WO2019193759A1

WO2019193759A1 - スライドアクチュエータ

Info

Publication number: WO2019193759A1
Application number: PCT/JP2018/014785
Authority: WO
Inventors: 謙緒方
Original assignee: オリンパス株式会社
Priority date: 2018-04-06
Filing date: 2018-04-06
Publication date: 2019-10-10
Also published as: US20210013790A1; US11245322B2

Abstract

本発明は、固定部２と、固定部２に対して所定方向に移動可能な可動部３と、固定部２の可動部３の移動方向に設けた壁部２ｂ～２ｅと、固定部２と可動部３との間に介在し、可動部３を移動可能に支持する複数のボール５と、各ボール５の間隔を一定に保持するリテーナ６と、壁部２ｂ，２ｃとリテーナ６とを連結するリテーナばね１４と、可動部３と壁部２ｄ，２ｅとを連結する可動部ばね１５とを有するスライドアクチュエータ１において、リテーナばね１４はリテーナ６の移動方向への大きな変位が抑制されるように設置されており、可動部ばね１５は可動部の移動方向への大きな変位が抑制されるように設置されている。

Description

スライドアクチュエータ

　本発明は、固定部に対して可動部を、ボール及びボールの間隔を一定に保持するリテーナを介して移動可能に支持させたスライドアクチュエータに関する。

　従来、固定部に対してスライド自在に配設された可動部に被移動体を保持し、この被移動体を移動方向に直交する姿勢を維持した状態で往復直動させるスライドアクチュエータが知られており、周知のボイスコイルモータ（ＶＣＭ）等に採用されている。

　図８Ａ～図８Ｃに示すように、この種のスライドアクチュエータ１０１は、装置本体に固定されている固定部１０２と、この固定部１０２に対峙する可動部１０３と、固定部１０２と可動部１０３との間に介装されて可動部１０３を固定部１０２に沿って直動自在に支持するリニアガイド１０４とを有している。更に、このリニアガイド１０４は、可動部１０３の直動運動を許容する複数のボール１０５と、この各ボール１０５を、一定間隔を開けて回動自在に保持するリテーナ１０６とを備えている。

　そして、可動部１０３のストローク範囲Ｌｓを、図４Ａに示す正弦波の可動部指示値（電流）で設定し、この可動部指示電流をスライドアクチュエータに通電する。すると、可動部１０３は、図８Ａに示すストローク範囲Ｌｓの中央に位置している状態から、例えば、図８Ｂに示すようにプラス（＋）方向へスライドし、ストローク範囲Ｌｓの端部でマイナス（－）方向へ折返し、図８Ｃに示すようにストローク範囲Ｌｓの端部で更にプラス方向へ折り返されるといった往復直動が繰り返される。

　このスライドアクチュエータ１０１の可動部１０３が往復直動を繰り返している際に、このスライドアクチュエータ１０１が衝撃、振動等の強い外乱を受け、図９Ａに示すように、その外乱により発生した付勢力Ｆで可動部１０３或いはリテーナ１０６が一方へ押圧される場合がある。その結果、この可動部１０３がストローク範囲Ｌｓの端部で停止しきれず、その端部から飛び出してしまったりして、可動部１０３とリテーナ１０６との位置関係にずれが生じ、制御偏差ΔＬｓが発生してしまう。

　そして、可動部１０３とリテーナ１０６との間にずれが生じている状態で、図９Ｂに示すように、可動部１０３が、マイナス方向へ折り返した場合には、リテーナ１０６の端部が、可動部１０３がストローク範囲Ｌｓの端部に到達するよりも早く、固定部１０２の壁部１０２ａに当接して移動が停止される。その結果、制御偏差ΔＬｓが修正されずに残り制御制が悪化してしまう。

