DE2941475C2 - Linearlager - Google Patents

Linearlager

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DE2941475C2
DE2941475C2 DE2941475A DE2941475A DE2941475C2 DE 2941475 C2 DE2941475 C2 DE 2941475C2 DE 2941475 A DE2941475 A DE 2941475A DE 2941475 A DE2941475 A DE 2941475A DE 2941475 C2 DE2941475 C2 DE 2941475C2
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    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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    • F16C33/30Parts of ball or roller bearings
    • F16C33/306Means to synchronise movements

Description

Die Erfindung betrifft ein Linearlager, bestehend aus einem Tisch und einem Tischbett mit jeweils einer Führungsschiene, wobei zwischen den Führungsschienen Wälzkörper angeordnet sind, die in einem Wälzkörperkäfig gelagert sind und sich auf an beiden Führungsschienen vorgesehenen Laufbahnen abwälzen, und mit mindestens einem Zahnrad, das mit einem Paar sich gegenüberliegenden Zahnstangen kämmt, von welchen die eine Zahnstange mit dem Tisch und die andere Zahnstange mit dem Tischbett verbunden ist.
Eine Gerad- oder Linearlagervorrichtung wird verbreitet bei einem ΛΎ-Achsen-Aufspanntisch einer Bearbeitungs- oder Meßvorrichtung für das Aufspannen eines zu bearbeitenden oder zu messenden Werkstücks verwendet. Die bisherige Linearlagervorrichtung eignet sich jedoch nicht für die Verwendung bei einem Präzisionsgerät, insbesondere für ein solches, das in der Halbleiterindustrie über lange Arbeitszeiträume in Dauerbetrieb steht.
Bei der allgemein angewandten Aufspanntischeinrichtung werden Größe des Tisches, Abmessungen der Halteanordnung (Wälzkörperkäfig) sowie die zulässigen Bewegungsstrecken des Tisches unter Berücksichtigung der genannten Anordnung festgelegt, wobei sich die Halteanordnung über etwa die Hälfte der Strecke bewegt, über welche der Tisch geführt ist. Infolgedessen trägt die Halteanordnung den Aufspanntisch derart, daß sich die Anordnung nicht unzulässig gegenüber der Mitte des Aufspanntisches verschiebt, wodurch eine Präzisionsführung des Aufspanntisches sichergestellt wird. Bei der bisherigen Linearlagervorrichtung kommt es allerdings häufig vor, daß sich die Halteanordnung bei der wiederholten Pendelbewegung des Aufspanntisches allmählich in einer der beiden Bewegungsrichtungen des Aufspanntisches verschiebt, was auf Maßabweichungen bzw. Toleranzen an den Führungsschienen oder eine fehlerhafte Ausrichtung der gesamten Vorrichtung zurückzuführen ist. Die genannte Verschiebung hat in nachteiliger Weise zur Folge, daß die Halteanordnung schließlich über die Führungsschienen hinaussteht und möglicherweise an in der Nähe befindlichen Bauteilen anstößt, so daß sich Beschädigungen der Halteanordnung selbst und/oder dieser Bauteile ergeben können.
ίο Auch wenn dieser ungünstigste Fall nicht eintritt, trägt die Linearlagervorrichtung den Aufspanntisch in unerwünschter Weise nur in der Nähe ihres Umfangsrands, so daß sich der Aufspanntisch gegenüber seiner vorgeschriebenen Stellung neigen kann und somit seine vorgesehene Stellung nicht genau einhält, wodurch sich die Arbeitsgenauigkeit verschlechtert.
Aus diesem Grund ist es erforderlich, die Halteanordnung an einer Verschiebung über die Führungsschienen hinaus zu hindern, sobald sie über eine Strecke entsprechend etwa der halben Bewegungsstrecke des Aufspanntisches mitgenommen worden ist Falls eine solche Anordnung nicht vorgesehen werden kann, muß die Halteanordnung zumindest an einem Überstehen über die Führungsschienen gehindert werden.
Zur Verhinderung einer solchen Verschiebung der Halteanordnung wurden bereits verschiedene Maßnahmen getroffen.
