DE3023837A1 - Hydrostatisches lager - Google Patents

Hydrostatisches lager

Info

Publication number
DE3023837A1
DE3023837A1 DE3023837A DE3023837A DE3023837A1 DE 3023837 A1 DE3023837 A1 DE 3023837A1 DE 3023837 A DE3023837 A DE 3023837A DE 3023837 A DE3023837 A DE 3023837A DE 3023837 A1 DE3023837 A1 DE 3023837A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
bearing
air supply
hydrostatic bearing
dipl
ing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
DE3023837A
Other languages
English (en)
Inventor
Hironori Yamamoto
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Publication of DE3023837A1 publication Critical patent/DE3023837A1/de
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/06Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C29/00Bearings for parts moving only linearly
    • F16C29/02Sliding-contact bearings
    • F16C29/025Hydrostatic or aerostatic
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/06Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
    • F16C32/0603Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)

Description

Hydrostatisches Lager
Die Erfindung bezieht sich auf ein hydrostatisches Lager, welches ein Strömungsmedium wie Luft oder Öl als Gleitmittel zwischen den gegeneinander beweglichen Oberflächen verwendet,
Für Meß- oder Vorschub schlitten von Maschinenwerkzeugen wurden bisher häufig hydrostatische Luft- oder Öllager verwendet. Ina Vergleich zu kontaktbehafteten Lagern, bei welchen sich Rollen oder andere Metallteile unmittelbar berühren, laufen hydrostatische Lager berührungsfrei bezüglich Tragteilen, weisen eine geringe Reibung auf, arbeiten stoßfrei und lassen eine erhöhte Genauigkeit zu. Im Vergleich zu kontaktbehafteten Lagern zeigen sie jedoch bestimmte Nachteile, nämlich eine geringe Belastbarkeit und bei Verwendung komprimierbarer Strömungsmedien wie Luft oder dgl. eine Instabilität, wenn der Spalt zwischen dem hydrostatischen Lager und der gegenüberliegenden Oberfläche des Tragteils größer ist. Als Folge dieser Nachteile treten selbsterregte Schwingungen in Form einer Aufwärts- und Abwärtsbewegung des Lagers auf.
Die Aufgabe der Erfindung besteht demgegenüber darin, bei einem hydrostatischen Lager der eingangs erwähnten Art bessere Betriebseigenschaften/ insbesondere eine höhere Belastbarkeit und eine verbesserte Stabilität zu erzielen.
Die Aufgabe wird erf in dungs gemäß durch die kennzeichnenden Merkmale des Anspruches 1 gelöst.
Vorteilhafte Weiterbildungen und Ausgestaltungen des hydrostatischen Lagers nach Anspruch 1 ergeben sch aus den Ansprüchen 2 bis 4.
030083/0866
Die Erfindung wird mit ihren Vorteilen anhand der Zeichnungen näher erläutert. Es zeigt:
Fig. 1 einen Schnitt durch ein mit einer Einlaßdüse versehenes hydrostatisches Lager;
Fig. 2 einen Schnitt durch ein mit einer Einlaßdüse und einer Kammer versehenes hydrostatisches Lager;
Fig. 3 einen Schnitt durch ein mit einer Auslaßdüse versehenes hydrostatisches Lager;
Fig.. 4 einen Schnitt durch eines mit einer Einlaßdüse und einer Auslaßdüse versehenes hydrostatisches Lager gemäß der Erfindung;
Fig. 5 eine perspektivische Ansicht eines hydrostatischen Lagers gemäß der Erfindung;
Fig. 6 einen Schnitt durch eine Schlittenanordnung; Fig. 7 einen Schnitt durch eine zwangsgeführte Schlittenanordnung;
Fig. 8 eine graphische Darstellung der Verschiebungs/Belastungs-Charakteristik des hydrostatischen Lagers;
Fig. 9 eine graphische Darstellung der Druckverteilung bei dem hydrostatischen Lager;
Fig. 10 einen Schnitt durch eine weitere Ausführungsform des hydrostatischen Lagers gemäß der Erfindung;
Fig. 11 eine Unteransicht des hydrostatischen Lagers gemäß Fig. 10;
Fig. 12 die Druckverteilung bei dem hydrostatischen Lager gemäß Fig. 10;
030063/0886
Fig. 13 eine weitere Ausführungsform des hydrostatischen Lagers gemäß der Erfindung;
Fig. 14 die Druckverteilung des hydrostatischen Lagers gemäß Fig. 13;
Fig. 15 eine weitere Ausführungsform des hydrostatischen Lagers gemäß der Erfindung.
Die Fig. 1 bis 3 zeigen Ausführungsbeispiele eines hydrostatischen Lagers nach dem Stand der Technik. In der folgenden Beschreibung wird Luft als Beispiel für ein Strömungsmedium und ein kreisförmiges Blocklager als Beispiel für ein hydrostatisches Lager betrachtet.
Fig. 1 zeigt einen Schnitt durch ein kreisförmiges in Blockform ausgebildetes hydrostatisches Lager 1, bei welchem die Luft auf der Einlaßseite gedrosselt wird. Gemäß Fig. 1 wird die unter einen gewünschten Druch P gesetzte Luft einer Einlaßöffnung 2 zugeführt, anschließend begrenzt eine Düse (Luftzuführungsbohrung) 3 die Strömungsgeschwindigkeit der Luft und schließlich tritt die Luft durch einen Spalt 5 zwischen dem vom Strömungsmedium getragenen Lagerteil 1 und einem Tragteil 4 aus dem Lager wieder aus, wobei die Breite des Spaltes mehrere Mikrometer (,um) beträgt. Bei diesem Aufbau wird die Strömungsgeschwindigkeit dann nur noch durch die Viskosität der Luft begrenzt, bevor die mittels der Düse 3 gedrosselte Luft durch den Spalt 5 nach außen gelangt. Dementsprechend fällt der Druck im Spalt 5 nach außen steil ab, womit die auf eine Änderung der Spaltbreite C bezogene Belastung (im nachfolgenden mit Stabilität bezeichnet) und die maximale Belastung (Belastungsfähigkeit) sehr gering werden, so daß ein in solcher Weise .ausgebildetes hydrostatisches Lager nicht ohne Einschränkungen praktisch eingesetzt werden kann.
