DE2931866A1

DE2931866A1 - Objekthalter fuer elektronenmikroskope und elektronenbeugungskameras

Info

Publication number: DE2931866A1
Application number: DE19792931866
Authority: DE
Inventors: Charles Edward Warble
Original assignee: Commonwealth Scientific and Industrial Research Organization CSIRO
Current assignee: Commonwealth Scientific and Industrial Research Organization CSIRO
Priority date: 1978-08-08
Filing date: 1979-08-06
Publication date: 1980-02-14
Also published as: JPS5549852A; US4242586A; GB2027930A; GB2027930B

Description

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Cxi GAVISn-T Campbell (;_U3

v.."fa_L; ektnalter .Tür fielet; roBennikroskope jjjid Alek- ^ron 3 iibeuyaa ^ska

Die Arfindixnrr ö-?.trif_t CbjyK.unaltsu für elektronis

v/ie ATlektronenTiicroekGyc and dilektron

yür d-i,.: 3~tr:-.Äjeii oder Au Γη earn en von O'o.ielc^eri. .?.it -IiIeI-: "roKeniiiikrosiropen oder- 3ieIcu_?ori5:iGei3i.--\m_;;"k?-ni£rai; ist -j .. iiäuii^ ervr^nscht, d--\o üojeiri; j.iit dilfe einer dehr kleinen Stelleinrlcntunr zu neigen, als in äesi Mikroskop oder ier Tv3me:.'^. y.ngecr::.net ist, lib? eliAise Zv^ecke ist es ferner erv.lüisc'iiu, die denpero.t-io: des Cbnekts 3u eiidern- zu .^ieeeiu I'ueelr. is" salioii Yorgesc^TiI--je V/O--::.e:2 , einen Ot^ektuudoer so aiizuoränsD* d;.s? er z^r deradse i;^u:ig seiner ίο Pipers fur rait ·511λ3Β1 ulüssirsticksuof ft-r. d in dctrinedoerurapunvsegzlihiing so eilt, so dass die Iercpers;~ur dee Objeia-uaiuers iiera'bresetst v;ird, und d.,.3 Objekt ::ax:;: den Cb^eictkaiusr uuf eiiiei gitterförmigen Teil desselben anzuordnen, der durcii einen hindurchfließenden elektrischen Strom evrAvz'o v/erden kann«.

In der AU-P3 291 4-12 is τ ζιχηι Tragen und Teigen eines Objekts in einen Elektronenmikroskop oder einer 3sug"ongs-

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kamera ein Mechanismus mit einem Objekthalter angegeben, der an seinem Umfang von drei Armen getragen wird, von denen zwei von entgegengesetzten Seiten des Halters abwärtsß-erichtet sind. Der Objekthalter ist oberhalb eines hohlkegeligen Schafts so angeordnet, dass sich die Arme längs des ,lufienumfanges des Schaftes abwärts erstrecken. Es ist eine Betätigungseinrichtung vorgesehen, mit der die Arme derart vertikal bewegt werden können, dass der Objektleiter um eine Linie verschwenkt wird, welche die Stellen durchsetzt, an denen die beiden einander gegenüberliegenden Arme den Umfang des Objekthalters berühren. Durch die Betätigung jedes der Arme kann der Objekthalter in jeder Sichtung geneigt werden.

Der Körper des Objekthalters gemäß der AU-PS 291 4-12 besitzt zwei Teile, die durch Fräsen aus einem Block aus einem wärmeleitenden und elektrisch leitenden Material, wie Messing, hergestellt sind. Diese Teile sind so befestigt, dass sie voneinander isoliert sind. Durch den Zwischenraum zwischen den Schenkeln eines U-förmigen Tragteils erstreckt sich ein feinmaschiges Gitter, das in einer Schwalbenschwanznut eingeklemmt ist, die in den Teilen des Haltekörpers ausgebildet ist. An drei Stellen am Umfang des Objekthalters sind auswärtsgerichtete, konische Ansätze vorgesehen, die in Ausnehmungen eingesetzt '.verden können, die an den Enden der Stellarme vorgesehen sind. Zwei der Stellarme können derart mit einer elektrischen Stromquelle verbunden werden, dass in einem durch das Gitter geschlossenen Stromkreis Strom durch die Arme und die Teile des Halterkörpers fließt. Unter der Einwirkung des Stromflusses durch das Gitter kann man Temperaturen erreichen, die beispielsweise zum Schmelzen von Sittern aus Palladium oder Platin genügen, während

