DE2941475C2 - Linearlager - Google Patents
LinearlagerInfo
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- F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
- F16C33/30—Parts of ball or roller bearings
- F16C33/306—Means to synchronise movements
Description
Die Erfindung betrifft ein Linearlager, bestehend aus einem Tisch und einem Tischbett mit jeweils einer
Führungsschiene, wobei zwischen den Führungsschienen Wälzkörper angeordnet sind, die in einem
Wälzkörperkäfig gelagert sind und sich auf an beiden Führungsschienen vorgesehenen Laufbahnen abwälzen,
und mit mindestens einem Zahnrad, das mit einem Paar sich gegenüberliegenden Zahnstangen kämmt, von
welchen die eine Zahnstange mit dem Tisch und die andere Zahnstange mit dem Tischbett verbunden ist.
Eine Gerad- oder Linearlagervorrichtung wird verbreitet bei einem ΛΎ-Achsen-Aufspanntisch einer
Bearbeitungs- oder Meßvorrichtung für das Aufspannen eines zu bearbeitenden oder zu messenden Werkstücks
verwendet. Die bisherige Linearlagervorrichtung eignet sich jedoch nicht für die Verwendung bei einem
Präzisionsgerät, insbesondere für ein solches, das in der Halbleiterindustrie über lange Arbeitszeiträume in
Dauerbetrieb steht.
Bei der allgemein angewandten Aufspanntischeinrichtung werden Größe des Tisches, Abmessungen der
Halteanordnung (Wälzkörperkäfig) sowie die zulässigen Bewegungsstrecken des Tisches unter Berücksichtigung
der genannten Anordnung festgelegt, wobei sich die Halteanordnung über etwa die Hälfte der Strecke
bewegt, über welche der Tisch geführt ist. Infolgedessen trägt die Halteanordnung den Aufspanntisch derart, daß
sich die Anordnung nicht unzulässig gegenüber der Mitte des Aufspanntisches verschiebt, wodurch eine
Präzisionsführung des Aufspanntisches sichergestellt wird. Bei der bisherigen Linearlagervorrichtung kommt
es allerdings häufig vor, daß sich die Halteanordnung bei der wiederholten Pendelbewegung des Aufspanntisches
allmählich in einer der beiden Bewegungsrichtungen des Aufspanntisches verschiebt, was auf Maßabweichungen
bzw. Toleranzen an den Führungsschienen oder eine fehlerhafte Ausrichtung der gesamten Vorrichtung
zurückzuführen ist. Die genannte Verschiebung hat in nachteiliger Weise zur Folge, daß die Halteanordnung
schließlich über die Führungsschienen hinaussteht und möglicherweise an in der Nähe befindlichen Bauteilen
anstößt, so daß sich Beschädigungen der Halteanordnung selbst und/oder dieser Bauteile ergeben können.
ίο Auch wenn dieser ungünstigste Fall nicht eintritt, trägt
die Linearlagervorrichtung den Aufspanntisch in unerwünschter Weise nur in der Nähe ihres Umfangsrands,
so daß sich der Aufspanntisch gegenüber seiner vorgeschriebenen Stellung neigen kann und somit seine
vorgesehene Stellung nicht genau einhält, wodurch sich die Arbeitsgenauigkeit verschlechtert.
Aus diesem Grund ist es erforderlich, die Halteanordnung an einer Verschiebung über die Führungsschienen
hinaus zu hindern, sobald sie über eine Strecke entsprechend etwa der halben Bewegungsstrecke des
Aufspanntisches mitgenommen worden ist Falls eine solche Anordnung nicht vorgesehen werden kann, muß
die Halteanordnung zumindest an einem Überstehen über die Führungsschienen gehindert werden.
Zur Verhinderung einer solchen Verschiebung der Halteanordnung wurden bereits verschiedene Maßnahmen
getroffen.
