SU1015243A1 - Емкостный измерительный щуп - Google Patents
Емкостный измерительный щуп Download PDFInfo
- Publication number
- SU1015243A1 SU1015243A1 SU797770603A SU7770603A SU1015243A1 SU 1015243 A1 SU1015243 A1 SU 1015243A1 SU 797770603 A SU797770603 A SU 797770603A SU 7770603 A SU7770603 A SU 7770603A SU 1015243 A1 SU1015243 A1 SU 1015243A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- electrode
- screen
- measuring
- shield
- electrodes
- Prior art date
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims abstract description 20
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 11
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 10
- 230000005669 field effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 abstract description 6
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 abstract description 6
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 abstract description 6
- 238000013461 design Methods 0.000 description 5
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000035764 nutrition Effects 0.000 description 1
- 235000016709 nutrition Nutrition 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/02—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
- G01B7/023—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring distance between sensor and object
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/02—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
- G01B7/06—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness
- G01B7/08—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness using capacitive means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
Изобретение относитс к контроль но-измерительной технике и может быть использовано дл измерени рас сто ний между емкостным измерительным щупом и электропровод щим материалом . При этом с помощью емкостного измерительного щупа могут быть измерены и плавные изменени толщины и расположение ограничительных кромок электропровод щего материала Известен емкостный измерительный зонд, примеьГ емый в уровнемере по DE-AS 2 kkB 205, в котором зондовый электрод выступает внутрь измер емого объема. Под воздействием загружаемого материала деформируетс поле зондового электрода по сравнению к состо нию без наличи загружаемого материала. В результате этого измен ютс емкостные соотАошени и производитс индикаци в схеме дл обработки данных. Из-за недостаточно качественного экранировани данный емкостный зонд непригоден дл измерени незначительиых рассто ний между зондовым электродом и контролируемой электропроводной поверхностью. Специальна конструкци экранирующего устройства дл многодорожеч ных электромагнитных головок дл записи и/или воспроизведени сигналов описываетс в хоз йственном патенте DD-WP129 .. При этом экранировка образуетс из соединени электропровод щих и диэлектрических слоев, которые составл ют экранирующие пластины и из общей дл всех магнитных систем пластины дл деформации пол . Экранирующие пластины при этом размещаютс между отдельными магнитными системами и уве личивают переходное затухание. Цель изобретени - создание емкостного измерительного шупа, пригодного дл определени самых минимальных емкостей между измерительны шупом и электропровод щим материало . и дл регистрации их. При этом конструкци измерительного щупа должна быть простой и иметь небольшую измерительную площадь. Изобретение относитс к емкостно му измерительному шупу, у которого посредством специального конструкти ного выполнени экранировки почти полностью подавл ютс мещающие по отношению к земле емкости и мешающи св зи, из-за чего обеспечиваетс из мерение самых минимальных рассто ний до провод щей поверхности. Емкостный измерительный шуп состоит .из заземленного экрана в виде закрытой сверху полой детали. В пределах экрана находитс первый электрод, оканчивающийс снизуна одном уровне с экраном.Над первымэлектродом размещаетс второй электрод. Внутри первого электрода и в некоторых случа х в выемке или пазу во втором электроде размещен третий электрод, выполненный в виде щтыр св зи с измерительной площадкой, причем последн заканчиваетс на одном уровне с экраном и первым электродом. ространство между экраном, электроами и соединительнь1м штырьком заполено диэлектриком. При этом толщина тенок между отдельными электропровод щими элементами одинаковой велиины . В пределах экрана, над вторым электродом, размещаетс усилительный элемент. Первый электрод соединен со входом измерительного шупа через первое отверстие экрана, а второй электрод соединен со входом усилительного элемента , который через второе тверстие в экране соединен с выходом емкостного измерительного шупа. Оказываетс выгодным, если усилительным элeмeнтqм вл етс