030063/0366
Fig. 2 zeigt einen Schnitt durch ein hydrostatisches Lager, dessen Lagerteil gegenüber der Ausbildung gemäß Fig. 1 verbessert ist. Das Lagerteil 6 des dargestellten hydrostatischen Lagers weist eine Lufteintrittsöffnung 7, eine Düse 8 und eine Kammer 9 auf. Die in die Lufteintrittsöffnung 7 eingeführte und durch die Düse 8 auf der Einlaßseite des Lagerteils 6 gedrosselte Luft dehnt sich im Hohlraum oder in der Kammer 9 aus, wie dies durch Pfeile gekennzeichnet ist, und zeigt die aufgrund der einlaßseitigen Drosselung sich ergebende Wirkung. Im Vergleich zum Lagerteil des in Fig. 1 dargestellten hydrostatischen Lagers weist demgegenüber das in Fig. 2 gezeigte hydrostatische Lager ein gegenüber Druckeinwirkungen vergrößertes Belastungsvermögen und eine erhöhte Stabilität auf. Da jedoch das Innenvolumen der Kammer groß ist, bildet die Luft bei ihrer Ausdehnung in der Kammer Wirbel aus, welche wiederum zu dem Nachteil führen, daß das hydrostatische Lager zu selbsterregten Schwingungen neigt und instabil wird.
In Fig. 3 ist ein weiteres Ausführungsbeispiel gezeigt, bei welchem die Luft auf der Auslaßseite des hydrostatischen Lagers gedrosselt wird, um das Belastungsvermögen gegenüber Druckeinwirkungen zu verbessern und die Stabilität zu erhöhen. Die über die Lüfteintrittsöffnung 11 des Lagerteils 10 des hydrostatischen Lagers gemäß Fig. einströmende Luft verursacht einen Druck, welcher im wesentlichen dem auf die Oberfläche des Tragteils 4 über die Gesamtfläche einer Vertiefung 12 einwirkenden Druck entspricht. Dieses Verhalten ist darin begründet, daß die Luft beim Durchtritt durch den Spalt 5 zwischen dem Lagerteil 10 und dem Tragteil 4 (wie durch Pfeile angedeutet) gedrosselt wird, wobei durch die auslaßseitige Drosselwirkung der Druck in der Vertiefung 12 aufrechterhalten wird.
Bei Ausführung des Lagerteils in der beschriebenen Weise wird die komprimierte Luft der Vertiefung 12 ohne Begrenzung zugeführt, wobei mit dem Größerwerden des Spaltes 5 die Strömungsgeschwindigkeit der Luft immer mehr erhöht wird, was zu dem Nachteil führt,
030063/0865
daß das Lagerteil zu Instabilität und zu selbsterregten Schwingungen neigt.
Bei den in Fig. 1 bis 3 schematisch dargestellten Ausführungsbeispielen sind der Durchmesser der Düse, die Größe der Vertiefung und die Breite des Spaltes 5 zwischen Lagerteil und dem Tragteil 4 gegenüber den tatsächlichen Verhältnissen vergrößert dargestellt. Bei praktischen Ausführungen liegen der Durchmesser der Düse unter einem Millimeter und die Größe der Vertiefung und die Breite C des Spaltes bei einigen ,um.
Gegenüber diesen bekannten, mit den angeführten Nachteilen behafteten Ausführungsformen hydrostatischer Lager ist das hydrostatische Lager gemäß der Erfindung so ausgebildet, daß zur Sicherung einer stabilen Lastaufnahme und einer stoßfreien Betriebsweise einmal die Belastung bezogen auf eine Spaltbreitenänderung vergrößert wird und zum anderen die Strömungseinlaßgeschwindigkeit begrenzt sowie die für die Wirbelbildung ursächliche Kammer und damit die unerwünschten, selbsterreglen > Schwingungen beseitigt werden.
Die Ausführungsform der Erfindung umfaßt ein hydrostatisches Lager in Form eines Blockes oder einer flachen Scheibe mit einer Eintrittsöffnung für die Zuführung des Strömungsmediums, eine Düse zur Drosselung der Strömungsgeschwindigkeit des Strömungsmediums auf der Einlaßseite und eine Vertiefung in der dem Tragteil zugewandten Seite des Lagerteils, wobei die Größe der Vertiefung im wesentlichen gleich der Breite des Spaltes zwischen dem Lagerteil und dem Tragteil des hydrostatischen Lagers gewählt und wobei das Strömungsmedium an der Auslaßseite des Lagers durch die Endbereiche der Vertiefung gedrosselt wird.
Diese Ausführungsform wird anhand der Fign. 4 bis 9 näher erläutert.
Ö30Ö63/08BS
Die Schnittdarstellung gemäß Fig. 4 zeigt das Prinzip des hydrostatischen Lagers. Die auf einen gewünschten Atmosphärenüberdruck gebrachte Luft wird der Eintritts öffnung 31 über eine nicht dargestellte Zuführungseinrichtung, wie beispielsweise über das Verbindungsrohr eines'Kompressors, zugeführt. Auf der Einlaßseite nimmt anschließend eine Düse 14 eine Drosselung der Luft vor, wie dies durch die ausgezogenen Pfeile angedeutet ist, wodurch die Strömungsgeschwindigkeit begrenzt wird. Bei einem Durchmesser von 50 mm für das Lagerteil wird der Durchmesser der Düse 14 vorzugsweise zu o. 5mm oder geringer gewählt. Über die Düse 14 gelangt die Luft in eine Vertiefung 15. Für die Größe der Vertiefung 15 wird ein Betrag gewählt, der im wesentlichen mit der Breite C des Spaltes 5 übereinstimmt und üblicherweise bei einigen ,um liegt. Durch diese Ausbildung des hydrostatischen Lagers wird die Luft an den Endbereichen 16a der Vertiefung gedrosselt, wie dies durch die gestrichtelten Pfeile angedeutet ist, um so eine auslaßseitige D ross el wirkung hervorzurufen.
In Fig. 4 sei C die Breiiedes Spaltes 5, C der Abstand zwischen der
S Jri
Oberfläche des Tragteils 4 und der Unterseite der Vertiefung 15, D! der Durchmesser der Düse 14, D der Durchmesser der Vertiefung
15 und D der Durchmesser des Lagerteils 16 des hydrostatischen
