め技術を眺めると、ねじ送り機構、リニアモータなどの長ストローク位置決め装置では分解能において不充分である。しかも空間的な位置決めを行う場合にはX軸の上にY軸、Z軸と積み重ねればならず、設置スペースや全体の累積誤差等の問題もある。圧電素子は分解能に関しては有望ではあるが、テーブルを直接駆動するために、圧電素子の位置決め性能がそのまま最終的な位置決め性能を決定してしまうことが問題であり、位置決め分解能向上の障害となる。この障害は、上述の空気静圧軸受の軸受面を圧電素子で駆動して、軸を位置決めする技術においても存在する。従って、従来技術によってサブナノメータを越え、ピコメータオーダの位置決め分解能を得ることは困難であった。本発明の課題はかかる問題点に鑑みて、圧電素子を用いたピコメータオーダの位置決めができる位置決め装置を提供することである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明者等は、本発明に先立ち、第一の面及び第二の面間に圧力流体を導入し、第一の面側に圧力流体を供給する開口部を先端に有する供給部を設け、供給部は開口部を第二の面に対して遠近方向に(例えば圧電素子により)移動可能にし、開口部と第二の面とで絞りを形成するようにした静圧流体軸受装置を開発した。この軸受装置により空気静圧案内面等の真直度などの運動精度の改善を実現した。この研究において、運動精度の向上がどのような原理により実現できたのかを検討してきた。その結果、この静圧流体軸受装置の絞り機構が第二の面と開口部との相対運動により発生するため、開口部の遠近方向の移動に対し、第二の面の移動が小さく、アクチュエータの変位が縮小されることを知得した。言い換えれば、開口部の動きが第二の面との相対運動により縮小され、開口部の動き即ち例えば圧電素子等のアクチュエータ本来の位置決め性能を遙かに越えた分解能を得ることができることを知得した。なお、発明者等はこの絞りを能動自成絞りと呼んでいる。
【0007】
この知得により、本発明においては、第一の面及び第二の面間に圧力流体が導入され、前記第一の面側に前記圧力流体を供給する開口部を先端に有する供給部が設けられており、前記供給部は前記開口部を前記第二の面に対して遠近方向に移動可能にされ、前記開口部と前記第二の面とで絞りが形成された静圧流体軸受装置であって、前記第一及び第二の二面間の距離を外部から設定する設定器と、前記面間の距離を測定する測定器と、前記測定器の出力信号と前記設定器の設定信号とを比較し、前記供給部が前記二面間の距離が設定値より大のときは前記開口部が第二の面側に近づく方向に、前記二面間の距離が設定値より小のときに前記開口部が第二の面側から離れる方向に動くように制御し、前記二面間を前記設定器で設定された距離になるように制御されていることを特徴とする位置決め装置を提供することにより上記課題を解決した。上記面は相対する平面(平面同士)、曲面(凹凸面同士)のどちらでもよい。
【0008】
即ち、第二の面に対して遠近方向に移動する開口部と第二の面とで形成する可変絞り機構は開口部の移動量より小さい移動量を実現するように設計できる。例えば、設定値より二面間の距離が大きいときは、絞り開度を小さくするため開口部を第二の面に近づけると絞りが小さくなり、圧力の低下により第二の面が開口部側に近づき、さらに絞りが小さくなり、開口部の移動量以上の絞り作用がはたらく。また、設定値より二面間の距離が小さいときは、絞り開度を大きくするため開口部が第二の面から離され絞り開度は大きくなるが、圧力の上昇によりさらに第二の面は開口部から離れ、さらに絞り開度が大きくなり、開口部の移動量以上の絞りの作用がはたらく。このため開口部移動量より第二の面の移動量が縮小される。従って分解能の低いアクチュエータを用いても、より高分解能を得ることができ、この絞りを介して、二面間の距離を設定器と測定器によりフィードバック制御することにより高精度の位置決めができる。
【0009】
本発明によれば開口部を移動させるためのアクチュエータ本来の位置決め性能を遙かに越えた分解能の位置決めができる。従って、前記供給部の開口部を移動可能とする手段は例えば面方向に積層された数〜数十ナノメータの分解能を有する圧電素子を用いることにより、10pmオーダの位置決め分解能が容易に実現できる。
【0010】
さらに、前記位置決め装置を静圧案内面の直交する3方向に配置するようにすれば、空気静圧案内面の本来の高精度な案内機能により、テーブルを非接触でxyzの3方向に立体的に高精度に位置決めできる。