　この対策として、例えば、日本国特開２００８－５７６７９号公報には、可動部（スライドテーブル）とリテーナ（ケージ）との間にスライド方向のずれが生じた場合、先ず、リニアガイドのリテーナを移動端に押し当て、次いで、可動部を強制的にスライドさせて、ずれを修正する技術が開示されている。

　しかし、図９Ｂの状態から可動部１０３を強制的にスライドさせて、図９Ｃに示すように、リテーナ１０６と可動部１０３との間のずれを修正しようとした場合、可動部１０３をスライドさせている間は、ボール１０５との間に滑り摩擦が発生する。その結果、この摩擦増大により摩耗耐久性が低下する不都合がある。

　又、日本国特開２００８－５７６７９号公報に開示されている技術では、図９Ａに示すように、一旦、可動部１０３とリテーナ１０６との間に制御偏差ΔＬｓが発生した場合、図９Ｄに示すように、正常な位置関係に復帰するまでに少なくとも１往復必要となり、その際、可動部１０３とボール１０５との間に滑り摩擦が、図４Ｂに破線で示すように少なくとも１回は発生してしまい、摩耗耐久性が一段と低下してしまう不具合がある。

　更に、固定部１０２の壁部１０２ａ付近には可動部１０３の往復直動によりグリース溜りＧが発生する。そのため、図９Ｂに示すように、リテーナ１０６の端部が壁部１０２ａに当接する際に、グリース溜りＧに没入される。リテーナ１０６の端部がグリース溜りＧに没入されると、グリースの粘性抵抗により、可動部１０３に追従して往復動作するリテーナ１０６が壁部１０２ａから離間し難くなり、可動部１０３とボール１０５との間に生じる滑り摩擦が助長され、可動部１０３が折返し動作する際の制御偏差が大きくなってしまう不具合がある。

　本発明は、上記事情に鑑み、リテーナと可動部との少なくとも一方に強い付勢力が加えられた場合であっても、リテーナと可動部との位置ずれを最小にして、位置関係を早期に修復させることが可能で、摩耗耐久性の低下を抑制することができ、更に、リテーナと可動部との少なくとも一方に強い付勢力が印加された場合であっても、リテーナの端部が壁部に接触することがなく、従って、この壁部に発生したグリース溜りにリテーナの端部が没入されることがなく、高い位置制御精度を得ることのできるスライドアクチュエータを提供することを目的とする。

　本発明の一態様は、固定部と、前記固定部に対して所定方向に移動可能な可動部と、前記固定部の前記可動部の移動方向に設けた壁部と、前記固定部と前記可動部との間に介在し、前記可動部を移動可能に支持する複数のボールと、前記各ボール間に介在し、該各ボールの間隔を一定に保持するリテーナと、ばね性を有し前記壁部と前記リテーナとを連結する第１構造体と、ばね性を有し前記壁部と前記可動部とを連結する第２構造体とを有するスライドアクチュエータにおいて、前記第１構造体は前記リテーナの移動方向への大きな変位が抑制されるように設置されており、前記第２構造体は前記可動部の移動方向への大きな変位が抑制されるように設置されている。

第１実施形態によるスライドアクチュエータの概略側面図である。同、可動部が初期位置にある状態を示すスライドアクチュエータの概略側面図である。同、可動部が往路の移動端に到達した状態を示すスライドアクチュエータの概略側面図である。同、可動部が復路の移動端に到達した状態を示すスライドアクチュエータの概略側面図である。同、可動部が付勢力で一方へ強く押圧された状態を示すスライドアクチュエータの概略側面図である。同、図３Ａの状態から可動部が復路方向へ移動する途上の状態を示すスライドアクチュエータの概略側面図である。同、可動部が復路の移動端に到達した状態を示すスライドアクチュエータの概略側面図である。同、可動部が初期位置を通過する状態を示すスライドアクチュエータの概略側面図である。同、可動部を動作させる正弦波の可動部指示値を示す波形図である。同、可動部指示値と実際の可動部の位置との制御偏差を示す波形図である。第２実施形態によるスライドアクチュエータの概略側面図である。第３実施形態によるスライドアクチュエータの概略側面図である。第４実施形態によるスライドアクチュエータの概略側面図である。従来例を示し、可動部が初期位置にある状態を示すスライドアクチュエータの概略側面図同、可動部が往路の移動端に到達した状態を示すスライドアクチュエータの概略側面図である。同、可動部が復路の移動端に到達した状態を示すスライドアクチュエータの概略側面図である同、可動部が往路方向へ外乱による付勢力で付勢された状態を示すスライドアクチュエータの概略側面図である。同、リテーナが復路の壁部に当接した状態を示すスライドアクチュエータの概略側面図である。同、可動部を移動端にスライドさせた状態を示すスライドアクチュエータの概略側面図である。同、可動部が初期位置を通過する状態を示すスライドアクチュエータの概略側面図である。

