DE102006003948B4 - Sensor zur Bestimmung der Stärke und/oder Geschwindigkeit und/oder Richtung einer Strömung eines gas- und/oder dampfförmigen Mediums - Google Patents

Sensor zur Bestimmung der Stärke und/oder Geschwindigkeit und/oder Richtung einer Strömung eines gas- und/oder dampfförmigen Mediums Download PDF

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Abstract

Sensor zur Bestimmung der Stärke und/oder Geschwindigkeit und/oder Richtung einer Strömung (A) eines gas- und/oder dampfförmigen Mediums, beispielsweise zur Bestimmung der Stärke und/oder Richtung einer Luftströmung, mit einer gegen eine Rückstellkraft, z.B. Federkraft beweglichen Sensoranordnung (8, 12) in einem von einer Blende (3) begrenzten Innenraum mit mehreren Fenstern (6), die in wenigstens zwei unterschiedlichen Richtungen orientiert sind, sowie mit Mitteln zur Erzeugung eines elektrischen Messsignals in Abhängigkeit von der Auslenkung der Sensoranordnung, dadurch gekennzeichnet, dass die Blende (3) eine den Innenraum (7) umschließende Blende ist, dass die Sensoranordnung von gegen die Rückstellkraft beweglichen Sensorzungen (8, 12) gebildet ist, die jeweils an der der Strömung (A) abgewandten Seite der Blende (3) zumindest mit einem Teilbereich hinter einem Fenster (6) vorgesehen sind, und dass die Mittel zur Erzeugung des elektrischen Messsignals dieses in Abhängigkeit von der Auslenkung der jeweiligen Sensorzunge (8, 12) erzeugen.