【0011】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施の形態について本発明をスピンドルのスラスト方向位置制御に用いた場合について説明する。図1は本発明を用いたスピンドルの部分断面斜視図、図2は図1に示す絞り部の拡大説明図、図3はブロック図である。図1乃至図3において、中空穴31と上部及び下部スラスト面32,33を有する軸受本体部30が図示しない機側に固定されている。中空穴31に軸部41が隙間嵌合し、軸受のスラスト面32,33にそれぞれT字、逆T字形に張り出す上部スラスト部42と下部スラスト部43を有するスピンドル40が回転自在に取り付けられている。軸部41と中空穴31との隙間に空気を導入する絞りが設けられラジアル方向の空気軸受を形成する。絞りは固定絞り(図示せず)と可変絞り34が交互に45°おきに円周上にそれぞれ4個、計8個設けられており、ラジアル方向についても位置決め制御が可能となっている。なお、一列給気構造となっており、角度剛性を持たないので、ラジアル軸受面とスラスト軸受面との直角度誤差による干渉が回避されている。
【0012】
スラスト方向は、上部スラスト部42の下面42aと上部スラスト面32、下部スラスト部43の上面43aと下側スラスト面33との間にそれぞれ空気を供給し対向形のスラスト空気軸受を形成するようにされている。下部スラスト部43の上面43aと下側スラスト面33への8個の空気供給路が円周上に均等に配置され、これらは絞りを持たず軸受剛性が零にされ、軸受面の幾何学的誤差などがスラスト方向の回転精度に影響しないようにされている。上部スラスト部42と上部スラスト面32とで本発明のスラスト方向位置決制御が行われる。図1及び図2に示すように、上部スラスト部42の下面42aは本発明の第二の面2を形成し、第二の面に対向して上部スラスト面32が第一の面1となるように設けられている。第一の面には4個の固定絞り(図示せず)と、4個の可変絞り45からなる空気供給路が交互に円周上に均等に配置されている。
【0013】
次に可変絞り45について説明する。図2に示すように第一の面1には取付穴4が設けられリング状の圧電素子5が積層されている。圧電素子5は上端を第一の面側に固定され、樹脂(シリコンゴム等)で覆われており、その下部に開口穴7が空けられた開口部8が取り付けられている。圧電素子5に電圧を与えると電圧にほぼ比例して積層方向に伸び開口部8を第二の面2に対して近づくように働く。また、電圧を減じると積層方向に縮み開口部8が第二の面2から遠ざかるように働く。開口部部と第二の面とで絞り部9が形成され、圧電素子に電圧を加えると絞りが小さくなり、電圧を減じると絞り開度が大きくなる。リング状の圧電素子5のリング穴5aに外部から空気を供給し、空気がリング穴5a、開口穴7を通って第一及び第二の平面間を通って外部へ排出される。開口穴7と第二に平面2とで形成される絞り部9で供給空気が絞られ可変絞り45が構成される。この可変絞りにより第一及び第二の平面間に供給される空気が制御され、静圧流体軸受が構成される。
【0014】
図3に示すように第一の面に接続された軸受本体の上部スラスト面32には測定器として静電容量形センサ51が取り付けられ上部スラスト面32と上部スラスト部42の下面42aである第二の面2との距離を測定できるようにされている。静電容量形センサ51からの出力信号は増幅器52、A/Dコンバータ53を介してコンピュータ54に接続され、上部スラスト部の位置が出力信号として入力される。コンピュータには第一及び第二の二面間の距離を外部から設定する設定器55として、キーボードから位置指令を入力するように入力設定プログラムが組み込まれ、設定信号が入力できるようにされている。コンピュータ内では容量形センサ51からの位置信号53aとスラスト方向距離を指令する設定信号55aとで比較演算し、二面間の距離が設定値より大のときは開口部が第二の面側に近づく方向(即ち絞りを小さくする方向)に、二面間の距離が設定値より小のときに開口部が第二の面側から離れる方向(即ち絞りを開く方向)に動くようにD/A変換器56及び増幅器57を介して圧電素子5に電圧を与えるようにプログラムされており、いわゆる一般のフィードバック制御をコンピュータで行っている。かかる構成の制御をすることにより、任意のスラスト方向の位置決めを行うことができる。なお、可変絞り45はそれぞれ個別に制御しても、4個を系統的に制御してもよい。
【0015】
また、ラジアル方向については、第一の面1は中空穴31、第二の面は軸部41に相当し、第一の面に接続されたスピンドル40の中心にスティールボール60が取り付けられ、前述したと同様に、このスティールボールとの距離をはかるラジアル距離センサ61により中空穴31/第一の面(1)と軸部41/第二の面(2)との距離を測定できるようにされている。ラジアルセンサ61からの出力信号は増幅器62、A/Dコンバータ63を介してコンピュータ64に接続され、軸位置が出力信号として入力される。スピンドルが軸の中心になるオフセット位置がコンピュータに記録され、コンピュータ内ではオフセット位置と位置信号63aとで比較演算し、二面間の距離を一定にしてスピンドルを中心位置に制御する。なお、オフセット位置信号の代わりに任意の設定値を入力するようにすればスピンドルの軸位置を偏心制御することも可能である。但し、この例では軸回転精度を向上する目的で使用している。
【0016】
【実施例】