Aus der CH-PS 2 91 290 sowie der US-PS 31 22 133 ist bekannt, an beiden Enden des Führungsschienenpaares jeweils einen Anschlag anzubringen, um auch bei Verschiebung der Halteanordnung ihr Überlaufen über die Anschläge hinaus zu verhindern. Trotz ihrer Einfachheit ist diese Maßnahme mit dem Nachteil behaftet, daß dann, wenn der Aufspanntisch gewaltsam in der Richtung seiner Pendelbewegung verschoben wird, in welche die Halteanordnung bereits abgewichen und an den Anschlag an einem Ende der getrennt befestigten Führungsschiene zum Stillstand gekommen ist, die Abwälzelemente der Halteanordnung nicht abrollen, sondern unter Erzeugung von Quietschgeräuschen über die Oberfläche der am Aufspanntisch vorgesehenen Führungsschiene gleiten und damit in ungünstiger Weise Verschleiß zwischen den Abwälzelementen der Halteanordnung und der Führungsschiene des Tisches auftritt. Wenn die Halteanordnung am Anschlag anstößt, wird die Pendelgeschwindigkeit des Tisches mit resultierender Änderung des Beschleunigungsgrads zu Null reduziert.
Dabei kann ein auf dem Tisch aufgespanntes Werkstück beschädigt oder aus seiner vorgeschriebenen Lage verschoben werden. Diese genannten Mängel geben Anlaß zu schwerwiegenden Problemen bei der Messung oder Bearbeitung eines Werkstücks, die mit einer Genauigkeit von mehr als Άοοο mm erfolgen soll.
Die bekannte Maßnahme hat sich damit als nicht zufriedenstellend erwiesen.
Durch die GB-PS 10 32 547 ist ein Linearlager bekannt, bei dem der Wälzkörperkäfig der Halteanordnung durch zwei stirnseitig angeordnete Zugfedern bei
6" relativer Verschiebung zwischen Tisch und Tischbett in einer mittigen Lage gehalten wird. Hierdurch wird insbesondere verhindert, daß der Wälzkörperkäfig zu weit nach außen wandert, was zur Folge hätte, daß der Tisch eine geneigte Lage einnimmt. Die Konstruktion
b5 dieses bekannten Linearlagers ist jedoch relativ aufwendig; zusätzlich wird durch die Zugfedern die Leichtgängigkeit des Lagers behindert.
Eine weitere Möglichkeit zur Verhinderung der
Verschiebung der Halteanordnung besteht darin, eine Zahnstange am Aufspanntisch und eine zweite, der ersten Zahnstange zugewandte Zahnstange am Tischbett anzubringen, ein mit beiden Zahnstangen kämmendes Ritzel zwischen diesen anzuordnen, oas mit dem pendelnd bewegbaren Aufspanntisch mitbewegbare Ritzel mit der Halteanordnung zu verbinden und dabei letztere über eine Strecke entsprechend der Bewegungsstrecke des Ritzels zu führen, nämlich über die halbe Bewegungsstrecke des Aufspanntisches.
Bei dieser beispielsweise aus der US-PS 8 05 839 und der GB-PS 10 32 547 bekannten Linearlager- oder Geradführungsvorrichtung können die Abwälzelemente ruckfrei und reibungsarm auf den Führungsschienen des Tisches abrollen, so daß eine Beschädigung dieser Elemente sowie der Oberfläche ihrer zugeordneten Führungsschiene am Tisch vermieden wird. Da die Stellung der Halteanordnung durch die Bewegung des mitbewegbaren Ritzels bestimmt wird, besteht unabhängig von der Häufigkeit der Hin- und Hs.rbewegungen des Aufspanntisches keine Möglichkeit dafür, daß die sich ständig verschiebende Halteanordnung in der Nähe des Aufspanntischrands ankommt oder im schlimmsten Fall über die Führungsschiene hinaussteht. Bei dieser zweiten Möglichkeit ist die Anbringung von Anschlägen an beiden Enden der Führungsschienenpaare unnötig, so daß Schwingungen oder Stöße des Aufspanntisches vermieden werden, die anderenfalls beim Anstoßen der Halteanordnung an diesen Anschlägen auftreten könnten. j< >
Diese bekannte Vorrichtung ist daher zwar sehr vorteilhaft, jedoch ist auch sie noch mit Mängeln behaftet. Das Problem besteht hierbei insbesondere darin, daß bei der Fertigung und Montage der Zahnstangen und des Ritzels Toleranzen auftreten, 3r> durch welche sich die Bewegungen der Halteanordnung und der am Aufspanntisch montierten Zahnstange und mithin die Bewegungen des Tisches und seiner Führungsschiene addieren und schließlich zu Schwingungen und/oder Stoßen am Aufspanntisch führen. Diese ungünstigen Erscheinungen treten insbesondere dann auffällig zutage, wenn sich der Aufspanntisch zu bewegen beginnt und wenn er zum Stillstand kommt.