et
Lagers. Bei Wahl des Verhältnisses zwischen der Breite C des Spaltes
5 und dem Abstand Cn zur Unterseite der Vertiefung 14, d.h. ß = C /C„,
K. S it
zu ß = 0,2. . ..0, 7 konnte die wirksamste Drosselwirkung auf der Auslaßseite festgestellt werden. Es sei bemerkt, daß bei gleichen Werten für Spalt 5 und Vertiefung 14 das Verhältnis ß = 0, 5 wird. Bei der Dimensionierung ist einerseits zu berücksichtigen, daß mit Vergrößerung des Durchmessers D der Vertiefung die Druckaufnahmefähigkeit des
Lagerteils 16 erhöht wird; andererseits sollte für die eingangsseitige Drosselung der Durchmesser der Vertiefung vorteilhafterweise mit dem Durchmesser der Düse in einem geeigneten Verhältnis stehen, wobei das mit % - In (D /D )/ In (D /D.) ausgedrückte Verhältnis
el S SL
030063/08^1
dieser Durchmesser günstigerweise zu Λ· = O, 02.. .0 , 06 gewählt wird. Obgleich weiter oben bereits angeführt wurde, daß der Durchmesser D. der Düse 13 vorzugsweise bei 0, 5 mm oder weniger liegen sollte, wenn diese Größe in Beziehung zum Durchmesser D des Lagerteils
et
16 gesetzt wird, konnte für das Verhältnis 0( = D./D der Bereich 0, 0, 001 = ^ = 0, 01 als optimaler Wert ermittelt werden.
Fig. 5 zeigt eine perspektivische Ansicht des Lagerteils 17 des hydrostatischen Lagers. In Fig. 5 werden mit Bezugsziffer 18 eine Zuführungsöffnung, mit Bezugs ziffer 19 eine Düse und mit Bezugsziffer 20 eine dem (nicht dargestellten) Tragteil zugewandte Vertiefung gekennzeichnet. Bezugsziffer 21 kennzeichnet die Bohrungen für die Befestigungsschrauben.
In Fig. 6 ist eine Ausführung einer Schlittenführung dargestellt, auf welcher das vorstehend beschriebene hydrostatische Lagerteil angebracht ist. Die Darstellung zeigt als Beispiel eine ζwangsgeführte Lagerung, bei welcher ein Schlitten 22 so ausgelegt ist, daß dieser eine Führung (Tragteil) 23 umfaßt und bei der hydrostatische Lagerleisten 24 , 24 und 24 am Schlitten 22 angebracht sind, um eine
J- et O
Gleitbewegung des Schlittens 22 in einer kontaktlosen Verbindung zwischen Schlitten und Führung zu ermöglichen. Über eine Luftzuführungsbohrung 25 erhalten die innerhalb des Schlittens 22 vorgesehenen Lagerleisten 24 Druckluft zugeführt und lassen die Luft gegen die Führung 23 ausströmen, um auf diese Weise eine Auftriebskraft hervorzurufen.
Fig. 7 zeigt eine zwangsgeführte Schlittenanordnung, die gemäß Fig. ausgebildet ist. Ein Schlitten 27 umgreift eine Führung (Tragteil) 2 6, wobei hydrostatische Lagerleisten 28 an den der Führung 26 zugewandten Innenflächen des Schlittens 27 angebracht sind. Gemäß Fig. 7 wirkt eine Kraft F auf die Oberseite des Schlittens 27, wie dies durch einen Pfeil angedeutet ist. Mit den Bezugsziffern 28 und 28 sind die Lager—
030063/0868
leisten auf der belasteten Seite und mit den Bezugsziffern 28 und 2 8 auf der lastfreien Seite gekennzeichnet. Die mit den Bezugsziffern 28 und 2 8 bezeichneten Lagerleisten stehen in keinem direkten Zusammenhang mit der Belastung,, sondern sind zur Aufrechterhaltung einer stabilen Gleitbewegung vorgesehen.
Die Fig. 8 und 9 zeigen die Meßergebnisse des Belastungsverhaltens und der Druckverteilung für ein Lagerteil, welches die Drosselung des Strömungsmediums gemäß Fig. 1 nur auf der Einlaßseite vornimmt, für ein Lagerteil, welches die Drosselung des Strömungsmediums gemäß Fig. 3 nur auf der Auslaßseite vornimmt, und für das erfindungsgemäße Lagerteil, welches eine Drosselung des Strömungsmediums sowohl auf der Einlaßseite als auf der Auslaßseite vornimmt, wobei die angeführten Beispiele in der weiter oben beschriebenen Weise ausgebildet sind. Die Benennungen der verschiedenen Größen der Lagerteile wurden in Fig. 6 in der gleichen Weise wie in den Fig. 1 und 3 vorgenommen (so ist beispielsweise der Durchmesser der Düse jeweils mit D. bezeichnet). Um zu miteinander vergleichbaren Meßbedingungen zu kommen, wurden außerdem der Durchmesser D der Lagerteile zu D =
a a
50 mm, die Breite C des Spaltes zu C =5 ,um und der Druck P
S^S/ O
der zugeführten Luft zu 5 Atmosphären gewählt.
In Fig. 8 ist ein einer graphischen Darstellung der Zusammenhang zwischen Verschiebung und Belastung gezeigt, wobei auf der Ordinate die
Belastung F/ (lc* D P /4) und auf der Abszisse der Verschiebungsa ο
koeffizient S = Δ h/C als Verhältnis der Spaltverschiebung Δ h zur vorgegebenen Spaltbreite C aufgetragen ist. Wie die Darstellung zeigt, wird durch Anwendung einer einlaßseitigen und auslaßseitigen Drosselung das erfindungsgemäße Lagerteil in die Lage versetzt, eine Belastung von ungefähr 53 % des insgesamt zugeführten Druckes aufzunehmen, wenn die Breite des Spaltes zu Null wird (d.h. Δ h = C
bzw. £ = I)5 wie dies aus Kurve a zu entnehmen ist. Wird allein eine
S *—*
030ÖS3/086S
ausgangsseitige Drosselung gemäß Fig. 3 verwendet, wie dies in entsprechender Weise durch die Kurve b_ dargestellt ist, läßt das Lagerteil für S = 1 nur eine Belastung von 40 % zu. Für den Fall, daß nur eine einlaßseitige Drosselung gemäß Fig. 1 eingesetzt wird, kann nur die in Kurve c_ gezeigte Belastung aufgenommen werden. Oder anders ausgedrückt, lassen sich bei Anwendung des erfindungsgemäßen Lagerteils gegenüber Lagerteilen mit ausgangsseitiger oder eingangsseitiger Drosselung trotz gleicher Belastung die Änderungen der Spaltbreite herabsetzen und damit die Stabilität erhöhen. Im Vergleich mit einer Feder bedeutet dies eine Feder mit hohem Elastizitätsmodul, welche dauernd in der Lage ist, eine stabile Belastung aufzunehmen. In den angeführten Ausführungsbeispielen waren die Werte O( , β und \ für das Lagerteil wie folgt angesetzt:
