DE3008685A1

DE3008685A1 - Verfahren und vorrichtung zur einstellung der frequenzcharakteristik eines piezoelektrischen resonators

Info

Publication number: DE3008685A1
Application number: DE19803008685
Authority: DE
Inventors: Lawrence Noah Dworsky; Warren Phillip Glotzbach; Jeffery Alden Whalin
Original assignee: Motorola Inc
Current assignee: Motorola Solutions Inc
Priority date: 1979-03-16
Filing date: 1980-03-06
Publication date: 1980-09-25
Also published as: JPS55125711A; CA1123970A; JPS6334643B2; GB2049272A; US4232239A

Description

Dipl.-Phys. O. E. Weber 4 D-8000 München 71

Patentanwalt Hofbrunnstraße 47

zugelassener Vertreter beim Europäischen Patentamt

Representative before the European Patent Office

M 1273

Telefon:	(089)7915050
Telegramm:	monopolweber
	münchen
Telex:	05-212877

Motorola Inc.

1303 E. Algonquin Road

Schaumburg, 111. 60196

USA

■Verfahren und Vorrichtung zur Einstellung der Frequenzcharakteristik eines piezoelektrischen Resonators

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Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Einstellung der Frequenzcharakteristik eines piezoelektrischen Resonators.

Piezoelektrische Resonatoren werden für eine genaue Frequenzcharakteristik und zur Steuerung in vielen Anwendungpfallen verwendet, beispielsweise bei monolithischen Filtern, wie sie bei Funkeinrichtungen eingesetzt werden. Monolithische Kristallfilter haben ein flaches Quarzplättchen oder eine flache Quarzscheibe, bei welcher auf Jeder Seite in einem bestimmten Bereich dünne folienartige Elektroden angeordnet sind. Die Frequenzcharakteristik solcher Resonatoren hängt von der Dicke der Quarzscheibe sowie von der Dicke der Elektroden ab. Es ist gegenwärtig nicht möglich, unter Verwendung entsprechend wirtschaftlicher Fertigungsverfahren, die Genauigkeit zu erreichen, die für viele Anwendungsfälle wünschenswert wäre. Es ist bereits versucht worden, die Charakteristik von Kristallfiltern durch die Verwendung von externen Einrichtungen zu ändern, dadurch werden jedoch die Kosten und die Größe entsprechender Anordnungen gesteigert, und es konnte dennoch kein zufriedenstellendes Ergebnis erreicht werden.

Zur Verwendung bei Frequenzen im VHF-Bereich d.h., bei außerordentlich hohen Frequenzen, sind die Elektroden für Kristallresonatoren im allgemeinen aus Aluminium hergestellt. Es ist allgemein bekannt, daß die Masse der Aluminiumelektroden dadurch beeinflußt und eingestellt werden kann, daß eine anodische Oxidation herbeigeführt wird. Ein zufriedenstellendes Verfahren zur Durchführung einer solchen Anodisierung ist bisher Jedoch nicht gefunden. Es ist versucht worden, ein flüssiges Anodisierungsbad zu verwenden,

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dies hat jedoch den Nachteil, daß der Resonator gespült und getrocknet werden muß, "bevor er geprüft werden kann, so daß wiederholte Bearbeitungsvorgänge erforderlich werden, um schließlich die gewünschte Frequenzcharakteristik zu erreichen. Es ist auch bekannt, daß eine Anodisierung durch die Verwendung eines Säuerstoff-Plasmas herbeigeführt werden kann, welches durch eine Glühentladung erzeugt wird, da es bisher jedoch nicht gelungen ist, die entsprechende Wirkung des Plasmas zu lokalisieren, mußte eine hohe Plasma-Energie verwendet werden. Dadurch wurde eine erhebliche HitaB erzeugt, so daß die Gefahr für Fehler bei den Messungen auftrat, und es sind auch Beschädigungen oder Zerstörungen an dem Kristall und den Elektroden unvermeidbar gewesen.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein einfaches und zugleich effektives Verfahren der eingangs näher genannten Art zu schaffen, mit welchem eine selektive Anodisierung individueller Elektroden eines monolithi schen Kristallfilters ermöglicht wird, so daß auf diese Weise die Gesamtfrequenzcharakteristik des Filters eingestellt werden kann.