Description

  • Die Erfindung bezieht sich auf einen Sensor gemäß Oberbegriff Patentanspruch 1.
  • Bekannt sind u. a. Sensoren zur Bestimmung der Windrichtung und Windgeschwindigkeit. Bekannte Sensoren dieser Art bestehen in der Regel aus einem als Windrad ausgebildeten und im Luftstrom angeordneten Rotor und einem von diesem Rotor angetriebenen elektromechanischen Wandler, der ein von der Drehgeschwindigkeit des Rotors und damit von der Windgeschwindigkeit abhängiges Messsignal liefert. Ein derartige Sensoren ist konstruktiv aufwendig und auch störanfällig.
  • Bekannt ist ein Sensor ( EP 0 455 508 ) zur Bestimmung der Stärke und/oder Geschwindigkeit und/oder Richtung einer Strömung eines gas- und/oder dampfförmigen Mediums, beispielsweise zur Bestimmung der Stärke und/oder Richtung einer Luftströmung, mit einem in einem durch eine Blende an der Oberseite begrenzten und am Umfang offenen Innenraum angeordneten Sensorelement, welches gegen eine Federkraft beweglich ist, sowie mit Mitteln zur Erzeugung eines elektrischen Messsignals in Abhängigkeit von der Auslenkung des Sensorelementes durch die Strömung des gas- und/oder dampfförmigen Mediums.
  • Bekannt ist weiterhin ein Strömungsmesser ( GB 2 233 766 ) im wesentlichen bestehend aus einer von einem Fluid durchströmbaren Kanal angeordneten federnden Zunge, die zur Erzeugung eines elektrischen Messsignals mit einem auf Biegung der Zunge ansprechenden Sensor versehen ist.
  • Bekannt ist schließlich auch eine Vorrichtung zum Erfassung der Richtung eines Glasstrahles einer Düse ( WO98/50615 ), im Wesentlichen bestehend aus einem Tragring mit mehreren an diesem Ring gehaltene und mit ihrem freien Enden sich in die Ringöffnung erstreckenden federnden Zungen, mit ihren Auslenkungen gemessen und ausgewertet werden.
  • Aufgabe der Erfindung ist es, einen Sensor aufzuzeigen, der bei vereinfachter Konstruktion die Bestimmung der Stärke und/oder Geschwindigkeit und/oder Richtung einer Strömung eines gas- oder dampfförmigen Mediums, insbesondere einer Luftströmung, mit hoher Präzision ermöglicht. Zur Lösung dieser Aufgabe ist ein Sensor entsprechend dem Patentanspruch 1 ausgebildet.
  • Der erfindungsgemäße Sensor eignet sich zur Messung der Stärke und damit auch der Geschwindigkeit einer Strömung eines gas- oder dampfförmigen Mediums, insbesondere auch von Luft, und zwar richtungsunabhängig oder richtungsabhängig. Weiterhin eignet sich der erfindungsgemäße Sensor u.a. auch zur Bestimmung allein der Strömungsrichtung.
  • Der erfindungsgemäße Sensor enthält keine rotierenden Elemente und zeichnet sich daher bei einer vereinfachten, konstruktiven Ausgestaltung u.a. durch eine hohe Betriebssicherheit und lange Lebensdauer aus.
  • Als Sensorelement dienen hinter Fenstern einer Blende angeordnete bewegliche Zungen, die in Abhängigkeit von der Stärke und/oder Geschwindigkeit der das jeweilige Fenster durchdringenden Strömung gegen die Wirkung einer Rückstellkraft, z.B. Federkraft ausgelenkt werden. Aufgrund dieser Auslenkung bzw. der Größe dieser Auslenkung wird dann bevorzugt berührungslos ein elektrisches Messsignal erzeugt, und zwar beispielsweise kapazitiv, piezoelektrisch, magnetisch oder auf andere geeignete Weise.
  • Bei einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung sind die Sensorzungen an einem Ende eingespannt blattfederartig ausgebildet. Weitere Ausführungsformen sind Gegenstand der Unteransprüche.
  • Die Erfindung wird im Folgenden anhand der Figuren an Ausführungsbeispielen näher erläutert. Es zeigen:
  • 1 in vereinfachter Darstellung eine Draufsicht auf einen Sensor gemäß der Erfindung;
  • 2 einen Schnitt durch den Sensor der 1 entsprechend der Linie I-I;
  • 3 einen Schnitt durch den Sensor der 1 entsprechend der Linie II-II der 2;
  • 4 in vereinfachter Einzeldarstellung eine der Sensorzungen des Sensors der 13 im nicht ausgelenkten und ausgelenkten Zustand;
  • 5 eine Darstellung wie 2 bei einer weiteren möglichen Ausführungsform der Erfindung.
  • Der in den 13 allgemein mit 1 bezeichnete Sensor dient zur Messung der Richtung und/oder Stärke bzw. Geschwindigkeit einer in der 1 mit den Pfeilen A angedeuteten Strömung eines gas- und/oder dampfförmigen Mediums, beispielsweise einer Luftströmung.
  • Der Sensor 1 besteht in seiner in den 13 dargestellten Ausführungsform aus einem Gehäuse 2 mit einer kreiszylinderförmigen Umfangswand 3, mit einer bei der dargestellten Ausführungsform durch einen Deckel verschlossenen Gehäuseoberseite 4 sowie mit einem zumindest teilweise offenen Boden 5. In der als Blende wirkenden Umfangswand 3 sind um die Gehäuseachse GA in gleichmäßigen Winkelabständen verteilt Fenster 6 eingebracht.