(1) im Fall des erfindungsgemäßen Lagerteils mit einlaßseitiger und auslaßseitiger Drosselung: Oi"= 0,004, ß = 0, 5 und Ά = 0,055;
(2) im Fall des Lagerteils mit auslaßseitiger Drosselung gemäß Fig. 3: O( = 0, 08, ß = 0, 5 und X = 0, 055; und
(3) im Fall des Lagerteils mit einlaßseitiger Drosselung gemäß Fig. 1: D( = 0,04, ß = 1 (Größe der Vertiefung gleich Null).
Fig. 9 zeigt in graphischer Darstellung die Druckverteilung für die· drei beschriebenen Lagerteil-Ausführungen, wobei der Verschiebungskoeffizient 6 aus Fig. 8 mit 0, 8 angesetzt ist, was einer Verschiebung von
80 % in bezug auf die vorgegebene Spaltbreite entspricht. In dieser Darstellung ist auf der Abszisse das Verhältnis zwischen dem Abstand D/2 von der Mitte des Lagerteils zum Umfang und dem Radius D /2
et
des kreisförmigen Lagerteils und auf der Ordinate das Verhältnis P/P zwischen dem Druck im Abstand D/2 und dem zugeführten Druck P aufgetragen. In Fig. 9 sind als ausgezogene Linien die Kurve a der belasteten Seite und die Kurve a der lastfreien Seiten für das Lagerteil
Ct
mit einlaßseitiger und auslaßseitiger Drosselung dargestellt. In ent-
030063/0868.
sprechender Weise beziehen sich die gestrichelten Kurven bΛ und b
auf das Lagerteil gemäß Fig. 3 mit auslaßseitiger Drosselung, wobei
Kurve b für die belastete Seite und Kurve b für die lastfreie Seite 1 Λ
eines solchen Lagerteils gilt. Des weiteren beziehen sich die als strichpunktierte Linien dargestellten Kurven c und c auf die belastete
JL Λ
Seite und die lastfreie Seite des Lagerteils gemäß Pig. I mit einlaßseitiger Drosselung. Wie aus Fig. 9 ersichtlich ist, besteht im Fall des Lagerteils gemäß Fig 1 mit einlaßseitiger Drosselung nur ein sehr geringer Druckunterschied zwischen der belasteten Seite c und der lastfreien Seite co des Lagerteils, womit die mit Kurve c in Fig. angezeigte Belastung nicht aufgenommen werden kann. Für das erfindungsgemäße Lagerteil mit einlaßseitiger und auslaßseitiger Drosselung und für das bekannte Lagerteil gemäß Fig. 3 mit auslaßseitiger Drosselung sind die Werte der Druckverhältnisse für die belasteten Seite im wesentlichen gleich. Für die lastfreie Seite ist jedoch das Druckverhältnis des erfindungsgemäßen Lagerteils gegenüber dem Lagerteil mit auslaßseitiger Drosselung beträchtlich herabgesetzt. Im speziellen beträgt das Druckverhältnis unmittelbar unterhalb der Düse nur 0,7. Dies dürfte dem Umstand zuzuschreiben zu sein, daß bei Einwirkung einer Belastung der Spalt auf der lastfreien Seite des Lagerteils im Vergleich zur Größe der Vertiefung vergrößert und clarüberhinaus die Strömungsgeschwindigkeit der Luft durch die einlaßseitige Drosselung begrenzt wird, wodurch die Luft.über den vergrößerten Spalt abfließen kann,, um den Druck auf der lastfreien Seite abzubauen. Dementsprechend ruft bei Anwendung einer solchen zwangsgeführten Lagerung die Druckdifferenz zwischen der belasteten Seite und der lastfreien Seite des Lagerteils eine Kraft hervor, welche zur Aufnahme der Last zur Verfügung steht. Im Fall des erfindungsgemäßen Lagerteils wird deshalb innerhalb des mit ausgezogenen Linien schraffierten Bereichs A eine Druckdifferenz hervorgerufen, welche das Bereitstellen einer Tragkraft kennzeichnet, y/ährend im Fall des Lagerteils mit auslaßseitiger Drosselung einer Tragkraft nur innerhalb des rait gestrichelten Linien schraffierten Bereichs B bereitgestellt v/ird. -
Um gleiche Bedingungen zu schaffen ist hierbei der Wert 9\> für beide Lagerteile mit 0,055 gewählt.
Weiterhin wird bei dem erfindungsgemäßen Lagerteil die Aufrechterhaltung des Drucks durch die auslaßseitige Luft drosselung bewirkt, während die einlaßseitige Drosselung nur eine Begrenzung der Strömungsgeschwindigkeit vornimmt. Dementsprechend ist das er-findungsgemäße Lagerteil in Aufbau und Funktionsweise verschieden von dem in Fig. 3 gezeigten Lagerteil, bei welchem eine Kammer vorgesehen ist, damit der Druck durch die einlaßsseitige Drosselwirkung aufrechterhalten wird. Um auf diese Weise eine kammerartige Ausdehnung der Luft und gleichzeitig eine Aufrechterhaltung des Druckes zu bewirken, ist es notwendig, daß ein großes inneres Volumen bereitgehalten wird, wozu die Tiefe der Kammer wenigstens zu einigen hundert .um gewählt werden muß. Damit ergibt sich für die Tiefe der Kammer etwa der hundertfache Betrag gegenüber der Spaltbreite von einigen,um zwischen Lagerteil und Tragteil. Dementsprechend ist die Luftmenge in der Kammer in starkem Maße von geringen Änderungen des Spaltes abhängig, ganz im Gegensatz zur Luft in der Vertiefung des erfindungsgemäßen Lagerteils. Dieser Sachverhalt ist darin begründet, daß die Kammer keine auslaßseitige Drosselwirkung sondern nur eine einlaßseitige Drosselwirkung aufweist; somit werden auch für den Fall, daß ein so ausgebildetes Lagerteil auf der belasteten Seite oder auf der lastfreien Seite angebracht ist, Kurven mit ähnlich abfallendem Druckverlauf wie die Kurven C1 und c von Fig. 9 erhalten, wodurch keine ausreichend große Druckdifferenz verfügbar gemacht werden kann. Wie bereits angeführt ist die Ausdehnung der Luft in der Kammer außerdem für die Selbsterregung von Schwingungen verantwortlich, während in der erfindungsgemäßen Ausführung des Lagerteils kein solches inneres Volumen durch eine Kammer vorgesehen ist, welches eine Ausdehnung und damit eine Wirbelbildung der Luft bewirken könnte. Somit besteht keine Möglichkeit zur Selbsterregung von Schwingungen; stattdessen