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die Umgebungstemperatur auf der Temperatur von ?lüssigstickstoff gehalten wird, indem zwischen dem Objekthalter und einem flüssigstickstoffvorrat eine ΐ/ärmeübertragungsbezishung hergestellt wird. Normalerweise ist der übjekthalter zum Schutz vor Verunreinigungen mit einer geeigneten Kappe abgedeckt, die eine kleine Ausnehmung für den Durchtritt eines elektronenstrahls besitzt.

In üblichen Elektronenmikroskopen oder Beugungskameras ist der Objektiv-Polschuh zylindersymmetrisch und mit einer zentralen Borhung ausgebildet, die einen sehr kleinen Durchmesser von etwa 6 mm hat. Der Mechanismus zum Neigen des Objekthalters muß unbedingt in der Brennebene dieses Polschuhs angeordnet werden, damit das Objekt geneigt werden kann, ohne dass die Auflösung des Mikroskops beeinträchtigt wird. Daher ist es wichtig, dass in dem Polschuh genügend Platz vorhanden ist und die Abmessungen des Neigemechanismus entsprechend gewählt sind.

Ein Nachteil des Objekthalters gemäß der AU-PS 291 besteht darin, dass infolge der Verwendung von zwei aus einem Messingklotz hergestellten, gefrästen Teilen der Objekthalter sehr dick und voluminös beschränkt sind. Ferner ist das Zusammensetzen des Objekthalters infolge der Verwendung sehr kleiner Teile äußerst kompliziert. Dies gilt besonders für die präzise Anbringung der vorstehenden konischen Ansätze am Umfang der Teile des Halterkörpers, wozu ein Dorn erforderlich ist. Diese Ansätze müssen mit hoher Präzision angebracht werden, weil zwei von ihnen die Schwenkachse für den Objekthalter bestimmen. Ein weiterer Nachteil eines derartigen Objekthalters betrifft die Anbringung des Gitters. Beim Einschweißen oder

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oder Einkeilen des Gitters in eine ochwalbenschwenznut wird das Gittei' verformt. Dieae Verformungen können zu eine unerwünschten Abtrift des Bildes und in manchen Fällen sogqr zu einem Ausfall des Gitters führen. Wenn das Gitter mit z-,vei Schrauben eingespannt wird, ist zur Aufnahme derselben ein höherer Block erforderlich, so dass .Mus dem vorstehend angegebenen Grund der zulässige Schwenkwinkel verkleinert wird» Ferner führt diese Art der ^inspannung zu einem höheren elektrischen Übergangswiderstand am Gitter und ein derartiger Gbjekthalter muß häufig gereinigt werden, normalerweise mit Ultraschall«

Die Aufgabe der Erfindung besteht in der Schaffung eines Objekthalters, mit dem die vorgenannten Probleme gelost und Nachteile beseitigt v/erden.

Ein Objekthalter, der im Gebrauch mittels der Arme eines Stellmechanismus an drei Seiten in einem elektronischen Instrument gehalten wird und eine Trageinrichtung besitzt, die eine Öffnung und an drei Seiten vorspringende Flansche aufweist, die an den Armen eines Stellmechanismus so befestigbar sind, dass mittels desselben der Objekthalter geneigt werden kann, zeichnet sich gemäß der Erfindung dadurch aus, dass die Trageinrichtung einen aus dünnem Blattmaterial bestehenden, ersten Tragteil besitzt, der über einem Paar von im Abstand voneinander in einer Ebene angeordneten Tragelementen angeordnet ist, die aus dünnem Blattmaterial bestehen und gegenüber dem ersten Tragteil elektrisch isoliert sind und je einen der Flansche tragen und mit ihm einstückig sind, wobei die beiden Tragelemente und die mit ihnen einstückigen

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Plansche elektrisch leitend sindc

Der erste Tx's^teil knrui .,en ar it .en Flansch tragen und mit Ihm einstückig sein. Der erste Tz'agteil kann mit den beiden 'jragelementen durch einen isolierenden Klebstoff verklebt sein, in einer anderen äusführungsform können der erste Tragteil und die beiden Tragelemente durch eine Reaktion nit sLner zwischen ihnen an geordneten Scheibe aus sch.ver schmelzbarer Oxidkeramik verbunden sein, die als Isolator wirkt.