Weiterhin soll gemäß der Erfindung erreicht werden, daß eine Sauerstoff-Glüheinrichtung mit geringer Energie verwendet werden kann, um das Plasma auf einen lokalisierten Bereich zu konzentrieren, so daß Elektroden eines piezoelektrischen Resonators in einer trockenen Atmosphäre anodisiert oder anodisch oxidiert werden können, ohne daß nennenswerte Hitze erzeugt wird. Dabei soll auch die Gefahr einer Verunreinigung oder einer anderen Beschädigung oder Beeinträchtigung weitgehend ausgeschlossen sein.

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Zur lösung dieser Aufgabe dienen insbesondere die im Patentbegehren niedergelegten Merkmale.

Gemäß der Erfindung ist es möglich, die Frequenzcharakteristik während der Anodisierung zu überwachen, und es werden verschiedene Potentiale selektiv an die Elektroden angelegt, um individuell deren Anodisierung in Reaktion auf die laufend durchgeführten Messungen zu steuern.

Gemäß der Erfindung wird der wesentliche Vorteil erreicht, daß die Frequenzcharakteristik eines monolithischen Kristallfilters oder eines anderen piezoelektrischen Resonators mit mehreren Abschnitten dadurch eingestellt werden kann, daß die Elektroden selektiv anodisiert oder anodisch oxidiert werden, um auf diese Weise ihre Masse oder ihre effektive Dicke zu erhöhen. Gemäß der Erfindung wird mit Hilfe einer Sauerstoff-Glüheinrichtung geringer Energie ein Plasma in einem lokalisierten Bereich benachbart zu den Elektroden zur Anwendung gebracht, und es werden die Elektroden selektiv mit entsprechenden Potentialquellen verbunden, um die Anodisierungswirkung bei den Elektroden steuern zu können. Die Frequenzcharakteristik des Filters wird während des Anodisierungsvorganges überwacht, und die laufend erreichten Meßergebnisse werden dazu verwendet, das Ausmaß der Anodisierung der einzelnen Elektroden individuell zu steuern. Bei der Verwendung von Aluminiumelektroden kann die Glüheinrichtung auch aus Aluminium hergestellt sein, so daß von der Einrichtung kein Material versprüht wird, welches den Resonator verunreinigen könnte. Die Glüheinrichtung enthält kleine Anoden- und Kathodenringe, die durch einen anodisierten Ringisolator voneinander getrennt sind, der das

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Kathodengitter gegen den Kathodenring gedruckt hält. Diese Einrichtung kann leicht und wirtschaftlich aus Aluminium hergestellt werden. Die Anode hat vorzugsweise eine konkave ringförmige Seite, welche benachbart zu dem Resonator angeordnet ist, um das Plasma auf die Elektroden zu richten, so daß die Glüheinrichtung geringer Energie eine effektive Anodisierung der Elektroden liefert, wache in einen Strompfad geschaltet sind. Dieser Vorgang erzeugt sehr wenig Wärme und ermöglicht eine kontinuierliche Überwachung der Frequenzcharakteristik des Resonators, so daß die Anodisierung der einzelnen Elektroden individuell gesteuert werden kann, um die gewünschte Frequenzcharakteristik zu erreichen.