　以下、図面に基づいて本発明の一実施形態を説明する。尚、図面は模式的なものであり、各部材の厚みと幅との関係、それぞれの部材が有する厚みの比率などは現実のものとは異なることに留意すべきであり、図面の相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。

　［第１実施形態］
　図１～図４Ｂに本発明の第１実施形態を示す。図中の符号１は、ボイスコイルモータを代表とする電磁式のスライドアクチュエータであり、図示しない装置本体に固定される固定部２と、この固定部２の上をスライド自在な可動部３と、固定部２と可動部３との間に介装されたリニアガイド４とを備えている。リニアガイド４は、可動部３を固定部２のステージ２ａに沿って直動運動させる複数のボール５と、この各ボール５を、所定間隔を開けて回動自在に支持するリテーナ６とで構成されている。尚、図示しないが、ステージ２ａにはボール５の移動を直線状に導く軌道溝が形成されており、この軌道溝にボール５が配設されている。

　又、この可動部３は被移動体として、例えば光学素子を保持しており、上面には永久磁石７が固定されている。又、この永久磁石７に対して、一対のフラットコイル８ａ，８ｂが対向した状態で配設されており、永久磁石７はフラットコイル８ａ，８ｂに対して適切な磁界を与えるように配置されている。又、この各フラットコイル８ａ，８ｂが、図示しない装置本体に固定されているコイル支持部９に取付けられている。尚、本実施形態によるスライドアクチュエータ１は可動磁石式であるが、可動部３にフラットコイルを取付け、このフラットコイルに永久磁石を対向させた可動コイル式であっても良い。

　又、この各フラットコイル８ａ，８ｂには、アクチュエータ制御部１１の出力側がアクチュエータ駆動部１２を介して接続されている。又、このアクチュエータ制御部１１の入力側に可動部３の移動位置を検出する位置検出センサ１３が接続されている。

　アクチュエータ制御部１１は、周知のＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、及びインターフェースを含む周知のマイクロコンピュータを主体に構成されている。このアクチュエータ制御部１１は、位置検出センサ１３で検出した可動部３の位置情報と、図４Ａに示す可動部指示位置とを比較して、図４Ｂに示す制御偏差ΔＬｓを求め、この制御偏差ΔＬｓを修正する制御信号をアクチュエータ駆動部１２へ出力する。

　すると、アクチュエータ駆動部１２は制御信号に対応する駆動電流をフラットコイル８ａ，８ｂへ出力し、永久磁石７の磁界によってローレンツ力が生じて、可動部３がスライドする。可動部３は、フラットコイル８ａ，８ｂに通電される電流の方向によって移動方向が決定され、又、その電流量によって力の大きさが変化する。尚、永久磁石７、フラットコイル８ａ，８ｂ、コイル支持部９、アクチュエータ制御部１１、アクチュエータ駆動部１２、位置検出センサ１３の駆動系、及び制御系の構成は、図１に代表して記載し、図２Ａ～図３Ｄ、及び後述する第２実施形態以降では省略する。