Aus der CH-PS 2 91 290 sowie der US-PS 31 22 133 ist bekannt, an beiden Enden des Führungsschienenpaares
jeweils einen Anschlag anzubringen, um auch bei Verschiebung der Halteanordnung ihr Überlaufen über
die Anschläge hinaus zu verhindern. Trotz ihrer Einfachheit ist diese Maßnahme mit dem Nachteil
behaftet, daß dann, wenn der Aufspanntisch gewaltsam in der Richtung seiner Pendelbewegung verschoben
wird, in welche die Halteanordnung bereits abgewichen und an den Anschlag an einem Ende der getrennt
befestigten Führungsschiene zum Stillstand gekommen ist, die Abwälzelemente der Halteanordnung nicht
abrollen, sondern unter Erzeugung von Quietschgeräuschen über die Oberfläche der am Aufspanntisch
vorgesehenen Führungsschiene gleiten und damit in ungünstiger Weise Verschleiß zwischen den Abwälzelementen
der Halteanordnung und der Führungsschiene des Tisches auftritt. Wenn die Halteanordnung am
Anschlag anstößt, wird die Pendelgeschwindigkeit des Tisches mit resultierender Änderung des Beschleunigungsgrads
zu Null reduziert.
Dabei kann ein auf dem Tisch aufgespanntes Werkstück beschädigt oder aus seiner vorgeschriebenen Lage verschoben werden. Diese genannten Mängel geben Anlaß zu schwerwiegenden Problemen bei der Messung oder Bearbeitung eines Werkstücks, die mit einer Genauigkeit von mehr als Άοοο mm erfolgen soll.
Dabei kann ein auf dem Tisch aufgespanntes Werkstück beschädigt oder aus seiner vorgeschriebenen Lage verschoben werden. Diese genannten Mängel geben Anlaß zu schwerwiegenden Problemen bei der Messung oder Bearbeitung eines Werkstücks, die mit einer Genauigkeit von mehr als Άοοο mm erfolgen soll.
Die bekannte Maßnahme hat sich damit als nicht zufriedenstellend erwiesen.
Durch die GB-PS 10 32 547 ist ein Linearlager bekannt, bei dem der Wälzkörperkäfig der Halteanordnung
durch zwei stirnseitig angeordnete Zugfedern bei
6" relativer Verschiebung zwischen Tisch und Tischbett in
einer mittigen Lage gehalten wird. Hierdurch wird insbesondere verhindert, daß der Wälzkörperkäfig zu
weit nach außen wandert, was zur Folge hätte, daß der Tisch eine geneigte Lage einnimmt. Die Konstruktion
b5 dieses bekannten Linearlagers ist jedoch relativ
aufwendig; zusätzlich wird durch die Zugfedern die Leichtgängigkeit des Lagers behindert.
Eine weitere Möglichkeit zur Verhinderung der
Eine weitere Möglichkeit zur Verhinderung der
Verschiebung der Halteanordnung besteht darin, eine Zahnstange am Aufspanntisch und eine zweite, der
ersten Zahnstange zugewandte Zahnstange am Tischbett anzubringen, ein mit beiden Zahnstangen kämmendes
Ritzel zwischen diesen anzuordnen, oas mit dem pendelnd bewegbaren Aufspanntisch mitbewegbare
Ritzel mit der Halteanordnung zu verbinden und dabei letztere über eine Strecke entsprechend der Bewegungsstrecke
des Ritzels zu führen, nämlich über die halbe Bewegungsstrecke des Aufspanntisches.
Bei dieser beispielsweise aus der US-PS 8 05 839 und der GB-PS 10 32 547 bekannten Linearlager- oder
Geradführungsvorrichtung können die Abwälzelemente ruckfrei und reibungsarm auf den Führungsschienen
des Tisches abrollen, so daß eine Beschädigung dieser Elemente sowie der Oberfläche ihrer zugeordneten
Führungsschiene am Tisch vermieden wird. Da die Stellung der Halteanordnung durch die Bewegung des
mitbewegbaren Ritzels bestimmt wird, besteht unabhängig von der Häufigkeit der Hin- und Hs.rbewegungen
des Aufspanntisches keine Möglichkeit dafür, daß die sich ständig verschiebende Halteanordnung in der
Nähe des Aufspanntischrands ankommt oder im schlimmsten Fall über die Führungsschiene hinaussteht.
