SE436151B - Kapacitiv metkennare - Google Patents

Kapacitiv metkennare

Info

Publication number
SE436151B
SE436151B SE7905398A SE7905398A SE436151B SE 436151 B SE436151 B SE 436151B SE 7905398 A SE7905398 A SE 7905398A SE 7905398 A SE7905398 A SE 7905398A SE 436151 B SE436151 B SE 436151B
Authority
SE
Sweden
Prior art keywords
electrode
screen
measuring
amplifier
coupling pin
Prior art date
Application number
SE7905398A
Other languages
English (en)
Other versions
SE7905398L (sv
Inventor
E Riessland
W Wagner
G Opitz
Original Assignee
Elektromat Veb
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Elektromat Veb filed Critical Elektromat Veb
Publication of SE7905398L publication Critical patent/SE7905398L/sv
Publication of SE436151B publication Critical patent/SE436151B/sv

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/02Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B7/023Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring distance between sensor and object
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/02Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B7/06Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness
    • G01B7/08Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness using capacitive means

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)

Description

15 20 25 35 40 7905398-9 kapacitansen mellan mätkännaren och ett ledande material. Härvid bör mätkännaren vara enkel till konstruktionen och ha en liten mätyta. 7 " Sålunda avser uppfinningen en kapacítiv mätkännare, vid vilken medelst en genom den konstruktiva utformningen åstadkommen speciell avskärmning de störande kapacitanserna gentemot jord och störande kopplingar i det närmaste helt undertrycks, varigenom mätning av ytterlígt små kapacitanser blir möjlig.
Ovannämnda syfte uppnås genom att mätkännaren enligt uppfin- ningen erhållit de i patentkravet 1 angivna kännetecknen.
Det har visat sig vara gynnsamt att som förstärkarelement an- vända en fälteffekttransistor, vars styre bildar förstärkaringången och kollektorn förstärkarutgângen, och vars emitter är förbunden med skärmen. Skärmen uppvisar mellan elektroderna ett avkopplings- utsprång. Härigenom erhålls en minskning av den störande kopplingen mellan elektroderna Likaså är det till fördel om mätytan något utskjuter från den av skärmen och den första elektroden bildade ytan. När mätytan på det allsidigt isolerade kopplíngsstiftet kommer i beröring med det ledande materialet, undviks kortslutníngar mellan de andra ledande delarna.
För olika mätändamål kan formen på mätkännaren vara speciellt utförd. Om företrädesvis avståndet skall mätas, är det till fördel om skärmen har runt tvärsnitt. För bestämning av läget på det le- dande materialets begränsningskanter är rektangulärt tvärsnitt på skärmen till fördel.
Genom ändring av avståndet ändrar sig kapacítnnserna mellan skärmen, den första elektroden och kopplingsstiftet. Vid påläggning av en växelspänning på ingången uppträder vid utgången en växel-I utspänning, som är beroende av avståndet.
Uppfinningen beskrivs närmare nedan under hänvisning till bi- fogade ritningar. Där visar fig. 1 en schematisk vy av mätarrange- manget för den kapacitiva mätkännare, fig¿_Ã ett snitt A-A genom tmätarrangemanget, fig. 3 det ekvivalenta kopplingsschemat samt fig. 4 och 5 ytterligare utföringsformer.