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Die Erfindung wird nachfolgend beispielsweise anhand der Zeichnung beschrieben; in dieser zeigen:

Fig. 1 den Anodisierungsvorgang gemäß der Erfindung und die zur Durchführung des entsprechenden Verfahrens verwendete Vorrichtung,

Fig. 2 einen Teilschnitt, welcher die Annode der Glüheinrichtung veranschaulicht,

Fig. 3 einen Schnitt entlang der Linie III-III in der Fig. 2,

Fig. 4 den Isolator der Glüheinrichtung und Fig. 5 die Kathode der Glüheinrichtung.

Die Figur 1 zeigt eine Sauerstoff-Glüheinrichtung oder eine Kanone 10, welche dazu dient, ein Sauerstoffplasma auf die Elektroden 14, 15 und 16 der piezoelektrxschen Resonatoreinrichtung 11 wirken zu lassen, die als monolithisches Kristallfilter ausgebildet sein kann. Die Elektroden 14, 15 und 16 sind auf einer Seite des Plättchens 12 aus piezoelektrischem Material wie Quarz angeordnet, und auf der anderen Seite sind mitwirkende Elektroden 13 vorgesehen, um drei Resonatorabschnitte zu bilden, welche durch das Plättchen 12 gekoppelt sind. Die Kanone 10 weist eine ringförmige Kathode 20 auf, die an ihrem offenen Ende ein Gitter 21 hat. Die ringförmige Anode 24 ist auf der gegenüberliegenden Seite der Kanone 10 angeordnet, und es ist ein Isolierring 22 zwischen der Anode und der Kathode vorgesehen. Die Kathode 20, der Ring 22 und die Anode 24 können aus Aluminium bestehen, wobei die Oberflächen des Ringes 22 anodisiert sind, um diese Oberfläche nichtleitend werden zu lassen, und

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bestimmte Abschnitte oder Bereiche der Oberflächen der Kathode 20 und der Anode 24 sind euch anodisiert, wie es Tinten noch näher erläutert wird. Das Gitter 21 kann aus einem feinmaschigen, nichtrostenden Stahl hergestellt sein.

Um ein Sauerstoff-Glühen an der Anode 24 der Kanone 10 zu erzeugen, wird die Anode 24 auf einem positiven Potential in bezug auf die Kathode 20 gehalten, wobei das Potential in der Größenordnung von 350 Volt sich als besonders zweckmäßig erwiesen hat. Die Anode 24 hat eine konkave oder konisch ausgebildete Stirnfläche 25» die benachbart zu der piezoelektrischen Einrichtung 11 angeordnet ist und dazu dient, das Plasma auf die Elektroden 14, 15 und 16 zu richten. Es ist zu bemerken, daß die piezoelektrische Einrichtung 11 eine beliebige Anzahl von Elektroden aufweisen kann, wobei die Zahl mehr oder weniger als drei Elektroden betragen kann, die in der Zeichnung dargestellt sind. Das konkave Ende 25 der Anode 24 ermöglicht es, die Resonatoreinrichtung sehr nahe heranzurücken. Der Innendurchmesser der Anode 24 entspricht im wesentlichen der Größe des Durchmessers des Plättchens 12, so daß das Glühen auf die Elektro den 14, 15 und 16 lokalisiert ist.

Die piezoelektrische Einrichtung 11 kann in einem Standard-Sockel gehalten werden, wie es der Fall ist, wenn sie praktisch in einer elektronischen Einrichtung verwendet wird. Diese Anordnung ist schematisch in der Figur 2 durch einen Isolator 30 veranschaulicht, der Sockel 32 aufweist, welche dazu dienen, Leitungen 34, 35 und 36 aufzunehmen, die jeweils an die Elektroden 14, 15 bzw. 16 angeschlossen sind, sowie eine Leitung 38» die mit den Elektroden 13 verbunden ist, welche gegenüber von den Elektroden 14, 15 und 16 auf dem Plättchen 12 angeordnet sind, welches auch als Scheibe bezeichnet werden könnte. Anschlüsse zu den