030083/0866
wird eine stabile Lastaufnahrne und Gleitbewegung ermöglicht.
In der vorstehend gegebenen Beschreibung wurde ein Ausführungsbeispiel einer zwangsgeführten Schlittenlagerung dargestellt, bei welcher hydrostatische Lagerleisten an einem Schlitten angebracht sind, wobei diese Lagerleisten auch an der Führung (Tragteil) angebracht oder als Teil des Schlittens oder der Führung in der oben beschriebenen Weise ausgebildet sein können. Auch für den Fall, daß die hydrostatischen Lagerleisten bei einer Schwebe vorrichtung Verwendung finden, bei der ein nur auf der Lastseite mit Lagerleisten versehene Schlitten für eine berührungsfreie Bewegung gegenüber der Führung ausgebildet ist, wird die Strömungsgeschwindigkeit durch die einlaßseitige Drosselwirkung begrenzt, um so den Schwebeabstand gering zu halten und damit eine stabile Lagerung ohne selbsterregte Schwindungen zu ermöglichen.
Obgleich in der vorstehend gegebenen Beschreibung Luft als Strömungsmedium angenommen wurde, lassen sich auch nichtkomprimierbare Strömungsmedien wie Öl oder dgl. für das erfindungsgemäße Lagerteil verwenden, wobei auch hiermit eine erhöhte Stabilität und eine stabile Betriebsweise erreicht werden können.
Unter Verwendung des oben beschriebenen Aufbaus nutzt das hydrostatische Lager die kombinierte Wirkung der einlaßseitigen und auslaßseitigen Drosselung auf und weist damit gegenüber bekannten hydrostatischen Lager eine höhere Stabilität und eine größere Belastbarkeit auf. Darüberhinaus sind die auftretenden Sp alt änderungen gering, und da durch das Strömungsmedium keine Wirbel hervorgerufen werden und somit keine selbsterregte Schwingungen auftreten können, wird eine stabile Arbeitsweise erreicht.
030063/086S
Die Ausführungsformen nach Fig. 10 bis 15 stellen eine vorteilhafte Weiterbildung der zuvor beschriebenen Ausbildung eines hydrostatischen Lagers dahingehend dar, daß die Anzahl der Luftzuführungsbohrungen erhöht wurde, um die Belastbarkeit und .Stabilität des Lagers weiter zu erhöhen.
Fig. 10 zeigt in einer Schnittdarstellung das hydrostatische Lager in einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung. Diese Darstellung ist im wesentlichen der in Fig. 4 gegebenen Darstellung ähnlich, wobei jedoch das Lager, gemäß Fig. 11, zusätzlich zur mittigen Luftzuführungsbohrung 13 vier periphere Luftzuführungsbohrungen 100 bis 103 aufweist, welche auf einem zur mittleren Luftzuführungsbohrung 13 zentrischen Kreisumfang mit dem Radius r angeordnet und durch gleiche Winkelbeträge voneinander getrennt sind. Die Anzahl der Luftzuführungsbohrungen 100 bis 103 ist nicht auf vier begrenzt, sondern kann vier oder mehr betragen. Durch das Anbringen der peripheren Luftzuführungsbohrungen 100 bis 103 wird ein hydrostatisches Lager erreicht, welches, wie Fig. 12 zeigt, im Gegensatz zum Verlauf (I) der Druckverteilung des Lagers gemäß Fig. 4, einen erhöhten Gesamtdruck aufweist, wie dies durch den Verlauf (II) der Druckverteilung entlang des Schnittes a-a und durch den Verlauf (III) der Druckverteilung entlang des Schnittes b-b ausgedrückt wird, wodurch eine verbesserte Belastbarkeit und Stabilität des Lagers erreicht wird.
Fig. 13 zeigt eine weitere Ausführungsform der Erfindung. Bei die- , ser Ausführung sind die peripheren Luftzuführungsbphrungen 100 bis 103 durch eine kreisförmig verlaufende Nut 104 untereinander verbunden, welche zentrisch zur Luftzuführungsbohrung 13 angeordnet ist. Dies Nut kann in verschiedener Weise, so z.B. V-förmig, U-förmig oder kreisförmig, ausgebildet sein. Das Produkt Nutbreite (Ψ) χ Tiefe b sollte jedoch vorzugsweise 0, 01 bis 0, 03 χ 0, 01 bis 0, 03 betragen. Durch Anbringen einer solchen Nut 104 läßt sich die interne
Druckverteilung des Lagers symmetrischer zur Mittenachse ausbilden. Dieses Verhalten wird durch Fig. 14 deutlich, worin mit IV die Druckverteilung längs des Schnittes a-a gemäß Fig. 13 und mit V die Druckverteilung längs des Schnittes b-b dargestellt ist. Fig. 15 zeigt eine weitere Ausgestaltung der Erfindung, bei welcher die mittlere Luftzuführungsbohrung 13 über die Nuten 105 mit den peripheren Luftzuführungsbohrungen 100 bis 103 verbunden sind. Durch die verbesserte Symmetrie zur Mittenachse wird eine erhöhte Belastbarkeit und Stabilität erreicht.
Die Erfindung läßt sich dahingehend zusammenfassen, daß ein hydrostatisches Lager beschrieben wird, dessen Belastbarkeit und Stabilität im Vergleich zu bekannten Ausführungen hydrostatischer Lager erhöht sind. Zur Erhöhung seiner Belastbarkeit und Stabilität weist das erfindungsgemäße hydrostatische Lager periphere Luft zuführung sbohrungen auf, welche im wesentlichen auf dem gleichen,zentrisch zu einer mittleren Luftzuführungsbohrung und zentrisch zu einer Vertiefung verlaufenden Kreisumfang angeordnet sind.
030063/088&
L e e r s e i t