Den kapacitiva mätkännaren 1 tjänar till mätning av avståndet d1 fill ett ledande material 2 eller också till lägesbestämning av begränsningskanterna på det ledande materialet 2.
Fig. 1 visar mätarrangemanget under användande av den kapaci- tiva mätkännaren 1. 10 15 20 25 30 35 40 7905398-9 Enligt fig. z består den kapacitiva mätkäršnafenw “áwwèrfjord- förbunden skärm 3 i form av en upptill sluten hålkropp. Inuti skärmen 3 befinner sig en första elektrod 4. Ovanför elektroden 4 är en andra elektrod 5 anbragt. I en öppning i elektroden 4 och i en fördjupning på elektroden 5 befinner sig ett kopplingsstift 6 med en mätyta 7. Mätytan 7 utskjuter härvid något från den genom den undre begränsningen för skärmen 3 och elektroden 4 bildade ytan för undvikande av kortslutningar mellan de ledande delarna vid påsättningen på det ledande materialet 2.
Mellanrummet mellan skärmen 3, elektroderna 4, 5 och kopplings- stiftet 6 är härvid utfyllt med ett dielektrikum 8 med låg dielekt- ricitetskonstant, varigenom dessa delar blir galvaniskt isolerade frän varandra. Tjockleken av dielektriket 8 mellan de enskilda de- larna kan härvid lämpligen vara lika ston Inuti skärmen 3 och ovanför elektroden S befinner sig ett förstärkarelement 9. Skärmen 3 uppvisar mellan elektroderna 4, S ett avkopplíngsutsprång 10, varigenom den störande kopplingen mel- lan elektroderna reduceras.
Elektroden 4 är genom en första öppning 11 i skärmen 3 för- bunden med ingången E, och den andra elektroden 5 är förbunden med förstärkaringången och förstärkarutgången genom en andra öppning 12 i skärmen 3.
Verkningssättet för den kapacitiva mätkännaren kan bäst klar- göras i anslutning till det ekvivalenta kopplingsschemat i fíg. 3.
Följande tre kapacitanser förekommer: Kapacítansen Ck] mellan elektroden 4 och kopplingsstiftet 6, kapacitansen Ckz mellan kopplingsstiftet 6 och elektroden S samt mätkapacitansen CX mellan kopplingsstiftet 6 och det på jordpoten- tial liggande ledande materialet 2.
Vidare förekommer parasítkapacítanser C 1 mellan kopplings- stiftet 6 och den likaså på jordpotential liggande skärmen 3 och CPZ mellan elektroderna 4 och 5, vilka hålls på låga värden genom det konstruktiva utförandet. Ytterligare kapacitanser förekommer mellan skärmen 3 och elektroden 4 med kapacitansen CM1 samt mel- lan skärmen 3 och elektroden 5 med inkludering av förstärkarelemen- teüs9 parallellt liggande ingångskapacitans med kapacítansen CM2.
Kapacitanscn CM1 medför emellertid ej någon felaktíghet i mätresul- tatet, utan dess störande inverkan yttrar sig blott i en belast- ning av distributionsväxelspänningen UO. Kapacitansen CM] är där- för blott antydd i fig. 3. 10 Éâfil* 7905398 '9 4 Om dístríbutíonsväxelspänníngen UV påläggs ingången E, upp- delas spänningen över den kapacítíva mätkännarens 1 kapacitans.
Genom avkopplingsutsprånget 10 hålls parasítkapacitansen C försumbart liten. Därmed erhålls för utspänníngen Ua i beroende av det avstånd dï, som skall mätas, nedanstående uttryck p2 Cm T Ua = UG . ___ .
M2 1 + Ckï Cmzckz :- + c +dc (d 1 CMfCkz p] x I Ytterligare ett syfte är att genom det speciella konstruktiva utförandet hålla parasitkapacitansen C 1 på ett lågt värde, efter- som inverkan av CP1 har undertryckande verkan på den egentliga mät- effekten.
Den varíerbara kapacítansen är CX, som ges av det varíerbara avståndet från kopplingsstíftets 6 mätyta 7. .ävhfi _.. *i “filma-g _ 1 Q __, ___ “I I *___ .;m.-> n

Claims (3)