　そして、例えば、アクチュエータ制御部１１から出力されるＰＷＭ信号により、アクチュエータ駆動部１２が、図４Ａに示すような正弦波の可動部指示値（駆動電流）をフラットコイル８ａ，８ｂに通電すると、可動部３は、ストローク範囲Ｌｓで往復直動を繰り返す。この場合、可動部３とボール５、及びボール５と軌道溝との間に滑りが生じないと仮定した場合、可動部３の移動量に対しリテーナ６はボール５の回転により１／２の移動量となる。尚、以下においては、便宜的に可動部３とリニアガイド４の移動方向を、図の右側をプラス（＋）方向、左側をマイナス（－）方向として説明する。

　又、リテーナ６の移動方向の端部６ａ，６ｂと、この端部６ａ，６ｂに対向する固定部２の下壁部２ｂ，２ｃとの間に、ばね性を有する第１構造体としての機械式のリテーナばね１４がそれぞれ連結されている。更に、可動部３の移動方向の端部３ａ，３ｂと、この端部３ａ，３ｂに対向する固定部２の上壁部２ｄ，２ｅとの間に、ばね性を有する第２構造体としての機械式の可動部ばね１５がそれぞれ連結されている。又、このリテーナばね１４は可動部ばね１５に対し、１／２のばね定数に設定されている。

　この各ばね１４，１５は圧縮ばねと引張ばねとの何れでも良い。各ばね１４，１５が圧縮ばねの場合、リテーナばね１４の自由高さはリテーナ６の端部６ａ，６ｂと下壁部２ｂ，２ｃとの間の最大間隔よりも長く設定し、密着高さは端部６ａ，６ｂと下壁部２ｂ，２ｃとの間の最小間隔よりも短く設定する。又、可動部ばね１５の自由高さは可動部３の端部３ａ，３ｂと上壁部２ｄ，２ｅとの間の最大間隔よりも長く設定し、密着高さは端部３ａ，３ｂと上壁部２ｄ，２ｅとの間の最小間隔よりも短く設定する。

　一方、各ばね１４，１５が引張ばねの場合、リテーナばね１４の自由長はリテーナ６の端部６ａ，６ｂと下壁部２ｂ，２ｃとの間の最小間隔よりも短く設定し、自由長に必要たわみ量を加算して長さは、端部６ａ，６ｂと下壁部２ｂ，２ｃとの間の最大間隔よりも長く設定する。又、可動部ばね１５の自由長は可動部３の端部３ａ，３ｂと上壁部２ｄ，２ｅとの間の最小間隔よりも短く設定し、自由長に必要たわみ量を加算した長さは端部３ａ，３ｂと上壁部２ｄ，２ｅとの間の最大間隔よりも長く設定する。尚、符号Ｇは下壁部２ｂ，２ｃとステージ２ａとの稜部に寄せられたグリース溜りである
　次に、このような構成による本実施形態の作用について説明する。フラットコイル８ａ，８ｂが非通電の状態では、両リテーナばね１４と両可動部ばね１５は、それぞれバランスが保たれており、従って、図１に示すように、可動部３とリニアガイド４とは中立位置で停止している。

　このような状態で、アクチュエータ制御部１１からのＰＷＭ信号にて、アクチュエータ駆動部１２からフラットコイル８ａ，８ｂに、図４Ａに示すような正弦波の可動部指示値（駆動電流）を通電すると、可動部３がストローク範囲Ｌｓを往復直動する。

　その際、リテーナ６の両端部６ａ，６ｂと下壁部２ｂ，２ｃとの間を連結するリテーナばね１４、及び、可動部３の両端部３ａ，３ｂと上壁部２ｄ，２ｅとの間を連結する可動部ばね１５は、図２Ｂ、図２Ｃに示すように、近接する側が収縮し、離間する側が延伸される。

