SE436151B - Kapacitiv metkennare - Google Patents
Kapacitiv metkennareInfo
- Publication number
- SE436151B SE436151B SE7905398A SE7905398A SE436151B SE 436151 B SE436151 B SE 436151B SE 7905398 A SE7905398 A SE 7905398A SE 7905398 A SE7905398 A SE 7905398A SE 436151 B SE436151 B SE 436151B
- Authority
- SE
- Sweden
- Prior art keywords
- electrode
- screen
- measuring
- amplifier
- coupling pin
- Prior art date
Links
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 13
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 13
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 13
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 4
- 230000005669 field effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 244000045947 parasite Species 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/02—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
- G01B7/023—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring distance between sensor and object
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/02—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
- G01B7/06—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness
- G01B7/08—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness using capacitive means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
15 20 25 35 40 7905398-9 kapacitansen mellan mätkännaren och ett ledande material. Härvid bör mätkännaren vara enkel till konstruktionen och ha en liten mätyta. 7 " Sålunda avser uppfinningen en kapacítiv mätkännare, vid vilken medelst en genom den konstruktiva utformningen åstadkommen speciell avskärmning de störande kapacitanserna gentemot jord och störande kopplingar i det närmaste helt undertrycks, varigenom mätning av ytterlígt små kapacitanser blir möjlig.
Ovannämnda syfte uppnås genom att mätkännaren enligt uppfin- ningen erhållit de i patentkravet 1 angivna kännetecknen.
Det har visat sig vara gynnsamt att som förstärkarelement an- vända en fälteffekttransistor, vars styre bildar förstärkaringången och kollektorn förstärkarutgângen, och vars emitter är förbunden med skärmen. Skärmen uppvisar mellan elektroderna ett avkopplings- utsprång. Härigenom erhålls en minskning av den störande kopplingen mellan elektroderna Likaså är det till fördel om mätytan något utskjuter från den av skärmen och den första elektroden bildade ytan. När mätytan på det allsidigt isolerade kopplíngsstiftet kommer i beröring med det ledande materialet, undviks kortslutníngar mellan de andra ledande delarna.
För olika mätändamål kan formen på mätkännaren vara speciellt utförd. Om företrädesvis avståndet skall mätas, är det till fördel om skärmen har runt tvärsnitt. För bestämning av läget på det le- dande materialets begränsningskanter är rektangulärt tvärsnitt på skärmen till fördel.
Genom ändring av avståndet ändrar sig kapacítnnserna mellan skärmen, den första elektroden och kopplingsstiftet. Vid påläggning av en växelspänning på ingången uppträder vid utgången en växel-I utspänning, som är beroende av avståndet.
Uppfinningen beskrivs närmare nedan under hänvisning till bi- fogade ritningar. Där visar fig. 1 en schematisk vy av mätarrange- manget för den kapacitiva mätkännare, fig¿_Ã ett snitt A-A genom tmätarrangemanget, fig. 3 det ekvivalenta kopplingsschemat samt fig. 4 och 5 ytterligare utföringsformer.
Den kapacitiva mätkännaren 1 tjänar till mätning av avståndet d1 fill ett ledande material 2 eller också till lägesbestämning av begränsningskanterna på det ledande materialet 2.
Fig. 1 visar mätarrangemanget under användande av den kapaci- tiva mätkännaren 1. 10 15 20 25 30 35 40 7905398-9 Enligt fig. z består den kapacitiva mätkäršnafenw “áwwèrfjord- förbunden skärm 3 i form av en upptill sluten hålkropp. Inuti skärmen 3 befinner sig en första elektrod 4. Ovanför elektroden 4 är en andra elektrod 5 anbragt. I en öppning i elektroden 4 och i en fördjupning på elektroden 5 befinner sig ett kopplingsstift 6 med en mätyta 7. Mätytan 7 utskjuter härvid något från den genom den undre begränsningen för skärmen 3 och elektroden 4 bildade ytan för undvikande av kortslutningar mellan de ledande delarna vid påsättningen på det ledande materialet 2.
Mellanrummet mellan skärmen 3, elektroderna 4, 5 och kopplings- stiftet 6 är härvid utfyllt med ett dielektrikum 8 med låg dielekt- ricitetskonstant, varigenom dessa delar blir galvaniskt isolerade frän varandra. Tjockleken av dielektriket 8 mellan de enskilda de- larna kan härvid lämpligen vara lika ston Inuti skärmen 3 och ovanför elektroden S befinner sig ett förstärkarelement 9. Skärmen 3 uppvisar mellan elektroderna 4, S ett avkopplíngsutsprång 10, varigenom den störande kopplingen mel- lan elektroderna reduceras.
