DE2940369C2

DE2940369C2 - Target

Info

Publication number: DE2940369C2
Application number: DE19792940369
Authority: DE
Inventors: Bernhard 6450 Hanau Rosenstock
Original assignee: WC Heraus GmbH and Co KG
Current assignee: WC Heraus GmbH and Co KG
Priority date: 1979-10-05
Filing date: 1979-10-05
Publication date: 1982-10-21
Also published as: DE2940369A1

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Target zum Abstäuben von mindestens zwei unterschiedlichen metallischen Werkstoffen in einem vorgegebenen Mengenverhältnis, wobei diese Werkstoffe in einer ebenen Fläche angeordnet sind.

Targets der vorstehend charakterisierten Art sind aus der DE-OS 19 08 310 bekannt. Die aus Teilkathoden aus unterschiedlichen Werkstoffen aufgebaute Gesamtkathode ist in der Weise ausgebildet, daß die Teilkathoden nebeneinander in einem isolierenden Material direkt mit den Spannungsversorgungsquellen über Kabel verbunden sind. Die Teilkathoden sind gleichmäßig in einer ebenen Fläche verteilt.

Bekannt sind aus der FR-OS 20 11 047 aus einer Pulvermischung aus Tantal und Aluminium durch Sintern hergestellte Targets, die zur Herstellung dünner Schichten für Mikro-Schaltkreise verwendet werden.

Aus der DE-AS 15 15 314 ist eine Targetanordnung bekannt, bei der Auflagescheiben unterschiedlichen Durchmessers aus unterschiedlich zu zerstäubenden Werkstoffen mit einer die oberste Scheibe überragenden Schraube auf einer Platte aus zu zerstäubendem Werkstoff festgehalten sind, wobei die Schraube ebenfalls aus zu zerstäubendem Werkstoff besteht. Diese treppenförmige Targetausbildung eignet sich für stationäre Zerstäubungsanlagen, bei denen die zu bestäubende Vorrichtung der Geometrie der treppenförmigen Targetanordnung angepaßt ist. Bei dieser Anordnung ist nicht auszuschließen, daß sich die Schraubverbindung in der Endphase des Abstäubens lockert oder sogar auseinanderfällt wodurch unkontrollierbare und nicht vorhersehbare Abstäubungsverhältnisse auftreten.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, bei einem Target der eingangs genannten Art die Abstäubung von unterschiedlichen metallischen Werkstoffen in gewünschtem vorgegebenen Mengenverhältnis und in einfacher Weise ohne erheblichen Arbeits- und Geräteaufwand zu ermöglichen. Gelöst wird diese

ίο Aufgabe für ein Target der eingangs charakterisierten Art erfindungsgemäß dadurch, daß es aus einer Platte aus dem einen abzustäubenden Werkstoff besteht, die durchgehende Bohrungen mit kreisförmigem Querschnitt aufweist, in die Bolzen aus dem zweiten

is abzustäubenden Werkstoff mit Pass-Sitz eingesetzt sind.

Dadurch ist vorteilhafterweise erreicht, daß bei der Herstellung des beschriebenen Targets keine Verschiebung des Flächenverhältnisses zwischen den abzustäubenden Werkstoffen zu befürchten ist wie dies beispielsweise bei durch Plattieren unter Druck und Wärme herzustellenden Targets der Fall wäre. Die beschriebenen Targets können nahezu restlos abgestäubt werden, so daß praktisch keine wesentlichen Schrottverluste auftreten. Durch Größe und Verteilung der Bohrungen über die Plattenfläche lassen sich beliebig gewünschte Mengenverhältnisse der abstäubenden Werkstoffe einstellen. Die Herstellung der Targets ist sehr einfach, es wird lediglich eine

Bohrmaschine benötigt

Vorteile ergeben sich auch dadurch, daß die Bohrungen jeweils in einem Endbereich erweitert sind und in die Erweiterung das ihr angepaßte verdickte Ende des Bolzens eingreift Der erweiterte Endbereich ist in bevorzugter Weise als Senkbohrung ausgebildet.

Er befindet sich zweckmäßiger Weise auf derjenigen Seite der Platte, die der abzustäubenden Plattenfläche

abgekehrt ist.

