JPH0623598B2 - 摩擦駆動装置 - Google Patents
摩擦駆動装置Info
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- JPH0623598B2 JPH0623598B2 JP2248683A JP24868390A JPH0623598B2 JP H0623598 B2 JPH0623598 B2 JP H0623598B2 JP 2248683 A JP2248683 A JP 2248683A JP 24868390 A JP24868390 A JP 24868390A JP H0623598 B2 JPH0623598 B2 JP H0623598B2
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- roller
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、測定機械の送り装置や光学機械の移動装置等
に使用されるツイストローラ方式の摩擦駆動装置の改良
に関する。
に使用されるツイストローラ方式の摩擦駆動装置の改良
に関する。
（従来の技術） この種の駆動軸の回転によって従動軸を直線移動させる
摩擦駆動装置は、ロストモーションが少ないことにより
３次元測定機の送りシステムなどに採用されているが、
これまでに実用されている摩擦駆動装置の多くは例えば
第１０図(a)に示すように、駆動軸１１と従動軸１２の
軸線１１′，１２′が直交した、ラック・アンド・ピニ
オン形式であり、リード（駆動軸１回転による従動軸の
移動量）は数十ミリになった。したがって、送りの最小
設定単位を０．１μｍとするには数十万分の一回転で駆
動軸を制御する必要があり実現不可能であった。一方、
より細密な送りを行なうツイストローラ方式の摩擦駆動
装置は、例えば第１０図(c)(d)に示すように、駆動軸２
１と従動軸２２を微小な交差角θ，θ′で交差させ、駆
動軸２１の回転により従動軸２２に生じる摩擦力の軸方
向分力を利用して、第１０図の矢印２３，２４で示す送
り動作を行うもので、機構的にはねじ送りに相当する。
したがって、理論的には駆動軸２１の軸径をＤ、交差角
をθとすればリードはπＤθとなり、θを１０-4rad 程
度にすることでリードを２０〜５０μｍとすることがで
き、数万分の一回転でナノメータ（１０-9ｍ）単位の微
小送りが可能となる計算である。
摩擦駆動装置は、ロストモーションが少ないことにより
３次元測定機の送りシステムなどに採用されているが、
これまでに実用されている摩擦駆動装置の多くは例えば
第１０図(a)に示すように、駆動軸１１と従動軸１２の
軸線１１′，１２′が直交した、ラック・アンド・ピニ
オン形式であり、リード（駆動軸１回転による従動軸の
移動量）は数十ミリになった。したがって、送りの最小
設定単位を０．１μｍとするには数十万分の一回転で駆
動軸を制御する必要があり実現不可能であった。一方、
より細密な送りを行なうツイストローラ方式の摩擦駆動
装置は、例えば第１０図(c)(d)に示すように、駆動軸２
１と従動軸２２を微小な交差角θ，θ′で交差させ、駆
動軸２１の回転により従動軸２２に生じる摩擦力の軸方
向分力を利用して、第１０図の矢印２３，２４で示す送
り動作を行うもので、機構的にはねじ送りに相当する。
したがって、理論的には駆動軸２１の軸径をＤ、交差角
をθとすればリードはπＤθとなり、θを１０-4rad 程
度にすることでリードを２０〜５０μｍとすることがで
き、数万分の一回転でナノメータ（１０-9ｍ）単位の微
小送りが可能となる計算である。
（発明が解決しようとする課題） しかしながら、従来のツイストローラ方式の摩擦駆動装
置では、従動軸が回転するためにその支持が問題とな
る。滑り接触による支持では隙間の存在が不可欠であ
り、また転がり接触による支持では転動体を真円とする
ことは不可能なので、微視的にいえばローラは振動しな
がら回転することになり、ローラの交差角θを常時安定
して保持することができない。そのため、サブミクロン
単位の高精度の送り装置には使用することができなかっ
た。
置では、従動軸が回転するためにその支持が問題とな
る。滑り接触による支持では隙間の存在が不可欠であ
り、また転がり接触による支持では転動体を真円とする
ことは不可能なので、微視的にいえばローラは振動しな
がら回転することになり、ローラの交差角θを常時安定
して保持することができない。そのため、サブミクロン
単位の高精度の送り装置には使用することができなかっ
た。