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Sockeln 32 stehen mit den Leitungen 38 in Verbindung, um die Stromkreise von den Elektroden 13 über die Bypass-Kondensatoren 39 an Masse zu schließen. Der Kreis von der Elektrode 14 erstreckt sich über die Leitung 34 und den Widerstand 40 sowie den Schalter 41 an ein Vorspannungspotential, welches durch ein Potentiometer 42 geliefert wird. In ähnlicher Weise sind Stromkreise von den Elektroden 15 und 16 über Widerstände 46 bzw. 47 und Schalter 48 bzw. 49 an Potentiometer 50 bzw. 51 geführt. Die Potentiometer 42, 50 und 51 sind alle mit einer Klemme 44 verbunden, welche auf ein Potential in der Größenordnung von plus 50 Volt gelegt ist. Die Leitungen 34, 35 und 36 von den Elektroden 14-, 15 und 16 sind ebenfalls über Gleichspannungs-Blockierkondensatoren 52 mit einer Frequenzmeßeinrichtung 54 verbunden.

Um den Anodisierungsvorgang herbeizuführen, werden die Kanone 10 und die Resonatoreinrichtung 11 in eine trockene Sauerstoffatmosphäre bei etwa 1,7 Torr gebracht. Die Kammer um die Kanone 10 und die Resonatoreinrichtung 11 herum ist durch die gestrichelten Linien 29 schematisch dargestellt, und zwar zusammen mit der Basis 28 und em Isolator 30. Die Anode 24 der Glühkanone 10 kann über das Element 10 an Masse gelegt werden. Die Kathode 20 kann über das Element 23 an ein negatives Potential angeschlossen werden. Die Elemente 23 und 26 können auch als Stützen oder Halterung für die Kanone ausgebildet sein, wie es unten noch näher erläutert wird. Das zwischen der Anode 24 und der Kathode 20 vorhandene Potential erzeugt einen Glühstrom in der Größenordnung zwischen 0,25 und 2,0 Miliampere. Dadurch entsteht eine Plasma-Strömung zwischen dem Gitter 21 und der Fläche 25 der Anode 24, so daß das Plasma auf die Elektroden 14, 15 und 16 der Resonatoreinrichtung 11 lokalisiert ist.

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Das Ausmaß der Anodisierung der Elektroden 14, 15 und 16 wird selektiv durch, die selektive Anwendung von Potentialen auf die Elektroden über die Schalter 41, 48 und 49 sowie über die Potentiometer 42, 50 und 51 gesteuert. Die Anodisierungstiefe in der Größenordnung von 400 Angström bei einem Auflösungsvermögen von plus oder minus 1 Angström läßt sich erreichen, weil der Vorgang sehr gleichförmig und stabil abläuft. Da keine Anodisierung stattfindet, wenn eine Elektrode nicht in einen Rückführkreis geschaltet ist, können die Elektroden verschieden stark anodisiert werden. Ein positives Potential in der Größenordnung von 50 Volt wird an die Klemme 44 angelegt, und die Potentiometer 42, 50 und 51 können derart eingestellt werden, daß ein Teil dieses Potentials, beispielsweise 30 Volt, an die Elektroden angelegt wird. Die Durchdringung oder das Eindringen der Anodisierung hängt bei jeder Elektrode von dem angelegten Potential ab und ist weiterhin von der Zeit abhängig, über welche die Elektrode angeschlossen ist.

Die Elektroden 14, 15 und 16 der Resonatoreinrichtung 11 sind mit einer Frequenzmeßeinrichtung 54- verbunden, die bekannter Konstruktion sein kann. Die Elektroden können mit getrennten Meßkreisen verbunden sein oder sie können nacheinander mit einer einzigen Meßschaltung verbunden werden. Die Meßschaltungen werden von der Resonatoreinrichtung 11 über die Kondensatoren 39 an Masse gelegt, und die Kondensatoren 39 sind mit den Elektroden 13 verbunden. Bekanntlich weist ein monolithisches Kristallfilter eine Mehrzahl von Abschnitten auf, die akustisch durch das Plättchen oder die Scheibe gekoppelt sind, Und die Gesamtcharakteristik des Filters hängt von den einzelnen Ansprech-Eigenschaften der Abschnitte ab. Durch die Messung des Ansprechverhaltens oder der Charakteristik und durch selektive Steuerung