かかる装置を用いて、位置決め実験を行った。その結果を図4に示す。図4はスラスト方向の回転精度を示すもので、横軸に時間、縦軸にスラスト方向の距離を示したものである。空気圧を上下スラスト軸受面に供給し、圧電素子に所定のオフセット電圧をかけた状態から、容量形センサの信号をフィードバックして制御した場合を示す。なお、容量形センサの零点は理論上のオフセット位置に設定している(以下同じ)。図4に示すように、フィードバック制御を行わない状態では、サブミクロンオーダの振動が見られるが、制御を開始すると振動は10nm以下に抑えられていることが分かる。制御は上側のみ行われているが、下側スラスト軸受は剛性を持たないので回転精度に影響しない。
【0017】
図5には軸位置をスラスト方向に精密位置決めした結果を示す。図5は横軸に時間、縦軸にスラスト方向の距離を示したものである。時間経過に沿って、1nmきざみのステップ信号を設定信号として与えたのに対し、図5に示すように、軸がスラスト方向に位置決めされていることが分かる。
【0018】
図6は、本発明の位置決め装置を使用した他の例をしめすブロック図で、前述したスラスト軸受とは上下が反対になっており、同符号を付して説明すると、機体側に固定された上向きの第二の面2を有するガイドウェイ71上を、下向きにされた第一の面1と可変絞り45を有するテーブル72が空気圧軸受により支持されている。テーブル上面には測定器として高分解能を有する光ファイバーセンサ73の光を反射するためのリファレンスミラー(反射鏡)74が取り付けられテーブルの高さを測定しできるようにされている。増幅器からFFTアナライザにも信号が送られ測定可能にされている。可変絞り45及び制御回路については前述したのと同様であるので同符号を付し説明を省略する。
【0019】
特に本発明においては、アクチュエータの動きの数十分の一が軸変位となって現れ、アクチュエータの動きが縮小されることが分かる。図7は図6の機構を用いて圧電素子への印加電圧を横軸に、そのときのテーブルの移動距離を縦軸にとったものである。70Vで3.5μm伸長する圧電素子を使って、圧電素子に上昇及び下降する電圧を加えテーブルの変位を測定したところ、圧電素子の軸の変位は図7に示すように100nm程度となり、運動縮小率は35と言うことになった。従って、従来と同様の圧電素子の制御可能な変位を約2nmとすれば、2nm/35=0.06nm=60pmという極めて高い位置決めが得られる。図8は図6の機構を用いた静圧軸受を制御した場合の実験結果であり、横軸は経過時間、縦軸は変位量を示した例である。図8に示すように、一般の圧電素子及び圧電素子制御回路を用いてステップ50pmきざみの指令値に対し追従制御され極めて高い位置決め分解能が得られた。
【0020】
【発明の効果】
本発明においては、第二の面とこれに対して遠近方向に移動する開口部とで絞りを形成させ開口部移動量より第二の面の移動量を縮小制御し、二面間の距離を設定器と測定器によりフィードバック制御して位置決めしたので、アクチュエータの分解能よりも小さい高精度の位置決めが可能となった。また、圧電素子で10pmオーダの位置決めが容易にでき、制御も従来の制御で可能である。さらに、テーブルなどの位置決め対象との機械的な摩擦部分が無く、運動縮小が極めて高い再現性で行える。したがって、本発明により位置決め分解能向上の課題を解決できる。また、この「静圧軸受を利用した運動縮小機構」は軸をX、Y、Z方向から支持することで、この3方向の運動及び各方向周りの回転運動も制御できることから、機構の積み重ねなしに対象物の空間における立体的位置決めを可能としている。したがって、従来技術での軸積み重ねによる精度低下の問題を解決できる。
【0021】
さらに、本発明による3次元超精密位置決め装置は、テーブルなどの位置決め対象をピコメータオーダの位置決め分解能で空間的に位置決めできるので、AFMのような原子単位での計測を行う機器のステージに応用することで、その計測性能を飛躍的に向上させてより高い分解能での原子観察が可能になり、基礎物理学、半導体工学の発展に貢献できる。また、超精密工作機械の微少切り込み装置として応用することで、X線ミラーのような高精度の光学素子を機械加工により生産でき、天文学、半導体工学、X線光学などの発展に貢献できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を用いたスピンドル位置決め装置の部分断面斜視図である。
【図2】図1に示す絞り部の拡大説明図である。
【図3】本発明を用いたスピンドル位置決め装置のブロック図である。
【図4】本発明を用いたスピンドル位置決め装置のスラスト方向の回転精度を示す位置決め実験結果である。
【図5】本発明を用いたスピンドル位置決め装置の軸位置をスラスト方向に精密位置決めした実験結果である。
【図6】本発明の位置決め装置を使用した他の例をしめすブロック図である。
【図7】図6の機構を用いて圧電素子への印加電圧とテーブルの移動距離との関係を示す実験結果である。
【図8】図6の機構を用いた静圧軸受を制御した場合の実験結果である。
