DE2921298C2 - Pyroelektrischer Infrarot-Detektor - Google Patents
Pyroelektrischer Infrarot-DetektorInfo
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Description
Die Erfindung betrifft einer, pyr «älektrischen Infrarot-Detektor
mit einem Träger, auf dessen beiden Oberflächen aus Polymer-Material bestehende pyroelektrische
Elemente angebracht sind, auf deren beiden Oberflächen Elektroden angeordnet sind, bei dem die Elektroden
des einen pyroelektrischen Elements mit den Elektroden entgegengesetzter Polarität des anderen pyroelektrischen
Elements verbunden sind und bei dem die Infrarotstrahlen auf nur eines der pyroelektrischerv
Elemente gerichtet sind.
Bei einem pyroelektrischen Infrarotdetektor dieser Art (DE-OS 26 06 711) werden durch das gegenpolige
Verschalten der pyroelektrischen Elemente Störeinflüsse durch Kompressionswellen in der Luft, wie beispielsweise
Schallwellen, die zu einem piezoelektrischen Effekt führen können, unterdrückt, wie es aus Applied
Physics Letters, Bd. 27, 1975, Nr. 12, S. 639-641 bekannt ist. Außerdem wird durch das gegenpolige Verschalten
eine unerwünschte Beeinflussung durch Änderungen in der Umgebungstemperatur ausgeschlossen,
da, wie in der genannten DE-OS dargelegt. Änderungen in der Umgebungstemperatur beide pyroelektrischen
Elemente in gleicher Weise beeinflussen, während die zu messenden Infrarotstrahlen auf nur eines der pyroelektrischen
Elemente gerichtet sind. Wenn jedoch der Träger und somit die pyroelektrischen Elemente dieses
bekannten pyroelektrischen Infrarotdetektors Biegespannungen
ausgesetzt sind, entstehen in den pyroelektrischen Elementen ebenfalls Störsignale aufgrund des
piezoelektrischen Effekts, so daß das eigentliche Nutzsignal, das durch pyroelektrischen Effekt infolge der Bestrahlung
erzeugt wird, sich hiervon nicht mehr genügend abheben kann.
Aufgabe der Erfindung ist es deshalb, einen pyroelektrischen
Infrarotdetektor der eingangs genannten Gattung derart weiterzubilden, daß selbst bei dem Einwirken
von Biegespannungen auf den Träger die durch Piezoelektrizität erzeugten Störsignale im Vergleich zu
den durch den pyroelektrischen Effekt hervorgerufenen Signale vernachlässigbar klein bleiben, so daß auch in
schwingungsreicher Umgebung ein optimales Verhältnis von Nutzsignalen zu Störsignal erhalten bleibt.
Erfihdungsgemäß ist zur Lösung dieser Aufgabe bei einem pyroelektrischen Infrarotdetektor der eingangs
ίο genannten Gattung vorgesehen, daß die Dicke des Trägers
größer ist als die Dicke der pyroelektrischen Elemente und daß das Produkt aus Elastizitätsmodul und
Dicke des Trägers mindestens um den Faktor 5 größer ist als das Produkt aus Elastizitätsmodui und Dicke eines
jeden pyroelektrischen Elements.
Vorteilhafterweise ist das Produkt aus Elastizitätsmodui und Dicke des Trägers um den Faktor 10, bevorzugt
um den Faktor 20, größer als das Produkt aus Elastizitätsmodui und Dicke eines jeden pyroelektrischen EIements.
Be: dem erfindüngsgcrnäßen pyroelektrischen infrarot-Detektor
ist vorteilhafterweise der Slöreinfluß durch Piezoelektrizität in schwingungsreicher Umgebung
bzw. durch andere Biegebeanspruchungen stark herabgesetzt, da der Träger wesentlich steifer als die
pyroelektrischen Elemente ausgebildet ist.
Als Materialien fü.'den Träger kommen Metall. Glas, keramische Wirkstoffe, Kunststoffe, Kautschuk oder
Gummi in Frage. Die aus Polymermaterial bestehenden pyroelektrischen Elemente können in der Weise aufgebaut
sein, daß ein Polymerfilm oder eine Polymermenibran aus einem Homopolymer, wie beispielsweise Polyvinylidenfluorid
oder Polyvinylfluorid, einem Copolymer, welches Vinylidenfluorid oder Vinylfluorid als
Hauptkomponente enthält, oder aus einer Polymermischung, die entweder das vorstehend erwähnte Homopolymer
oder Copolymer als Hauptkomponentc enthält, orientiert und polarisiert ist- Das filmartige pyroelektrische
Element ist dabei geeLpeterweise derart
ausgebildet, daß es eine Dicke von 1 bis 100 Mikron, bevorzugt eine Dicke von 2 bis 50 Mikron, aufweist.