транзистор с полевым эффектом, затвор которого представл ет собой вход усилительного элемента, сток представл ет собой его выход, а исток соединен с экраном. Экран между первым и вторым электродами снабжен разв зывающим выступом. Это приводит к снижению мешающей св зи между электродами. Оказываетс выгодным, если измерительна площадка штыр незначительно выходит за пределы внешних торцов экрана и первого электрода, так как в случае соприкосновени измер емой поверхности с изолированным со всех сторон штырем св зи исключаетс возникновение к.3. между остальными электропровод щими детал ми шупа. Конструктивна конфигураци измерительного шупа должна быть специфичной дл разных способов измерени . Если преимущественно должно замер тьс рассто ние, то благопри тным оказываетс круглое сечение экрана. Дл определени расположени ограничительHbix кромок электропровод щего материала выгодным оказываетс пр моугольное сечение экрана. . В результате изменени рассто ни измен ютс емкости между экраном, первым электродом и соединительным штырьком. В момент приложени переменного напр жени ко входу шупа на выходе его по вл етс выходное переменное напр жение,:завис щее от рассто ни до провод щей поверхности. На фиг.1 показана схема размещени емкостного измерительного шупа отно .сите/1ьно провод щей поверхности; на фиг.2 - сечение шупа; на фиг.З - схе ма занещ ни емкостного шупа; на фиг. и фиг.5 - другие варианты ис ,полнени емкостного щупа; Емкостный измерительный шуп 1 пре назначен дл измерени рассто ни d до электропровод щего материала 2 ил дл определени расположени ограничительных кромок электропровод щег материала 2. Емкостный измерительный шуп 1 содержит заземленный экран 3 в виде закрытого сверху пустотелого элемента . Внутри экрана 3 раз1мещаетс первый электрод k, над которым расположен второй электрод 5 В отверстии электрода k и вблизи электрода 5 раз мещен соединительный штырь 6 св зи, имеющий измерительную площадку 7 При этом измерительна площадка 7 не значительно выступает за пределы пло щадки, образованной нижними торцами экрана 3 и электрода ( дл того, что бы избегать по влени к.з. между электропровод щими детал ми щупа при его установке на электропровод щий материал 2. При этом пространство между экраном 3, электродами , 5 и соединител ным штырем 6 заполн етс диэлектриком с низкой диэлектрической пронициаемостью , благодар чему эти детал оказываютс изолированными друг от друга гальванически. При этом следует выбрать одинаковую толщину стен ки диэлектрика 8 между отдельными детал ми. В пределах экрана 3 и над электро дом 5 размещен усилительный элемент 9. Экран 3 имеет между электродами k и S разв зывающий выступ 10, что снижает риск мешающей св зи между этими электродами. Электрод t соединен посредством первого отверсти 11 экрана 3 с входом Е шупа, второй электрод 5 соединен с входом усилительного элемента а выход усилител посредством второго отверсти 12 в экране 3 соединен с выходом А цупа. Принцип работы емкостного измерительного щупа по сн етс на основании схемы замещени (фиг.З). . Существуют следующие емкости: емкость Сц между электродом Ц и штырем 6 св зи, емкость С между штырем 6 и электродом 5 и измерительна емкость Су между штырем 6 и наход щимс под ; потенциалом экрана провод щим материалом 2. Кроме того, существют паразитные емкости Ср между соединительным штырем 6 и экраном 3 и Ср между электродами А и 5, величины которых сохран ютс минимальными за счет выполнени экранирующего выступа 10 между ними. Другие емкостисуществуют между экраном 3 и электро° емкостью С,, а также между экраном 3 и электродом 5с подключением параллельно расположенной входной емкости усилительного элемента 9 с емкостью Сдл емкость приводит к искажению результатаизмерени , а ее мешающее вли ние всего лишь сказываетс в нагрузке переменного напр жени питани YQ. Поэтому емкость С„ показана на фиг.З только условно. Если подключить на вход Е напр жение UQ питани переменного тока, то происходит деление напр жени на вышеуказанных емкост х емкостного измерительного (цупа 1. Благодар наличию разв зывающего выступа 10 паразитна емкость Ср . поддерживаетс в пренебрежительно малых пределах. Благодар этому получаем дл выходного напр жени Уд в зависимости от замер емого рассто ни d. W2 К. (в,) Дйполнительной целью вл етс поддерживание паразитной емкости Ср малой за счет выбора специальной конструкции 1цупа, так как вли ние от Ср подавл ет собственный эффект измерени . Переменной емкостью вл етс : емкость Су заданна измен ющимс рассто нием d измерительной площадки 7 штыр 6 св зи до провод щей поверхности 2.
Признано изобретением по резуль laraM экспертизы, осуществленной ведомством по изобретательству Германской Лемократической республики.