In einer oavorzugten ^usführungsform sind die beiden Plansche parallel und haben sie je eine Ausnehmung für die \ufnähme eines Vorsprungs, der an dem zugeordneten Arm der Stelleinrichtung vorgesehen ist und diese sind ausnehmungen miteinander koaxial, so dass sie eine Schwenkachse für den Cbjekbhalter bestimmen. Die Ausnehmungen in den Planschen erstrecken sich vorzugsweise zum Teil in die zwischen den beiden Planschen angeordneten Innenflächen der zugeordneten Tragelemente, so dass die genannte Schwenkachse in fier iSbene der genannten Innenflächen liegt.

Der dritte Plansch ist vorcrLlhafterv/eise mit einem Schlitz ausgebildet, der einen Vorsprung an dem entsprechenden Arm der Stelleinrichtung aufnimmt.

Pur die Verwendung in -ilelstcorischen Instrumenten kann der Objekthalter mit einem die Trageinrichtung überbrückenden und vorzugsweise mit ihr punktverschv/eißten, elektrisch leitenden Gitter versehen Süin. ^ni^rechend den üblichen technischen Sprachgebrauch muß aber der Obnekthalter nicht unbedingt ein auf seiner Trageinrichtung vorgesehenes Gitter aufweisen·

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Die Erfindung besitzt ferner eine mit eiern vorstehend beschrieoenen Objekthalter versehene Stellvorrichtung für ein !.-iasterelektronen^ikroskop oder eine ilektronenbe ur;un_::jkame ra.

Zwei Ausführungsbeispiele der Erfindung v/erden η chsfcehend anhand aer beigefügten Zeichnungen beschrieben. In diesen zeigt

.Ij¹XC. 1 zwei vorgefertigte Teile einec Objektleiters

i-'ig. 2 sch'-iUbildlich einen Objekthalter nach einer ersten Ausführungsform der Erfindung und

j?ig. 3 in einer der Fig. 2 ähnlichen Darstellung den Objekthalter mit den Gitter zur Aufnahme des Objekts .

Die Figüen 4·, 5 und 6 zeigen in den Figuren 1, 2 bzw. entsprechenden Darstellungen einen Objekthalter nach einer zweiten Ausführungsform der Erfindung.

Der in Fig. 2 gezeigte Objekthalter 8 besitzt zwei vorgefertigte Tragstücke 10 und 11 (Fig. 1) aus elektrisch leitendem und wärmeleitendem, antimagnetxschem Blattmaterial. Geeignete Verkstoffe sind blattförmiges Platin, Aluminium, Messing, Phosphorbronze und Palladium. Der erste i'ragteil 10 bildet eine rechteckige Tragplatte 21, die an ihrem einen Rand 22 unter Bildung eines Flansches 23 aufwärts abgekantet ist. der zweite Tragteil 11 bildet ebenfalls eine rechteckige Tragplatte 12, die an zwei entgegengesetzen Ländern 12 und 14- unter Bildung von parallelen Flanschen Io und 17 rechtwinklig zu der

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λΑ
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Tragpl-itte II abgekantet ist. Der zweite Tr33teil 11 wird ui^% de..- Oberseite des ersten Trhjteils IO angeordnet und mit ihm durch einen geeigneten Klebstoff, z.Bo AV8 Ar -ldit (j'arenzeich-en) im Gemisch jr.it -i/olierpulver -xVlü Tonerde, verbunden. Datei befinden sich zwischen den beiden Tragteilen auch einige Körner aus gemaüLenem Glas, die gewährleisten, dass uie Tratteile einander nicht berühren. Da die beiden Trarteile im Abstand voneinander gehalten werden und zwischen ihnen der Klebstoff vorhanden ist, sind die beiden Tragteile elektrisch vonein-. η ei¹ isoliert.