Elektroden 4 är genom en första öppning 11 i skärmen 3 för- bunden med ingången E, och den andra elektroden 5 är förbunden med förstärkaringången och förstärkarutgången genom en andra öppning 12 i skärmen 3.
Verkningssättet för den kapacitiva mätkännaren kan bäst klar- göras i anslutning till det ekvivalenta kopplingsschemat i fíg. 3.
Följande tre kapacitanser förekommer: Kapacítansen Ck] mellan elektroden 4 och kopplingsstiftet 6, kapacitansen Ckz mellan kopplingsstiftet 6 och elektroden S samt mätkapacitansen CX mellan kopplingsstiftet 6 och det på jordpoten- tial liggande ledande materialet 2.
Vidare förekommer parasítkapacítanser C 1 mellan kopplings- stiftet 6 och den likaså på jordpotential liggande skärmen 3 och CPZ mellan elektroderna 4 och 5, vilka hålls på låga värden genom det konstruktiva utförandet. Ytterligare kapacitanser förekommer mellan skärmen 3 och elektroden 4 med kapacitansen CM1 samt mel- lan skärmen 3 och elektroden 5 med inkludering av förstärkarelemen- teüs9 parallellt liggande ingångskapacitans med kapacítansen CM2.
Kapacitanscn CM1 medför emellertid ej någon felaktíghet i mätresul- tatet, utan dess störande inverkan yttrar sig blott i en belast- ning av distributionsväxelspänningen UO. Kapacitansen CM] är där- för blott antydd i fig. 3. 10 Éâfil* 7905398 '9 4 Om dístríbutíonsväxelspänníngen UV påläggs ingången E, upp- delas spänningen över den kapacítíva mätkännarens 1 kapacitans.
Genom avkopplingsutsprånget 10 hålls parasítkapacitansen C försumbart liten. Därmed erhålls för utspänníngen Ua i beroende av det avstånd dï, som skall mätas, nedanstående uttryck p2 Cm T Ua = UG . ___ .
M2 1 + Ckï Cmzckz :- + c +dc (d 1 CMfCkz p] x I Ytterligare ett syfte är att genom det speciella konstruktiva utförandet hålla parasitkapacitansen C 1 på ett lågt värde, efter- som inverkan av CP1 har undertryckande verkan på den egentliga mät- effekten.
Den varíerbara kapacítansen är CX, som ges av det varíerbara avståndet från kopplingsstíftets 6 mätyta 7. .ävhfi _.. *i “filma-g _ 1 Q __, ___ “I I *___ .;m.-> n
Claims (3)
1. Kapacitiv mätkännare (1) för mätning av små avstånd mellan en mätyta och ytan på ett ledande material, k ä n n e- t e c k n a d av att inuti en upptill sluten skärm (3) befin- ner sig vid dennas undre ände en med skärmen (3) slutande första elektrod (4); att ovanför den första elektroden (4) en andra elektrod (5) är anbragt; att i en öppning i den första elektroden (4) och eventuellt i en fördjupning på den andra elektroden (5) ett kopplingsstíft (6) befinner sig med en mät- yta (7); att mätytan (7) slutar med skärmen (3), och den första elektroden (4); att mellanrummet mellan skärmen (3), de båda elektroderna (4,5) och kopplingsstiftet (6) är utfyllt med ett dielektrikum (8); att inuti skärmen (3) och ovanför den andra elektroden (5) ett förstärkarelement (9), företrädesvis en fälteffekttransistor, är anordnat; att den första "elektroden (4) är elektriskt förbunden med ingången (E) på den kapacitiva mätkännaren (1L den andra elektroden (5) förbunden med för- stärkaringången (G) samt förstärkarutgången (D) förbunden med utgången på den kapacitiva mätkännaren (1); och att för- stärkarelementets (9) emitter är förbunden med skärmen (3).
2. Mätkännare enligt kravet 1, k ä n n e t e c k n a d av att skärmen (3) uppvisar ett avkopplingsutsprång (10) mel- lan de båda elektroderna (4,5).