Bei dieser zweiten Möglichkeit ist die Anbringung von Anschlägen an beiden Enden der Führungsschienenpaare
unnötig, so daß Schwingungen oder Stöße des Aufspanntisches vermieden werden, die anderenfalls
beim Anstoßen der Halteanordnung an diesen Anschlägen auftreten könnten. j<
>
Diese bekannte Vorrichtung ist daher zwar sehr vorteilhaft, jedoch ist auch sie noch mit Mängeln
behaftet. Das Problem besteht hierbei insbesondere darin, daß bei der Fertigung und Montage der
Zahnstangen und des Ritzels Toleranzen auftreten, 3r>
durch welche sich die Bewegungen der Halteanordnung und der am Aufspanntisch montierten Zahnstange und
mithin die Bewegungen des Tisches und seiner Führungsschiene addieren und schließlich zu Schwingungen
und/oder Stoßen am Aufspanntisch führen. Diese ungünstigen Erscheinungen treten insbesondere
dann auffällig zutage, wenn sich der Aufspanntisch zu bewegen beginnt und wenn er zum Stillstand kommt.
Aufgabe der Erfindung ist somit die Ausschaltung der Mängel der bekannten Vorrichtungen durch Schaffung
eines verbesserten Linearlagers, bei welchem auch bei einer relativ Hin- und Her- bzw. Pendelbewegung
zwischen zwei jeweils mit einer Führungs- oder Leitschiene versehenen Teilen die Halteanordnung sich
nicht kontinuierlich zu den Enden der Leitschienen w verschiebt und schließlich über diese hinaussteht, und
bei welcher keines der beiden Teile Schwingungen oder Stoßen ausgesetzt ist.
Diese Aufgabe wird bei dem anfangs genannten Linearlager erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß der
Wälzkörperkäfig mit dem Zahnrad über ein elastisches Kupplungselement verbunden ist, derart, daß aufgrund
dessen elastischer Verformung eine Relativbewegung zwischen Zahnrad und Wälzkörperkäfig in dessen
Bewegungsrichtung gewährleistet ist. t>o
Durch die US-PS 33 96 670 ist eine hydraulische Vorrichtung bekannt, die als Pumpe oder als Motor
arbeiten kann. Zwischen dem Gehäuseteil und einem rotierenden Nockenteil ist ein Lager angeordnet, das
aus mehreren in einem Käfig angeordneten Lagerrollen b5
besteht. Am Gehäuse und am Nockenteil sind jeweils Zahnsegmente angeordnet, die mit ihren Zahnflächen
einander gegenüberstehen und in die ein Ritzel eingreift.
Das Ritzel ist mit dem Lagerkäfig verbunden und verhindert, daß sich dieser in seiner Bewegungsrichtung
derart verschiebt, daß er aus seinen Halteschienen herausgleitet Das am Nockenteil angeordnete Zahnsegment
ist nicht starr mit diesem verbunden, sondern federnd an diesem befestigt
Hier wird somit über das Ritzel eine elastische Verbindung zwischen dem Gehäuse und dem Nockenteil
geschaffen, während beim erfinaungsgemäßen Linearlager diese elastische Verbindung zwischen dem
Zahnrad (Ritzel) und der Halteanordnung, das heißt dem Wälzkörperkäfig besteht.
Das erfindungsgemäße Linearlager bietet gegenüber bisherigen Anordnungen dieser Art den Vorteil, das es
auf Fertigungstoleranzen und ungenaue Montage zurückzuführende Schwingungen und/oder Stöße bei
der Relativbewegung zwischen Tisch und Tischbett infolge der Wechselwirkung zwischen der Verschiebung
der Halteanordnung und derjenigen der Zahnstangen unterdrückt
Im folgenden sind bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert. Es
zeigt
F i g. 1 eine erste Ausführungsform eines Linearlagers in der Vorderansicht;
Fig.2 eine Seitenansicht des Linearlagers gemäß Fig. 1, in welcher sich der Zahnstangen-Ritzelmechanismus
in der Normalstellung befindet;
F i g. 3 eine F i g. 2 entsprechende Darstellung, in welcher die beiden Zahnstangen jedoch relativ zueinander
verschoben sind;
F i g. 4 und 5 Abwandlungen des Linearlagers nach F i g. 1; und
Fig.6 eine weitere Ausführungsform eines Linearlagers
in der Vorderansicht.
Die Erfindung ist im folgenden anhand eines Linearlagers für einen sogenannten -YK-(Aufspann-)-Tisch
beschrieben, der mit hoher Genauigkeit geführt werden soll. Fig. 1 zeigt einen Tisch 12 einer
Aufspannvorrichtung, die zum Aufspannen eines Werkstücks dient, der durch einen nicht dargestellten Antrieb
geradlinig in der Richtung senkrecht zur Zeichenebene hin- und herverschiebbar ist.