In die Tragplatten 12 und 21 der miteinander verbundenen Tragteile 10 und 11 wird nun eine zentrale öffnung 30 gebohrt. Dann wird in die tragplatte 12 des zweiten Tragteils 11 ein diagonaler Schlitz 32 geschnitten und dadurch der zweite Tragteil in zwei Tragelemente 11a, 11b geteilt, die elektrisch voneinander isoliert und mit je einem Flansch 16 bzw. 17 einstückig sind.

Die Flansche 16 und 17 besitzen je eine Ausnehmung 19 und 20. Diese miteinander koaxialen Ausnehmungen erstrecken sich zwischen den Flanschen zum ieil in die Innenflächen 12a, 12b der Tragelemente 11a, 11b und werden auch in die Tragplatte 21 des Tragteils 10 geschnitten. Der Flansch 23 besitzt einen langgestreckten Schlitz 24, der sich in meiner Querrichtung in die Tragplätten 12, 21 des Tragelements 11a bzw. des Tragteils 10 erstreckt.

Schließlich wird der Objekthalter 8 zu der in Fig. 2 gezeigten Umrißform zugeschnitten. Dabei erhält der dem geschlitzten Flansch 23 entgegengesetzte Hand 3I die in Fig. 2 gezeigte Umrißform und werden die Flansche 16 und

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an den Snden verkürzt, Ferner werben die Ränder aller Flansche gemäß Figo 2 abgerundet.

Für die Verwendung in elektronischen Instrumenten wird aer Objekthalter 8 mit einem feinmaschigen Gitter (Fig. 4·) vorsehen, das beispielsweise aus Palladium oder Platin besteht und derart mit der Tragplatte 12 deti zweiten Tragteils punktverschweißt wird, dass es die Öffnung 30 überbrückt und die durch den Schlitz 32 voneinander getrennten Tragelemente 11a, 11b elektrisch miteinander verbindet. Bei 82, 83 wird das Gitter 80 mit den Tragelementen 11a, 11b durch Punktschweißung verbunden, die mit Hilfe einer sehr dünnen Kohlenelektrode vorgenommen wird· Im Gebrauch trägt das Gitter 80 das Untersuchungsobjekt.

Der in Fig. 4 bis 6 gezeigte Objekthalter 9 nach der zweiten Ausführun_sform der Erfindung ähnelt dem Objekthalter 8 und ist ähnlich aufgebaut wie dieser. Esmrd jedoch der erste Tragteil 50 mit seiner Tragplatte 58 so in den darunterliegenden zweiten Tragteil 51 eingesetzt, dass die Flansche 52 und 53 der Tragelemente 51a, 51t» die Tragplatte 58 des ersten Tragteils 50 umgreifen. Ferner sind die einander gegenüberliegenden, koaxialen Ausnehmungen 54- und 55 in den Flanschen 52, 53 und der Schlitz 57 im Flansch 56 vollständig in den entsprechenden Flanschen angeordnet und befindet sich das Gitter 81 über der öffnung 90 außerhalb des Objekthalters·

Zum Gebrauch wird der Objekthalter 8 oder 9 gemäß der Erfindung an einem Stellmechanismus angebracht, der drei Arme besitzt und ähnlich arbeitet wie der in der AU-PS 29I 4-12 angegebene. Dabei'sind jedoch die Arme des Stellmechanismus mit auswärtsgerichteten halbkugeligen Vorsprüngen aus Phosphorbronze versehen, die in die einander

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ORIGltiÄ i

gegenüberliegenden Ausnehmungen 19» 20 oder 54, 55 und den Schlitz 24 oder 57 des Objekthalters eingreifen. Durch wan IWe i se ietätigung dieser A-'ne ka.an ier Objekthalter in verschiedene Stellungen geneigt werden. Dabei wird von den Ausnehmungen 19» 20 oder 54, 55 eine Schwenkachse bestimmt. Bei dem Übjekthalter 8 können diese Achse und die üittellinie des in den Schlitz 24 eingreifenden Vorsprunges im wesentlichen in der Ebene der Innenfläche und damit im wesentlichen in der Ebene des Gitters angeordnet sein, so dr.^:-ss die Translationsbewegung des Objekts auf ein Llinimum reduziert wird. In manchen Fällen ist jedoch ein größerer Abstand von der Objektivöffnung erforderlich. Dieser größere Abstand kann mit Hilfe des Objekthalters 9 erzielt werden, in die von den -ausnehmungen 54, 55 bestimmte Schwenkachse gegenüber dem Gitter versetzt ist.

