DE3010262A1 - Verfahren zum ausrichten und befestigen einer ablenkspulenanordnung - Google Patents

Verfahren zum ausrichten und befestigen einer ablenkspulenanordnung

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    • H01J29/46—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the ray or beam, e.g. electron-optical arrangement
    • H01J29/82—Mounting, supporting, spacing, or insulating electron-optical or ion-optical arrangements
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