Materialien für die Elektroden auf beiden Oberflächen des pyroelektrischen Elements umfassen Gold, Silber,
Nickelchromlegierungen, Aluminium oder Kohlcnstoff, und die Elektroden sind durch eine Dampfabscheidung
dieser Materialien auf das pyroelektrische Element hergestellt oder durch die Befestigung eines Films
aus diesen Materialien am pyroelektrischen Element. Die Elektroden können eine Dicke haben, die etwa
gleich oder kleiner ist als die Dicke des pyroelektrischen Elements. Die Dicke der Elektroden kann im Bereich
von 1 nm bis 200 nm und insbesondere von 5 nm bis
100 nm liegen, so daß die Wärme die durch die Infrarotbestrahlung
erzeugt wird, in guter Weise auf das pyroelektrische Element übertragen wird. Die Elektrode, clic
als Einfalloberfläche für die Infrarotbestrahlung verwendet wird, kann auch aus Materialien bestehen, welche
Infrarotstrahlen durchlassen, beispielsweise aus einem transparenten Material, so daß die einfallenden Infrarotstrahlen
direkt zu dem pyroelektrischen Element gelangen können.
Ausführungsbeispiele der Erfindung werden im folgenden anhand der Zeichnung beschrieben; in dieser
zeigt
b5 Fig. I eine perspektivische Ansicht eines bevorzugten
Ausführungsbeispicls eines crfindungsgemiißen pyroelcktrisehcn
Infrarot-Detektors,
F i g. 2 eine Schnittansichl des in F i g. 1 dargestellten
21
Detektors,
Fig.3 und 4 Schnittansichten, die die Betriebsweise
des in Fig 1 dargestellten Detektors veranschaulichen,
Fig.5 eine Schnittansicht eines weiteren Aüsführungsbeispiels der Erfindung,
Fig.6 eine Schnittansichl eines Infrarot-Detektors,
bei dem der in Fig. 1 dargestellte Detektor und ein Impedanzwandler in einem abgeschlossenen Gehäuse
montiert sind, und
Fi g. 7 ein Schaltbild des Impedanzwandlers, der bei
dem in Fig. 6 dargestellten Detektor verwendet wird.
Bei der Darstellung in den Fig. 1 und 2 trägt ein
scheibenförmiger Träger 1 aus keramischen Werkstoffen auf seiner Oberfläche 2 ein pyroelektrisch« Element 5, welches dünne filmförmige Elektroden 3 und 4
aufweist. Das scheibenförmige pyroelektrische Element 5 wird beispielsweise so hergestellt, daß ein Film aus
einem Polymermaterial, wie beispielsweise Polyvinylidenfluorid, orientiert und polarisiert wird, wodurch dieses Filmmaterial pyroelektrische Eigenschaften erhält.
Das pyroelektrische Element 5 ist am Träger 1 im allgemeinen in der Weise befestigt, daß Klebstoffe zwischen
der Elektrode 4 und dem Träger 1 aufgebracht %/erden,
um die Elektrode 4 an dem Träger 1 zu befestigen, wobei die Elektroden 3 und 4 vorher auf beiden Oberflä-
chcn des pyroelektrischen Elements 5 ausgebildet wurden, beispielsweise durch eine Dampfabscheidung von
Gold oder Silber, oder dadurch, daß Klebstoffe zwischen dem pyroelektrischen Element 5 und der Elektrode 4 aufgetragen wurden, um das pyroelektrische EIe-
ment 5 art der Elektrode 4 zu befestigen, wobei die Elektrode 4 vorher auf der Oberfläche 2 des Trägers 1
durch eine Dampfabscheidung von Gold oder Silber ausgebildet wurde.
Die einfallende Infrarotstrahlung wird im allgemeincn durch umlaufende Blenden oder Zerhacker intermittierend gemacht, da das pyroelektrische Element im
allgemeinen eine Pyroelektrizität erzeugt, die den Unterschiedswerlen bezüglich der Temperaturänderungen
entspricht.