Claims (4)

  1. BLUMBACH · VvESEF-? . CS-RGEN · KRAMER
    PATENTANWÄLTE IN MÜNCHEN UND WIESBADEN
    Patontconsult Radeclceslraße 43 8000 München 60 Telefon (089) 883603/883604 Telex 05-212313 Telegramme Patentconsult Patentconsult Sonnenberger Straße 43 6200 Wiesbaden Telefon (06121) 562943/561998 Telex 04-186237 Telegramme Patentconsult
    Canon K. K. Case
    Tokyo, Japan
    Hydrostatisches Lager P at e nta nsp rüc he
    ί ^Hydrostatisches Lager.
    gekennzeichnet durch folgende Merkmale:
    - erste und zweite gegeneinander bewegliche Teile;
    - eine in dem. ersten Teil ausgebildete, dem zweiten Teil zugewandte Vertiefung;
    - eine zentrale Luftzuführungsbohrung, die im wesentlichen mittig bezüglich der Vertiefung angeordnet ist; und
    - eine Vielzahl von peripheren Luftzuführungsbohrungen, welche in der Vertiefung auf einem im wesentlichen gleichen, gegenüber der zentralen Luftzuführungsbohrung zentrisch angeordneten Kreisumfang angeordnet sind.
  2. 2. Hydrostatisches Lager nach Anspruch 1,
    dadurch gekennzeichnet,
    daß vier oder mehr periphere Luftzuführungsbohrungen vorgesehen sind.
  3. 3. Hydrostatisches Lager nach Anspruch 1,
    dadurch gekennzeichnet,
    daß zwischen den peripheren Luftzuführungsbohrungen eine flache Nut ausgebildet ist.
    München: R. Kramer Dipl.-Ing. · W. Weser Dipl.-Phys. Dr. rer. nat. · E. Hoffmann Dipl.-Ing. Wiesbaden: P.G. Blumbach Dipl.-Ing. ■ P. Bergen Prof. Dr. jur. Dipl.-Ing., Pat.-Ass., Pat.-Anw. bis 1979 · G. Zwirr.er Dipl.-Ing. Dipl.-W.-Ing.
    030063/0866
    ORIGINAL INSPECTED
  4. 4. Hydrostatisches Lager, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der zentralen Luftzuführungsbohrung und den peripheren Luftzuführungsbohrungen eine flache Nut ausgebildet ist.
    030063/08ΘΒ
DE3023837A 1979-06-26 1980-06-25 Hydrostatisches lager Ceased DE3023837A1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8030779A JPS566919A (en) 1979-06-26 1979-06-26 Fluid bearing