3. Mätkännare enligt kravet 1, k ä n n e t e c k n a d av att mätytan (7) utskjuter något från den av skärmen (3) och den första elektroden (4) bildade ytan. Poor QUALITY anar-w. - - ~
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DD20613878A DD136897B1 (de) | 1978-06-20 | 1978-06-20 | Kapazitiver messfuehler |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SE7905398L SE7905398L (sv) | 1979-12-21 |
SE436151B true SE436151B (sv) | 1984-11-12 |
Family
ID=5513173
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SE7905398A SE436151B (sv) | 1978-06-20 | 1979-06-19 | Kapacitiv metkennare |
Country Status (12)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4311959A (sv) |
JP (2) | JPS5536793A (sv) |
BG (1) | BG32528A1 (sv) |
CH (1) | CH639754A5 (sv) |
CS (1) | CS218893B1 (sv) |
DD (1) | DD136897B1 (sv) |
DE (1) | DE2920491A1 (sv) |
FR (1) | FR2429411A1 (sv) |
GB (1) | GB2023847B (sv) |
HU (1) | HU182731B (sv) |
SE (1) | SE436151B (sv) |
SU (1) | SU1015243A1 (sv) |
Families Citing this family (40)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58144215U (ja) * | 1982-03-23 | 1983-09-28 | 岩崎通信機株式会社 | 変位計の静電容量プロ−プ |
US4476430A (en) * | 1982-04-05 | 1984-10-09 | Wright Wade S | Non-contact sensor for determining moving flat steel strip shape profile |
US4446432A (en) * | 1982-05-27 | 1984-05-01 | Motorola Inc. | Method for determining surface contour of piezoelectric wafers |
US4498045A (en) * | 1982-05-27 | 1985-02-05 | Motorola, Inc. | Apparatus and method for determining surface contour of piezoelectric wafers |
US4538069A (en) * | 1983-10-28 | 1985-08-27 | Control Data Corporation | Capacitance height gage applied in reticle position detection system for electron beam lithography apparatus |
CA1191261A (fr) * | 1983-12-14 | 1985-07-30 | Francois Lalonde | Appareil de mesure dynamique et sans contact de faibles distances |
DE3525325A1 (de) * | 1985-07-16 | 1987-01-22 | Papst Motoren Gmbh & Co Kg | Automatische kontaktklemme |
US4814691A (en) * | 1985-08-09 | 1989-03-21 | Washington Research Foundation | Fringe field capacitive sensor for measuring profile of a surface |
GB8523982D0 (en) * | 1985-09-28 | 1985-10-30 | Emi Plc Thorn | Tactile sensor array |
US4818948A (en) * | 1986-08-05 | 1989-04-04 | Pratt & Whitney Canada Inc. | Capacitive bridge-type probe for measuring blade tip clearance |
US5263363A (en) * | 1988-02-11 | 1993-11-23 | Agar Corporation, Ltd. | Apparatus and method for determining the percentage of a fluid in a mixture of fluids |
FR2629204B1 (fr) * | 1988-03-25 | 1990-12-14 | Oreal | Dispositif pour realiser une mesure de la teneur en eau d'un substrat, notamment de la peau |
GB9021448D0 (en) * | 1990-10-03 | 1990-11-14 | Renishaw Plc | Capacitance sensing probe |
DE4040084C2 (de) * | 1990-12-14 | 1998-09-24 | Dittel Walter Luftfahrt | Berührungsloses Abstandsmeßgerät |
DE4120913A1 (de) * | 1991-06-25 | 1993-01-07 | Draegerwerk Ag | Kolben-zylindereinheit zur atemgasfoerderung als zylinderkondensator fuer die hubstreckenmessung |
US5155444A (en) * | 1991-08-22 | 1992-10-13 | Xerox Corporation | Trim bar gap verification tool and method using a flexible capacitor sensor having a magnetic metallic laminate |
US5646049A (en) * | 1992-03-27 | 1997-07-08 | Abbott Laboratories | Scheduling operation of an automated analytical system |
US5536471A (en) * | 1992-03-27 | 1996-07-16 | Abbott Laboratories | Syringe with bubble flushing |
US5960160A (en) * | 1992-03-27 | 1999-09-28 | Abbott Laboratories | Liquid heater assembly with a pair temperature controlled electric heating elements and a coiled tube therebetween |
US6190617B1 (en) | 1992-03-27 | 2001-02-20 | Abbott Laboratories | Sample container segment assembly |