Aus Fig.2 ist ersichtlich, daß der Tisch 12 in einem
Tischbett 10 relativ zu diesem in den Richtungen .-Y1
und X2 hin- und hergehend verschiebbar ist. Am Tischbett 10 sind zwei parallel verlaufende Führungsbzw. Leitschienen 16 vorgesehen, während am Tisch 12
zwei parallel verlaufende Leitschienen 17 angebracht sind. Die Leitschienen 16 und 17 sind dabei jeweils
einander zugewandt. Jede Leitschiene ist mit einer V-förmigen Nut versehen, auf deren Führungsflächen
Kugeln bzw. Abwälzelemente einer Halteanordnung 20 abzurollen vermögen. Diese Halteanordnung 20 ist auf
beiden Seiten der Vorrichtung zwischen die betreffenden Leitschienen 16 und 17 eingefügt Sie weist eine
Anzahl von auf den Führungsflächen der Nuten der Leitschienen abrollenden Kugeln sowie ein Haltestück
(Kugelkäfig) zur Ausrichtung der Kugeln bzw. Abwälzelemente auf. Die Kugeln rollen auf den Führungsflächen
der Leitschienen ab, so daß der Tisch 12 relativ zum Tischbett 10 verschiebbar ist
Statt der Kugeln können auch Rollen eingesetzt werden; in diesem Fall muß jedoch die Querschnittsform der Führungsflächen der Leitschienen der Form
dieser Rollen angepaßt werden.
An beiden Seiten des Tisches 12 und des Tischbetts 10 ist jeweils ein Zahnradmechanismus 50 angeordnet.
Fig.2 zeigt den Tisch 12 mit dem Tischbett 10 und
einem der beiden Zahnradmechanismen 50 von der rechten Seite gemäß F i g. 1 her gesehen. Der Zahnradmechanismus
50 und ein mit diesem verbundenes elastisches Kupplungselement 58 bilden jeweils eine
Vorbelastungseinrichtung. Die beiden Zahnradmechanismen 50 bestehen jeweils aus zwei in Bewegungsrichtung
des Tisches 12 parallel zueinander angeordneten Zahnstangen 52 und 54 und einem mit beiden
Zahnstangen kämmenden Zahnrad 56. Das Zahnrad 56 wird vom Tisch 12 über seine halbe Bewegungsstrecke
hinweg mitgenommen. Die Bewegung des Zahnrads 56 wird über das elastische Kupplungselement 58 auf die
Halteanordnung 20 übertragen. Das Kupplungselement
58 und das Zahnrad 56 sind beispielsweise durch ein auf die Achse des Zahnrads 56 aufgesetztes Miniaturlager
59 miteinander verbunden. Fig.2 veranschaulicht die
Relativstellungen der beiden Zahnstangen 52, 54 und des Zahnrads 56 in der Normalstellung der Linearlagervorrichtung
14, in welcher sich der Tisch 12, das Tischbett 10, die beiden Leitschienen 16 und 17, die
Halteanordnung 20, die beiden Zahnstangen 52,54 und das Zahnrad 56 in einer Mittelstellung befinden.
Im folgenden ist anhand der Fig.2 und 3 die Arbeitsweise dieses Linearlagers beschrieben.
Wenn der Tisch 12 in Richtung X 2 über eine Strecke X aus seiner Normalstellung gemäß F i g. 2 verschoben
wird, bewegt sich auch die Zahnstange 54 über dieselbe Strecke X in der Richtung X 2. Das Zahnrad 56 bewegt
sich dabei gemäß F i g. 3 jedoch nur über die Hälfte der Strecke X in der Richtung X2. In Fig.3 ist die
Normalstellung der Elemente 12, 54, 56 in strichpunktierten Linien eingezeichnet. Die Bewegung des
Zahnrads 56 über die Strecke X/2 wird über das elastische Kupplungselement 58 auf die Halteanordnung
20 übertragen. Infolgedessen bewegt sich die Halteanordnung 20 ebenso wie das Zahnrad 56 über die
Strecke X/2 in Richtung X 2 aus der Normalstellung heraus. Falls hierbei eine Nichtübereinstimmung zwischen
den Bewegungen der Halteanordnung 20 und des Zahnrads 56 auftritt, wird diese Nichtübereinstimmung
durch Verformung des Kupplungselements 58 aufgefangen. Die Halteanordnung 20 wird dabei durch die sich
aus der Verformung des Kupplungselements 58 ergebende Kraft in eine Richtung gedrängt, in welcher
diese Nichtübereinstimmung bzw. Relativverschiebung aufgehoben wird. Schließlich verlagert sich die Halteanordnung
20 über eine Strecke X/2 relativ zur Leitschiene 16.