7905398 -9 5 Qatentkrav
1. Kapacitiv mätkännare (1) för mätning av små avstånd mellan en mätyta och ytan på ett ledande material, k ä n n e- t e c k n a d av att inuti en upptill sluten skärm (3) befin- ner sig vid dennas undre ände en med skärmen (3) slutande första elektrod (4); att ovanför den första elektroden (4) en andra elektrod (5) är anbragt; att i en öppning i den första elektroden (4) och eventuellt i en fördjupning på den andra elektroden (5) ett kopplingsstíft (6) befinner sig med en mät- yta (7); att mätytan (7) slutar med skärmen (3), och den första elektroden (4); att mellanrummet mellan skärmen (3), de båda elektroderna (4,5) och kopplingsstiftet (6) är utfyllt med ett dielektrikum (8); att inuti skärmen (3) och ovanför den andra elektroden (5) ett förstärkarelement (9), företrädesvis en fälteffekttransistor, är anordnat; att den första "elektroden (4) är elektriskt förbunden med ingången (E) på den kapacitiva mätkännaren (1L den andra elektroden (5) förbunden med för- stärkaringången (G) samt förstärkarutgången (D) förbunden med utgången på den kapacitiva mätkännaren (1); och att för- stärkarelementets (9) emitter är förbunden med skärmen (3).
2. Mätkännare enligt kravet 1, k ä n n e t e c k n a d av att skärmen (3) uppvisar ett avkopplingsutsprång (10) mel- lan de båda elektroderna (4,5).
3. Mätkännare enligt kravet 1, k ä n n e t e c k n a d av att mätytan (7) utskjuter något från den av skärmen (3) och den första elektroden (4) bildade ytan. Poor QUALITY anar-w. - - ~
SE7905398A 1978-06-20 1979-06-19 Kapacitiv metkennare SE436151B (sv)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DD20613878A DD136897B1 (de) 1978-06-20 1978-06-20 Kapazitiver messfuehler

Publications (2)

Publication Number Publication Date
SE7905398L SE7905398L (sv) 1979-12-21
SE436151B true SE436151B (sv) 1984-11-12

Family

ID=5513173

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SE7905398A SE436151B (sv) 1978-06-20 1979-06-19 Kapacitiv metkennare

Country Status (12)

Country Link
US (1) US4311959A (sv)
JP (2) JPS5536793A (sv)
BG (1) BG32528A1 (sv)
CH (1) CH639754A5 (sv)
CS (1) CS218893B1 (sv)
DD (1) DD136897B1 (sv)
DE (1) DE2920491A1 (sv)
FR (1) FR2429411A1 (sv)
GB (1) GB2023847B (sv)
HU (1) HU182731B (sv)
SE (1) SE436151B (sv)
SU (1) SU1015243A1 (sv)