US5578494A (en) * | 1992-03-27 | 1996-11-26 | Abbott Laboratories | Cap actuator for opening and closing a container |
US5610069A (en) * | 1992-03-27 | 1997-03-11 | Abbott Laboratories | Apparatus and method for washing clinical apparatus |
US5575978A (en) * | 1992-03-27 | 1996-11-19 | Abbott Laboratories | Sample container segment assembly |
US5605665A (en) * | 1992-03-27 | 1997-02-25 | Abbott Laboratories | Reaction vessel |
US5507410A (en) * | 1992-03-27 | 1996-04-16 | Abbott Laboratories | Meia cartridge feeder |
US5540890A (en) * | 1992-03-27 | 1996-07-30 | Abbott Laboratories | Capped-closure for a container |
US5627522A (en) * | 1992-03-27 | 1997-05-06 | Abbott Laboratories | Automated liquid level sensing system |
US5635364A (en) * | 1992-03-27 | 1997-06-03 | Abbott Laboratories | Assay verification control for an automated analytical system |
US5376313A (en) * | 1992-03-27 | 1994-12-27 | Abbott Laboratories | Injection molding a plastic assay cuvette having low birefringence |
GB9221926D0 (en) * | 1992-10-19 | 1992-12-02 | Rue De Systems Ltd | Conductive strip detector |
US5363051A (en) * | 1992-11-23 | 1994-11-08 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Steering capaciflector sensor |
DE19544620A1 (de) * | 1995-11-30 | 1997-06-05 | Hoefler Maschbau | Verfahren zur Detektion von Schleifbrand beim Schleifen und zur Detektion des Zustandes der Schleifscheibe mittels Messung der dielektrischen Funktion im hochfrequenten Bereich |
US6307385B1 (en) | 1997-12-30 | 2001-10-23 | Vibrosystm, Inc. | Capacitance measuring circuit for a capacitive sensor |
DE19837526A1 (de) * | 1998-08-19 | 2000-02-24 | Reinhard Wiesemann | Kapazitiver Sensor |
EP2658958B1 (en) * | 2011-03-18 | 2017-05-03 | Siemens Healthcare Diagnostics Inc. | Methods and systems for calibration of a positional orientation between a sample container and nozzle tip |
US8875979B2 (en) * | 2012-05-04 | 2014-11-04 | Asm Technology Singapore Pte. Ltd. | Apparatus and method for determining an alignment of a bondhead of a die bonder relative to a workchuck |
ITBO20130535A1 (it) * | 2013-09-30 | 2015-03-31 | Alberto Bauer | Sensore capacitivo di tensione elettrica, sistema e metodo per ottenerlo |
CN109507243B (zh) * | 2018-11-22 | 2024-02-27 | 华侨大学 | 一种地铁管片与预埋槽道的脱空检测装置及检测方法 |
RU192380U1 (ru) * | 2019-05-20 | 2019-09-16 | ООО "Оптиметрик" | Высоковольтный измерительный преобразователь напряжения |
CN112518614B (zh) * | 2020-11-25 | 2022-02-25 | 益阳市产商品质量监督检验研究院 | 一种圆柱型脉冲电容器检测用夹持机构及其制造工艺 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2800628A (en) * | 1953-12-18 | 1957-07-23 | Sinclair Res Lab Inc | Dual testing capacitor |
US2802178A (en) * | 1954-09-22 | 1957-08-06 | Gen Electric | Motion detecting device |
US3019651A (en) * | 1956-11-30 | 1962-02-06 | Honeywell Regulator Co | Liquid quantity measuring apparatus |
US3084558A (en) * | 1958-11-28 | 1963-04-09 | North American Aviation Inc | Capacitance pickoff with low coercion |
US3119266A (en) * | 1960-11-10 | 1964-01-28 | Duane E Atkinson | Level indicating system, method and probe |
US3400331A (en) * | 1965-01-18 | 1968-09-03 | Pratt & Whitney Inc | Gaging device including a probe having a plurality of concentric and coextensive electrodes |
US3515987A (en) * | 1967-10-20 | 1970-06-02 | Avco Corp | Coplanar dielectric probe having means for minimizing capacitance from stray sources |
DE1914876C3 (de) * | 1969-03-24 | 1978-10-26 | Messer Griesheim Gmbh, 6000 Frankfurt | Einrichtung zum Schutz einer Anordnung zur kapazitiven Abstandsmessung |
US3805150A (en) * | 1970-08-17 | 1974-04-16 | Ade Corp | Environment immune high precision capacitive gauging system |