У//7//7////////А %
(30иг.
Ua
9
/// //////Л
7/ XЧ
......i;.....5i;
/// // /7//7// /
фигЛ
ZZZZZ
2 7
(раг.5
Claims (3)
1. ЕМКОСТНЫЙ ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЙ ЩУП для измерения малых расстояний до поверхности электропроводных материалов, содержащий полый электропроводный экран и размещенные внутри не^о два электрода, отделенные один от другого диэлектриком, и усилительный элемент, подключенный к одному из электродов, о т л и ч а_ющийс я тем, что он снабжён тре тьим электродом, выполненным в виде штыря 6 связи с измерительной площадкой 7 на его внешнем торце, штырь 6 связи размещен внутри первого электрода 4 и отделен· от него и от второго электрода 5 диэлектриком, второй электрод размещен над первым электродом и отделен от него развязывающим выступом 10 электропроводного экрана 3* а усилительный элемент 9 размещен внутри экрана 3 и выполнен в виде полевого транзистора. .
2. Емкостный измерительный щуп поп.1, отли чающийся тем, что измерительная площадка 7 штыря 6 связи находится на одном уровне с внешними торцами первого электрода 4 и экрана 3.
3. Емкостный измерительный щуп по п. 1, о т л и*· ч а ю щ и й с я тем, что измерительная площадка 7 штыря 6 связи выступает за пределы внешних торцов первого электрода 4. и экрана 3·
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DD20613878A DD136897B1 (de) | 1978-06-20 | 1978-06-20 | Kapazitiver messfuehler |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1015243A1 true SU1015243A1 (ru) | 1983-04-30 |
Family
ID=5513173
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU797770603A SU1015243A1 (ru) | 1978-06-20 | 1979-06-06 | Емкостный измерительный щуп |
Country Status (12)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4311959A (ru) |
JP (2) | JPS5536793A (ru) |
BG (1) | BG32528A1 (ru) |
CH (1) | CH639754A5 (ru) |
CS (1) | CS218893B1 (ru) |
DD (1) | DD136897B1 (ru) |
DE (1) | DE2920491A1 (ru) |
FR (1) | FR2429411A1 (ru) |
GB (1) | GB2023847B (ru) |
HU (1) | HU182731B (ru) |
SE (1) | SE436151B (ru) |
SU (1) | SU1015243A1 (ru) |
Families Citing this family (40)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58144215U (ja) * | 1982-03-23 | 1983-09-28 | 岩崎通信機株式会社 | 変位計の静電容量プロ−プ |
US4476430A (en) * | 1982-04-05 | 1984-10-09 | Wright Wade S | Non-contact sensor for determining moving flat steel strip shape profile |
US4446432A (en) * | 1982-05-27 | 1984-05-01 | Motorola Inc. | Method for determining surface contour of piezoelectric wafers |
US4498045A (en) * | 1982-05-27 | 1985-02-05 | Motorola, Inc. | Apparatus and method for determining surface contour of piezoelectric wafers |
US4538069A (en) * | 1983-10-28 | 1985-08-27 | Control Data Corporation | Capacitance height gage applied in reticle position detection system for electron beam lithography apparatus |
CA1191261A (fr) * | 1983-12-14 | 1985-07-30 | Francois Lalonde | Appareil de mesure dynamique et sans contact de faibles distances |
DE3525325A1 (de) * | 1985-07-16 | 1987-01-22 | Papst Motoren Gmbh & Co Kg | Automatische kontaktklemme |
US4814691A (en) * | 1985-08-09 | 1989-03-21 | Washington Research Foundation | Fringe field capacitive sensor for measuring profile of a surface |
GB8523982D0 (en) * | 1985-09-28 | 1985-10-30 | Emi Plc Thorn | Tactile sensor array |
US4818948A (en) * | 1986-08-05 | 1989-04-04 | Pratt & Whitney Canada Inc. | Capacitive bridge-type probe for measuring blade tip clearance |
US5263363A (en) * | 1988-02-11 | 1993-11-23 | Agar Corporation, Ltd. | Apparatus and method for determining the percentage of a fluid in a mixture of fluids |