本発明の目的は、かかる従来製品の課題を解決するもの
であって、ツイストローラ方式摩擦駆動装置において、
微小な交差角θを安定して高精度に保持することがで
き、さらに、前記交差角θを可変に設定可能な、ナノメ
ータ単位の送りを実現する摩擦駆動装置を提供すること
にある。
であって、ツイストローラ方式摩擦駆動装置において、
微小な交差角θを安定して高精度に保持することがで
き、さらに、前記交差角θを可変に設定可能な、ナノメ
ータ単位の送りを実現する摩擦駆動装置を提供すること
にある。
（課題を解決するための手段） このため、本発明は、特許請求の範囲記載の摩擦駆動装
置を提供することによって、上述した従来製品の課題を
解決した。
置を提供することによって、上述した従来製品の課題を
解決した。
（実施例） 次に本発明の実施例につき図面を参照して説明する。第
２図は本発明の実施例装置全体を示す概略縦断面図で、
第１図のＩ−Ｉ線に沿った断面図である。ベース１３上
に、フレーム１４，１５で軸受部１６，１７にパルスモ
ータ１とカップリング２で連結された入力駆動軸１０が
支持されており、駆動軸１０外周ところがり接触する３
個の従動軸であるローラ５が、駆動軸軸線１８に対して
微小な交差角（第６図θ）をもって傾斜した軸線１９を
有するように配置され、さらに駆動軸１０に対してロー
ラ５を外接支持しかつ駆動軸１０の回転に起因してロー
ラ５が発生させる摩擦力の軸方向分力によって矢印２５
の方向に移動されるハウジング２０を有する。第２図で
みて、ローラ５は駆動軸１０上方で断面で示され、静圧
ラジアル軸受６（第３図）は、上方では断面で、そして
下方では側面図で示される。そして、第１図で示す軸方
向静圧案内軸受４及び案内軸３は駆動軸１０の両側に一
対設けられているが、第２図では奥側部分（第１図で上
側）は、駆動軸１０とハウジング２０の後方になり表わ
れていない。第１図は本考案の実施例の摩擦駆動装置の
上方（第２図のＩ矢印方向）から見た平面図である。実
施例では、駆動軸１０は直径３２mmでパルスモータ１に
より駆動される。この駆動軸１０を直径３６mm長さ５０
mmの３個のローラ５が１２０゜間隔で押さえるように配
置されて従動軸となる（この従動軸ローラはねじ送りの
場合のナット部に相当する）。各ローラ５は第３図でみ
てよく判るように静圧ラジアル軸受６とフランジ７内の
第５図に示す静圧スラスト軸受３１，３１′により支持
される。駆動軸１０とローラ５は軸受鋼を熱処理後、研
削仕上げされた。従動軸ローラ５は２枚のサイドプレー
ト８により挟持された静圧案内軸受４と結合されて移動
テーブルを構成する。案内軸受４はフレーム１４，１５
に支持された直径４０mmの軸３により軸方向に案内さ
れ、ローラ５の作用による運動を軸方向運動とするよう
に案内する。
２図は本発明の実施例装置全体を示す概略縦断面図で、
第１図のＩ−Ｉ線に沿った断面図である。ベース１３上
に、フレーム１４，１５で軸受部１６，１７にパルスモ
ータ１とカップリング２で連結された入力駆動軸１０が
支持されており、駆動軸１０外周ところがり接触する３
個の従動軸であるローラ５が、駆動軸軸線１８に対して
微小な交差角（第６図θ）をもって傾斜した軸線１９を
有するように配置され、さらに駆動軸１０に対してロー
ラ５を外接支持しかつ駆動軸１０の回転に起因してロー
ラ５が発生させる摩擦力の軸方向分力によって矢印２５
の方向に移動されるハウジング２０を有する。第２図で
みて、ローラ５は駆動軸１０上方で断面で示され、静圧
ラジアル軸受６（第３図）は、上方では断面で、そして
下方では側面図で示される。そして、第１図で示す軸方
向静圧案内軸受４及び案内軸３は駆動軸１０の両側に一
対設けられているが、第２図では奥側部分（第１図で上
側）は、駆動軸１０とハウジング２０の後方になり表わ
れていない。第１図は本考案の実施例の摩擦駆動装置の
上方（第２図のＩ矢印方向）から見た平面図である。実
施例では、駆動軸１０は直径３２mmでパルスモータ１に
より駆動される。この駆動軸１０を直径３６mm長さ５０
mmの３個のローラ５が１２０゜間隔で押さえるように配
置されて従動軸となる（この従動軸ローラはねじ送りの
場合のナット部に相当する）。各ローラ５は第３図でみ
てよく判るように静圧ラジアル軸受６とフランジ７内の
第５図に示す静圧スラスト軸受３１，３１′により支持
される。駆動軸１０とローラ５は軸受鋼を熱処理後、研
削仕上げされた。従動軸ローラ５は２枚のサイドプレー
ト８により挟持された静圧案内軸受４と結合されて移動
テーブルを構成する。案内軸受４はフレーム１４，１５