Aufgabe der Erfindung ist somit die Ausschaltung der Mängel der bekannten Vorrichtungen durch Schaffung eines verbesserten Linearlagers, bei welchem auch bei einer relativ Hin- und Her- bzw. Pendelbewegung zwischen zwei jeweils mit einer Führungs- oder Leitschiene versehenen Teilen die Halteanordnung sich nicht kontinuierlich zu den Enden der Leitschienen w verschiebt und schließlich über diese hinaussteht, und bei welcher keines der beiden Teile Schwingungen oder Stoßen ausgesetzt ist.
Diese Aufgabe wird bei dem anfangs genannten Linearlager erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß der Wälzkörperkäfig mit dem Zahnrad über ein elastisches Kupplungselement verbunden ist, derart, daß aufgrund dessen elastischer Verformung eine Relativbewegung zwischen Zahnrad und Wälzkörperkäfig in dessen Bewegungsrichtung gewährleistet ist. t>o
Durch die US-PS 33 96 670 ist eine hydraulische Vorrichtung bekannt, die als Pumpe oder als Motor arbeiten kann. Zwischen dem Gehäuseteil und einem rotierenden Nockenteil ist ein Lager angeordnet, das aus mehreren in einem Käfig angeordneten Lagerrollen b5 besteht. Am Gehäuse und am Nockenteil sind jeweils Zahnsegmente angeordnet, die mit ihren Zahnflächen einander gegenüberstehen und in die ein Ritzel eingreift.
Das Ritzel ist mit dem Lagerkäfig verbunden und verhindert, daß sich dieser in seiner Bewegungsrichtung derart verschiebt, daß er aus seinen Halteschienen herausgleitet Das am Nockenteil angeordnete Zahnsegment ist nicht starr mit diesem verbunden, sondern federnd an diesem befestigt
Hier wird somit über das Ritzel eine elastische Verbindung zwischen dem Gehäuse und dem Nockenteil geschaffen, während beim erfinaungsgemäßen Linearlager diese elastische Verbindung zwischen dem Zahnrad (Ritzel) und der Halteanordnung, das heißt dem Wälzkörperkäfig besteht.
Das erfindungsgemäße Linearlager bietet gegenüber bisherigen Anordnungen dieser Art den Vorteil, das es auf Fertigungstoleranzen und ungenaue Montage zurückzuführende Schwingungen und/oder Stöße bei der Relativbewegung zwischen Tisch und Tischbett infolge der Wechselwirkung zwischen der Verschiebung der Halteanordnung und derjenigen der Zahnstangen unterdrückt
Im folgenden sind bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigt
F i g. 1 eine erste Ausführungsform eines Linearlagers in der Vorderansicht;
Fig.2 eine Seitenansicht des Linearlagers gemäß Fig. 1, in welcher sich der Zahnstangen-Ritzelmechanismus in der Normalstellung befindet;
F i g. 3 eine F i g. 2 entsprechende Darstellung, in welcher die beiden Zahnstangen jedoch relativ zueinander verschoben sind;
F i g. 4 und 5 Abwandlungen des Linearlagers nach F i g. 1; und
Fig.6 eine weitere Ausführungsform eines Linearlagers in der Vorderansicht.
Die Erfindung ist im folgenden anhand eines Linearlagers für einen sogenannten -YK-(Aufspann-)-Tisch beschrieben, der mit hoher Genauigkeit geführt werden soll. Fig. 1 zeigt einen Tisch 12 einer Aufspannvorrichtung, die zum Aufspannen eines Werkstücks dient, der durch einen nicht dargestellten Antrieb geradlinig in der Richtung senkrecht zur Zeichenebene hin- und herverschiebbar ist.