　可動部３が往復直動すると、リテーナ６の移動量はボール５の回転により可動部３の１／２となる。リテーナばね１４のばね定数は、可動部３に対するリテーナ６の移動量に併せて、可動部ばね１５の１／２に設定されているので、リテーナばね１４と可動部ばね１５とが、リテーナ６と可動部３との移動に対応して収縮、伸張しても、可動部３とリテーナ６との位置関係にずれが生じることはない。

　又、上述したように、図２Ａに示すように、中立位置では両リテーナばね１４と、両可動部ばね１５とは、それぞれバランスが保たれた位置となるため、可動部３とリテーナ６との位置関係に僅かなずれが生じた場合であっても、中立位置を通過する際に修正させることができる。

　ところで、図３Ａに示すように、スライドアクチュエータ１が衝撃、振動等の強い外乱を受け、それにより発生した付勢力Ｆで可動部３が、例えばプラス（＋）方向へ強く押圧されて大きく変位しようとする場合、可動部３にかかる衝撃が、可動部ばね１５の撓みによる緩衝作用によって減衰されて、その変位が抑制される。その結果、図４Ｂに実線で示すように制御偏差ΔＬｓは、破線で示す従来の制御偏差ΔＬｓに比し、大幅に減衰される。更に、可動部３とリテーナ６との位置ずれが最小となり、可動部３とボール５との間の滑り摩擦を大幅に低減させることができ、摩耗耐久性の低下を抑制させることができる。

　又、往路において制御偏差ΔＬｓが大幅に減衰されたため、図３Ｂから図３Ｃにかけての復路では、各ばね１４，１５によるばねバランスと相まって、可動部３の端部３ｂがマイナス（－）方向のストローク範囲Ｌｓの端部に到達する際には、図４Ｂに示すように、制御偏差ΔＬｓが早期に修正される。その結果、同図に破線で示す制御偏差ΔＬｓが二度発生する従来の制御偏差ΔＬｓに比し、高い制御精度を得ることができる。

　又、図３Ｂに示すように、往路においてリテーナ６の端部６ｂが可動部３の端部３ｂから飛び出していても、ばねバランスにより、その飛び出し量が修正されるため、端部３ｂが下壁部２ｃとステージ２ａとの稜部に寄せられたグリース溜りＧに没入されることが無くなる。その結果、リテーナ６はグリース溜りＧの粘性抵抗の影響を受けることなく折り返させることができるため、高い位置制御精度を得ることができる。尚、以上のことは、リテーナ６、或いは可動部３とリテーナ６との双方が強い付勢力Ｆで押圧された場合も同様である。

　［第２実施形態］
　図５に本発明の第２実施形態を示す。尚、第１実施形態と同一の構成部分については、同一の符号を付して説明を省略、或いは簡略する。

　上述した第１実施形態では、リテーナばね１４、及び可動部ばね１５を、リテーナ６の両端部６ａ，６ｂと下壁部２ｂ，２ｃとの間、及び可動部３の両端部３ａ，３ｂと上壁部２ｄ，２ｅと間にそれぞれ連結したが、本実施形態では、リテーナばね１４と可動ばね１５とを、共通する側の片方にのみ連結したものである。

　すなわち、図においては、リテーナばね１４がリテーナ６の端部６ａと下壁部２ｂとの間のみに連結され、又、可動部ばね１５を可動部３の端部３ａと上壁部２ｄとの間にのみ連結されている。

　又、図には、フラットコイル８ａ，８ｂ（図１参照）が非通電状態にあり、両ばね１４，１５が自由な状態におけるリニアガイド４と可動部３との初期位置が示されている。本実施形態では、両ばね１４，１５として引張圧縮両用ばねを採用している。

　すなわち、この両ばね１４，１５は、可動部３とリニアガイド４とが、図のプラス（＋）方向へ移動しようとした場合、圧縮ばねとして機能し、マイナス（－）方向へ移動しようとした場合、引張ばねとして機能する。又、リテーナばね１４のばね定数が可動部ばね１５のばね定数の１／２に設定されている。