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der an die Elektroden gelegten Potentiale kann jede der Elektroden "bis auf diejenige Tiefe anodisiert werden, welche erforderlich ist, um ein gewünschtes Verhalten oder eine angestrebte Charakteristik zu liefern. Da die Anodisierung in einem trockenen Vakuum stattfindet, sind die Messungen genau und können gegebenenfalls kontinuierlich durchgeführt werden.

Einzelheiten der Anordnung der Sauerstoff-Glühkanone 10 sind in den Figuren 2 bis 5 dargestellt. Die Figur 2 ist ein Grundriß der Anode 24, gesehen auf die konkave Fläche 25, und die Figur 3 ist ein Schnitt entlang der Linie III-III in der Figur 2. Die Figur 2 zeigt eine spezielle Form des Anschlusses und der Halterung 26 sowie der damit verbundenen Isolierhülse 60. Die Hülse 60 ist aus einem Plastik isoliermtterial wie Delrin hergestellt, und sie hat ein Innengewinde, welches mit dem Gewinde auf der Halterung im Eingriff steht. Eine Anschlußspitze 62 innerhalb der Hülse 60 hat ein spitzes Ende 63, welches in eine Ausnehmung in der Halterung 26 hineinpaßt und durch eine Feder 64 dagegengedrückt wird. Die Anschlußspitze 62 hat eine Ausnehmung 65» welche dazu dient, eine Leitung 66 aufzunehmen, die eine elektrische Verbindung durch die Spitze 62 und die Halterung 26 mit der Anode 24 herstellen soll. Wie oben bereits erläutert wurde, kann die Anode 24 aus Aluminium bestehen, und deren innere Oberfläche 27 sowie deren Fläche 25 sind leitende Flächen, die dazu dienen, die aktiven Anodenoberflächen darzustellen. Die übrigen Oberflächen der Anode können anodisiert sein, um diese Flächen zu isolieren. Der Glühbereich ist auf das Innere der Kanone 10 konzentriert und ist direkt benachbart zu der konkaven Fläche 25 der Anode 24 angeordnet.

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Die Figur 4 ist ein Querschnitt durch den Isolator 22, der zwischen der Anafe 24 und der Kathode 20 angeordnet ist. Alle Oberflächen dieses Aluminiumringes 22 sind anodisiert, so daß sie einen Isolator bilden. Die benachbart zu der Kathode 20 angeordnete Oberfläche hat einen ringförmigen Ansatz 31, der gemäß der Darstellung in der Figur 1 mit dem Kathodengitter 21 im Eingriff steht.

Die Figur 5 zeigt die Kathode 20 der Glühkanone 10 und zeigt die Halterung 23, welche dazu dient, die Glühkanone zu halten und anzuschließen. Diese Halterung kann ähnlich aufgebaut sein oder identisch ausgebildet sein wie die Halterung 26, die mit der Anode 24- verbunden ist. Weiterhin kann eine Isolierhülse vorgesehen sein, die mit der Hülse 60 identisch ist, und es kann schließlich eine Anschlußspitze vorhanden sein, die mit der Anschlußspitze 62 identisch ist (siehe Figur 2). Die Kathode 20 hat eine Ausnehmung 19 zur Aufnahme des Gitters 21, welches als feinmaschiges Gitter aus rostfreiem Stahl hergestellt sein kann. Der Ansatz 31 auf dem Isolator 22 steht mit dem Gitter 21 im Eingriff und erstreckt sich in die Ausnehmung 19, um das Gitter 21 an Ort und Stelle zu halten. Die Innenoberfläche 18 der Kathode 20 und deren Ausnehmung 19 sind aus leitendem Material, um einen Strompfad zum Gitter 21 zu bilden, und der übrige Teil der Kathode 20 kann anodisiert sein, öffnungen 17 sind in dem geschlossenen Ende der Kathode 20 vorgesehen, um eine Sauerstoffströmung durch diese öffnungen zu ermöglichen.