Aus Fig.2 ist ersichtlich, daß der Tisch 12 in einem Tischbett 10 relativ zu diesem in den Richtungen .-Y1 und X2 hin- und hergehend verschiebbar ist. Am Tischbett 10 sind zwei parallel verlaufende Führungsbzw. Leitschienen 16 vorgesehen, während am Tisch 12 zwei parallel verlaufende Leitschienen 17 angebracht sind. Die Leitschienen 16 und 17 sind dabei jeweils einander zugewandt. Jede Leitschiene ist mit einer V-förmigen Nut versehen, auf deren Führungsflächen Kugeln bzw. Abwälzelemente einer Halteanordnung 20 abzurollen vermögen. Diese Halteanordnung 20 ist auf beiden Seiten der Vorrichtung zwischen die betreffenden Leitschienen 16 und 17 eingefügt Sie weist eine Anzahl von auf den Führungsflächen der Nuten der Leitschienen abrollenden Kugeln sowie ein Haltestück (Kugelkäfig) zur Ausrichtung der Kugeln bzw. Abwälzelemente auf. Die Kugeln rollen auf den Führungsflächen der Leitschienen ab, so daß der Tisch 12 relativ zum Tischbett 10 verschiebbar ist
Statt der Kugeln können auch Rollen eingesetzt werden; in diesem Fall muß jedoch die Querschnittsform der Führungsflächen der Leitschienen der Form dieser Rollen angepaßt werden.
An beiden Seiten des Tisches 12 und des Tischbetts 10 ist jeweils ein Zahnradmechanismus 50 angeordnet.
Fig.2 zeigt den Tisch 12 mit dem Tischbett 10 und einem der beiden Zahnradmechanismen 50 von der rechten Seite gemäß F i g. 1 her gesehen. Der Zahnradmechanismus 50 und ein mit diesem verbundenes elastisches Kupplungselement 58 bilden jeweils eine Vorbelastungseinrichtung. Die beiden Zahnradmechanismen 50 bestehen jeweils aus zwei in Bewegungsrichtung des Tisches 12 parallel zueinander angeordneten Zahnstangen 52 und 54 und einem mit beiden Zahnstangen kämmenden Zahnrad 56. Das Zahnrad 56 wird vom Tisch 12 über seine halbe Bewegungsstrecke hinweg mitgenommen. Die Bewegung des Zahnrads 56 wird über das elastische Kupplungselement 58 auf die Halteanordnung 20 übertragen. Das Kupplungselement
58 und das Zahnrad 56 sind beispielsweise durch ein auf die Achse des Zahnrads 56 aufgesetztes Miniaturlager
59 miteinander verbunden. Fig.2 veranschaulicht die Relativstellungen der beiden Zahnstangen 52, 54 und des Zahnrads 56 in der Normalstellung der Linearlagervorrichtung 14, in welcher sich der Tisch 12, das Tischbett 10, die beiden Leitschienen 16 und 17, die Halteanordnung 20, die beiden Zahnstangen 52,54 und das Zahnrad 56 in einer Mittelstellung befinden.
Im folgenden ist anhand der Fig.2 und 3 die Arbeitsweise dieses Linearlagers beschrieben.
Wenn der Tisch 12 in Richtung X 2 über eine Strecke X aus seiner Normalstellung gemäß F i g. 2 verschoben wird, bewegt sich auch die Zahnstange 54 über dieselbe Strecke X in der Richtung X 2. Das Zahnrad 56 bewegt sich dabei gemäß F i g. 3 jedoch nur über die Hälfte der Strecke X in der Richtung X2. In Fig.3 ist die Normalstellung der Elemente 12, 54, 56 in strichpunktierten Linien eingezeichnet. Die Bewegung des Zahnrads 56 über die Strecke X/2 wird über das elastische Kupplungselement 58 auf die Halteanordnung 20 übertragen. Infolgedessen bewegt sich die Halteanordnung 20 ebenso wie das Zahnrad 56 über die Strecke X/2 in Richtung X 2 aus der Normalstellung heraus. Falls hierbei eine Nichtübereinstimmung zwischen den Bewegungen der Halteanordnung 20 und des Zahnrads 56 auftritt, wird diese Nichtübereinstimmung durch Verformung des Kupplungselements 58 aufgefangen. Die Halteanordnung 20 wird dabei durch die sich aus der Verformung des Kupplungselements 58 ergebende Kraft in eine Richtung gedrängt, in welcher diese Nichtübereinstimmung bzw. Relativverschiebung aufgehoben wird. Schließlich verlagert sich die Halteanordnung 20 über eine Strecke X/2 relativ zur Leitschiene 16.