  • Im Innenraum 7 des Gehäuses 2 sind mehrere Sensorzungen 8 vorgesehen, die jeweils als flache, streifenförmige Elemente aus einem federelastischen Material, beispielsweise aus einem Metall gefertigt und derart angeordnet sind, dass jede Sensorzunge 8 mit ihrer Längserstreckung parallel zur Gehäuseachse GA orientiert mit einer seiner Oberflächenseiten der Innenfläche der Umfangswand 3 zugewandt und in einem geringen Abstand von dieser Innenfläche angeordnet ist. Die somit auf einer gedachten Kreiszylinderfläche angeordneten Sensorzungen 8 sind an ihrem oberen Ende 8.1 jeweils am Gehäuse 2 oder an einem im Gehäuse 2 befestigten Träger eingespannt. An ihrem unteren Ende 8.2 sind die Sensorzungen 8 frei beweglich, und zwar derart, dass jede Sensorzunge 8 aus einer geradlinigen oder im Wesentlichen geradlinigen Form blattfederartig verformt mit dem unteren Ende 8.2 radial nach innen in Richtung Gehäuseachse GA bewegbar ist, wie dies in der 4 mit unterbrochenen Linien dargestellt ist. Jede Sensorzunge 8 liegt im Bereich ihres unteren Endes 8.2 einem Fenster 6 benachbart. Die Fenster 6 sind bei der dargestellten Ausführungsform von Bohrungen gebildet, die sich von der Außenseite zur Innenseite der Umfangswand 3 im Querschnitt trichter- oder kegelstumpfförmig verengen und mit ihren Achsen radial zur Gehäuseachse GA angeordnet sind, und zwar zur Schaffung einer konzentrierten und exakt auf die zugehörige Sensorzunge 8 gerichteten Strömung.
  • Bei der dargestellten Ausführungsform sind insgesamt sechzehn Fenster 6 und sechzehn Sensorzungen 8 vorgesehen, und zwar in einem Winkelabstand von 22,5° um die Gehäuseachse GA verteilt.
  • Zum Messen der Strömung A wird der Sensor 1 in dieser Strömung positioniert, und zwar z.B. derart, das die Gehäuseachse GA senkrecht oder im Wesentlichen senkrecht zur Richtung der Strömung A orientiert ist. Dort, wo die Strömung A durch Fenster 6 in das Gehäuse 2 eintritt werden die Sensorzungen 8 an ihrem unteren Ende 8.2 ausgelenkt. Das Maß bzw. die Größe dieser Auslenkung hängt von der Orientierung des jeweiligen Fensters 6 und der hinter diesen angeordneten Sensorzungen 8 im Bezug auf die Richtung der Strömung A ab, d. h. je stärker die Orientierung eines Fensters 6 von der Richtung der Strömung A abweicht, desto geringer ist die Auslenkung der diesem Fenster zugeordneten Sensorzunge 8.
  • Über eine im Bereich des Bodens 5 unterhalb der Enden 8.2 angeordnete elektronische Einheit 9 wird jeweils ein der Größe der Auslenkung jeder Sensorzunge 8 entsprechendes elektrisches Messsignal erzeugt. Aus diesen Messsignalen wird dann in einer beispielsweise rechnergestützten Auswert- und Messelektronik oder in einem Rechner 10 die Stärke bzw. Geschwindigkeit und/oder die Richtung der Strömung A ermittelt.
  • Die Bildung der Messsignale in der Einheit 9 erfolgt bevorzugt berührungslos, beispielsweise kapazitiv dadurch, dass jede Sensorzunge an ihrem Ende 8.2 eine Kondensatorfläche bildet, die – wie in der 4 angedeutet – mit einer Kondensatorfläche 11.1 auf einer ringförmigen Platine 11 der messsignalbildenden Einheit 9 zusammenwirkt. Auch andere Ausführungen der Einheit 9 sind denkbar, beispielsweise in der Form, dass jeder zumindest an ihrem unteren Ende 8.2 als Permanentmagnet ausgebildeten Sensorzunge 8 ein Hallsensor oder eine magnetische Widerstandsanordnung zugeordnet ist.
  • Für die Einspannung am oberen Ende 8.1 sind die Sensorzungen 8 beispielsweise einstückig mit einander aus einem geeigneten Flachmaterial hergestellt, aus dem die einzelnen Sensorzungen 8 durch Freischneiden oder Freistanzen derart erzeugt sind, dass sie an ihrem oberen Ende in einen gemeinsamen, am Gehäuse 2 befestigtem ringartigen Materialabschnitt 8.3 übergehen und von diesem seitlich wegstehen.
  • 5 zeigt in einer Darstellung ähnlich 2 eine weitere Ausführungsform einen Sensor 1a, der sich von dem Sensor 1 im Wesentlichen dadurch unterscheidet, dass anstelle der Sensorzungen 8 Sensorzungen 12 verwendet sind, die wiederum als flache Zungen ausgeführt und mit ihrer Längserstreckung parallel zur Gehäuseachse GA orientiert sind. Die Sensorzungen 12 sind mit ihrem oberen Ende 12.1 am Gehäuse 2 eingespannt. An den unteren Enden 12.2 sind die Sensorzungen 12 durch elastisches bzw. blattfederartiges Verformen radial nach Innen in Richtung der Gehäuseachse GA bewegbar. Jede Sensorzunge 12 ist im Bereich ihres unteren Endes an einem Fenster 6 vorgesehen. Die Auslenkung der Sensorzungen 12 wird bei dieser Ausführungsform in elektrische Messsignale durch Bauelemente 13 umgesetzt, deren elektrische Eigenschaften sich in Abhängigkeit von der Biegung der Sensorzungen 12 ändern. Geeignete Bauelemente sind beispielsweise Biegebalken, Dehnungsmessstreifen, Piezowiderstände usw.