Die Dicke C des Trägers 1 ist größer als die Dicke d
des Elementes 5, und das Produkt aus Elastizitätsmodul und Dicke D des Trägers 1 ist größer als das Produkt
des Elastizitätsmoduls und der Dicke ddes Elementes 5,
und /war um den Faktor 5,10 oder 20. Ein pyroelektrischcs Element ist an der anderen Oberfläche 6 des Trägers 1 montiert. Das pyroelektrische Eiement 9 und die
Elektroden 7 und 8 sind in der gleichen Weise ausgebildet wie das pyroelektrische Element 5 und die Elektroden 3 und 4 und für seine Dicke dund seinen Elastizitäts- so
modul gelten die gleichen Beziehungen wie beim Element 5. Diis pyroelektrische Element 9 ist am Träger 1
derart montiert, daß es in der Richtung polarisiert ist, wie durch den Pfeil B veranschaulicht ist, während das
Element 5 in Richtung des Pfeiles A polarisiert ist. Wenn die pyroelektrischen Elemente 5 und 9 in dieser Weise
auf beiden Oberflächen des Trägers 1 montiert sind, wird die Elektrode 3 am Element 5 und die Elektrode 8
am anderen Element 9 über eine Leitung 10 verbunden,
während die Elektrode 4 am Element 5 und die Elektrode 7 am anderen Element 9 mittels einer Leitung 11
miteinander verbunden werden. Dies bedeutet, daß die Elektrode 3 mit der Elektrode 8 von entgegengesetzter
Polarität verbunden ist, und die Elektrode 4 mit der Elektrode 7 von entgegengesetzter Polarität, und zwar
über die Leitungen 10 und 11. Wenn der Träger 1 und
die pyroelcktrischen Elemente 5 und 9 so zusammengebiiul sind, entsteht dadurch'..in Infrarot-Detektor 13, der
dann Infrarotstrahlen 12 ausgesetzt wird, beispielsweise auf der Seite des pyroelektrischen Elementes 5. Da die
pyroelektrischen Elemente 5 und 9 von dsm Träger 1. getragen werden, werden, wenn Schwingungen oder
Schaltwellen dem Detektor 13 zugeführt werden. Verbiegungen der pyroelektrischen Elemente 5iind 9 unterdrückt oder ausgeschaltet, und der Wert der Piezoelektrizität, der durch die Biegung erzeugt wird, ist vernachlässigbar, und keine wesentlichen elektrischen Ladungen werden in den Elektroden 3,4 und 7 und 8 induziert
Wenn Kompressiohswellen in der Luft, wie beispielsweise Schallwellen, dem Detektor 13 zugeführt werden,
so werden Kompressionsspannungen, wie bei dem eingangsgenannten bekannten Detektor, in gleicher Weise
über die Dicke eines jeden pyroelektrischen Elementes 5 und 9 erzeugt und dadurch werden positive elektrische Ladungen in den Elektroden 3 und 7 erzeugt und
negative elektrische Ladungen in den Elektroden 4 und 8, wie es beispielsweise in F i g. 3 veranschaulicht ist Da
die Elektroden 3 und 8 über die Leitung 10 verbunden sind, und die Elektroden 4 und 7 über die Leitung 11,
heben sich die in diesen Elektroden imijzierten elektrischen Ladungen gegenseitig auf.
Wenn andererseits elektrische Ladungen in jeder der Elektroden induziert werden, und zwar durch den pyroelektrischen Effekt infolge von Änderungen in der Umgebungsttinperatur, wie es in F i g. 3 gezeigt ist werden
die elektrischen Ladungen, wie bei dem eingangs genannten bekannten Detektor, in der gleichen Weise
neutralisiert Demzufolge entstehen keine wesentlichen elektrischen Strösignale durch die Piezoelektrizität infolge von Biege- oder Kompressionsspannungen oder
durch die Pyroelektrizität infolge Umgebungstemperaturänderungen, und diese Störsignale können nicht an
den Anschlüssen 14 und 15 auftreten, die mit den Leitungen 10 und 11 verbunden sind.
Bei einer Bestrahlung mittels Infrarotstrahlen 12 wird lediglich das pyroelektrische Element 5 erwärmt und es
entstehen positive und negative elektrische Ladungen durch die Pyroelektrizität in den Elektroden 3 und 4, wie
es F i g. 4 zeigt. Demzufolge können elektrische Signale, die d-J-Ch die Infrarotstrahlung erzeugt werden, zwischen den Anschlüssen 14 und 15 abgenommen werden.