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE3023837A1 true DE3023837A1 (de) 1981-01-15

Family

ID=13714610

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE3023837A Ceased DE3023837A1 (de) 1979-06-26 1980-06-25 Hydrostatisches lager

Country Status (3)

Country Link
US (1) US4448460A (de)
JP (1) JPS566919A (de)
DE (1) DE3023837A1 (de)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3336002A1 (de) * 1983-10-04 1985-04-18 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Fuehrungsvorrichtung
DE3517421A1 (de) * 1984-05-14 1985-11-21 Mitutoyo Mfg. Co., Ltd., Tokio/Tokyo Koordinatenmessinstrument
WO1986005727A1 (en) * 1985-04-02 1986-10-09 Sven Runo Vilhelm Gebelius Sawing method, and a device for utilization of the method
EP0211974A1 (de) * 1985-04-17 1987-03-04 KLG Kaufbeurer Leiterplattengesellschaft mbH Lagerkörper für ein Luftkissenlager eines Linearlagers
DE3901804C1 (en) * 1989-01-23 1990-04-12 Eduard Kuesters, Maschinenfabrik, Gmbh & Co Kg, 4150 Krefeld, De Roll
FR2662220A1 (fr) * 1990-05-15 1991-11-22 Maitre Ateliers Dispositif de sustentation par coussin d'air et ses applications.

Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58134226A (ja) * 1982-02-05 1983-08-10 Nippon Seiko Kk 静圧気体軸受スライド
JPS5963291A (ja) * 1982-10-05 1984-04-10 Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd 船内クレ−ン装置
JPS5971812A (ja) * 1982-10-19 1984-04-23 松下電器産業株式会社 スライドテ−ブル
US4606587A (en) * 1985-01-08 1986-08-19 Automated Quality Technologies, Inc. Precision air slide
JP2602648B2 (ja) * 1987-01-14 1997-04-23 キヤノン株式会社 回転駆動装置
DE3831676C1 (de) * 1988-09-17 1990-01-04 Ina Linear Technik Ohg, 6650 Homburg, De
US4913021A (en) * 1988-11-29 1990-04-03 Eastman Kodak Company High-precision punch and die apparatus
US4913012A (en) * 1988-11-29 1990-04-03 Eastman Kodak Company High-precision punch and die method
US5015509A (en) * 1990-03-27 1991-05-14 Italimpianti Of America, Inc. Hydrostatic bearing support of strip
US5069158A (en) * 1990-03-27 1991-12-03 Italimpianti Of America, Inc. Hydrostatic bearing support of strip
CH693071A5 (de) * 1998-01-23 2003-02-14 C R I D S A Cie De Rech S Ind Gleitlager.
US5980110A (en) * 1998-07-10 1999-11-09 Thomson Industries, Inc. Manifold for self-compensating hydrostatic bearing with integral compensators
DE19940103A1 (de) * 1999-08-24 2001-03-01 Zeiss Carl Fa Fluiddrucklager
JP4547647B2 (ja) * 2000-05-22 2010-09-22 Smc株式会社 推力制御可能なアクチュエータ
US6428210B1 (en) 2000-07-11 2002-08-06 Lintech Motion Control, Inc. Precision air bearing slide and stage assembly for controlled linear motion
US6939120B1 (en) * 2002-09-12 2005-09-06 Komag, Inc. Disk alignment apparatus and method for patterned media production
DE60318898T2 (de) * 2002-12-18 2009-01-22 Koninklijke Philips Electronics N.V. Gaslagersystem
NL2002935A1 (nl) * 2008-06-27 2009-12-29 Asml Netherlands Bv Object support positioning device and lithographic apparatus.
US10247183B2 (en) * 2013-03-13 2019-04-02 Howden Thomassen Compressors Bv Horizontal piston compressor
CN112371821B (zh) * 2016-01-12 2023-05-05 斯多里机械有限责任公司 用于制罐机的外侧流体静力学支承组件
TWI597436B (zh) 2016-03-15 2017-09-01 財團法人工業技術研究院 液靜壓軸承
US11863053B2 (en) * 2019-10-08 2024-01-02 Neapco Intellectual Property Holdings, Llc Lubricant supported electric motor with a monitoring port