Wenn sich bei der wiederholten Pendelbewegung des Tisches 12 die Halteanordnung 20 verschiebt, wird diese Abweichung durch die von der Verformung des elastischen Kupplungselements 58 herrührende und der Verschiebung der Halteanordnung 20 entgegenwirkende Kraft auf einen Punkt in der Nähe der Normalstellung der Halteanordnung 20 begrenzt
Letztere wird somit daran gehindert, sich bis zum Ende der Leitschiene 16 zu verschieben oder sich über dieses Ende hinaus vorzuschieben. Das Kupplungselement 58 gemäß Fig. 1 besteht beispielsweise aus einer dünnen elastischen Klaviersaite.
Die beiden Zahnradmechanismen 50 lassen also eine Verschiebung der Halteanordnung 20 nur über die Hälfte der Bewegungsstrecke X des Tisches 12 zu. Die Strecke X/2 gibt also die Größe der Bewegungsstrecke der Halteanordnung 20 an, deren Kugeln (Fig. 1) auf den Führungsflächen der Leitschienen 16 und 17 abrollen. Da die Halteanordnung 20 über das elastische Kupplungselement 58 mit dem Zahnrad 56 verbunden ist, rollen die Kugeln ruckfrei bzw. reibungsarm auf den Führungsflächen ab, wodurch die Lebensdauer der Vorrichtung verlängert wird.
Neben der beschriebenen Funktion bietet das elastische Kupplungselement 58 auch die im folgenden genannten Vorteile. Wenn Zahnrad 56 und Halteanordnung 20 starr miteinander gekoppelt sind, wird durch den Kugelkäfig eine abnormal große Kraft auf die
ίο Abwälzelemente ausgeübt, so daß der Tisch Schwingung und/oder Stoßen ausgesetzt wird, durch welche ein auf dem Tisch 12 aufgespanntes Werkstück beschädigt oder aus einer vorgesehenen Lage verschoben werden kann. Diese Schwierigkeiten werden durch das elastische Kupplungselement 58 gemäß F i g. 1 bis 3 vermieden.
Insbesondere absorbiert das elastische Kupplungselement 58 Schwingungen und dergleichen, die anderenfalls auf den Tisch 12 aufgrund von Fertigungstoleranzen und dergleichen an Zahnstangen 52,54 und Zahnrad 56 bei der Wechselwirkung zwischen Zahnrad 56 sowie Tisch 12 und Halteanordnung 20 einwirken könnten. Dieses Kupplungselement 58 ermöglicht also eine praktisch ruckfreie und reibungsarme Verschiebung des Tisches 12.
In F i g. 4 ist eine Abwandlung der Ausführungsform nach F i g. 1 bis 3 dargestellt, die mit einer anderen Vorbelastungseinrichtung versehen ist. Dabei ist die Halteanordnung 20 (nicht dargestellt) nicht unmittelbar mit dem Zahnrad 56, sondern mit einem Arm 60 verbunden, der mittels eines Miniaturkugellagers 59 an der Achse des Zahnrads 56 angebracht ist, während das elastische Kupplungselement 58 am Vorderende des Arms 60 vorgesehen ist und sich senkrecht zur Zeichnungsebene zur Rückseite erstreckt. Der Arm 60 wird von einer Scheibe bzw. Rolle 64 abgestützt, die am oberen Ende eines lotrecht auf dem Tischbett 10 stehenden Trägers gelagert ist und den Arm an einer entgegen dem Uhrzeigersinn erfolgenden Drehung um die Achse des Zahnrads 56 hindert Da die Halteanordnung 20 durch das sich rechtwinklig zur Zahnradachse bewegende Vorderende des Arms 60 mit genommen wird, bietet die Konstruktion nach Fig.4 dieselben Vorteile wie bei der Ausführungsform nach F i g. 1 bis 3.
F i g. 5 veranschaulicht eine gegenüber F i g. 4 abgewandelte Vorbelastungseinrichtung.
