DE2920491C2 - - Google Patents

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Wolfgang Dipl.-Ing. Ddr 8019 Dresden Dd Wagner
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Description

Die Erfindung betrifft einen kapazitiven Meßfühler zum Messen kleiner Abstände einer Meßfläche und der Oberfläche eines leitfähigen Materials. Dabei werden mit dem kapazitiven Meßfühler sowohl stetige Dickenänderungen als auch die Lage der Begrenzungskanten des leitfähigen Materials erkannt.
Die DE-AS 24 48 205 beschreibt eine kapazitive Sonde zum Füllstandmessen, bei der eine Sondenelektrode in den zu messenden Raum hineinragt. Durch das Füllgut wird das Feld der Sondenelektrode gegenüber dem Zustand ohne Füllgut deformiert. Dadurch ändern sich die Kapazitätsverhältnisse und werden in einer Auswerteschaltung angezeigt. Diese kapazitive Sonde eignet sich nicht zum Messen kleiner Wege zwischen der Sondenelektrode auf Grund ungenügender Abschirmung.
Eine spezielle Abschirmeinrichtung für Mehrspurmagnetköpfe bei der Signalaufzeichnung und/oder Wiedergabe beschreibt das DD-PS 1 29 940. Dabei besteht die Abschirmung aus einer Kombination von elektrisch leitenden und elektrisch nichtleitenden Schichten, die die Abschirmplatten bilden und einer allen Magnetsystemen gemeinsamen Felddeformationsplatte. Die Abschirmplatten befinden sich dabei zwischen den einzelnen Magnetsystemen und erhöhen die Übersprechdämpfung.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen kapazitiven Meßfühler zu schaffen, der geeignet ist, kleinste Kapazitäten zwischen dem Meßfühler und einem leitfähigen Material aufzunehmen und zu erkennen und der konstruktiv einfach aufgebaut ist und eine kleine Meßfläche besitzt.
Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung bei einem kapazitiven Meßfühler der eingangs genannten Art durch die kennzeichnenden Merkmale des Patentanspruchs 1 gelöst. Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.
Es erweist sich als günstig, wenn die Meßfläche etwas aus der durch den Schirm und der ersten Elektrode gebildeten Fläche herausragt. Bei einer Berührung der Meßfläche des allseitig isolierten Koppelstiftes mit dem leitfähigen Material werden dadurch Kurzschlüsse zwischen den anderen leitfähigen Teilen vermieden.
Für verschiedene Meßverfahren kann die Form des Meßfühlers speziell ausgebildet sein. Soll vorzugsweise der Abstand gemessen werden, ist es günstig, wenn der Querschnitt des Schirmes rund ist. Für die Lagebestimmung der Begrenzungskanten des leitfähigen Materials ist ein rechteckiger Querschnitt des Schirmes günstig.
Durch Veränderung des Abstandes verändern sich die Kapazitäten zwischen dem Schirm, der ersten Elektrode und dem Koppelstift. Beim Anlegen einer Wechselspannung an den Eingang erscheint am Ausgang eine Ausgangswechselspannung, die von dem Abstand abhängt.
Die Erfindung ist anhand eines Ausführungsbeispiels und Zeichnungen näher erläutert. Dabei zeigt
Fig. 1 die Meßanordnung des kapazitiven Meßfühlers,
Fig. 2 den Schnitt A-A durch die Meßanordnung,
Fig. 3 das Ersatzschaltbild,
Fig. 4 und 5 weitere Ausführungsvarianten.
Der kapazitive Meßfühler 1 dient zum Messen des Abstandes d₁ eines leitfähigen Materials 2 oder auch zur Lagebestimmung der Begrenzungskanten des leitfähigen Materials 2. Fig. 1 zeigt die Meßanordnung unter Verwendung des kapazitiven Meßfühlers 1.
Gemäß Fig. 2 besteht der kapazitive Meßfühler 1 aus einem geerdeten Schirm 3 in Form eines oben geschlossenen Hohlkörpers. Innerhalb des Schirmes 3 befindet sich eine erste Elektrode 4. Oberhalb der Elektrode 4 ist eine zweite Elektrode 5 angeordnet. In einer Öffnung der Elektrode 4 und in einer Vertiefung der Elektrode 5 befindet sich ein Koppelstift 6 mit einer Meßfläche 7. Die Meßfläche 7 ragt dabei etwas aus der durch die untere Begrenzung des Schirmes 3 und der Elektrode 4 gebildeten Fläche heraus, um Kurzschlüsse zwischen den leitfähigen Teilen beim Aufsetzen auf das leitfähige Material 2 zu vermeiden.
Der Zwischenraum zwischen dem Schirm 3, den Elektroden 4, 5 und dem Koppelstift 6 ist dabei mit einem Dielektrikum 8 niedriger Dielektrizitätskonstante ausgefüllt, wodurch diese Teile untereinander galvanisch isoliert sind. Die Wandstärke des Dielektrikums 8 zwischen den einzelnen Teilen ist dabei günstigerweise gleich groß.
Innerhalb des Schirmes 3 und oberhalb der Elektrode 5 befindet sich ein Verstärkerelement 9. Der Schirm 3 weist zwischen den Elektroden 4; 5 einen Entkoppelvorsprung 10 auf, wodurch die störende Kopplung zwischen den Elektroden verringert wird.
Die Elektrode 4 ist durch eine erste Bohrung 11 des Schirmes 3 mit dem Eingang E, die zweite Elektrode 5 mit dem Verstärkereingang und der Verstärkerausgang durch eine zweite Bohrung 12 des Schirmes 3 verbunden.
Die Wirkungsweise des kapazitiven Meßfühlers läßt sich am besten mit dem Ersatzschaltbild gemäß Fig. 3 erklären. Es bestehen folgende Kapazitäten:
Die Kapazität C k 1 zwischen der Elektrode 4 und dem Koppelstift 6, die Kapazität C k 2 zwischen dem Koppelstift 6 und der Elektrode 5 und die Meßkapazität C x zwischen dem Koppelstift 6 und dem auf Massepotential liegenden leitfähigen Material 2.
Weiterhin bestehen parasitäre Kapazitäten C p 1 zwischen dem Koppelstift 6 und dem ebenfalls auf Massepotential liegenden Schirm 3 und C p 2 zwischen den Elektroden 4; 5, die durch die konstruktive Gestaltung klein gehalten werden. Weitere Kapazitäten bestehen zwischen dem Schirm 3 und der Elektrode 4 mit der Kapazität C M 1 sowie dem Schirm 3 und der Elektrode 5 unter Einschluß der parallel liegenden Eingangskapazität des Verstärkerelementes 9 mit der Kapazität C M 2. Die Kapazität C M 1 hat aber keine Verfälschung des Meßergebnisses zur Folge, sondern ihr störender Einfluß macht sich lediglich in einer Belastung der Versorgungswechselspannung U o bemerkbar. Die Kapazität C M 1 ist deshalb in Fig. 3 nur angedeutet.
Wird an den Eingang E die Versorgungswechselspannung U v gelegt, so teilt sich die Spannung über den Kapazitäten des kapazitiven Meßfühlers 1 auf.
Durch den Entkopplungsvorsprung 10 wird die parasitäre Kapazität C p 2 vernachlässigbar klein. Damit ergibt sich für die Ausgangsspannung U a in Abhängigkeit von dem zu messenden Abstand d
Es wird durch die spezielle konstruktive Gestaltung die parasitäre Kapazität C p 1 klein gehalten, weil der Einfluß von C p 1 den eigentlichen Meßeffekt unterdrückt.
Die veränderliche Kapazität ist C X , die durch den veränderlichen Abstand der Meßfläche 7 des Koppelstiftes 6 gegeben ist.

Claims (3)

1. Kapazitiver Meßfühler zum Messen kleiner Abstände zwischen einer Meßfläche und der Oberfläche eines leitfähigen Materials, gekennzeichnet dadurch, daß sich innerhalb eines oben geschlossenen Schirmes (3) an dessen unteren Ende eine mit dem Schirm (3) abschließende erste Elektrode (4) befindet, daß oberhalb der ersten Elektrode (4) eine zweite Elektrode (5) angeordnet ist, daß sich in einer Öffnung der ersten Elektrode (4) ein Koppelstift (6) mit einer Meßfläche (7) befindet, daß die Meßfläche (7) mit dem Schirm (3) und der ersten Elektrode (4) abschließt, daß der Zwischenraum zwischen dem Schirm (3), den Elektroden (4; 5) und dem Koppelstift (6) mit einem Dielektrikum (8) ausgefüllt ist, daß sich innerhalb des Schirmes (3) und oberhalb der zweiten Elektrode (5) ein Verstärkerelement (9) befindet und daß die erste Elektrode (4) mit einem Eingang (E) für Wechselspannung, die zweite Elektrode (5) mit dem Verstärkereingang (G) und der Verstärkerausgang (D) mit dem Ausgang (A) des kapazitiven Meßfühlers elektrisch verbunden ist.
2. Kapazitiver Meßfühler nach Anspruch 1, gekennzeichnet dadurch, daß das Verstärkerelement (9) ein Feldeffekttransistor ist, dessen Gateelektrode den Verstärkereingang (G) und dessen Drain-elektrode den Verstärkerausgang (D) bildet, und dessen Sourceelektrode (S) mit dem Schirm (3) verbunden ist.
3. Kapazitiver Meßfühler nach Anspruch 1, gekennzeichnet dadurch, daß der Schirm (3) zwischen der ersten und zweiten Elektrode einen Entkoppelvorsprung (10) aufweist.
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HU (1) HU182731B (de)
SE (1) SE436151B (de)
SU (1) SU1015243A1 (de)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4040084A1 (de) * 1990-12-14 1992-06-17 Dittel Walter Luftfahrt Beruehrungsloses abstandsmessgeraet
DE4120913A1 (de) * 1991-06-25 1993-01-07 Draegerwerk Ag Kolben-zylindereinheit zur atemgasfoerderung als zylinderkondensator fuer die hubstreckenmessung
DE19837526A1 (de) * 1998-08-19 2000-02-24 Reinhard Wiesemann Kapazitiver Sensor

Families Citing this family (37)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58144215U (ja) * 1982-03-23 1983-09-28 岩崎通信機株式会社 変位計の静電容量プロ−プ
US4476430A (en) * 1982-04-05 1984-10-09 Wright Wade S Non-contact sensor for determining moving flat steel strip shape profile
US4446432A (en) * 1982-05-27 1984-05-01 Motorola Inc. Method for determining surface contour of piezoelectric wafers
US4498045A (en) * 1982-05-27 1985-02-05 Motorola, Inc. Apparatus and method for determining surface contour of piezoelectric wafers
US4538069A (en) * 1983-10-28 1985-08-27 Control Data Corporation Capacitance height gage applied in reticle position detection system for electron beam lithography apparatus
CA1191261A (fr) * 1983-12-14 1985-07-30 Francois Lalonde Appareil de mesure dynamique et sans contact de faibles distances
DE3525325A1 (de) * 1985-07-16 1987-01-22 Papst Motoren Gmbh & Co Kg Automatische kontaktklemme
US4814691A (en) * 1985-08-09 1989-03-21 Washington Research Foundation Fringe field capacitive sensor for measuring profile of a surface
GB8523982D0 (en) * 1985-09-28 1985-10-30 Emi Plc Thorn Tactile sensor array
US4818948A (en) * 1986-08-05 1989-04-04 Pratt & Whitney Canada Inc. Capacitive bridge-type probe for measuring blade tip clearance
US5263363A (en) * 1988-02-11 1993-11-23 Agar Corporation, Ltd. Apparatus and method for determining the percentage of a fluid in a mixture of fluids
FR2629204B1 (fr) * 1988-03-25 1990-12-14 Oreal Dispositif pour realiser une mesure de la teneur en eau d'un substrat, notamment de la peau
GB9021448D0 (en) * 1990-10-03 1990-11-14 Renishaw Plc Capacitance sensing probe
US5155444A (en) * 1991-08-22 1992-10-13 Xerox Corporation Trim bar gap verification tool and method using a flexible capacitor sensor having a magnetic metallic laminate
US5646049A (en) * 1992-03-27 1997-07-08 Abbott Laboratories Scheduling operation of an automated analytical system
US5376313A (en) * 1992-03-27 1994-12-27 Abbott Laboratories Injection molding a plastic assay cuvette having low birefringence
US5635364A (en) * 1992-03-27 1997-06-03 Abbott Laboratories Assay verification control for an automated analytical system
US5540890A (en) * 1992-03-27 1996-07-30 Abbott Laboratories Capped-closure for a container
US5578494A (en) * 1992-03-27 1996-11-26 Abbott Laboratories Cap actuator for opening and closing a container
US5536471A (en) * 1992-03-27 1996-07-16 Abbott Laboratories Syringe with bubble flushing
US5627522A (en) * 1992-03-27 1997-05-06 Abbott Laboratories Automated liquid level sensing system
US6190617B1 (en) 1992-03-27 2001-02-20 Abbott Laboratories Sample container segment assembly
US5507410A (en) * 1992-03-27 1996-04-16 Abbott Laboratories Meia cartridge feeder
US5605665A (en) * 1992-03-27 1997-02-25 Abbott Laboratories Reaction vessel
US5575978A (en) * 1992-03-27 1996-11-19 Abbott Laboratories Sample container segment assembly
US5610069A (en) * 1992-03-27 1997-03-11 Abbott Laboratories Apparatus and method for washing clinical apparatus
US5960160A (en) * 1992-03-27 1999-09-28 Abbott Laboratories Liquid heater assembly with a pair temperature controlled electric heating elements and a coiled tube therebetween
GB9221926D0 (en) * 1992-10-19 1992-12-02 Rue De Systems Ltd Conductive strip detector
US5363051A (en) * 1992-11-23 1994-11-08 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Steering capaciflector sensor
DE19544620A1 (de) * 1995-11-30 1997-06-05 Hoefler Maschbau Verfahren zur Detektion von Schleifbrand beim Schleifen und zur Detektion des Zustandes der Schleifscheibe mittels Messung der dielektrischen Funktion im hochfrequenten Bereich
US6307385B1 (en) 1997-12-30 2001-10-23 Vibrosystm, Inc. Capacitance measuring circuit for a capacitive sensor
WO2012129105A1 (en) * 2011-03-18 2012-09-27 Siemens Healthcare Diagnostics Inc. Methods and systems for calibration of a positional orientation between a sample container and nozzle tip
US8875979B2 (en) * 2012-05-04 2014-11-04 Asm Technology Singapore Pte. Ltd. Apparatus and method for determining an alignment of a bondhead of a die bonder relative to a workchuck
ITBO20130535A1 (it) * 2013-09-30 2015-03-31 Alberto Bauer Sensore capacitivo di tensione elettrica, sistema e metodo per ottenerlo
CN109507243B (zh) * 2018-11-22 2024-02-27 华侨大学 一种地铁管片与预埋槽道的脱空检测装置及检测方法
RU192380U1 (ru) * 2019-05-20 2019-09-16 ООО "Оптиметрик" Высоковольтный измерительный преобразователь напряжения
CN112518614B (zh) * 2020-11-25 2022-02-25 益阳市产商品质量监督检验研究院 一种圆柱型脉冲电容器检测用夹持机构及其制造工艺

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2800628A (en) * 1953-12-18 1957-07-23 Sinclair Res Lab Inc Dual testing capacitor
US2802178A (en) * 1954-09-22 1957-08-06 Gen Electric Motion detecting device
US3019651A (en) * 1956-11-30 1962-02-06 Honeywell Regulator Co Liquid quantity measuring apparatus
US3084558A (en) * 1958-11-28 1963-04-09 North American Aviation Inc Capacitance pickoff with low coercion
US3119266A (en) * 1960-11-10 1964-01-28 Duane E Atkinson Level indicating system, method and probe
US3400331A (en) * 1965-01-18 1968-09-03 Pratt & Whitney Inc Gaging device including a probe having a plurality of concentric and coextensive electrodes
US3515987A (en) * 1967-10-20 1970-06-02 Avco Corp Coplanar dielectric probe having means for minimizing capacitance from stray sources
DE1914876C3 (de) * 1969-03-24 1978-10-26 Messer Griesheim Gmbh, 6000 Frankfurt Einrichtung zum Schutz einer Anordnung zur kapazitiven Abstandsmessung
US3805150A (en) * 1970-08-17 1974-04-16 Ade Corp Environment immune high precision capacitive gauging system
US3716782A (en) * 1971-06-03 1973-02-13 J Henry Capacitance gage for measuring small distances
BE792405A (fr) * 1971-12-08 1973-03-30 Paratronic Ag Dispositif pour mesurer sans les detruire l'epaisseur de revetements electriquement non conducteurs sur des supports electriquement conducteurs
US3986109A (en) * 1975-01-29 1976-10-12 Ade Corporation Self-calibrating dimension gauge

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4040084A1 (de) * 1990-12-14 1992-06-17 Dittel Walter Luftfahrt Beruehrungsloses abstandsmessgeraet
DE4040084C2 (de) * 1990-12-14 1998-09-24 Dittel Walter Luftfahrt Berührungsloses Abstandsmeßgerät
DE4120913A1 (de) * 1991-06-25 1993-01-07 Draegerwerk Ag Kolben-zylindereinheit zur atemgasfoerderung als zylinderkondensator fuer die hubstreckenmessung
DE19837526A1 (de) * 1998-08-19 2000-02-24 Reinhard Wiesemann Kapazitiver Sensor

Also Published As

Publication number Publication date
SE436151B (sv) 1984-11-12
DE2920491A1 (de) 1980-01-17
GB2023847A (en) 1980-01-03
CH639754A5 (de) 1983-11-30
FR2429411B3 (de) 1982-05-28
JPS63141406U (de) 1988-09-19
DD136897A1 (de) 1979-08-01
SE7905398L (sv) 1979-12-21
CS218893B1 (en) 1983-02-25
HU182731B (en) 1984-03-28
BG32528A1 (en) 1982-08-16
SU1015243A1 (ru) 1983-04-30
JPS5536793A (en) 1980-03-14
GB2023847B (en) 1983-04-27
US4311959A (en) 1982-01-19
DD136897B1 (de) 1981-03-25
FR2429411A1 (fr) 1980-01-18

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DE2920491C2 (de)
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