【符号の説明】
1,32 第一の面
2,42a 第二の面
5 圧電素子
7 開口部
8 供給部
9 (可変)絞り
51、61 測定器
53a、63a 出力信号
55 設定器
55a 設定信号
h 二面間の距離
hd 開口部と第二の面間の距離
Claims (3)
- 第一の面及び第二の面間に圧力流体が導入され、前記第一の面側に前記圧力流体を供給する開口部を先端に有する供給部が設けられており、前記供給部は前記開口部を前記第二の面に対して遠近方向に移動可能にされ、前記開口部と前記第二の面とで絞りが形成された静圧流体軸受装置であって、前記第一及び第二の二面間の距離を外部から設定する設定器と、前記二面間の距離を測定する測定器と、前記測定器の出力信号と前記設定器の設定信号とを比較し、前記供給部が前記二面間の距離が設定値より大のときは前記開口部が第二の面側に近づく方向に、前記二面間の距離が設定値より小のときに前記開口部が第二の面側から離れる方向に動くように制御し、前記二面間を前記設定器で設定された距離になるように制御されていることを特徴とする位置決め装置。
- 前記供給部の開口部を移動可能とする手段は前記面方向に積層された圧電素子であることを特徴とする請求項1記載の位置決め装置。
- 前記位置決め装置は直交する3方向に配置されていることを特徴とする請求項1又は2記載の位置決め装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001005596A JP3746199B2 (ja) | 2001-01-12 | 2001-01-12 | 位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001005596A JP3746199B2 (ja) | 2001-01-12 | 2001-01-12 | 位置決め装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002210626A JP2002210626A (ja) | 2002-07-30 |
JP3746199B2 true JP3746199B2 (ja) | 2006-02-15 |
Family
ID=18873628
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001005596A Expired - Fee Related JP3746199B2 (ja) | 2001-01-12 | 2001-01-12 | 位置決め装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3746199B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4807680B2 (ja) * | 2005-09-06 | 2011-11-02 | 株式会社不二越 | 静圧継手 |
CN116885898B (zh) * | 2023-09-06 | 2023-12-01 | 三峡金沙江云川水电开发有限公司 | 一种高压电机的保护装置 |
-
2001
- 2001-01-12 JP JP2001005596A patent/JP3746199B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002210626A (ja) | 2002-07-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Polit et al. | Development of a high-bandwidth XY nanopositioning stage for high-rate micro-/nanomanufacturing | |
Liu et al. | A motor-piezo actuator for nano-scale positioning based on dual servo loop and nonlinearity compensation | |
US5053670A (en) | Precision actuator | |
EP1646912B1 (en) | High resolution, dynamic positioning mechanism | |
Gao et al. | A linear-rotary stage for precision positioning | |
Zhang et al. | Investigation of a 3-DOF micro-positioning table for surface grinding | |
Wang et al. | A stick-slip positioning stage robust to load variations | |