Da die Infrarotstrahlung und die Wärmeleitung zum pyroelektrischen Element 9 im wesentlichen durch den
Träger 1 unterbrochen sind, werden keine wesentlichen Ladungen in den Elektroden 7 und 8 bei einer Bestrahlung mittels Infrarotstrahlen 12 induziert. Elektrische
Ladungen, die in den Elektroden 3 und 4 induziert werden, werden nicht abgeglichen, und es entstehen elektrische Signale zwischen den Anschlüssen 13 und 14. Da in
dem Detektor 13 die Störsignale im wesentlichen vermindert oder ausgeschaltet werden können, und da andererseits elektrsiche Signale erhalten werden können,
die durch die Infrarotstrahlung erzeugt werden, kann der Rauschabstand in den Nutzsignalen ganz wesentlich
verbessert werden.
Bei dem im Vorstehenden dargelegten Ausführungsbeispiel sind die Elektroden 4 und 7 getrennt voneinander angeordnet und ausgebildet. Es kann aber auch eine
Elektrodenschicht 51 ganz auf der äußeren Oberfläche des Trägers 1 ausgebildet werden und als Elektrode für
beide Elemente 5 und 9 verwendet werden^ wie es beispielsweise in F i g. 5 gezeigt ist. Dadurch, daß man die
Elektrode auf diese Weise ausbildet, kann die Leitungsverbindung fortfallen, und dadurch wird die Verarbeitbarkeit verbessert.
Schicht 51 nicht für die gesamte äußere Oberfläche des Trägers 1 vorgesehen sein. Sie kann die gleiche Fläche
aufweisen wie die pyroelektrischen Elemente 5 und 9, und zwar an den Stellen, wo sie diesen Elementen gegenüberliegt,
und kann an anderen Stellen als Streifen ausgebildet sein. Eine elektrische Verbindung der Elektrodenschicht
auf der Seite des pyroelektrischen Elementes 5 und auf der Seite des pyroelektrischen Elementes
9 durch einen Streifen kann die Verarbeitbarkeit verbessern, und gleichzeitig wird die Wärmeleitung von
der Elektrodenschicht am pyroelektrischen Element 5 zur Elektrodenschicht am pyroelektrischen Element 9
verringert, wodurch Temperaturänderungen lediglich auf der Seite des pyroelektrischen Elementes 5 bei Infrarotbestrahlung
erzeugt werden können.
Wie die F i g. 6 und 7 zeigen, kann der Detektor 13 zusammen mit einem Impedanzwandler 61 in einem abgeschlossenen
Gehäuse verwendet werden. Der Impedanzwandler 61, der in den F i g. 6 und 7 dargestellt ist,
weist einen n-Feldeffekttransistor 62 auf, einen Widerstand 64, dessen eines Ende mit dem Gate 63 des Transistors
62 verbunden ist, und einen Widerstand 66, dessen eines Ende mit der Source-Elektrode 65 des Transistors
62 verbunden ist. Die beiden anderen Enden der Widerstände 64 und 66 sind miteinander verbunden. Der
Wandler 61 und der Detektor 13, der, wie im Vorstehenden beschrieben, ausgebildet ist, werden in der Weise
verbunden, daß der Anschluß 14 mit dem Gate 63 verbunden wird, und der Anschluß 15 mit den Enden der
Widerstände 64 und 66. wie es F i g. 7 zeigt. Der Detektor 13, der in dem Gehäuse 67 montiert ist, wird von
einer Halterung 68 auf einer Platte 69 getragen, und der Wandler 61 ist auf der Platte 69 befestigt. Die Platte 69
trägt Anschlüsse 70, 71 und 72. Der Anschluß 70 ist mit der Drain-Elektrode 73 des Transistors 62 verbunden,
und der Anschluß 71 ist mit der Source-Elektrode 65 des Transistors 62 verbunden, während der Anschluß 72 mit
den verbundenen Enden der Widerstände 64 und 66 verbunden ist. Die Deckelseite des Gehäuses 67, die
dem pyroelektrsichen Element 5 gegenüberliegt, weist ein Fenster 74 auf, in dem ein Material 75 angeordnet ist,
welches aus Silizium, Germanium oder einem ähnlichen Stoff besteht, der Infrarotstrahlen durchläßt.