Wenn entsprechende Potentiale an die Glühkanone 10 gemäß der Darstellung in der Figur 1 angelegt werden, wird ein Glühbereich von dem Gitter 21 zu der konkaven Fläche 25

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der Anode aufgebaut. Dieser Bereich kann eine Länge in der Größenordnung von 20 mm und einen Durchmesser von etwa 20 mm haben. Die Gesamtlänge der Kanone 10 kann weniger als 50 mm betragen. Auf diese Weise wird eine kleine, mit geringer Energie betreibbare Sauerstoff-Glüheinrichtung geschaffen, welche das Sauerstoffplasma auf die Fläche 25 der Anode 24 konzentriert bzw. lokalisiert, so daß es auf die Elektroden der Resonatoreinrichtung 11 gerichtet werden kann. Die Kanone 10 erzeugt eine geringe Wärmemengen, so daß sie den Resonator nicht beschädigt oder die Überwachung dessen Frequenzcharakteristika stören könnte.

Es dürfte ersichtlich sein, daß die Messungen, die durch die Meßeinrichtung 24 erreicht werden, dazu verwendet werden können, die individuelle Anodisierung der Elektroden der Resonatoreinrichtung auf verschiedene bekannte Arten zu steuern. Beispielsweise kann vom Bedienungspersonal die Messung beobachtet werden und es können die Schalter 41, 48 und 49 sowie die Einstellungen der Potentiometer 42, 50 und 51 entsprechend geändert werden, um die erwünschte Wirkung herbeizuführen. Es kann auch eine universelle Datenverarbeitungseinrichtung dazu verwendet werden, die Messungen aufzunehmen und die entsprechenden Steuerungen nach einem vorgegebenen Muster vorzunehmen.

Der oben beschriebene Vorgang sowie die entsprechende Anordnung haben sich sehr zweckmäßig dafür gezeigt, die Frequenzcharakteristik eines piezoelektrischen Resonators mit mehreren Abschnitten einzustellen, beispielsweise eines monolithischen Kristallfilters. Da das Ansprechverhalten oder die Charakteristik kontinuierlich überwacht werden kann und da die Anodisierung der Elektroden jeweils individuell gesteuert werden kann, läßt sich eine sehr genaue Einstellung leicht herbeiführen. Das Verfahren erfordert ein Plasma mit sehr geringer Energie, so daß im wesentlichen keine Gefahr einer Beschädigung des Resonators besteht, der eingestellt

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Claims

Patentansprüche

.' Verfahren zur Einstellung der Frequenzcharakteristik einer piezoelektrischen Resonatoreinrichtung, die eine piezoelektrische Scheibe aufweist, die eine Mehrzahl von Resonanzabschnitten hat, von denen jeder eine anodisierbare Elektrode aufweist, wobei die Elektroden einer Vielzahl von Abschnitten benachbart zueinander angeordnet sind, dadurch gekennzeichnet, daß den benachbarten Elektroden (14, 15, 16) ein Sauerstoff-Plasma zugeführt wird, daß weiterhin in selektiver Weise Gleichstrompotentiale an die einzelnen Elektroden (14, 15, 16) angelegt werden, um deren Anodisierung herbeizuführen, und daß die Frequenzcharakteristik bzw. das Frequenz-Ansprechverhalten der Resonatoreinrichtung (11) während der Anodisierung der Elektroden (14, 15» 16) gemessen wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Wert des Potentials, welches an die Elektroden (13, 14, 15, 16) angelegt wird, und die Dauer der Einwirkung dieses Potentials in der Weise gesteuert werden, daß dadurch die Anodisierung der individuellen Elektroden beeinflußt und gesteuert wird.
3· Verfahren nach Anspruch 1* dadurch gekennzeichnet, daß das Plasma den Elektroden (13* 14, 15, 16) in einer trockenen Vakuum-Atmosphäre zugeführt wird und daß das Plasma auf den Bereich benachbart zu den Elektroden begrenzt wird.
4. Verfahren zur Einstellung der Frequenzcharakteristik eines monolithischen Kristallfilters, welches eine Quarzresonatorplatte mit einer Mehrzahl von Aluminiumelektroden