In beiden Ausführungsformen ist die Ausnehmung in der Tragplatte des zweiten Tragfceils 11 oder 51 kleiner als die Ausnehmung in dem ersten Tragteil 10 oder 50. Dadurch wird gewährleistet, -.ass ein Teil des Umfanges der Ausnehmung des zweiten 3?-igteils die Ausnehmung dos ersten Tragteils überlappt und den isolierenden Klebstoff gegenüber dem Elektronenstrahl abschirmt, so dass auf elektrische Aufladungen zurückzuführende Verzeichnungen des Bildes vermieden werden.

Vorstehend wurde bereits erwähnt, dass durch die Arme des Stellmechanismus und die aus Phosphorbronze bestehenden Vorsprünge ein elektrischer Strom den Flanschen und 17 oder 52 und 53 zugeführt wird. Dabei wird der Stromkreis durch das Gitter 80 oder 81 geschlossen, das als Heizwiderstand wirkt, so dass das darauf angeordnete

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Objekt erz/ärmt werden Kann. 7ie in der AU-PS 291 4-12 -angegeben ist, kann mindestens ein Arm der Stelleinrichtung mit einer d'lüssigstickstoff quelle in Verbindung stehen, so 'ass die umgebende Trageinrichtung des Objekthalbers gekühlt werden form. Über dem in Stellung befindlichen Objekthalter wird gewöhnlich zum Schutz vor Verunreinigungen eine geeignete Kappe angeordnet, die eine kleine öffnung für den Durchtritt eines Elektronenstrahls besitzt. Diese über dem Objekthalter angeordnete Kappe kann den Schwenkbereich des Objekthalters beschränken. Aus diesem Grunde werden die Ränder der Flansche und der freie .Rand der Platte weggeschnitten, damit der Objekthalter bei seiner Verschwenkung weniger Platz benötigt.

In einem praktischen Ausführungsbeispiel des Objekthalters 8 bestehen der Tragteil 10 aus 0,3 mm starken Aluminiumblech, und der Tragteil 11 aus 0,18 mm starkem Platinblech. Die beiden Tragteile sind durch AV8 Araldit (./orenzeictm) im Gemisch mit ^onerde-Polierpulver miteinander verklebt. Zwischen den einander gegenüberliegenden Flächen der beiden Tragteile befinden sich einige Körner aus gemahlenem Glas₀ Nach den verschiedenen Verformungs- und sonstigen Herstellungsvorgängen ist eine im wesentlichen rechteckige Anordnung mit einer Seitenlange von etwa 2,5 mm erhalten worden, deren Bodenteil eine Dicke von etwa 0,5 mm hat.

In einem anderen praktisch ausgeführten Objekthalter bestehen beide Tragteile aus Platinblech und der ^oden hat nach dem Verbinden der beiden Tragteile miteinander eine Dicke von 4,3 mm, wobei die Seitenlänge des Cbjekthalters 2,5 mm und sein Gewicht 0,020 g beträgt.

Gegenüber dem Objekthalter gemäß der AU-PS 292 4-12

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hs"." der vorsüe^ond beschriebene Objekthalcer eine Anzahl von wich eigen Vorteil en. Beim Vergleich ist zu "bedenken, das3 die 3-.-Kin£e eiaν Objektleiter sehr klein sind und in den "^iguren 1 und 2 die Teile in 16-facher Vergrößerung dargestellt aim.