Dadurch, daß der Detektor 13 und der Impedanzwandler
61, der als Source-Folgeschaltung ausgebildet ist, im Gehäuse 67 angeordnet sind, können elektrische
Signale am Anschluß 71 abgegeben werden, die durch die Infrarotstrahlung erzeugt werden und einen ausgezeichneten
Rausch- oder Störabstand haben. Bei der Verwendung der in F i g. 6 dargestellten Vorrichtung ist
eine Gleichspannungsquelle zwischen die Anschlüsse 70 und 72 eingeschaltet Das Gehäuse 67 ist vorzugsweise
nicht nur so ausgebildet, um das Einfallen von Infrarotstrahlung auf das pyroelektrisch^ Element' 5 mit Ausnahme
der Strahlung durch das Fenster 74 zu verhindem, sondern dieses Gehäuse vermindert auch gerichtete
Schwingungen, wie beispielsweise Schailschwingungen.
Es können jedoch einige kleine Öffnungen im Gehäuse vorgesehen sein.
Wenn das Gehäuse gegen die äußere Atmosphäre μ vollkommen abgeschlossen ist, wird bevorzugt ein
Inertgas, wie beispielsweise Argon oder Stickstoff, in diesem Gehäuse eingeschlossen, um eine Oxidation der
Elektroden u. dgl. auszuschließen.
65
Hierzu 3 Blatt Zeichnungen
Claims (3)
1. Pyroelektrischer Infrarpt-Detektor mit einem
Träger, auf dessen beiden Oberflächen aus Polymer-Material bestehende pyroelektrische Elemente angebracht
sind, auf deren beiden Oberflächen Elektroden angeordnet sind, bei dem die Elektroden des
einen pyroelektrischen Elements mit den Elektroden entgegengesetzter Polarität des anderen pyroelektrischen
Elements verbunden sind und bei dem die Infrarotstrahlen auf nur eines der pyroelektrischen
Elemente gerichtet sind, dadurch gekennzeichnet, daß die Dicke des Trägers (1) größer
ist als die Dicke der pyroelektrischen Elemente (5,9)
und daß das Produkt aus Elastizitätsmodul und Dikke des Trägers (1) mindestens um den Faktor 5 grö-3er
ist als das Produkt aus Elastizitätsmodui und Dicke eines jeden pyroelektrischen Elements (53).
2. Pyroejeitrischer Infrarot-Detektor nach Anspruch
1, dadurch gekennzeichnet, daß das Produkt aus Elastizitätsmodul und Dicke des Trägers (1) um
den Faktor 10 größer ist als das Produkt aus Elastizitätsmodul
und Dicke eines jeden pyroelektrischen Elements (5,9).
3. Pyroelektrischer Infrarot-Detektor nach Anspruch
1, dadurch gekennzeichnet, daß das Produkt aus Elastizitätsmodul und Dicke des Trägers (1) um
den Faktor 20 größer ist als das Produkt aus Elastizitätsmodul und Dicke eines jeden pyroelektrischen
Elements (5,'i).
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Families Citing this family (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4367408A (en) * | 1979-01-17 | 1983-01-04 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Pyroelectric type infrared radiation detecting device |
US4467202A (en) * | 1981-03-04 | 1984-08-21 | Kureha Kagaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Photoelectric detector |
JPS6212264Y2 (de) * | 1981-03-09 | 1987-03-28 | ||
GB2102200B (en) * | 1981-07-17 | 1985-05-30 | Philips Electronic Associated | Infra-red radiation detector |
US4441023A (en) * | 1981-07-29 | 1984-04-03 | Eltec Instruments, Inc. | High output differential pyroelectric sensor |
US4507654A (en) * | 1981-10-30 | 1985-03-26 | A. R. F. Products | Security system with infrared optical position detector |
JPS5928629A (ja) * | 1982-08-10 | 1984-02-15 | Sanyo Electric Co Ltd | 焦電型赤外線検出器の製造方法 |
GB2133615B (en) * | 1982-12-15 | 1986-03-19 | Philips Electronic Associated | Pyroelectric infra-red radiation detector |
GB2143081B (en) * | 1983-07-06 | 1987-01-14 | Philips Electronic Associated | Infra-red detector with differentially connected pyroelecric elements |
DE3473926D1 (en) * | 1983-10-20 | 1988-10-13 | Plessey Overseas | Improvements in pyroelectric detectors |