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auf ihrer einen Seite aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß ein Sauerstoff-Plasma geringer Energie erzeugt wird, daß das Plasma auf einen lokalisierten Bereich angewandt wird, welcher die Aluminiumelektroden (14, 15, 16) enthält, daß in selektiver Weise die Elektroden (14, 15» 16) in einer Schaltung (30 bis 54) angeordnet werden, um eine selektive Anodisierung der Aluminiumelektroden (14, 15» 16) herbeizuführen, und daß die Veränderung in der Frequenzcharakteristik des Resonators (11) während des Anodisienngsvorganges gemessen wird.
5- Verfahren nach Anspruch 4, dadurch ge.kennzeichn e t, daß der Anschluß der Elektroden (14, 15, 16) in der Schaltung in Reaktion auf die Messungen der Frequenzcharakteristik derart gesteuert wird, daß auf diese Weise die Anodisierung der individuellen Elektroden (14, 15, 16) gesteuert wird und das gewünschte Frequenz-Ansprechverhalten bzw. die gewünschte Frequenz-Charakteristik erreicht wird.
6. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Plasma den Elektroden (14, 15, 16) in einer Umgebung zugeführt wird, welche von Materialien frei ist, welche das Filter (11) verunreinigen könnten.
7. Vorrichtung zur Einstellung der Frequenzcharakteristik einer piezoelektrischen Resonatoreinrichtung, die eine piezoelektrische Scheibe mit einer Mehrzahl von Resonanzabschnitten aufweist, von denen jeder eine anodisierbare Elektrode hat, wobei die Elektroden der Mehrzahl der Abschnitte benachbart zueinander angeordnet sind, dadurch gekennzeichnet, daß eine Sauerstoff-Glüheinrichtung (10) geringer Energie vorgesehen ist, um ein Plasma geringer Energie zu erzeugen, daß dxe Glüheinrichtung eine ringförmige Anode

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(24) und eine ringförmige Kathode (2C) aufweist, die gegeneinander isoliert sind, daß die ringförmige Anode (24) einen Innendurchmesser aufweist, der im wesentlichen dieselbe Größe hat wie die Resonatoreinrichtung, daß weiterhin eine Einrichtung (23, 26, 28) vorgesehen ist, welche zur Halterung der Einrichtung (10) benachbart zu der ringförmigen Anode (24) dient, und daß eine Schaltungseinrichtung (34 bis 44) vorgesehen ist, um eine Verbindung mit den Elektroden (14, 15, 16) des Resonators (10) herzustellen, damit entsprechende Potentiale daran angelegt werden können und damit dessen Frequenzcharakteristik gemessen werden kann.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7» dadurch gekennzeichnet, daß die Anode (24) eine konkave Fläche aufweist, um das Plasma in einen lokalisierten Bereich zu richten, zu dem die Elektroden (14, 15» 16) gehören.
9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Glüheinrichtung (10) ein leitendes Gitter (21) aufweist, welches über der Kathode (20) angeordnet ist und mit der Anode (24) derart zusammenwirkt, daß ein Glühbereich festgelegt ist.
10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Glühbereich sich innerhalb der Glüheinrichtung (10) von dem Gitter (21) auf die konkave Fläche (25) der Anode (24) erstreckt.

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