Beim Var:<ijiüh das Cb.iekthalters gemäß der Erfindung mit den gefrästen Übjekthalter gemäß der AU-P3 292 412 erkennt nan, lass der bekannte Cbjekthalter die Baumaße des "bekannten Cbjekthalters durch eine Dicke von etwa 1,5 mm und einen Durchmesser von 3 mm gegeben sind und er ein lev/icht von etwa C,05 ä¹ hat. i,r besitzt undurchbrochene .J-e it en wände und hat nicht die teilweise weggeschnittenen Flansche des Objektnalters gemäß der Erfindung, in dem diese teilweise weggeschnittenen Flansche und der relativ dünne Soden dazu führen, dass im Bereich des Objekthält era mehr freier Raum vorhanden ist, so dass der Objekthalter leichter um 45 verschwenkt werden kann, ohne das Gesichtsfeld einzuschränken. In den meisten fällen ist; ein Schwenkbereich von 45° nach jeder Seite vollkoruren ausreichend.Dank äev Verwendung von vorgefertigten Teilen aus dünnem Blattmaterial kann der Objäcthalter auf einfache „eise zusammengesetzt und daher viel einfacher hergestellt werden, als der bekannte Objekthalter, zu dessen Herstellung komplizierte Fräs- und andere Zerspannungsvorgänge erforderlich sind. Ferner kann dank der in den Flanschen vorgesehenen Ausnehmungen zur Aufnahme von Vorsprüngen der Arme der Stelleinrichtung der Objekthalter viel einfacher an den Armen der Stelleinrichtung angebracht werden als der bekannte ^ubjekthalter, bei dem durch schwierige spangebende Bearbeitung hergestellte Ansätze in Ausnehmungen der Arme der Stelleinrichtung genau festgelegt werden müssen,

Die halbkugelförmigen Vorsprünge aus Phosphorbronze an den Enden der Arme der Stelleinrichtung können durch

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;.; tanzen r^enau ausgebildet ,vercxen. Es hat sich gezeigt, ά-.sa durch ά·-.ί: Zuöainiuemvirken der kugeligen Fläche dieser Vorsprung und der ausnehmungen in den ihnen zugeordneten r'lanwellen ie..: Cl^ek'ühaltei's eine besonders verschleißfeste, sich selbst im Eingriff haltende Abstützung 3cc Cb.jekthalter:-- erzielt Aird. ferner neigen bei häufigem Gebrauch die Vorsprünge zum Ausarbeiten von entspreche :3en ku^üli^en !''Ischen am Rand der Ausnehmungen in den Flanschen, wodurch sowohl der elektrische Eontakt als auch die Festle^Linr; des Objektleiters an den Armen der Stelleinrichtung verbessert wird. Der Schlitz in dem dritten Flansch nimict ebenfalls einen aus Phosphorbrenze bestehenden Vorsprung auf, der an dem Snde des A.rms der Stellvorrichuung ausgebildet ist, und die Relativbewegung dieses Teils in cem Schlitz ermöglicht eine freie kinematische Verschwenkung des Cbjekthalters in -".lien iiiehtungen.

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-Al-Leer seife

Claims

Patentanspruchs '

lc) Objekthalter, rier im Gebrauch mittels de?· Arme eines Jt dll'ii-chaiiisiaus an drei Seiten in einem elektronischen Instrument; «gehalt υ η ard und eine ir^geinrichtung besitzt, axe eine öffnung and an drei Seiten vorspringende Plansche auf..eist, lie an den Armen eines .otellmechanismus so bufestigbar sind, dass mittels desselben der Objekthalser geneigt Serien kann, dadurch gekennzeichnet, dass die e'ragsinrich-üung (12, 21; 5S> 59) einen aus dünnem Blattmaterial besGehenden, ersten d'ragteil (10;50) besitzt, der über einem Paar von im Abstand voneinander in einer :3bene angeordneten Tragelementen (lla, üb; 31a, 51b) an ;eordnet ist, die aus dünnem Blattmaterial bestehen una gegenüber -Lern ersten Iragteil (IC; ^,Q) elektrisch isoliert sind und je einen der r'lansche (16, 1?; 52, 53) tragen und mit ihm einstückig sind, ,vobei die beiden d'ragelemente (Ha₅ lib; 51a, 51b) und die mit ihnen eiri-GÜekigen flansche (16, 17; 52, 53) elektrisch leitend sind«

2c Objekthalter nach Anspruch 1, dadurch _&ekermseichnet_s dass der ensile Tragseil (IC; 50) den dritten Flansch (23;56) trägt und mit ihm einstückig ist

3ο Objekthalter nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Xragteil (10; 50) laiv den Tr age-lementen (Ha, Ub; 31a, 510) verklebt ist; und der klebstoff als Isolvcor wirkt.