Gemäß Fig.5 sind zwei Zahnräder 56 vorgesehen, die beide mit den paarweise angeordneten Zahnstangen 52 und 54 kämmen. Die beiden Zahnräder 56 werden durch ein Verbindungselement 66, das über zwei Miniaturlager 59 mit den Zahnradachsen verbunden ist, in einem vorbestimmten gegenseitigen Abstand gehalten. Die Bewegung der beiden Zahnräder wird auf die Halteanordnung 20 durch ein elastisches Kupplungselement 58 übertragen, dessen eines Ende praktisch in der Mitte des Verbindungselementes 66 festgelegt ist, während sein anderes Ende mit der Halteanordnung 20 verbunden ist Die Abwandlung nach Fi g.5.gewährleistet dieselbe Wirkung wie die Ausführungsform nach Fig.lbis3.
Nachstehend ist anhand von F i g. 6 noch eine weitere Ausführungsform der Erfindung erläutert, die eine gegenüber der Ausführungsform nach Fig. 1 bis 3 unterschiedliche Vorbelastungseinrichtung aufweist Bei dieser weiteren Ausführungsform sind Tisch 12 und Tischbett 10, wie vorher, durch zwei Linearlagervorrichtungen verbunden. Im Gegensatz zur Ausführungsform nach Fi g. 1 sind jedoch nur ein einziger Zahnradmecha-
nismus 50 und ein Kupplungselement 58 an einer anderen Einbaustelle vorgesehen. Genauer gesagt, im Mittelbereich von F i g. 6 sind zwei einander gegenüberstehende Zahnstangen 52,54 am Tischbett 10 bzw. Tisch Yl angebracht. Zwischen den beiden Zahnstangen 52 und 54 ist ein mit diesen kämmendes Zahnrad 56 angeordnet. Die Welle oder Achse des Zahnrads 56 ist mit den beiden Kugelkäfig- bzw. Halteanordnungen 20 über ein elastisches Kupplungselement 58 verbunden, das seinerseits mittels eines Miniaturlagers 59 mit dem Zahnrad 56 verbunden ist.
Die Vorrichtung gemäß F i g. 6 gewährleistet ersicht-
licherweise dieselbe Wirkung wie bei der Ausführungsform nach Fig. 1, so daß eine nähere Erläuterung überflüssig sein dürfte.
Die Vorbelastungseinrichtung bei der Ausführungsform nach Fig.6 benötigt nur einen einzigen Zahnradmechanismus 50, wodurch die Vorteile einer verringerten Teilezahl sowie vereinfachter Montage und Einstellung der Linearlagervorrichtung geboten werden. Außerdem können dabei Zahnstangen und Zahnrad geschützt im Inneren der Anordnung untergebracht sein.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

Claims (3)

Patentansprüche:
1. Linearlager, bestehend aus einem Tisch und einem Tischbett mit jeweils einer Führungsschiene, wobei zwischen den Führungsschienen Wälzkörper angeordnet sind, die in einem Wälzkörperkäfig gelagert sind und sich auf an beiden Führungsschienen vorgesehenen Laufbahnen abwälzen, und mit mindestens einem Zahnrad, das mit einem Paar sich gegenüberliegender Zahnstangen kämmt, von welchen die eine Zahnstange mit dem Tisch und die andere Zahnstange mit dem Tischbett verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, daß der Wälzkörperkäfig (21) mit dem Zahnrad (56) über ein elastisches Kuppl ingselement (58) verbunden ist, derart, daß aufgrund dessen elastischer Verformung eine Relativbewegung zwischen Zahnrad (36) und Wälzkörperkäfig (20) in dessen Bewegungsrichtung gewährleistet ist
2. Linearlager nach Anspruch I, dadurch gekennzeichnet, daß ein mit dem einen Ende mit der Achse des Zahnrades (56) drehbar verbundener Arm (60) vorgesehen ist, an dessen anderem Ende das elastische Kupplungselement (58) befestigt ist.
3. Linearlager nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zwei Zahnräder (56) vorgesehen sind, zwischen deren Achsen ein Verbindungselement (66) angeordnet ist, an dem im Bereich zwischen den Achsen der Zahnräder (56) das elastische Kupplungselement (58) befestigt ist.
DE2941475A 1978-10-12 1979-10-12 Linearlager Expired DE2941475C2 (de)

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