に支持された直径４０mmの軸３により軸方向に案内さ
れ、ローラ５の作用による運動を軸方向運動とするよう
に案内する。
第３図は本発明のハウジング２０とローラ５との間に介
した静圧軸受のうち、ラジアル方向でローラ５を支持す
る静圧ラジアル軸受６を示し、第２図のIII−III線に沿
った部分断面図である。ラジアル軸受６の駆動軸１０側
は２７で示すように切り欠かれており、切り欠き部２７
を除いて円周７カ所、２列に給油孔２８が設けられ、毛
細管絞り２９（第４図）が組み込まれている。３０，３
０′は油路である。このようにローラ５を静圧支持する
ことで駆動軸１０との片当たりを防ぐとともに、接触圧
力の調節を容易とすることができる。一方、スラスト軸
受１３，３１′（第４図）の面は第５図に示すように、
駆動軸１０の軸線１８とローラ５の軸線１９を通る線で
対称に左右２つに分かれており、それぞれのポケット２
６，２６′にテーブル外部に設置された毛細管絞りを経
て圧力油が供給されており、この絞りにより左右のポケ
ット圧Ｐ1,Ｐ０を調整することでローラ５と駆動軸１０
との交差角θを変えることができる。なお静圧軸受の無
偏心時の油膜厚さはラジアル軸受６、スラスト軸受３
１，３１′ともに４０μｍである。この原理を第６図に
示す。第６図（ａ）に示すように、各ポケット２６，２
６′，２６ａ，２６ａ′の圧力Ｐ０を同じにすると、ロ
ーラ５の軸線１９は駆動軸１０の軸線１８と平行にな
る。しかしながら、第６図（ｂ）に示すように、ポケッ
ト２６，２６ａ′の圧力Ｐ０をそのままにしてポケット
２６′，２６ａの圧力をＰ０からＰ１に上げると、ロー
ラ５の軸線１８は交差角θでもって駆動軸１０の軸線１
８に対して傾斜し、圧力Ｐ１を上げると交差角θは大き
くなる。さらにラジアル軸受６の圧力を小さくして、駆
動軸１０とローラ５とのころがり接触を切り離し、図示
しない別に設けた高速送り用の別のアクチュエータで、
ハウジング２０全体を早送りすることができる。
した静圧軸受のうち、ラジアル方向でローラ５を支持す
る静圧ラジアル軸受６を示し、第２図のIII−III線に沿
った部分断面図である。ラジアル軸受６の駆動軸１０側
は２７で示すように切り欠かれており、切り欠き部２７
を除いて円周７カ所、２列に給油孔２８が設けられ、毛
細管絞り２９（第４図）が組み込まれている。３０，３
０′は油路である。このようにローラ５を静圧支持する
ことで駆動軸１０との片当たりを防ぐとともに、接触圧
力の調節を容易とすることができる。一方、スラスト軸
受１３，３１′（第４図）の面は第５図に示すように、
駆動軸１０の軸線１８とローラ５の軸線１９を通る線で
対称に左右２つに分かれており、それぞれのポケット２
６，２６′にテーブル外部に設置された毛細管絞りを経
て圧力油が供給されており、この絞りにより左右のポケ
ット圧Ｐ1,Ｐ０を調整することでローラ５と駆動軸１０
との交差角θを変えることができる。なお静圧軸受の無
偏心時の油膜厚さはラジアル軸受６、スラスト軸受３
１，３１′ともに４０μｍである。この原理を第６図に
示す。第６図（ａ）に示すように、各ポケット２６，２
６′，２６ａ，２６ａ′の圧力Ｐ０を同じにすると、ロ
ーラ５の軸線１９は駆動軸１０の軸線１８と平行にな
る。しかしながら、第６図（ｂ）に示すように、ポケッ
ト２６，２６ａ′の圧力Ｐ０をそのままにしてポケット
２６′，２６ａの圧力をＰ０からＰ１に上げると、ロー
ラ５の軸線１８は交差角θでもって駆動軸１０の軸線１
８に対して傾斜し、圧力Ｐ１を上げると交差角θは大き
くなる。さらにラジアル軸受６の圧力を小さくして、駆
動軸１０とローラ５とのころがり接触を切り離し、図示
しない別に設けた高速送り用の別のアクチュエータで、
ハウジング２０全体を早送りすることができる。
第７図は第１図乃至第５図に示すスラスト軸受３１，３
１′のポケット２６，２６′への各供給圧力比Ｐ1／Ｐ0
によるリード即ち回転当りの移動量の変化を測定した結
果を示すグラフである。ＣＷは時計方向、ＣＣＷは半時
計方向のそれぞれ駆動軸１０の回転方向を示す。
１′のポケット２６，２６′への各供給圧力比Ｐ1／Ｐ0
によるリード即ち回転当りの移動量の変化を測定した結
果を示すグラフである。ＣＷは時計方向、ＣＣＷは半時
計方向のそれぞれ駆動軸１０の回転方向を示す。
第７図ではパルスモータ１回転の分割数を12800 とした
ときの４００パルス当たり（つまり１／３２回転）の移
動量が示されている。移動量の制御はオープンループ制
御となる。圧力比Ｐ1／Ｐ0を変えることで±３μｍ(リ
ードでは±１００μｍ)の範囲での調節が可能であるこ