US3716782A (en) * | 1971-06-03 | 1973-02-13 | J Henry | Capacitance gage for measuring small distances |
BE792405A (fr) * | 1971-12-08 | 1973-03-30 | Paratronic Ag | Dispositif pour mesurer sans les detruire l'epaisseur de revetements electriquement non conducteurs sur des supports electriquement conducteurs |
US3986109A (en) * | 1975-01-29 | 1976-10-12 | Ade Corporation | Self-calibrating dimension gauge |
-
1978
- 1978-06-20 DD DD20613878A patent/DD136897B1/de not_active IP Right Cessation
-
1979
- 1979-05-21 DE DE2920491A patent/DE2920491A1/de active Granted
- 1979-06-06 SU SU797770603A patent/SU1015243A1/ru active
- 1979-06-08 CS CS794030A patent/CS218893B1/cs unknown
- 1979-06-14 US US06/048,354 patent/US4311959A/en not_active Expired - Lifetime
- 1979-06-14 GB GB7920763A patent/GB2023847B/en not_active Expired
- 1979-06-15 CH CH562979A patent/CH639754A5/de not_active IP Right Cessation
- 1979-06-18 FR FR7915562A patent/FR2429411A1/fr active Granted
- 1979-06-19 HU HU79EE2671A patent/HU182731B/hu unknown
- 1979-06-19 SE SE7905398A patent/SE436151B/sv not_active IP Right Cessation
- 1979-06-20 JP JP7696979A patent/JPS5536793A/ja active Pending
- 1979-06-27 BG BG7943866A patent/BG32528A1/xx unknown
-
1988
- 1988-02-12 JP JP1988016423U patent/JPS63141406U/ja active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CS218893B1 (en) | 1983-02-25 |
BG32528A1 (en) | 1982-08-16 |
FR2429411A1 (fr) | 1980-01-18 |
SE7905398L (sv) | 1979-12-21 |
SU1015243A1 (ru) | 1983-04-30 |
HU182731B (en) | 1984-03-28 |
DE2920491A1 (de) | 1980-01-17 |
GB2023847B (en) | 1983-04-27 |
DD136897B1 (de) | 1981-03-25 |
FR2429411B3 (sv) | 1982-05-28 |
CH639754A5 (de) | 1983-11-30 |
JPS63141406U (sv) | 1988-09-19 |
US4311959A (en) | 1982-01-19 |
DD136897A1 (de) | 1979-08-01 |
DE2920491C2 (sv) | 1988-07-28 |
JPS5536793A (en) | 1980-03-14 |
GB2023847A (en) | 1980-01-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
SE436151B (sv) | Kapacitiv metkennare | |
US6092428A (en) | Device for determining the phase component of a conductive medium in a duct | |
GB1343134A (en) | System for measuring the level of materials | |
US11199434B2 (en) | Dual polarity mutual capacitive liquid sensing | |
JPH08136209A (ja) | 可動物体の幾何学的位置、変位又は角度を検出する方法および非接触容量基準位置センサ | |
US6348809B1 (en) | Microscopic capacitance measurement system and probing system | |
US3404341A (en) | Electrometer utilizing a dual purpose field-effect transistor | |
KR100341966B1 (ko) | 임피던스-전압 변환기 및 변환방법 | |
US6777956B2 (en) | Capacitance measuring systems | |
JP3815771B2 (ja) | 静電容量式ギャップセンサ、及びその信号検出方法 | |
US4818945A (en) | Non contacting volt meter | |
US7260987B2 (en) | Method for capacitive measurement of fill level | |
GB2064130A (en) | Electromagnetic Channel Flowmeter | |
EP3914906B1 (en) | Capacitive sensor | |
GB2218812A (en) | A capacitive apparatus for measuring liquid volume and flow rate | |
JPH04110618A (ja) | 液面センサー | |
AU2018369390B2 (en) | Device and method for capacitively measuring a fill level of a filling medium | |
Yang et al. | Capacitance tomography sensor without CMOS switches | |
SU725100A1 (ru) | Устройство дл измерени активной проводимости | |
SU1385092A1 (ru) | Переменна мера активной проводимости | |
US3394307A (en) | Moisture content measuring device including capacitor electrodes differing in size | |
DE102009026496A1 (de) | Kompensationskapazität für einen kapazitiven Sensor | |
JP2003130893A (ja) | シールドを有する電気回路 | |
RU2314520C2 (ru) | Диэлькометрический влагомер | |
US4388588A (en) | Flush mountable plasma density profile probe device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
NUG | Patent has lapsed |
Ref document number: 7905398-9 Effective date: 19920109 Format of ref document f/p: F |