Families Citing this family (40)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58144215U (ja) * 1982-03-23 1983-09-28 岩崎通信機株式会社 変位計の静電容量プロ−プ
US4476430A (en) * 1982-04-05 1984-10-09 Wright Wade S Non-contact sensor for determining moving flat steel strip shape profile
US4446432A (en) * 1982-05-27 1984-05-01 Motorola Inc. Method for determining surface contour of piezoelectric wafers
US4498045A (en) * 1982-05-27 1985-02-05 Motorola, Inc. Apparatus and method for determining surface contour of piezoelectric wafers
US4538069A (en) * 1983-10-28 1985-08-27 Control Data Corporation Capacitance height gage applied in reticle position detection system for electron beam lithography apparatus
CA1191261A (fr) * 1983-12-14 1985-07-30 Francois Lalonde Appareil de mesure dynamique et sans contact de faibles distances
DE3525325A1 (de) * 1985-07-16 1987-01-22 Papst Motoren Gmbh & Co Kg Automatische kontaktklemme
US4814691A (en) * 1985-08-09 1989-03-21 Washington Research Foundation Fringe field capacitive sensor for measuring profile of a surface
GB8523982D0 (en) * 1985-09-28 1985-10-30 Emi Plc Thorn Tactile sensor array
US4818948A (en) * 1986-08-05 1989-04-04 Pratt & Whitney Canada Inc. Capacitive bridge-type probe for measuring blade tip clearance
US5263363A (en) * 1988-02-11 1993-11-23 Agar Corporation, Ltd. Apparatus and method for determining the percentage of a fluid in a mixture of fluids
FR2629204B1 (fr) * 1988-03-25 1990-12-14 Oreal Dispositif pour realiser une mesure de la teneur en eau d'un substrat, notamment de la peau
GB9021448D0 (en) * 1990-10-03 1990-11-14 Renishaw Plc Capacitance sensing probe
DE4040084C2 (de) * 1990-12-14 1998-09-24 Dittel Walter Luftfahrt Berührungsloses Abstandsmeßgerät
DE4120913A1 (de) * 1991-06-25 1993-01-07 Draegerwerk Ag Kolben-zylindereinheit zur atemgasfoerderung als zylinderkondensator fuer die hubstreckenmessung
US5155444A (en) * 1991-08-22 1992-10-13 Xerox Corporation Trim bar gap verification tool and method using a flexible capacitor sensor having a magnetic metallic laminate
US5646049A (en) * 1992-03-27 1997-07-08 Abbott Laboratories Scheduling operation of an automated analytical system
US5536471A (en) * 1992-03-27 1996-07-16 Abbott Laboratories Syringe with bubble flushing
US5960160A (en) * 1992-03-27 1999-09-28 Abbott Laboratories Liquid heater assembly with a pair temperature controlled electric heating elements and a coiled tube therebetween
US6190617B1 (en) 1992-03-27 2001-02-20 Abbott Laboratories Sample container segment assembly
US5578494A (en) * 1992-03-27 1996-11-26 Abbott Laboratories Cap actuator for opening and closing a container
US5610069A (en) * 1992-03-27 1997-03-11 Abbott Laboratories Apparatus and method for washing clinical apparatus
US5575978A (en) * 1992-03-27 1996-11-19 Abbott Laboratories Sample container segment assembly
US5605665A (en) * 1992-03-27 1997-02-25 Abbott Laboratories Reaction vessel
US5507410A (en) * 1992-03-27 1996-04-16 Abbott Laboratories Meia cartridge feeder
US5540890A (en) * 1992-03-27 1996-07-30 Abbott Laboratories Capped-closure for a container
US5627522A (en) * 1992-03-27 1997-05-06 Abbott Laboratories Automated liquid level sensing system
US5635364A (en) * 1992-03-27 1997-06-03 Abbott Laboratories Assay verification control for an automated analytical system
US5376313A (en) * 1992-03-27 1994-12-27 Abbott Laboratories Injection molding a plastic assay cuvette having low birefringence
GB9221926D0 (en) * 1992-10-19 1992-12-02 Rue De Systems Ltd Conductive strip detector
US5363051A (en) * 1992-11-23 1994-11-08 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Steering capaciflector sensor
DE19544620A1 (de) * 1995-11-30 1997-06-05 Hoefler Maschbau Verfahren zur Detektion von Schleifbrand beim Schleifen und zur Detektion des Zustandes der Schleifscheibe mittels Messung der dielektrischen Funktion im hochfrequenten Bereich
US6307385B1 (en) 1997-12-30 2001-10-23 Vibrosystm, Inc. Capacitance measuring circuit for a capacitive sensor
DE19837526A1 (de) * 1998-08-19 2000-02-24 Reinhard Wiesemann Kapazitiver Sensor
EP2658958B1 (en) * 2011-03-18 2017-05-03 Siemens Healthcare Diagnostics Inc. Methods and systems for calibration of a positional orientation between a sample container and nozzle tip
US8875979B2 (en) * 2012-05-04 2014-11-04 Asm Technology Singapore Pte. Ltd. Apparatus and method for determining an alignment of a bondhead of a die bonder relative to a workchuck
ITBO20130535A1 (it) * 2013-09-30 2015-03-31 Alberto Bauer Sensore capacitivo di tensione elettrica, sistema e metodo per ottenerlo
CN109507243B (zh) * 2018-11-22 2024-02-27 华侨大学 一种地铁管片与预埋槽道的脱空检测装置及检测方法
RU192380U1 (ru) * 2019-05-20 2019-09-16 ООО "Оптиметрик" Высоковольтный измерительный преобразователь напряжения
CN112518614B (zh) * 2020-11-25 2022-02-25 益阳市产商品质量监督检验研究院 一种圆柱型脉冲电容器检测用夹持机构及其制造工艺