Shinno et al. | XY-θ nano-positioning table system for a mother machine | |
CN105723608A (zh) | 压电陶瓷平面电机及其驱动方法 | |
Pan et al. | A review of stick–slip nanopositioning actuators | |
JP2004525780A (ja) | 超精密位置決めシステム | |
CN104467526A (zh) | 一种实现单向运动的惯性粘滑式跨尺度运动平台 | |
CN104362890A (zh) | 一种实现双向运动的惯性粘滑式跨尺度精密运动平台 | |
Wang et al. | Design, analysis and experimental performance of a piezoelectric rotary actuator based on compliant foot driving | |
Matsukuma et al. | Closed-loop control of an XYZ micro-stage and designing of mechanical structure for reduction in motion errors | |
JP3746199B2 (ja) | 位置決め装置 | |
Fujita et al. | Dynamic characteristics and dual control of a ball screw drive with integrated piezoelectric actuator | |
Zhang et al. | Design of an inchworm-type linear piezomotor | |
Spanner et al. | Advances in piezo-nanopositioning technology | |
JPS63244205A (ja) | 位置決め装置 | |
Ma et al. | Recent trends in bionic stepping piezoelectric actuators for precision positioning: a review | |
Qin et al. | Design and performance evaluation of a novel stick–slip piezoelectric linear actuator with a centrosymmetric-type flexure hinge mechanism | |
Gao et al. | The design and characterization of a piezo-driven ultra-precision stepping positioner | |
JPH05138484A (ja) | 精密位置決め微動送り装置およびシステム | |
KR101021285B1 (ko) | 압전 액츄에이터를 구비하는 초정밀 회전 위치결정 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040312 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050214 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050222 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20051115 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20051121 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 3746199 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091202 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091202 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101202 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111202 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111202 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121202 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131202 Year of fee payment: 8 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |