DE19858828A1 - Kapazitiver Sensor - Google Patents

Abstract

Die Erfindung betrifft einen kapazitiven Sensor mit einer ersten (3) und einer zweiten Elektrode (4), welche einander beabstandet gegenüberliegen und eine Meßkapazität bilden. Die erste Elektrode (3) ist auf einem ersten Substratkörper (1) und die zweite Elektrode (4) auf einem zweiten Substratkörper (2) angeordnet. Wenigstens eine der Elektroden (3, 4) zeigt eine räumliche Struktur dahingehend auf, daß eine ortsauflösende Messung der Kapazität möglich ist. Die räumliche Struktur der Elektrode (3, 4) wird vorzugsweise durch mehrere zueinander parallel angeordnete, streifenförmige Elemente (8) oder durch eine Vielzahl von einander beabstandeter zweidimensional angeordneter Elemente (8) gebildet. Den Elektroden (3, 4) sind in den Substratkörpern (1, 2) integrierte elektronische Auswerteeinheiten (6a, 6b) zugeordnet.

Description

Die Erfindung betrifft einen kapazitiven Sensor mit einer ersten und einer zweiten Elektrode, welche zueinander beab­ standet gegenüberliegen und eine Messkapazität bilden, wobei die erste Elektrode eine auf einem ersten Substratkörper und die zweite Elektrode auf einem zweiten Substratkörper angeord­ net sind. Der zweite Substratkörper ist im Bereich der zweiten Elektrode als durch Druck verformbare Membran ausgebildet.

Ein solcher Sensor ist aus der DE 33 10 643 bekannt und kann sowohl zur absoluten als auch zur relativen Druckmessung ver­ wendet werden. Eine weitergehendere, differenziertere Informa­ tion ist mit diesem Sensor nicht zu erhalten.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen kapazitiven Sensor zu schaffen, der eine differenziertere Aussage über die Messgröße ermöglicht.

Diese Aufgabe wird durch einen gattungsgemäßen Sensor gelöst, bei dem wenigstens eine Elektrode räumlich strukturiert ausge­ bildet ist und dadurch eine ortsauflösende Messung ermöglicht.

Durch den dadurch gegebenen räumlich differenzierten Kapazi­ tätswert oder die räumlich differenzierten Kapazitätswerte ist es nun möglich, wesentlich differenziertere Aussagen über die Messgröße oder auch den Zustand des Sensors zu treffen. Bei­ spielsweise lässt sich das Profil einer die Messkapazität durchfließenden Flüssigkeit oder eines Gases anhand der räum­ lichen Gliederung der Kapazitätsverteilung bestimmen und dar­ stellen. Auch lässt sich durch eine derartige Anordnung die räumliche Zuordnung der Elektroden zueinander wesentlich dif­ ferenzierter darstellen lassen, da nun ein Abweichen aus der parallelen Anordnung oder ein Gegeneinanderverschieben der Elektroden erkennbar ist und dadurch bei der Auswertung der Messsignale berücksichtigt werden kann. Darüber hinaus ist es möglich, anhand der ortsauflösenden Messung ein Fehlverhalten des kapazitiven Sensors durch Ermüdung anhand der detektierten Lageveränderung der Elektroden zueinander zu erkennen und dadurch einerseits eine Aussage über die Qualität der Messung selbst und andererseits über die verbleibende Restlebenszeit des Sensors zu machen. Damit ist es möglich, den erfindungsge­ mäßen Sensor rechtzeitig vor einem solchen zu erwartenden Ausfall auszutauschen und durch einen funktionsfähigen erfin­ dungsgemäßen Sensor zu ersetzen.

Durch die räumlich strukturierte Elektrode, die eine Vielzahl voneinander beabstandeter zweidimensional angeordneter Elemen­ te umfasst, kann eine ausgeprägte räumliche Differenzierung des Messergebnisses erreicht werden. Durch diese zweidimensio­ nale Anordnung gelingt es nun, die Messsignale nicht nur in eine Richtung zu differenzieren, sondern in einer durch die Substratoberfläche definierte Ebene räumlich differenziert darzustellen. Dabei hat sich als besonders vorteilhaft her­ ausgestellt, die einzelnen Elemente zum einen schachbrettartig anzuordnen und darüber hinaus diese vorzugsweise nach ihren physikalischen Eigenschaften (Größe, Material, u.s.w) iden­ tisch auszubilden. Dadurch wird eine besonders einfache orts­ auflösende Auswertung der Messsignale der einzelnen Elemente erreicht, da die einzelnen Elemente unter den vergleichbaren Bedingungen der Gegenelektrode dieselben Messsignale zeigen. Mithin bestimmt sich der jeweilige Unterschied in den Mess­ signalen im Wesentlichen durch die räumlich differenzierte Struktur der zu messenden Größe bzw. durch die räumlich verän­ derliche Struktur des Sensors selbst. Zwar ergibt sich durch die zweidimensionale Anordnung der Elemente automatisch eine flächenmäßige Verkleinerung der Elemente und dadurch eine Ver­ ringerung der daraus resultierenden Messkapazität, jedoch kann dieser Nachteil durch entsprechende geeignete Wahl der Signal­ verstärker bzw. der elektronischen Auswerteeinheit wettgemacht werden. Weiterhin wird dieser Nachteil stets dann in Kauf genommen, wenn ein Erfordernis für das zweidimensional räum­ lich differenzierte Messsignal existiert.

Gemäß einem besonderen Ausführungsbeispiel der Erfindung ist die räumlich strukturierte Elektrode aus mehreren zueinander parallel angeordneten, streifenförmigen Elementen gebildet. Durch diese Ausbildung der differenzierten räumlichen Struktur mit mehreren parallelen streifenförmigen Elementen gelingt es, eine zweidimensionale örtliche Auflösung von einem streifen­ förmigem Element zum nächsten streifenförmigen Element zu erreichen. Durch die Ausbildung als Streifen gelingt es, die Fläche des streifenförmigen Elementes recht groß zu halten und dadurch die durch dieses streifenförmige Element bestimmte räumlich differenzierte Kapazität als Messsignal selbst wie­ derum entsprechend der Fläche des streifenförmigen Elementes groß zu halten. Mithin ist, wenn überhaupt, nur eine begrenzte Signalverstärkung erforderlich, um dieses kapazitive Mess­ signal einer weitergehenden Auswertung zuzuführen. Damit ist auch ein recht gutes Signal-Rauschverhältnis für dieses räum­ lich differenzierte Messsignal gegeben.

Als besonders vorteilhaft hat sich herausgestellt die beab­ standeten zweidimensional angeordneten Elemente kreisförmig oder quadratisch auszubilden, da diese sich sehr vorteilhaft mit Abstand zueinander anordnen lassen, wobei die durch die Elemente bedeckte Fläche, bezogen auf die Gesamtfläche der räumlich strukturierten Elektrode, einem sehr hohen Anteil ausmacht, welcher bei anderen, für jedes Element individuellen Gestaltung, nicht erreichbar ist. Demzufolge zeigen derartige Anordnungen aus kreisförmigen oder quadratischen Elementen bei zweidimensionalen Anordnungen vergleichbar hohe Kapazitäten, was zu guten Messsignalen und damit zu aussagekräftigen Mes­ sungen führt.

Gemäß einem bevorzugten Ausführungsbeispiel des erfindungs­ gemäßen kapazitiven Sensors ist eine elektronische Anordnung zur Verarbeitung der Messsignale in einen der Substratkörper integriert, wobei diese Integration vorzugsweise unterhalb der Elektrode des betreffenden Substratkörpers erfolgt. Durch diese Integration, insbesondere als Vertikalintegration, des kapazitiven Sensors mit der elektronischen Anordnung zur Ver­ arbeitung der Messsignale, wird die räumliche Ausnutzung des kapazitiven Sensors verbessert. Da die Packungsdichte des Gesamtsystems des kapazitiven Sensors mit der Signalverarbei­ tungseinrichtung erhöht wird, wird die Größe des Gesamtsystems verringert. Zudem werden die Signalwege für die Messsignale des kapazitiven Sensors verkürzt, wodurch ein störungsfreies und genaueres Messen bzw. Auswerten der Messgrößen des kapazi­ tiven Sensors ermöglicht ist.

Als besonders vorteilhaft hat sich erwiesen, in der integrier­ ten elektronischen Anordnung zur Verarbeitung der Messsignale Elemente zur ortsauflösenden Verarbeitung der ortsauflösenden Messung vorzusehen und diese bevorzugt in enger räumlicher Nähe zu den einzelnen Elementen der räumlich strukturierten Elektrode anzuordnen. Dadurch wird ermöglicht, weitgehend oder vollständig identische Elemente zur ortsauflösenden Verarbei­ tung vorzusehen und dadurch einen kaskadierenden Aufbau der gesamten elektronischen Anordnung der Messsignale zu errei­ chen. Dadurch lassen sich einerseits die Kosten für die Ent­ wicklung einer solchen Anordnung zur Verarbeitung der Mess­ signale wie auch deren Kosten aufgrund von Ausfällen der dif­ ferenzierten Elemente zur ortsauflösenden Verarbeitung mit der damit verbundenen erhöhten Wahrscheinlichkeit von Fehlern und damit von Ausfällen deutlich senken. Weiterhin lassen sich die durch die Elemente zur ortsauflösenden Verarbeitung ausge­ werteten Messsignale durch eine gemeinsame zentrale Auswertung auf sehr einfach Weise zusammenfassend auswerten, da jedes dieser Messsignale durch eine identische oder weitgehend iden­ tische ortsauflösende Verarbeitung generiert wurde. Zudem gelingt es durch die enge räumliche Zuordnung der Elemente zur ortsauflösenden Verarbeitung zu den Elementen der räumlich strukturierten Elektrode, die die möglichen Signalverluste auf dem Weg von der Elektrode zu dem Element zur ortsauflösenden Verarbeitung auf ein Minimum zu begrenzen. Mithin lässt sich der Nachteil durch die notwendige flächenmäßige Verkleinerung der einzelnen Elektrodenelemente zu Erzielung eines räumlich differenzierten Messsignals stark begrenzen. Dieser Effekt wird noch verstärkt, wenn die elektronische Anordnung oder die Elemente zur ortsauflösenden Verarbeitung signalverstärkende Elemente aufweisen, die bevorzugt in unmittelbarer Nähe der Elemente der räumlich strukturierten Elektrode angeordnet sind. In diesem Fall muss das unverstärkte Messsignal nur einen sehr geringen Signalweg zu der dem jeweiligen Element zugeordneten Signalverstärkung oder auch Signalverarbeitung zurücklegen, während das weniger empfindliche, verstärkte Messsignal ohne größeren Signalverlust einer auch etwas weiter entfernten elektronischen Anordnung zur Verarbeitung der Mess­ signale, welche vorzugsweise als zentrale elektronische An­ ordnung für viele Elemente vorgesehen ist, zugeführt werden kann.

Gemäß einem vorteilhaften Ausführungsbeispiel des Sensors ist der zweite Substratkörper im Bereich der Elektrode als ver­ formbare Membran ausgebildet und in dem ersten Substratkörper die elektronischen Anordnung der Messsignale integriert ist. Dadurch wird vermieden, dass die elektronische Anordnung durch das Verformen der Membran während der Messung beeinflusst werden kann. Weiterhin erweist sich eine derartige Aufglie­ derung auch im Hinblick auf die Langzeitstabilität des Sensors als sehr vorteilhaft, da sich erfahrungsgemäß durch das Ver­ formen der Membran im Bereich einer dort integrierten elektro­ nischen Anordnung mikroskopisch kleine Risse und Schädigungen der elektronischen Strukturen im Inneren des Substratkörpers ergeben, welche zum Ausfall des Sensors führen können.

Gemäß einem anderen Ausführungsbeispiel ist ein erster Teil der elektronischen Anordnung zur Verarbeitung der Messsignale im ersten Substratkörper und ein zweiter Teil der elektro­ nischen Anordnung in dem zweiten Substratkörper angeordnet. Hierdurch kann die elektronische Anordnung in den beiden Sub­ stratkörpern aufgeteilt werden, so dass durch den erhöhten zur Verfügung stehenden Raumbereich eine wesentlich umfangreichere Funktionalität der elektronischen Anordnung in dem kapazitiven Sensor integriert werden kann. Dieses ist gerade dann vonnö­ ten, wenn eine starke räumliche Differenzierung der Messsigna­ le erforderlich ist. Dabei hat es sich als vorteilhaft her­ ausgestellt, die Elemente zur ortsauflösenden Verarbeitung der ortsauflösenden Messung in dem Substratkörper anzuordnen, der die räumlich strukturierte Elektrode zeigt und die restliche elektronische Anordnung zur Auswertung der Messsignale in dem anderen Substratkörper unterzubringen. Dadurch ist ein stören­ des wechselseitiges Beeinflussen der in den verschiedenen Substratkörpern untergebrachten Teile der elektronischen An­ ordnung zur Verarbeitung der Messsignale weitgehend ausge­ schlossen.

Gemäß einem anderen Ausführungsbeispiel der Erfindung ist wenigstens eine der Elektroden oder ein Teil dieser aus einem Teil einer Leiterbahn der elektronischen Anordnung zur Ver­ arbeitung der Messsignale gebildet. Dies hat den Vorteil, dass neben den Leiterbahnen für die elektronische Anordnung, welche für die Verarbeitung der Messsignale erforderlich sind, keine zusätzlichen leitfähigen Flächen zur Bildung der Elektroden nötig sind und dadurch bei der Herstellung des Sensors auf die damit verbundenen Herstellungsschritte der Aufbringung einer zusätzlichen Metallisierungsebene auf die Substratkörper ver­ zichtet werden kann. Durch diese verbindende, synergetische Nutzung der Leiterbahn oder der Leiterbahnen der elektroni­ schen Anordnung zur Verarbeitung der Messsignale, einerseits als Leiterbahn für diese und andererseits als eine Messkapazi­ tät bildende Elektrode, lässt sich eine optimierte Anordnung für einen erfindungsgemäßen Sensor erreichen.

Gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel der Erfindung zeigt der Sensor ein dämpfendes System, das geeignet ist ein Schwin­ gen der Membran dahingehend zu verhindern, dass das Schwingen der Membran zu keiner wesentlichen Beeinträchtigung des Mess­ ergebnisses führt. Ein solches dämpfendes System kann dadurch erreicht werden, dass der Bereich der beweglichen Membran mit einer Substanz gefüllt ist, die sich einer sehr schnellen kurzfristigen Lageänderung der Membran widersetzt. Dies kann beispielsweise durch eine Füllung mit einer Flüssigkeit einer definierten, nicht zu hohen Viskosität erreicht werden. Wei­ terhin ist es möglich, die Membran mit Verstärkungen oder Rippen zu versehen, die ein Aufschwingen der Membran in einem bestimmten Frequenzbereich verhindert, indem die Eigenreso­ nanzfrequenz der Membran in einen gänzlich anderen Frequenz­ bereich als den Frequenzbereich, in dem eine besondere Bela­ stung zu erwarten ist, verschoben wird. Weiterhin ist es mög­ lich, die Membran mit einem Permanentmagneten zu versehen, der durch ein äußeres Magnetfeld dahingehend beeinflusst wird, dass einer Auslenkung der Membran mit dem Magneten aufgrund einer Schwingung entgegengewirkt wird. Eine derartige Dämpfung erweist sich gerade im Hinblick auf eine ortsauflösende Analy­ se des Messsignals als besonders vorteilhaft, da gerade nach Ausschluss eines Einwirkens eines ungewünschten Aufschwingens der Membran auf das örtlich differenzierte Messsignal dieses sich besonders gut auswerten lässt und die beschriebenen Aus­ sagen, wie zu erwartende, verbleibende Restlebenszeit des Sensors, Auswerten der Qualität der Messergebnisse auf der Basis der örtlich differenzierten Messergebnisse und ähnli­ ches, besonders gut ermöglicht ist.

Es ist vorteilhaft, wenn der Sensor aus Halbleitermaterial, insbesondere aus Silizium gebildet ist. Dann können der kapa­ zitive Sensor und die integrierte Signalverarbeitungseinrich­ tung besonders einfach hergestellt werden. Zudem weist das Silizium zur Bildung der Membran günstige mechanische Eigen­ schaften auf. In diesem Fall erweist sich eine Ausbildung des erfindungsgemäßen Sensors als Druck-, Kraft- oder Beschleuni­ gungssensor als besonders geeignet. Hier wirkt der Druck, die Kraft oder die Beschleunigung auf die durch den Druck, die Kraft oder die Beschleunigung verformbare Membran, was zu einer Veränderung der räumlichen Lage der Elektrode führt. Diese Veränderung bewirkt je nach Richtung und Art der Ein­ wirkung der äußeren Einflussgröße ein unterschiedlich örtlich differenziertes Messsignal, beispielsweise führt eine senk­ recht auf die Membran einwirkende Kraft zu keiner seitlichen Auslenkung der Membran, während durch ein Einwirken einer schräg dazu verlaufenden äußeren Kraft eine seitliche Ver­ schiebung der Membran bewirkt wird und diese zu einem räumlich differenzierten Messsignal führt, da nun verschiedene Elemente der räumlich strukturierten Elektrode zur Bildung des Mess­ signals beitragen. Im Gegensatz zu den bekannten Kraftsensoren auf der Basis kapazitiver Sensoren, lässt sich nun der Anteil, welcher durch den zweiten Substratkörper aufgenommen wird und nicht zu einer Veränderung des Abstandes der Elektroden führt, abschätzen und bei der Auswertung berücksichtigen. Auf der Basis dieser räumlich differenzierten Information lässt sich damit ein Rückschluss auf die tatsächliche Größe der von außen einwirkende Kraft ziehen. Mithin ermöglicht der erfindungs­ gemäße Sensor eine wesentlich differenziertere Auswertung.

Weiterhin erweist sich eine Ausbildung des erfindungsgemäßen kapazitiven Sensors als Magnetfeldsensor als besonders ge­ eignet. Ein derartiger Magnetfeldsensor zeigt im Bereich der Membran einen Permanentmagneten, der auf das in seiner Feld­ stärke zu bestimmende äußere Magnetfeld durch eine Lagever­ änderung reagiert und deren Ausmaß insbesondere unter Verwen­ dung der ortsauflösenden Informationen ausgewertet und als Magnetfeldstärke ausgegeben werden kann.

Auch ist es gerade durch die ortsauflösende Messung möglich, räumlich differenzierte Strukturen zwischen den die Messkapa­ zität bildenden Elektroden aufzulösen und darzustellen. Da­ durch wird es nun möglich, das Profil einer durch den kapazi­ tiven Sensor fließenden Flüssigkeit oder Gases zu bestimmen, wie auch anhand der Detektion von Druckänderungen entlang eines Materialstromes durch die Anordnung die Durchflussge­ schwindigkeit oder auch die Durchflussmenge bestimmt werden kann.

Im Folgenden wird die Erfindung anhand der Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 einen schematischen Aufbau eines erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiels,

Fig. 2 einen schematischen Aufbau eines Substratkörpers mit räumlich strukturierter Elektrode und

Fig. 3 den Aufbau des Substratkörpers mit räumlich struk­ turierter Elektrode und elektronischer Anordnung aus der Fig. 2.

Die Fig. 1 zeigt einen kapazitiven Sensor, der aus einem ersten Substratkörper 1 und einem zweiten Substratkörper 2 gebildet ist. Auf dem ersten Substratkörper 1 ist eine erste Elektrode 3 und auf dem zweiten Substratkörper 2 eine zweite Elektrode 4 derart angeordnet, dass sie zueinander beabstandet gegenüberliegen und eine Messkapazität bilden.

Der zweite Substratkörper 2 ist derart geformt, dass er im Bereich der zweiten Elektrode 4 eine Membran 5 aufweist, die auf Druck verformbar ist. Der Druck wird üblicherweise in Richtung des Pfeiles A auf die Membran 5 ausgeübt, wodurch diese entsprechend verformt wird. Die erste Elektrode 3 ist zur ortsauflösenden Messung räumlich strukturiert ausgebildet. Sie besteht aus zueinander parallel angeordneten, streifenför­ migen Elementen 8. Jedes dieser streifenförmigen Elemente 8 bildet in Zusammenwirkung mit der zweiten Elektrode 4 eine spezifische Messkapazität. Alle derartigen Messkapazitäten bilden zusammen das räumlich strukturierte und damit orts­ aufgelöste Messsignale. Dieses räumlich differenzierte Mess­ signal wird durch eine unterhalb der Elektrode 3 angeordnete erste elektronische Signalverarbeitungseinrichtung 6a, die die Messsignale der einzelnen streifenförmigen Elemente 8 durch enthaltene Verstärkerelemente verstärkt und differenziert nach der räumlichen Struktur der Elemente 8, differenziert ver­ arbeitet. Diese Messsignale werden einer zweiten elektroni­ schen Anordnung zur Verarbeitung der Messsignale 6b, welche in dem zweiten Substratkörper 2 unterhalb der zweiten Elektrode 4 integriert ist, zugeführt und dort endgültig ausgewertet. Die beiden elektronischen Anordnungen 6a, 6b bilden zusammen die gesamte elektronische Anordnung zur Auswertung der Messsigna­ le, wobei diese Verarbeitung auch die ortsauflösende Verarbei­ tung umfasst.

Durch die Integration der elektronischen Anordnungen 6a, 6b zur Verarbeitung der Messsignale der Elektroden 3, 4 in den Substratkörpern 1, 2 in unmittelbarer Nähe der Elektroden 3, 4 wird der vorhandene Raum für den kapazitiven Sensor sehr ef­ fektiv ausgenutzt, wodurch die Größe des gesamten Systems reduziert wird. Zudem werden die Signalwege von den Messkapa­ zitäten zu den elektronischen Anordnungen 6a, 6b und hier insbesondere zu den darin integrierten signalverstärkenden Elementen erheblich verkürzt. Hierdurch kann eine besonders zuverlässige Auswertung der Messsignale erfolgen.

Wirkt der Druck oder die äußere Kraft nicht in der durch den Pfeil A dargestellten idealen Weise zentral und senkrecht auf die Membran 5, sondern in deren Randbereich wie auch schräg zur Pfeilrichtung A, so bewirkt dies einerseits eine Verschie­ bung der zweiten Elektrode 4 in der durch ihre Fläche bestimm­ ten Ebene und zum anderen bewirkt dies ein Auslenken der Mem­ bran 5 mit der daran angeordneten zweiten Elektrode 4 aus der Ebene, wie sie durch die Anordnung der zweiten Elektrode 4 in Fig. 1 beschrieben ist. Damit ist einerseits eine Erhöhung oder Verminderung des Maßes der Überdeckung der Elektrode 4 und der ihr zugeordneten streifenförmigen Elemente 8 der er­ sten Elektrode 3 durch die Verschiebung gegeben und anderer­ seits eine Verringerung des Abstandes einzelner Elemente 8 mit der zweiten Elektrode 4, während andere Elemente 8 den Abstand zu der zweiten Elektrode 4 vergrößern, was durch ein Ver­ schwenken oder Verkanten der zweiten Elektrode 4 mit der Mem­ bran 5 gegeben ist. Derart differenzierte räumliche Gegeben­ heiten lassen sich durch die räumlich strukturierte Ausbildung der ersten Elektrode 3 mit den Elementen 8 und der zugeordne­ ten elektronischen Anordnung zur Verarbeitung der Messsignale 6a, 6b erkennen und entsprechend auswerten. Im Rahmen dieser Auswertung lassen sich beispielsweise aufgrund der ortsauflö­ senden Auswertung Aussagen über das Maß der Verschiebung und daraus eine Aussage über die tatsächlich wirkende äußere Kraft und nicht nur über einen Anteil davon treffen. Weiterhin ist es möglich, durch eine geeignete Auswertung festzustellen, inwieweit die Membran in ihrer Elastizität eine Veränderung erfährt, was eine Aussage über die weitere Haltbarkeit der Membran und damit der Funktionstüchtigkeit des Sensors er­ möglicht.

In dem gewählten Ausführungsbeispiel sind die Substratkörper 1, 2 aus Silizium gebildet. Dadurch wird eine besonders ein­ fache Integration der elektronischen Anordnung 6a, 6b ermög­ licht. Weiterhin lässt sich in Silizium aufgrund seiner mecha­ nischen Eigenschaften eine verformbare Membran 5 recht einfach realisieren.

Fig. 2 zeigt in einer Draufsicht eine schematische Anordnung einer Vielzahl voneinander beabstandeter Elemente 8, die ge­ meinsam eine räumlich strukturierte Elektrode 3 bilden. Diese räumlich strukturierte Elektrode 3 ist auf dem Substratkörper 1 angeordnet. Die räumlich strukturierte Elektrode 3 wird durch zwölf Elemente 8 realisiert, die in einer schachbrett­ artigen zweidimensionalen Struktur so angeordnet sind, dass die einzelnen Elemente 8 zum jeweils benachbarten einen sol­ chen Abstand zeigen, dass ein Beeinflussen des einen Elementes auf das benachbarte Element 8 ausgeschlossen ist. Die zwölf Elemente 8 zeigen eine quadratische Struktur. Sie sind alle von gleicher Fläche und zeigen in Verbindung mit der schach­ brettartigen Anordnung jeweils gleiche Abstände zu den ihnen benachbarten Elementen 8. Durch diesen Aufbau lässt sich eine sehr kostengünstige und sehr packungsdichte räumlich struktu­ rierte Anordnung der Elektrode 3 aus den zwölf einzelnen Ele­ menten 8 realisieren. Diese Anordnung zeigt keine elektrischen Zu- oder Ableitungen zu den einzelnen Elementen 8 der Elek­ trode 3 auf der Oberfläche des Substratkörpers 1. Dadurch ist eine Beeinflussung der Zuleitungen auf die Elemente 8, ins­ besondere auf die anderen Elemente 8 weitgehend ausgeschlos­ sen. Darüber hinaus lassen sich die Elemente 8 in ihrer Ober­ fläche aufgrund des Nichtvorhandenseins oberflächlicher Zulei­ tungen deutlich vergrößert ausbilden, was die Messsignale jedes einzelnen Elementes 8 positiv beeinflusst.

Die Fig. 3 zeigt den vertikalen Aufbau des Substratkörpers 1 mit der Elektrode 3 aus der Fig. 2. Von der räumlich struktu­ rierten Elektrode 3 sind hier vier einzelne Elemente 8 dar­ gestellt. Sie sind auf dem Substratkörper 1 oberflächlich angeordnet. Jedem Element 8 ist im Inneren des Substratkörpers 1 eine elektronische Anordnung 6c zugeordnet. Diese elektro­ nische Anordnung 6c enthält jeweils ein signalverstärkendes Element 7, wodurch das Messsignal jedes Elementes nur einen sehr kurzen, unverstärkten Weg zurücklegen muss, bevor es in dem signalverstärkenden Element 7 verstärkt und durch die elektronische Anordnung 6c verarbeitet wird. Dabei wird das Messsignal von dem zugeordneten Element elementeindividuell bis zu einer bestimmten Verarbeitungstiefe verarbeitet, was mit einer ortsspezifischen Kennzeichnung verbunden ist. Diese verarbeiteten Messsignale werden einer gemeinsamen elektro­ nischen Anordnung 6d zugeführt, die die Vielzahl der vorab verarbeiteten Messsignale der Elemente 8 zusammenfasst und in Zusammensicht differenziert nach den räumlichen Gegebenhei­ ten der einzelnen Elemente 8 auswertet. Diese in Fig. 3 dar­ gestellte Anordnung zeigt den beispielhaft modularen Aufbau der ersten Elektrode 3 mit mehreren einzelnen Modulen, die ein Element 8 mit elektronischer Anordnung 6c, mit signalverstär­ kendem Element 7 umfassen und mit der zentralen gemeinsamen elektronischen Anordnung 6d zur Auswertung der vorverarbeite­ ten Messsignale. Dieser kaskadierende, modulare Aufbau er­ weist sich als sehr kostengünstig und sehr einfach in der Herstellung.

Bezugszeichenliste

1

erster Substratkörper

2

zweiter Substratkörper

3

erste Elektrode

4

zweite Elektrode

5

Membran

6

a, b, c elektronische Anordnung zur Verarbeitung von Mess­ sigalen

6

d zentrale elektronische Anordnung zur Verarbeitung von Messsignalen

7

signalverstärkende Elemente

8

Elemente

Claims (16)

1. Kapazitiver Sensor mit einer ersten und einer zweiten Elektrode, welche einander beabstandet gegenüberliegen und eine Messkapazität bilden, wobei die erste Elektrode auf ei­ nem ersten Substratkörper und die zweite Elektrode auf einem zweiten Substratkörper angeordnet sind, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens eine Elektrode (3, 4) zu ortsauflösenden Messung eine Viel­ zahl voneinander beabstandeter zweidimensional angeordneter Elemente (8) umfasst und räumlich strukturiert ausgebildet ist.

2. Kapazitiver Sensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die räum­ lich strukturierte Elektrode (3, 4) zueinander parallel an­ geordnete, streifenförmige Elemente (8) umfasst.

3. Sensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Viel­ zahl der Elemente (8) schachbrettartig angeordnet sind.

4. Sensor nach einem der Ansprüche 1 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Elemen­ te (8) kreisförmig ausgebildet sind.

5. Sensor nach einem der Ansprüche 1 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Elemen­ te (8) quadratisch ausgebildet sind.

6. Sensor nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens in einem der Substratkörper eine elektronische Anordnung zur Verarbeitung der Messsigenale (6a, 6b, 6c, 6d) integriert ist.

7. Sensor nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die elek­ tronische Anordnung zur Verarbeitung der Messsignale (6a, 6b, 6c) unterhalb der Elektrode (3, 4) des jeweiligen Substrat­ körpers (1, 2) angeordnet ist.

8. Sensor nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, dass die inte­ grierte elektronische Anordnung zur Verarbeitung der Mess­ signale (6a, 6c) Elemente zur ortsauflösenden Verarbeitung der ortsauflösenden Messung umfasst.

9. Sensor nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Elemen­ te zur ortsauflösenden Verarbeitung der elektronischen An­ ordnung zur Verarbeitung der Messsignale (6a, 6b, 6c) den einzelnen Elementen (8) der räumlich strukturierten Elektrode (3) räumlich zugeordnet sind.

10. Sensor nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der zweite Substratkörper (2) im Bereich der Elektrode (4) als verform­ bare Membran (5) ausgebildet ist und dass die elektronische Anordnung zur Verarbeitung der Messsignale (6a, 6c) in dem ersten Substratkörper (1) integriert ist.

11. Sensor nach einem der vorstehenden Ansprüche 6 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass ein erster Teil der elektronischen Anordnung (6a) in dem ersten Subs­ tratkörper (1) und ein zweiter Teil der elektronischen An­ ordnung (6b) in einem zweiten Substratkörper (2) angeordnet ist.

12. Sensor nach einem der vorstehenden Ansprüche 6 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens eine der Elektroden (3, 4) aus einem Teil einer Leiterbahn der elektronischen Anordnung (6a, 6b, 6c) gebildet ist.

13. Sensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der zweite Substratkörper (2) im Bereich der Elektrode (4) als verform­ bare Membran (5) ausgebildet ist.

14. Sensor nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass der Sensor ein dämpfendes System aufweist, das geeignet ist, ein Schwin­ gen der Membran (5) zu verhindern.

15. Sensor nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Sensor einen Substratkörper aus Silizium aufweist.

16. Verwendung des Sensors nach einem der vorstehenden An­ sprüche als Druck-, als Kraft-, als Beschleunigungs-, als Magnetfeld oder als Durchflussmengensensor.