  • Zur Verbindung der Bauelemente 13 mit einer an der Oberseite des Gehäuses 2 untergebrachten Mess- und Auswertschaltung 14 dienen z. B. Leiterbahnen 15, die auf die Sensorzungen 12 aufgebracht sind.
  • Speziell bei dieser Ausführungsform besteht auch die Möglichkeit, die Sensorzungen 12 ganz oder teilweise aus einem Halbleitermaterial als Bauelement, beispielsweise als Biegebalken in piezoresistiver Form zu fertigen, dessen elektrische Eigenschaften sich in Abhängigkeit von der Verformung bzw. Auslenkung der Sensorzungen ändern.
  • Der Sensor 1a zeichnet sich dadurch aus, dass die Arbeitsweise dieses Sensors bzw. die von diesem Sensor erzeugten Messsignale durch äußere Einflüsse, wie z. B. Staub, Feuchtigkeit usw. nicht beeinträchtigt werden.
  • Der Sensor 1 bzw. 1a ist für unterschiedlichste Anwendungsbereiche und grundsätzlich überall dort einsetzbar, wo die Stärke bzw. Intensität und damit die Menge oder Geschwindigkeit einer Strömung eines gas- und/oder dampfförmigen Mediums richtungsunabhängig oder richtungsabhängig und/oder die Richtung der Strömung gemessen bzw. ermittelt werden soll.
  • Der Sensor 1 bzw. 1a eignet sich u. a. als Sensor zur Messung der Windstärke und/oder Windrichtung. Für diesen Anwendungsfall sind der Sensor bzw. dessen Gehäuse 2 z.B. an der Oberseite mit einer Markierung für eine exakte Ausrichtung des Sensors, beispielsweise mit einem vereinfachten Kompass ausgebildet oder versehen, wie dies in der 1 durch die dortigen Windrose angedeutet ist, oder am Sensor ist ein Kompassmodul vorgesehen.
  • Die Sensoren 1 bzw. 1a können weiterhin u. a. auch an beweglichen Objekten, z. B. Schiffen usw. verwendet werden, wobei dann z. B. über ein Kompassmodul, mit welchem die jeweilige Orientierung des Sensors 1 bzw. 1a erfasst wird, beispielsweise die Fahrtrichtung, Windrichtung oder Windstärke ermittelt werden kann.
  • Die Ausbildung der die Sensor- oder Messsignale liefernden Einheiten ist dem jeweiligen Verwendungszweck angepasst. Soll mit dem Sensor 1 bzw. 1a die Richtung der Strömung A bestimmt werden, so wird bevorzugt für jede Sensorzunge 8 bzw. 12 ein eigenes, der Auslenkung dieser Zunge entsprechendes Messsignal erzeugt. Geht es hingegen lediglich um die Stärke der Strömung A unabhängig von der Richtung, so besteht die Möglichkeit, dass die Einheit 9 bzw. 14 nur ein einziges Messsignal liefert und zwar abhängig von dem Maß bzw. der Größe der durch die Strömung A bewirkten Auslenkung sämtlicher Sensorzungen 8 bzw. 12.
  • Die Erfindung wurde voranstehend an Ausführungsbeispielen beschrieben. Es versteht sich, dass zahlreiche Änderungen sowie Abwandlungen möglich sind, ohne das dadurch der der Erfindung tragende Gedanke verlassen wird. So ist es beispielsweise möglich, die Fenster 6 nicht durch Bohrungen, sondern auf andere Weise zu realisieren, beispielsweise dadurch, dass das Sensorgehäuse an seiner Umfangswand eine Vielzahl von sich z.B. in Richtung der Gehäuseachse GA erstreckenden schlitzförmigen Öffnungen aufweist, die beispielsweise dadurch gebildet sind, dass das Gehäuse käfigartig mit einer Vielzahl von in Umfangsrichtung des Gehäuses aufeinander folgenden und voneinander beabstandeten Gehäuseelementen gebildet ist, wobei dann wiederum an jedem dieser Fenster wenigstens eine Sensorzunge vorgesehen ist.
  • Weiterhin kann beispielsweise angepasst an die jeweilige Anwendung das Sensorgehäuse auch eine von der Kreiszylinderform abweichende Form aufweisen.
  • Vorstehend wurde davon ausgegangen, dass die Sensorzungen 8 bzw. 12 blattfederartig ausgebildet sind. Auch andere Ausführungen sind denkbar, beispielsweise in Form von schwenkbaren gefederten Zungen.
  • 1, 1a
    Sensor
    2
    Sensorgehäuse
    3
    Gehäuseumfangswand
    4
    Gehäusedeckel
    5
    Gehäuseboden
    6
    Fenster
    7
    Gehäuseinnenraum
    8
    Sensorzunge
    8.1
    oberes Ende der Sensorzunge 8
    8.2
    unteres Ende der Sensorzunge 8
    8.3
    ringförmiger Materialabschnitt
    9
    Messsignal erzeugende Einheit
    10
    Rechner
    11
    Platine
    11.1
    Kondensatorfläche auf Platine 11
    12
    Sensorzunge
    12.1
    oberes Ende der Sensorzunge
    12.2
    unteres Ende der Sensorzunge
    13
    elektrisches Bauelement
    14
    Messschaltung, beispielsweise Chip
    15
    Leiterbahn
    A
    Strömung
    GA
    Gehäuseachse