4-. Objekthalter nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Tragseil (10;.50) u& die Srag-

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e (Ha, Hb; >la, ¹^Ib) durch eine Reaktion mit einer zwischen ihnen angeordneten, als Isolator v/irkenden ocheibe aus schwer¹ schmelzbarer Oxidkeramik verbunden sind.

>. übjekthalter nach einem der vorhergehenden iinspiniche, dadurch '^kennzeichnet, dass der erste Tragteil (10;50) eine Ausnehmung und die Elemente einander gegenüberliegende Ausschnitte besitzen, so dass bei aneinander befestigten Trageinrichtungsteilen die genannte Ausnehmung und die genannten Ausschnitte so miteinander korrespondieren, dass sie zusammen die Öffnung (30;90) in der Trageinrichtung bilden, wobei die Ausnehmung in dem ersten Tragteil (10; 50) größer ist als die von den Ausschnitten gebildete Öffnung.

6. Objekthalter nach einem der vorhergehenden Flansche, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden Flansche (16,17; 52,53) parallel und mit je einer Ausnehmung (19, 20; 54-, 55) versehen sind, die zur Aufnahme eines Vorsprunges dient, der an dem zugeordneten Arm der Stelleinrichtung vorgesehen ist, und dass die Ausnehmungen in den Hanschen miteinander koaxial sind und eine Schwenkachse für den Objekthalter bestimmen.

7. Objekthalter nach ^nspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Ausnehmungen (19, 20) in den Flanschen (16, 17) sich teilweise in die zwischen diesen angeordneten benachbarten Innenflächen (12a, 12b) der Slemente (Ha, Hb) erstrecken, so dass die genannte Schwenkachse mit den Innenflächen in einer Ebene liegt.

8. Objekthalter nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet

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dhss die Tragelemente (11a, lib) mit ihren Außenflächen an dem ersten Tragteil (10) befestigt sincL

9. Objekthalter nach Anspi'uch 6, dadurch gekennzeichnet, Irxs ; die Ausnehmungen (54-, 55) der Flansche vollständig in den entsprechenden Flanschen (52, 53) liegen, so das.:: die Schwenkachse gegenüber den Innen- und den Außenflächen der Tragelemente versetzt jsb.

10. Objekthalter nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dasü die Tragelemente (51a, 51b) mit ihren Innenflächen an den· ersten Tragteil (50) befestigt sind.

11. Objekthalter nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der d?itte flansch (23; 56) einen Schlitz (24-; 57) besitzt, der zur Aufnahme eines Vorsprunges de„; zugeordneten Arms der Stelleinrichtung dient.

12. Objekthalter nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ekennzeichnet, dass die drei Flansche (16, 17, 25; 52, 53» 56) zu der Trageinrichtung und die zwei Flansche (16, 17; 52, 53) zu dem dritten Flansch (23; 56) rechtwinklig sind.

13· Objekthalter nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass an der (Trageinrichtung ein deren Ausnehmung (30; 90) überbrückendes, elektrisch leitendes Gitter (80; 81) befestigt ist.

14. Objekthalter nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass das Gitter (80; 81) an der Trageinrichtung (12, 21; 58, 59) durch Punktschweißen befestigt ist·

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15. Objekthalter nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Flansche (16, 17» 23; 52, 53 > 56) von abgekanteten 2andteilen des entsprechenden i'ragteils (10; >O) oder Tragelements( 11a, 11b; 51a, 51b) gebildet werden.

16o Objekthalter nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Tragteile aus einem oder mehreren antimagnetiachen Werkstoffen von hoher elektrischer und Wärmeleitfähigkeit bestehen.

17· Stellvorrichtung für Rasterelektronenmikroskope oder ülektronenbeugungskameras, dadurch gekennzeichnet, dass sie uxlt einem Objekthalter nach einem der vorher gehenden Ansprüche versehen ist.

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