Wenn sich bei der wiederholten Pendelbewegung des Tisches 12 die Halteanordnung 20 verschiebt, wird diese
Abweichung durch die von der Verformung des elastischen Kupplungselements 58 herrührende und der
Verschiebung der Halteanordnung 20 entgegenwirkende Kraft auf einen Punkt in der Nähe der Normalstellung
der Halteanordnung 20 begrenzt
Letztere wird somit daran gehindert, sich bis zum Ende der Leitschiene 16 zu verschieben oder sich über
dieses Ende hinaus vorzuschieben. Das Kupplungselement 58 gemäß Fig. 1 besteht beispielsweise aus einer
dünnen elastischen Klaviersaite.
Die beiden Zahnradmechanismen 50 lassen also eine Verschiebung der Halteanordnung 20 nur über die
Hälfte der Bewegungsstrecke X des Tisches 12 zu. Die Strecke X/2 gibt also die Größe der Bewegungsstrecke
der Halteanordnung 20 an, deren Kugeln (Fig. 1) auf den Führungsflächen der Leitschienen 16 und 17
abrollen. Da die Halteanordnung 20 über das elastische Kupplungselement 58 mit dem Zahnrad 56 verbunden
ist, rollen die Kugeln ruckfrei bzw. reibungsarm auf den Führungsflächen ab, wodurch die Lebensdauer der
Vorrichtung verlängert wird.
Neben der beschriebenen Funktion bietet das elastische Kupplungselement 58 auch die im folgenden
genannten Vorteile. Wenn Zahnrad 56 und Halteanordnung 20 starr miteinander gekoppelt sind, wird durch
den Kugelkäfig eine abnormal große Kraft auf die
ίο Abwälzelemente ausgeübt, so daß der Tisch Schwingung
und/oder Stoßen ausgesetzt wird, durch welche ein auf dem Tisch 12 aufgespanntes Werkstück
beschädigt oder aus einer vorgesehenen Lage verschoben werden kann. Diese Schwierigkeiten werden durch
das elastische Kupplungselement 58 gemäß F i g. 1 bis 3 vermieden.
Insbesondere absorbiert das elastische Kupplungselement 58 Schwingungen und dergleichen, die anderenfalls
auf den Tisch 12 aufgrund von Fertigungstoleranzen und dergleichen an Zahnstangen 52,54 und Zahnrad
56 bei der Wechselwirkung zwischen Zahnrad 56 sowie Tisch 12 und Halteanordnung 20 einwirken könnten.
Dieses Kupplungselement 58 ermöglicht also eine praktisch ruckfreie und reibungsarme Verschiebung des
Tisches 12.
In F i g. 4 ist eine Abwandlung der Ausführungsform nach F i g. 1 bis 3 dargestellt, die mit einer anderen
Vorbelastungseinrichtung versehen ist. Dabei ist die Halteanordnung 20 (nicht dargestellt) nicht unmittelbar
mit dem Zahnrad 56, sondern mit einem Arm 60 verbunden, der mittels eines Miniaturkugellagers 59 an
der Achse des Zahnrads 56 angebracht ist, während das elastische Kupplungselement 58 am Vorderende des
Arms 60 vorgesehen ist und sich senkrecht zur Zeichnungsebene zur Rückseite erstreckt. Der Arm 60
wird von einer Scheibe bzw. Rolle 64 abgestützt, die am oberen Ende eines lotrecht auf dem Tischbett 10
stehenden Trägers gelagert ist und den Arm an einer entgegen dem Uhrzeigersinn erfolgenden Drehung um
die Achse des Zahnrads 56 hindert Da die Halteanordnung 20 durch das sich rechtwinklig zur Zahnradachse
bewegende Vorderende des Arms 60 mit genommen wird, bietet die Konstruktion nach Fig.4 dieselben
Vorteile wie bei der Ausführungsform nach F i g. 1 bis 3.
F i g. 5 veranschaulicht eine gegenüber F i g. 4 abgewandelte Vorbelastungseinrichtung.