JPH073362B2 (ja) * | 1984-06-14 | 1995-01-18 | 株式会社村田製作所 | 一次元焦電型センサアレイ |
DE3576566D1 (de) * | 1984-07-18 | 1990-04-19 | Hartmann & Braun Ag | Fotometer. |
GB2173038B (en) * | 1985-03-29 | 1988-09-14 | Philips Electronic Associated | Thermal radiation detector |
EP0243491A1 (de) * | 1985-10-18 | 1987-11-04 | RADICE, Peter F. | Pyroelektrische tastatur |
GB8621688D0 (en) * | 1986-09-09 | 1986-10-15 | Graviner Ltd | Radiation detection arrangements |
DE3713642C2 (de) * | 1987-04-23 | 1994-01-20 | Deutsche Aerospace | Infrarot-Pyrodetektorsystem, geeignet zur Temperaturmessung von Körpern |
WO1989001720A1 (en) * | 1987-08-21 | 1989-02-23 | Pennwalt Corporation | Pyroelectric keyboard |
US4954811A (en) * | 1988-11-29 | 1990-09-04 | Pennwalt Corporation | Penetration sensor |
DE69011199T2 (de) * | 1989-05-18 | 1995-03-02 | Murata Manufacturing Co | Pyroelektrischer IR-Sensor. |
US5323025A (en) * | 1989-05-18 | 1994-06-21 | Murata Mfg. Co., Ltd. | Pyroelectric IR-sensor having a low thermal conductive ceramic substrate |
US5089741A (en) * | 1990-07-19 | 1992-02-18 | Atochem North America, Inc. | Piezofilm impact detector with pyro effect elimination |
JPH06317475A (ja) * | 1991-07-19 | 1994-11-15 | Terumo Corp | 赤外線センサおよびその製造方法 |
FR2684763B1 (fr) * | 1991-12-10 | 1995-02-17 | Peugeot | Dispostif integre de detection et d'identification d'obstacles embarque notamment a bord d'un vehicule automobile. |
DE19543105C2 (de) * | 1995-11-18 | 1998-09-17 | Draegerwerk Ag | Optischer Gasanalysator mit einem pyroelektrischen Detektorelement |
JP3777029B2 (ja) * | 1997-10-24 | 2006-05-24 | 雅則 奥山 | 熱型赤外線検出素子、熱型赤外線検出素子の製造方法、赤外線撮像システムおよび赤外線撮像装置 |
JPH11132857A (ja) | 1997-10-28 | 1999-05-21 | Matsushita Electric Works Ltd | 赤外線検出器 |
DE10064580C1 (de) * | 2000-12-18 | 2002-01-31 | Infineon Technologies Ag | Opto-elektronische Baugruppe zum Empfangen optischer Signale |
US9939323B2 (en) * | 2012-12-28 | 2018-04-10 | Illinois Tool Works Inc. | IR sensor with increased surface area |
RU199375U1 (ru) * | 2019-11-21 | 2020-08-28 | Юрий Владимирович Загашвили | Пироэлектрический датчик |
JP7446957B2 (ja) | 2020-09-03 | 2024-03-11 | ホシデン株式会社 | 検知センサ及びこれを備えた検知装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3453432A (en) * | 1966-06-23 | 1969-07-01 | Barnes Eng Co | Pyroelectric radiation detector providing compensation for environmental temperature changes |
US3604933A (en) * | 1969-01-08 | 1971-09-14 | Carborundum Co | Electromagnetic radiation-detection device comprising ferroelectric sensing, reference and temperature-stabilizing components |
US3707695A (en) * | 1970-10-20 | 1972-12-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Infrared intensity detector using a pyroelectric polymer |
GB1447372A (en) * | 1973-06-21 | 1976-08-25 | Rank Organisation Ltd | Thermal radiation sensing conveyor particularly for a machine producing a roofing tile or the like |
US3877308A (en) * | 1974-01-02 | 1975-04-15 | Minnesota Mining & Mfg | Pyroelectric temperature compensated sensing apparatus |
US3971250A (en) * | 1975-02-18 | 1976-07-27 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Electret sensing medium having plural sensing units |
-
1978
- 1978-05-30 JP JP1978073403U patent/JPS54174384U/ja active Pending
-
1979
- 1979-05-21 US US06/041,066 patent/US4258260A/en not_active Expired - Lifetime
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US4258260A (en) | 1981-03-24 |
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FR2427590B1 (de) | 1984-01-13 |
GB2021864A (en) | 1979-12-05 |
DE2921298A1 (de) | 1979-12-13 |
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