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2800628A (en) * 1953-12-18 1957-07-23 Sinclair Res Lab Inc Dual testing capacitor
US2802178A (en) * 1954-09-22 1957-08-06 Gen Electric Motion detecting device
US3019651A (en) * 1956-11-30 1962-02-06 Honeywell Regulator Co Liquid quantity measuring apparatus
US3084558A (en) * 1958-11-28 1963-04-09 North American Aviation Inc Capacitance pickoff with low coercion
US3119266A (en) * 1960-11-10 1964-01-28 Duane E Atkinson Level indicating system, method and probe
US3400331A (en) * 1965-01-18 1968-09-03 Pratt & Whitney Inc Gaging device including a probe having a plurality of concentric and coextensive electrodes
US3515987A (en) * 1967-10-20 1970-06-02 Avco Corp Coplanar dielectric probe having means for minimizing capacitance from stray sources
DE1914876C3 (de) * 1969-03-24 1978-10-26 Messer Griesheim Gmbh, 6000 Frankfurt Einrichtung zum Schutz einer Anordnung zur kapazitiven Abstandsmessung
US3805150A (en) * 1970-08-17 1974-04-16 Ade Corp Environment immune high precision capacitive gauging system
US3716782A (en) * 1971-06-03 1973-02-13 J Henry Capacitance gage for measuring small distances
BE792405A (fr) * 1971-12-08 1973-03-30 Paratronic Ag Dispositif pour mesurer sans les detruire l'epaisseur de revetements electriquement non conducteurs sur des supports electriquement conducteurs
US3986109A (en) * 1975-01-29 1976-10-12 Ade Corporation Self-calibrating dimension gauge

Also Published As

Publication number Publication date
CS218893B1 (en) 1983-02-25
BG32528A1 (en) 1982-08-16
FR2429411A1 (fr) 1980-01-18
SE7905398L (sv) 1979-12-21
SU1015243A1 (ru) 1983-04-30
HU182731B (en) 1984-03-28
DE2920491A1 (de) 1980-01-17
GB2023847B (en) 1983-04-27
DD136897B1 (de) 1981-03-25
FR2429411B3 (sv) 1982-05-28
CH639754A5 (de) 1983-11-30
JPS63141406U (sv) 1988-09-19
US4311959A (en) 1982-01-19
DD136897A1 (de) 1979-08-01
DE2920491C2 (sv) 1988-07-28
JPS5536793A (en) 1980-03-14
GB2023847A (en) 1980-01-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SE436151B (sv) Kapacitiv metkennare
US6092428A (en) Device for determining the phase component of a conductive medium in a duct
GB1343134A (en) System for measuring the level of materials
US11199434B2 (en) Dual polarity mutual capacitive liquid sensing
JPH08136209A (ja) 可動物体の幾何学的位置、変位又は角度を検出する方法および非接触容量基準位置センサ
US6348809B1 (en) Microscopic capacitance measurement system and probing system
US3404341A (en) Electrometer utilizing a dual purpose field-effect transistor
KR100341966B1 (ko) 임피던스-전압 변환기 및 변환방법
US6777956B2 (en) Capacitance measuring systems
JP3815771B2 (ja) 静電容量式ギャップセンサ、及びその信号検出方法
US4818945A (en) Non contacting volt meter
US7260987B2 (en) Method for capacitive measurement of fill level
GB2064130A (en) Electromagnetic Channel Flowmeter
EP3914906B1 (en) Capacitive sensor
GB2218812A (en) A capacitive apparatus for measuring liquid volume and flow rate
JPH04110618A (ja) 液面センサー
AU2018369390B2 (en) Device and method for capacitively measuring a fill level of a filling medium
Yang et al. Capacitance tomography sensor without CMOS switches
SU725100A1 (ru) Устройство дл измерени активной проводимости
SU1385092A1 (ru) Переменна мера активной проводимости
US3394307A (en) Moisture content measuring device including capacitor electrodes differing in size
DE102009026496A1 (de) Kompensationskapazität für einen kapazitiven Sensor
JP2003130893A (ja) シールドを有する電気回路
RU2314520C2 (ru) Диэлькометрический влагомер
US4388588A (en) Flush mountable plasma density profile probe device

Legal Events

Date Code Title Description
NUG Patent has lapsed

Ref document number: 7905398-9

Effective date: 19920109

Format of ref document f/p: F