Gemäß Fig.5 sind zwei Zahnräder 56 vorgesehen,
die beide mit den paarweise angeordneten Zahnstangen 52 und 54 kämmen. Die beiden Zahnräder 56 werden
durch ein Verbindungselement 66, das über zwei Miniaturlager 59 mit den Zahnradachsen verbunden ist,
in einem vorbestimmten gegenseitigen Abstand gehalten. Die Bewegung der beiden Zahnräder wird auf die
Halteanordnung 20 durch ein elastisches Kupplungselement 58 übertragen, dessen eines Ende praktisch in der
Mitte des Verbindungselementes 66 festgelegt ist, während sein anderes Ende mit der Halteanordnung 20
verbunden ist Die Abwandlung nach Fi g.5.gewährleistet dieselbe Wirkung wie die Ausführungsform nach
Fig.lbis3.
Nachstehend ist anhand von F i g. 6 noch eine weitere Ausführungsform der Erfindung erläutert, die eine
gegenüber der Ausführungsform nach Fig. 1 bis 3 unterschiedliche Vorbelastungseinrichtung aufweist Bei
dieser weiteren Ausführungsform sind Tisch 12 und Tischbett 10, wie vorher, durch zwei Linearlagervorrichtungen
verbunden. Im Gegensatz zur Ausführungsform nach Fi g. 1 sind jedoch nur ein einziger Zahnradmecha-
nismus 50 und ein Kupplungselement 58 an einer anderen Einbaustelle vorgesehen. Genauer gesagt, im
Mittelbereich von F i g. 6 sind zwei einander gegenüberstehende Zahnstangen 52,54 am Tischbett 10 bzw. Tisch
Yl angebracht. Zwischen den beiden Zahnstangen 52 und 54 ist ein mit diesen kämmendes Zahnrad 56
angeordnet. Die Welle oder Achse des Zahnrads 56 ist mit den beiden Kugelkäfig- bzw. Halteanordnungen 20
über ein elastisches Kupplungselement 58 verbunden, das seinerseits mittels eines Miniaturlagers 59 mit dem
Zahnrad 56 verbunden ist.
Die Vorrichtung gemäß F i g. 6 gewährleistet ersicht-
Die Vorrichtung gemäß F i g. 6 gewährleistet ersicht-
licherweise dieselbe Wirkung wie bei der Ausführungsform nach Fig. 1, so daß eine nähere Erläuterung
überflüssig sein dürfte.
Die Vorbelastungseinrichtung bei der Ausführungsform nach Fig.6 benötigt nur einen einzigen Zahnradmechanismus
50, wodurch die Vorteile einer verringerten Teilezahl sowie vereinfachter Montage und
Einstellung der Linearlagervorrichtung geboten werden. Außerdem können dabei Zahnstangen und Zahnrad
geschützt im Inneren der Anordnung untergebracht sein.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen
Claims (3)
1. Linearlager, bestehend aus einem Tisch und einem Tischbett mit jeweils einer Führungsschiene,
wobei zwischen den Führungsschienen Wälzkörper angeordnet sind, die in einem Wälzkörperkäfig
gelagert sind und sich auf an beiden Führungsschienen vorgesehenen Laufbahnen abwälzen, und mit
mindestens einem Zahnrad, das mit einem Paar sich gegenüberliegender Zahnstangen kämmt, von welchen
die eine Zahnstange mit dem Tisch und die andere Zahnstange mit dem Tischbett verbunden ist,
dadurch gekennzeichnet, daß der Wälzkörperkäfig (21) mit dem Zahnrad (56) über ein
elastisches Kuppl ingselement (58) verbunden ist,
derart, daß aufgrund dessen elastischer Verformung eine Relativbewegung zwischen Zahnrad (36) und
Wälzkörperkäfig (20) in dessen Bewegungsrichtung gewährleistet ist
2. Linearlager nach Anspruch I, dadurch gekennzeichnet, daß ein mit dem einen Ende mit der Achse
des Zahnrades (56) drehbar verbundener Arm (60) vorgesehen ist, an dessen anderem Ende das
elastische Kupplungselement (58) befestigt ist.