　この場合、各ばね１４，１５のばね定数は、第１実施形態のように、各ばね１４，１５を両側に配設した場合に比し２倍に設定されている。換言すれば、本実施による可動部ばね１５のばね定数に対して、リテーナばね１４のばね定数を１／２とした場合、第１実施形態の可動部ばね１５のばね定数が１／２、リテーナばね１４のばね定数が１／４となる。

　このような構成では、可動部３とリニアガイド４とが往復直動している際に、可動部３とリニアガイド４との少なくとも一方が強い付勢力Ｆで押圧されても、可動部ばね１５とリニアばね１４との撓み（圧縮変形、或いは、引張変形）により、衝撃が緩衝されて変位が抑制されるため、可動部３とリテーナ６との位置関係が大きくずれることがない。

　その結果、第１実施形態と同様、可動部３とボール５との間の滑り摩擦が低減され、摩耗耐久性の低下が抑制される。更に、高い位置制御精度を得ることができる。又、ばね１４，１５の配設を片側のみとしたので、部品点数が削減され、装置の小型軽量化を実現することができる。

　［第３実施形態］
　図６に本発明の第３実施形態を示す。本実施形態では、ばね性を有する第１、第２構造体を、それぞれ磁気ばねとしたものである。尚、第１実施形態と同様の構成部分については、同一の符号を付して説明を省略、或いは簡略する。

　すなわち、リテーナ６の両端部６ａ，６ｂと、この端部６ａ，６ｂに対向する固定部２の下壁部２ｂ，２ｃとに、永久磁石であるリテーナ磁石２１ａ，２１ｂを、同じ磁極を対向させた状態で配設する。同様に、可動部３の端部３ａ，３ｂと、この端部６ａ，６ｂに対向する上壁部２ｄ，２ｅとに、永久磁石である可動部磁石２２ａ，２２ｂを、同じ磁極を対向させた状態で配設する。

　その結果、互いに対向するリテーナ磁石２１ａ，２１ｂの間、及び可動部磁石２２ａ，２２ｂの間には、互いに反発する方向の磁力（反発磁力）が磁気ばねとして作用する。又、リテーナ磁石２１ａ，２１ｂの間の反発磁力は、可動部磁石２２ａ，２２ｂ間の反発磁力の１／２に設定されている。尚、可動部３とリニアガイド４は、可動部磁石２２ａ，２２ｂの間、及びリテーナ磁石２１ａ，２１ｂの間で、それぞれ反発磁力が作用している範囲で往復直動するものとする。従って、初期位置は、図６に示すように磁気バランスが保たれた中央となる。

　このような構成では、繰り返し往復直動している可動部３とそれに追従して動作するリニアガイド４との少なくとも一方が、強い付勢力Ｆで、例えばプラス（＋）方向へ押圧された場合、この付勢力Ｆは、プラス（＋）側のリテーナ磁石２１ａ，２１ｂ間の反発磁力と、可動部磁石２２ａ，２２ｂ間の反発磁力とによって減衰されて変位が抑制される。

　そのため、可動部３とリテーナ６との位置関係が大きくずれることがない。従って、可動部３とボール５との間の滑り摩擦が低減され、摩耗耐久性の低下が抑制され、更に、高い位置制御精度を得ることができる。

　又、互いに対向するリテーナ磁石２１ａ，２１ｂ間、及び可動部磁石２２ａ，２２ｂ間を異なる磁極として、互いに吸着する方向の磁力（吸着磁力）を磁気ばねとして作用させるようにしても良い。この場合、可動部３とリニアガイド４との少なくとも一方が、強い付勢力Ｆで、例えばプラス（＋）方向へ押圧された場合、その付勢力Ｆは、マイナス（－）側のリテーナ磁石２１ａ，２１ｂ間の吸着磁力と、可動部磁石２２ａ，２２ｂ間の吸着磁力とによって減衰される。