とがわかる。つぎに圧力比を０．６９として、モータ分
割数を変えたときの１／３２回転当たりの移動量を第８
図に示すが、どの分割数の場合も１．８μｍ程度で安定
していた。したがって１パルス当たりの送り量を計算す
ると第９図のようになり、数万分の一回転でナノメータ
単位の微小送りの可能なことがわかる。ただし、第８図
に示したように、１．８μｍの送りに対して標準偏差が
０．１〜０．３μｍあり、サブミクロンの位置決めを行
うにはクローズドループとする必要がある。そこでテー
ブル変位をフィードバックしたクローズドループ制御に
より０．５μｍステップの位置決め操作を行ったとこ
ろ、標準偏差は0.05μｍ程度に減少した。
ときの４００パルス当たり（つまり１／３２回転）の移
動量が示されている。移動量の制御はオープンループ制
御となる。圧力比Ｐ1／Ｐ0を変えることで±３μｍ(リ
ードでは±１００μｍ)の範囲での調節が可能であるこ
とがわかる。つぎに圧力比を０．６９として、モータ分
割数を変えたときの１／３２回転当たりの移動量を第８
図に示すが、どの分割数の場合も１．８μｍ程度で安定
していた。したがって１パルス当たりの送り量を計算す
ると第９図のようになり、数万分の一回転でナノメータ
単位の微小送りの可能なことがわかる。ただし、第８図
に示したように、１．８μｍの送りに対して標準偏差が
０．１〜０．３μｍあり、サブミクロンの位置決めを行
うにはクローズドループとする必要がある。そこでテー
ブル変位をフィードバックしたクローズドループ制御に
より０．５μｍステップの位置決め操作を行ったとこ
ろ、標準偏差は0.05μｍ程度に減少した。
（発明の効果） 以上説明したように、本発明では、ツィストローラ方式
摩擦駆動装置において、駆動軸に対してローラを外接支
持しかつ駆動軸の回転に起因してローラが発生させる摩
擦力の軸方向分力によって軸方向に移動するようにされ
たハウジングと各ローラとの間には、ラジアル及びスラ
ストの各静圧軸受が介されており、さらに、ローラの端
面支持面に介された静圧スラスト軸受は２個の半円部に
分割され、各半円部への供給圧力を変えることができる
ので極めて微小な交差角を高精度に保持することができ
る。また、各半円部への供給圧力を可変にして交差角を
任意の角度に制御して、ハウジングの移動量をナノメー
タ単位で精密に制御することができるものとなった。
摩擦駆動装置において、駆動軸に対してローラを外接支
持しかつ駆動軸の回転に起因してローラが発生させる摩
擦力の軸方向分力によって軸方向に移動するようにされ
たハウジングと各ローラとの間には、ラジアル及びスラ
ストの各静圧軸受が介されており、さらに、ローラの端
面支持面に介された静圧スラスト軸受は２個の半円部に
分割され、各半円部への供給圧力を変えることができる
ので極めて微小な交差角を高精度に保持することができ
る。また、各半円部への供給圧力を可変にして交差角を
任意の角度に制御して、ハウジングの移動量をナノメー
タ単位で精密に制御することができるものとなった。
第１図は本発明の実施例である摩擦駆動装置の平面図、
第２図は第１図のII−II線に沿った縦断面図、第３図は
第２図のIII−III線に沿った部分横断面図、第４図は第
３図のIV−IV線に沿った部分縦断面図、第５図は第２図
のＶ−Ｖ線に沿った部分断面図、第６図は第５図の静圧
スラスト軸受の作動を示す説明図である。第７図は第１
図乃至第５図に示すスラスト軸受のポケットへの供給圧
力比による駆動軸回転当りのハウジング移動量を示すグ
ラフ、第８図及び第９図は同回転当り移動量と一回転当
りパルス数との関係をそれぞれ示すグラフである。第１
０図は従来の摩擦駆動装置を示す説明図である。 ５……ローラ（従動軸）、６……静圧ラジアル軸受（静
圧軸受）、１０……駆動軸、１８……駆動軸軸線、１９
……ローラ軸線、２０……ハウジング、２６，２６′…
…ポケット、３１，３１′……静圧スラスト軸受（静圧
軸受）。
第２図は第１図のII−II線に沿った縦断面図、第３図は
第２図のIII−III線に沿った部分横断面図、第４図は第
３図のIV−IV線に沿った部分縦断面図、第５図は第２図
のＶ−Ｖ線に沿った部分断面図、第６図は第５図の静圧
スラスト軸受の作動を示す説明図である。第７図は第１
図乃至第５図に示すスラスト軸受のポケットへの供給圧
力比による駆動軸回転当りのハウジング移動量を示すグ
ラフ、第８図及び第９図は同回転当り移動量と一回転当
りパルス数との関係をそれぞれ示すグラフである。第１
０図は従来の摩擦駆動装置を示す説明図である。 ５……ローラ（従動軸）、６……静圧ラジアル軸受（静