3. Linearlager nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zwei Zahnräder (56) vorgesehen sind,
zwischen deren Achsen ein Verbindungselement (66) angeordnet ist, an dem im Bereich zwischen den
Achsen der Zahnräder (56) das elastische Kupplungselement (58) befestigt ist.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12462378A JPS5551119A (en) | 1978-10-12 | 1978-10-12 | Linear bearing device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2941475A1 DE2941475A1 (de) | 1980-04-17 |
DE2941475C2 true DE2941475C2 (de) | 1984-02-09 |
Family
ID=14889992
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2941475A Expired DE2941475C2 (de) | 1978-10-12 | 1979-10-12 | Linearlager |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4262974A (de) |
JP (1) | JPS5551119A (de) |
DE (1) | DE2941475C2 (de) |
GB (1) | GB2033496B (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3729453A1 (de) * | 1987-09-03 | 1989-03-16 | Diehl Gmbh & Co | Kinetischer transformator |
Families Citing this family (36)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5914636B2 (ja) * | 1979-03-20 | 1984-04-05 | 一一 伊藤 | 回転ポンプ |
US4334717A (en) * | 1980-12-08 | 1982-06-15 | Automation Gages, Inc. | Ball slide |
US4374611A (en) * | 1981-06-05 | 1983-02-22 | Eastman Kodak Company | Compact X-Y positioning mechanism for microfiche |
JPS5844144U (ja) * | 1981-09-16 | 1983-03-24 | 日本精工株式会社 | Xyテ−ブルの接続機構 |
US4517778A (en) * | 1981-10-15 | 1985-05-21 | Nicolai Charles M | Earthquake-proof building with improved foundation |
US4400068A (en) * | 1982-04-19 | 1983-08-23 | Realist, Inc. | Microfiche reader carrier assembly |
JPS59129633A (ja) * | 1983-01-08 | 1984-07-26 | Canon Inc | ステージ装置 |
JPS59160870A (ja) * | 1983-02-22 | 1984-09-11 | ハイ−テツク・ペリフエラルズ・コ−ポレ−シヨン | デイスク駆動装置 |
US4631382A (en) * | 1983-09-19 | 1986-12-23 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Bed for electrical discharge machining apparatus |
FR2554532B1 (fr) * | 1983-11-04 | 1988-09-23 | Glaenzer Spicer Sa | Agencement de deux organes animes d'un mouvement de coulissement alternatif et son application dans un joint coulissant a tripode |
DE3433460A1 (de) * | 1984-08-22 | 1986-03-06 | Parke, Davis & Co., Morris Plains, N.J. | Fuehrungseinrichtung |
US4712890A (en) * | 1984-09-14 | 1987-12-15 | Bausch & Lomb Incorporated | Apparatus for adjusting play in a precision optical instrument |
JPS61136805A (ja) * | 1984-12-08 | 1986-06-24 | Nippon Seiko Kk | リニアガイド装置 |
DE3539860A1 (de) * | 1985-11-09 | 1987-05-14 | Kugelfischer G Schaefer & Co | Kugelhuelse |
DE3544919A1 (de) * | 1985-12-19 | 1987-06-25 | Skf Gmbh | Lineares waelzlager |
US5180230A (en) * | 1991-06-12 | 1993-01-19 | Etec Systems, Inc. | Rolling element cage constraint |
JP3624367B2 (ja) * | 1999-12-09 | 2005-03-02 | 日産自動車株式会社 | トロイダル型無段変速機 |
KR100905151B1 (ko) | 2001-02-22 | 2009-06-29 | 쉬니베르거 홀딩 아게 | 롤링 요소를 위해 확동 안내되는 케이지를 갖는 선형운동 가이드 |
JP4287319B2 (ja) * | 2004-04-05 | 2009-07-01 | 株式会社ブリヂストン | インホイールモータシステム |
WO2007026632A1 (ja) * | 2005-08-31 | 2007-03-08 | Thk Co., Ltd. | ガイドテーブル装置 |
EP2213890B1 (de) * | 2009-02-03 | 2013-11-27 | Ab Skf | Linearführung mit Klemmvorrichtung |
JP6305249B2 (ja) * | 2013-07-16 | 2018-04-04 | 株式会社平出精密 | ステージ装置 |