　［第４実施形態］
　図７に本発明の第４実施形態を示す。本発明は、上述した第１実施形態の変形例である。第１実施形態と同様の構成部分については、同一の符号を付して説明を省略、或いは簡略する。

　本実施形態では、可動部ばね１５の一端が可動部３の端部３ａ，３ｂにリンク部材３ｃを介して上下方向へ揺動自在に連結されている。又、この可動部ばね１５の他端が上壁部２ｄ，２ｅの下部にリンク部材２ｆを介して上下方向へ揺動自在に連結されている。

　この可動部ばね１５は引張ばねであり、可動部３を斜め下方、すなわち、可動部３の底面をボール５に押し付ける方向に常時付勢している。可動部３が往復直動する際の可動部３とリニアガイド４との動作、及び、強い付勢力Ｆで可動部３とリテーナ６との少なくとも一方が押圧された際の動作は、第１実施形態と同様であるため、説明を省略する。

　可動部３が往復直動する間、可動部３の底面が可動部ばね１５の下方への付勢力により、ボール５に常時押し付けられているため、可動部３とボール５との間に滑りが生じ難く、可動部３とリニアガイド４とは適正な位置関係を保持した状態で往復直動させることができる。その結果、往復直動の際に滑り摩擦が発生し難くなり、摩耗耐久性を向上させることができる。又、可動部ばね１５に、可動部３をボール５側へ押し付ける機能を持たせたことで、構造の簡素化が図れ、小型軽量化を実現することができる。

Claims

　固定部と、
　前記固定部に対して所定方向に移動可能な可動部と、
　前記固定部の前記可動部の移動方向に設けた壁部と、
　前記固定部と前記可動部との間に介在し、前記可動部を移動可能に支持する複数のボールと、
　前記各ボール間に介在し、該各ボールの間隔を一定に保持するリテーナと、
　ばね性を有し前記壁部と前記リテーナとを連結する第１構造体と、
　ばね性を有し前記壁部と前記可動部とを連結する第２構造体と
を有するスライドアクチュエータにおいて、
　前記第１構造体は前記リテーナの移動方向への大きな変位が抑制されるように設置されており、
　前記第２構造体は前記可動部の移動方向への大きな変位が抑制されるように設置されている
ことを特徴とするスライドアクチュエータ。
　前記第１構造体が前記リテーナの両側に設けられ、
　前記第２構造体が前記可動部の両側に設けられている
ことを特徴とする請求項１記載のスライドアクチュエータ。
　前記第１構造体のばね定数が、前記第２構造体のばね定数の１／２に設定されている
ことを特徴とする請求項２に記載のスライドアクチュエータ。
　前記第１構造体が前記リテーナの片側に設けられ、
　前記第２構造体が前記第１構造体と同じ側に設けられている
ことを特徴とする請求項１記載のスライドアクチュエータ。
　前記第１構造体のばね定数が、前記第２構造体のばね定数の１／２に設定されている
ことを特徴とする請求項４に記載のスライドアクチュエータ。
　前記第１構造体と前記第２構造体とは引張ばねである
ことを特徴とする請求項３に記載のスライドアクチュエータ。
　前記第１構造体と前記第２構造体とは圧縮ばねである
ことを特徴とする請求項３に記載のスライドアクチュエータ。
　前記第１構造体と前記第２構造体とは磁気ばねである
ことを特徴とする請求項３に記載のスライドアクチュエータ。
　前記第１構造体と前記第２構造体とは引張圧縮両用ばねである
ことを特徴とする請求項５に記載のスライドアクチュエータ。
　前記引張ばねの一端が前記可動部に連結され、他端が前記可動部を前記ボールに押し付ける方向へ付勢させた状態で前記壁部に連結されている
ことを特徴とする請求項６に記載のスライドアクチュエータ。