圧軸受）、１０……駆動軸、１８……駆動軸軸線、１９
……ローラ軸線、２０……ハウジング、２６，２６′…
…ポケット、３１，３１′……静圧スラスト軸受（静圧
軸受）。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−4960（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−154852（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−121463（ＪＰ，Ｕ)
Claims (2)
- 【請求項１】入力駆動軸と、前記駆動軸外周にころがり
接触しかつ駆動軸軸線に対して微小な交差角をもって傾
斜した軸線をそれぞれ有する複数個の従動軸であるロー
ラと、前記駆動軸に対してローラを外接支持しかつ駆動
軸の回転に起因してローラが発生させる摩擦力の軸方向
分力によって軸方向に移動するようにされたハウジング
とを有する摩擦駆動装置において、前記ローラはラジア
ル及びスラストの各静圧軸受を介して前記ハウジングに
保持されており、前記ハウジングの前記ローラ端面に面
するスラスト静圧軸受面は、前記駆動軸とローラの各軸
線を通る線に対して線対称な２個の半円部に分割され、
各半円部に別個に供給される静圧圧力を調整して前記交
差角を安定して保持させることを特徴とする摩擦駆動装
置。 - 【請求項２】前記２個の半円部にそれぞれ供給される静
圧圧力は可変にされ、それにより前記交差角を可変にし
た請求項１記載の摩擦駆動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2248683A JPH0623598B2 (ja) | 1990-09-20 | 1990-09-20 | 摩擦駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2248683A JPH0623598B2 (ja) | 1990-09-20 | 1990-09-20 | 摩擦駆動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04131548A JPH04131548A (ja) | 1992-05-06 |
| JPH0623598B2 true JPH0623598B2 (ja) | 1994-03-30 |
Family
ID=17181781
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2248683A Expired - Fee Related JPH0623598B2 (ja) | 1990-09-20 | 1990-09-20 | 摩擦駆動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0623598B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4807680B2 (ja) * | 2005-09-06 | 2011-11-02 | 株式会社不二越 | 静圧継手 |
| JP6638255B2 (ja) * | 2015-08-21 | 2020-01-29 | 日本精工株式会社 | 電動パワーステアリング装置用回転直動変換装置、これを備える電動パワーステアリング装置および車両 |
| CN115356845A (zh) * | 2022-07-26 | 2022-11-18 | 中国人民解放军国防科技大学 | 一种基于交错轴摩擦轮传动的精密光轴微调装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS624960A (ja) * | 1985-06-28 | 1987-01-10 | Koyo Seiko Co Ltd | 回転運動と直線運動との運動変換装置 |
| JPS62121463U (ja) * | 1986-12-19 | 1987-08-01 |
-
1990
- 1990-09-20 JP JP2248683A patent/JPH0623598B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04131548A (ja) | 1992-05-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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