CN103639319B (zh) * | 2013-11-27 | 2016-01-06 | 梧州恒声电子科技有限公司 | 模具加工接料工艺 |
CN103639320B (zh) * | 2013-11-27 | 2016-03-02 | 梧州恒声电子科技有限公司 | 带有自动接料器的模具 |
CN111297305B (zh) | 2015-05-01 | 2023-02-28 | 直观外科手术操作公司 | 医疗器械后端中的光纤管理 |
CN105081854B (zh) * | 2015-10-08 | 2017-04-05 | 三星智能科技盐城有限公司 | 一种抑制机床导轨爬行的装置 |
WO2019193759A1 (ja) | 2018-04-06 | 2019-10-10 | オリンパス株式会社 | スライドアクチュエータ |
WO2019202691A1 (ja) * | 2018-04-18 | 2019-10-24 | オリンパス株式会社 | スライドアクチュエータ |
TWI703277B (zh) * | 2018-05-31 | 2020-09-01 | 全研科技有限公司 | 高荷重多軸調整裝置 |
CN110822042A (zh) * | 2018-08-14 | 2020-02-21 | 咸阳蓝博机械有限公司 | 一种齿条防蠕动交叉导轨副 |
WO2020070791A1 (ja) * | 2018-10-02 | 2020-04-09 | オリンパス株式会社 | スライドアクチュエータ |
CN209380278U (zh) * | 2018-12-07 | 2019-09-13 | 惠州迪芬尼声学科技股份有限公司 | 一种滑动导轨 |
CN209380277U (zh) * | 2018-12-07 | 2019-09-13 | 惠州迪芬尼声学科技股份有限公司 | 一种具有pom导槽的滑动导轨 |
WO2020179018A1 (ja) * | 2019-03-06 | 2020-09-10 | オリンパス株式会社 | スライドアクチュエータ |
CN113247561B (zh) * | 2021-06-09 | 2021-12-21 | 合肥井松智能科技股份有限公司 | 一种自动化冶金行业重型ems |
CN113931930B (zh) * | 2021-11-03 | 2024-03-12 | 江苏盛泰电力设备有限公司 | 一种矿山设备用的导向装置 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE7507730U (de) * | 1975-12-04 | Franke & Heydrich Kg | Vorrichtung zur Linearführung, insbesondere Geradführung für zwei Führungsschienen | |
US805839A (en) * | 1904-09-20 | 1905-11-28 | George W Campbell | Antifriction-bearing. |
CH291290A (fr) * | 1951-06-14 | 1953-06-15 | Borel Marcel | Dispositif d'arrêt d'un porte-billes d'un ensemble constitué par deux pièces déplaçables l'une par rapport à l'autre alternativement dans deux directions opposées. |
US3122133A (en) * | 1959-08-11 | 1964-02-25 | Landis Tool Co | Preloaded supporting means for grinding machine tool holders |
US3024073A (en) * | 1959-08-24 | 1962-03-06 | Hammond Machinery Builders Inc | Bearing structure and support for reciprocable member |
GB1032547A (en) * | 1964-10-03 | 1966-06-08 | Saginaw Machine And Tool Compa | Slide assembly |
US3396670A (en) * | 1966-10-10 | 1968-08-13 | Sundstrand Corp | Hydraulic pump or motor |
US3857618A (en) * | 1973-03-21 | 1974-12-31 | M Hagen | Synchronization and precision sequencing of ball retainer relationship to one-half of slide movement |
US3907385A (en) * | 1974-08-26 | 1975-09-23 | Vermont Marble Co | Arrangement for guiding press rams |
IT1048314B (it) * | 1975-01-06 | 1980-11-20 | Hoesch Werke Ag | Cuscinetto di sopporto a doppia fila di elementi di rotolamento |
DE2628623C3 (de) * | 1976-06-25 | 1979-06-21 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Andruck-Vorrichtung |
-
1978
- 1978-10-12 JP JP12462378A patent/JPS5551119A/ja active Pending
-
1979
- 1979-10-04 US US06/082,226 patent/US4262974A/en not_active Expired - Lifetime
- 1979-10-08 GB GB7934808A patent/GB2033496B/en not_active Expired
- 1979-10-12 DE DE2941475A patent/DE2941475C2/de not_active Expired
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3729453A1 (de) * | 1987-09-03 | 1989-03-16 | Diehl Gmbh & Co | Kinetischer transformator |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS5551119A (en) | 1980-04-14 |
GB2033496A (en) | 1980-05-21 |
US4262974A (en) | 1981-04-21 |
GB2033496B (en) | 1983-05-18 |
DE2941475A1 (de) | 1980-04-17 |
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