Es ist außerdem vorteilhaft wenn ein Teil der

Bohrungen einen von den übrigen Bohrungen unterschiedlichen Querschnitt aufweist oder wenn die Bohrungen ungleichmäßig in der Platte verteilt sind. Hierdurch wird deutlich, welche Vielfalt die beschriebenen Targets hinsichtlich der Einstellung eines vorgegebenen gewünschten Mengenverhältnisses bieten.

Überdies ist es zweckmäßig, wenn die Platte aus Tantal und die Bolzen aus Aluminium bestehen.

Im folgenden sind Ausführüngsbeispiele der Erfindung anhand der Figuren näher erläutert Es zeigt

so F i g. 1 einen Vertikalschnitt durch ein Target

F i g. 2 bis 4 jeweils eine Aufsicht auf die abzustäubende Plattenfläche.

Mit der Bezugsziffer 1 ist eine Platte bezeichnet die beispeislweise aus Tantal besteht. In diese Platte sind Bohrungen 2 mit kreisförmigem Querschnitt eingebracht, die auf der der abzustäubenden Plattenfläche 3 abgekehrten Plattenfläche 4 in ihrem Endbereich erweitert sind. In diese Bohrungen sind die Bolzen 5 mit Pass-Sitz eingebracht Sie bestehen beispielsweise aus Aluminium und besitzen ein vergrößertes Ende 6. Mit der Platte 1 ist noch die Platte 7 verbunden, beispielsweise eine Kupferplatte, die als Zwischenplatte oder Löthilfe für die Verbindung des Targets mit einem kühlbaren Träger dient

F i g. 2 zeigt ein Targel der beschriebenen Art, das in der Platte 1 Bohrungen gleichen Querschnitts aufweist, in die. Bolzen 5 eingesetzt sind. Wie ersichtlich, liegt eine gleichmäßige Verteilung der Bolzen über die Oberflä-

ehe der Platte 1 vor.

Bei der Ausführung des Targets nach Fig.3 sind Bohrungen unterschiedlichen Querschnitts gleichmäßig über die Oberfläche der Platte 1 verteilt vorgesehen, in die Balzen 5 bzw. 5' eingesetzt sind. Dabei können die Bolzen 5 und 5' aus gleichem Werkstoff bestehen; es ist aber auch möglich, daß die Bolzen S und die Bolzen 5' aus unterschiedlichem Werkstoff bestehen, so daß das Target sich aus drei verschiedenen Werkstoffen zusammensetzt, wenn die Platte 1 aus einem Werkstoff besteht, der wiederum von denen der Bolzen 5 und 5' verschieden ist.

Schließlich zeigt F i g. 4 noch ein Ausführungsbeispiel für ein Target, bei dem eine ungleichmäßige Verteilung von Bolzen 5 in der Platte 1 vorliegt.

Hierzu 4 Blatt Zeichnungen

Claims

Patentansprüche:

1. Target zum Abstäuben von mindestens zwei unterschiedlichen metallischen Werkstoffen in einem vorgegebenen Mengenverhältnis, wobei diese Werkstoffe in einer ebenen Fläche angeordnet sind, dadurch gekennzeichnet, daß es aus einer Platte (1) aus dem einen abzustäubenden Werkstoff besteht, die durchgehende Bohrungen (2) mit kreisförmigem Querschnitt aufweist, in die Bolzen (5) aus dem zweiten abzustäubenden Werkstoff mit Pass-Sitz eingesetzt sind.

2. Target nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Bohrungen (2) jeweils in einem Endbereich erweitert sind und in die Erweiterung das ihr angepaßte verdickte Ende (6) des Bolzens (S) eingreift

3. Target nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der erweiterte Endbereich eine Senkbohrung ist

4. Target nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß der erweiterte Endbereich der Bohrung (2) sich auf der der abzustäubenden Fläche (3) abgekehrten Plattenseite befindet

5. Target nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß ein Teil der Bohrungen (2) einen von den übrigen Bohrungen unterschiedlichen Querschnitt aufweist

6. Target nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet daß die Bohrungen (2) ungleichmäßig in der Platte (1) verteilt sind.

7. Target nach einem der Ansprüche t bis 6, dadurch gekennzeichnet daß die Platte (1) aus Tantal und die Bolzen (S) aus Aluminium bestehen.