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL143660B (nl) * 1965-03-27 1974-10-15 Philips Nv Axiaal leger.
JPS522455B2 (de) * 1972-01-17 1977-01-21
JPS5290755A (en) * 1976-01-24 1977-07-30 Takahashi Ikuo Static gas bearing
DE2604889A1 (de) * 1976-02-07 1977-08-11 Polysius Ag Hydrostatische lagerstelle sowie hydrostatisches lager mit mehreren solcher lagerstellen
CH601687A5 (de) * 1976-07-14 1978-07-14 Escher Wyss Ag
US4252381A (en) * 1979-09-13 1981-02-24 Cincinnati Milacron Inc. Machine slideway

Non-Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
DE Dissertation R. HERTEL Untersuchungen über die Tragfähigkeit von statisch arbeitenden kreis- förmigen Luftlagern S.61 *
DE-Z.: Feinwerktechnik 3465. H.I. 1961, R. UNTERBERGER Die Steifigkeit der Luftlager *
DE-Z.: Industrie Anzeiger 89 Jg.52, 1967, S.18-22 *
SU-Z.: Russian Engineering Journal Vol.58, Nr.9, 1978, S.29-31 *

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3336002A1 (de) * 1983-10-04 1985-04-18 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Fuehrungsvorrichtung
US4615568A (en) * 1983-10-04 1986-10-07 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Guide device
DE3517421A1 (de) * 1984-05-14 1985-11-21 Mitutoyo Mfg. Co., Ltd., Tokio/Tokyo Koordinatenmessinstrument
WO1986005727A1 (en) * 1985-04-02 1986-10-09 Sven Runo Vilhelm Gebelius Sawing method, and a device for utilization of the method
US4784029A (en) * 1985-04-02 1988-11-15 Gebelius Sven Runo Vilhelm Sawing method, and a device for utilization of the method
EP0211974A1 (de) * 1985-04-17 1987-03-04 KLG Kaufbeurer Leiterplattengesellschaft mbH Lagerkörper für ein Luftkissenlager eines Linearlagers
DE3901804C1 (en) * 1989-01-23 1990-04-12 Eduard Kuesters, Maschinenfabrik, Gmbh & Co Kg, 4150 Krefeld, De Roll
FR2662220A1 (fr) * 1990-05-15 1991-11-22 Maitre Ateliers Dispositif de sustentation par coussin d'air et ses applications.
WO1991018218A1 (fr) * 1990-05-15 1991-11-28 Ateliers Maitre Dispositif de sustentation par coussin d'air et ses applications

Also Published As

Publication number Publication date
JPS566919A (en) 1981-01-24
US4448460A (en) 1984-05-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3023837A1 (de) Hydrostatisches lager
DE1525193C3 (de) Pneumo- oder hydrostatisches Lager
DE2054750A1 (de) Einrichtung an fluidgefullten Zylindern mit fluidbetatigtem Kolben
DE69424525T2 (de) Doppelpfad-axial gerilltes hydrostatisches Lager
DE2220847C3 (de) Hydrostatische Axialkolbenmaschine
DE1080363B (de) Vorrichtung zum Schmieren von zwei gegeneinander gleitenden Flaechen, insbesondere an Werkzeugmaschinen
DE69002014T2 (de) Hydrostatische Tragevorrichtung für eine Gleitführung.
DE1775519C3 (de) Hydrostatisches Axial-Radiallager
DE2845580A1 (de) Hydrostatische gleitlagerung
DE3933698C2 (de) Aerostatisches Lager
DE3130760A1 (de) Dichtungsanordnung
DE2413273C3 (de) Druckminderventil
EP0200182A2 (de) Hydraulisches Steuerventil in Kolben-Schieber-Bauweise
DE2153989C2 (de) Hydrostatische oder aerostatische Lageranordnung
DE3303492C2 (de)
DE102008020673A1 (de) Abgestufte Statorschaufel
EP0840190A2 (de) Druckregler für den Medienstrom eines Hydrostatik-oder Aerostatik-Lagers
DE1400957C3 (de) Druckmittellager für radiale Belastung
DE69832138T2 (de) Hydrodynamisches Wellenlager mit einem konzentrischen, aussenhydrostatischen Lager
DE2456032A1 (de) Regler fuer die druckmittelschmierung eines hydrostatischen lagers
DE3204358A1 (de) Vorrichtung zur endlagendaempfung der bewegung eines kolbens mit zugehoeriger kolbenstange und weiter komponenten in einem hydraulischen zylinder
DE3533037C1 (de) In die Lagerflüssigkeits-Zuleitung zur Lagertasche einer hydrostatischen Lagerung oder Führung einschaltbarer Regler
DE931865C (de) Gleitlager mit kippbaren Bloecken
DE2604108C2 (de)
DE3204303A1 (de) Hydraulikzylinder

Legal Events

Date Code Title Description
8110 Request for examination paragraph 44
8176 Proceedings suspended because of application no:

Ref document number: 2845580

Country of ref document: DE

Format of ref document f/p: P

8178 Suspension cancelled
8131 Rejection