Claims (17)

  1. Sensor zur Bestimmung der Stärke und/oder Geschwindigkeit und/oder Richtung einer Strömung (A) eines gas- und/oder dampfförmigen Mediums, beispielsweise zur Bestimmung der Stärke und/oder Richtung einer Luftströmung, mit einer gegen eine Rückstellkraft, z.B. Federkraft beweglichen Sensoranordnung (8, 12) in einem von einer Blende (3) begrenzten Innenraum mit mehreren Fenstern (6), die in wenigstens zwei unterschiedlichen Richtungen orientiert sind, sowie mit Mitteln zur Erzeugung eines elektrischen Messsignals in Abhängigkeit von der Auslenkung der Sensoranordnung, dadurch gekennzeichnet, dass die Blende (3) eine den Innenraum (7) umschließende Blende ist, dass die Sensoranordnung von gegen die Rückstellkraft beweglichen Sensorzungen (8, 12) gebildet ist, die jeweils an der der Strömung (A) abgewandten Seite der Blende (3) zumindest mit einem Teilbereich hinter einem Fenster (6) vorgesehen sind, und dass die Mittel zur Erzeugung des elektrischen Messsignals dieses in Abhängigkeit von der Auslenkung der jeweiligen Sensorzunge (8, 12) erzeugen.
  2. Sensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Sensorzungen (8, 12) gegen die Rückstellkraft schwenkbar sind.
  3. Sensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Sensorzungen (8, 12) jeweils an einem Ende (8.1, 12.1) eingespannt und am anderen freien Ende (8.2, 12.2) unter blattfederartiger Verformung auslenkbar sind.
  4. Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch kapazitive Mittel (11.1) zur Erzeugung des elektrischen Messsignals.
  5. Sensor nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Sensorzungen jeweils Teil einer Kapazität sind.
  6. Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch Mittel zur Erzeugung des elektrischen Messsignals in Abhängigkeit von einem Magnetfeld.
  7. Sensor nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Sensorzungen zumindest teilweise als Permanentmagnet ausgebildet sind oder wenigstens einen Permanentmagneten aufweisen, der mit einem auf ein Magnetfeld ansprechenden elektrischen Bauelement zusammenwirkt.
  8. Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch Mittel zur Erzeugung des elektrischen Messsignals in Abhängigkeit von der Biegung der jeweiligen Sensorzunge (8, 12) oder von Biegekräften in der jeweiligen Sensorzunge (8, 12).
  9. Sensor nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Sensorzungen (12) zur Bildung der Messsignale Dehnungsmessstreifen und/oder Piezowiderstände aufweisen.
  10. Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Blende von einer einen Sensorinnenraum (7) umschließenden Wand (3) eines Gehäuses (2) gebildet ist.
  11. Sensor nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Wand ring- oder zylinderförmig ausgeführt ist.
  12. Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Blende (3) aus mehreren voneinander beabstandeten Elementen besteht, die zwischen sich die Fenster (6) bilden.
  13. Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sich die Fenster (6) von der der Strömung (A) ausgesetzten Vorderseite der Blende (3) zur Rückseite hin im Querschnitt verengen.
  14. Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Fenster jeweils von einer sich trichter- oder kegelförmig verengenden Öffnung gebildet sind.
  15. Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sämtliche Sensorzungen (8, 12) mit ihrer Längserstreckung parallel zueinander, beispielsweise parallel zu einer Gehäuseachse (GA) angeordnet sind.
  16. Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Sensorzungen (8) einstückig mit einem diese Zungen verbindenden gemeinsamen Materialabschnitt (8.3) hergestellt sind.
  17. Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Sensorzungen (12) monolithisch mit einem das Messsignal erzeugenden Bauelement (13) hergestellt sind, beispielsweise aus einem Halbleitermaterial.
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2233766A (en) * 1989-07-06 1991-01-16 Enfo Grundlagen Forschungs Ag Flow monitor
EP0445508A2 (de) * 1990-01-31 1991-09-11 SITEP S.p.A. Windmesser
WO1998050615A1 (de) * 1997-05-07 1998-11-12 Picanol N.V. Vorrichtung zum erfassen der richtung eines blasstrahles einer düse

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2233766A (en) * 1989-07-06 1991-01-16 Enfo Grundlagen Forschungs Ag Flow monitor
EP0445508A2 (de) * 1990-01-31 1991-09-11 SITEP S.p.A. Windmesser
WO1998050615A1 (de) * 1997-05-07 1998-11-12 Picanol N.V. Vorrichtung zum erfassen der richtung eines blasstrahles einer düse

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