FR2629204B1 (fr) * | 1988-03-25 | 1990-12-14 | Oreal | Dispositif pour realiser une mesure de la teneur en eau d'un substrat, notamment de la peau |
GB9021448D0 (en) * | 1990-10-03 | 1990-11-14 | Renishaw Plc | Capacitance sensing probe |
DE4040084C2 (de) * | 1990-12-14 | 1998-09-24 | Dittel Walter Luftfahrt | Berührungsloses Abstandsmeßgerät |
DE4120913A1 (de) * | 1991-06-25 | 1993-01-07 | Draegerwerk Ag | Kolben-zylindereinheit zur atemgasfoerderung als zylinderkondensator fuer die hubstreckenmessung |
US5155444A (en) * | 1991-08-22 | 1992-10-13 | Xerox Corporation | Trim bar gap verification tool and method using a flexible capacitor sensor having a magnetic metallic laminate |
US5605665A (en) * | 1992-03-27 | 1997-02-25 | Abbott Laboratories | Reaction vessel |
US5578494A (en) * | 1992-03-27 | 1996-11-26 | Abbott Laboratories | Cap actuator for opening and closing a container |
US5536471A (en) * | 1992-03-27 | 1996-07-16 | Abbott Laboratories | Syringe with bubble flushing |
US5575978A (en) * | 1992-03-27 | 1996-11-19 | Abbott Laboratories | Sample container segment assembly |
US5627522A (en) * | 1992-03-27 | 1997-05-06 | Abbott Laboratories | Automated liquid level sensing system |
US5610069A (en) * | 1992-03-27 | 1997-03-11 | Abbott Laboratories | Apparatus and method for washing clinical apparatus |
US5507410A (en) * | 1992-03-27 | 1996-04-16 | Abbott Laboratories | Meia cartridge feeder |
US5540890A (en) * | 1992-03-27 | 1996-07-30 | Abbott Laboratories | Capped-closure for a container |
US5376313A (en) * | 1992-03-27 | 1994-12-27 | Abbott Laboratories | Injection molding a plastic assay cuvette having low birefringence |
US5960160A (en) * | 1992-03-27 | 1999-09-28 | Abbott Laboratories | Liquid heater assembly with a pair temperature controlled electric heating elements and a coiled tube therebetween |
US6190617B1 (en) | 1992-03-27 | 2001-02-20 | Abbott Laboratories | Sample container segment assembly |
US5635364A (en) * | 1992-03-27 | 1997-06-03 | Abbott Laboratories | Assay verification control for an automated analytical system |
US5646049A (en) * | 1992-03-27 | 1997-07-08 | Abbott Laboratories | Scheduling operation of an automated analytical system |
GB9221926D0 (en) * | 1992-10-19 | 1992-12-02 | Rue De Systems Ltd | Conductive strip detector |
US5363051A (en) * | 1992-11-23 | 1994-11-08 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Steering capaciflector sensor |
DE19544620A1 (de) * | 1995-11-30 | 1997-06-05 | Hoefler Maschbau | Verfahren zur Detektion von Schleifbrand beim Schleifen und zur Detektion des Zustandes der Schleifscheibe mittels Messung der dielektrischen Funktion im hochfrequenten Bereich |
US6307385B1 (en) | 1997-12-30 | 2001-10-23 | Vibrosystm, Inc. | Capacitance measuring circuit for a capacitive sensor |
DE19837526A1 (de) * | 1998-08-19 | 2000-02-24 | Reinhard Wiesemann | Kapazitiver Sensor |
WO2012129105A1 (en) * | 2011-03-18 | 2012-09-27 | Siemens Healthcare Diagnostics Inc. | Methods and systems for calibration of a positional orientation between a sample container and nozzle tip |
US8875979B2 (en) * | 2012-05-04 | 2014-11-04 | Asm Technology Singapore Pte. Ltd. | Apparatus and method for determining an alignment of a bondhead of a die bonder relative to a workchuck |
ITBO20130535A1 (it) | 2013-09-30 | 2015-03-31 | Alberto Bauer | Sensore capacitivo di tensione elettrica, sistema e metodo per ottenerlo |
CN109507243B (zh) * | 2018-11-22 | 2024-02-27 | 华侨大学 | 一种地铁管片与预埋槽道的脱空检测装置及检测方法 |
RU192380U1 (ru) * | 2019-05-20 | 2019-09-16 | ООО "Оптиметрик" | Высоковольтный измерительный преобразователь напряжения |
CN112518614B (zh) * | 2020-11-25 | 2022-02-25 | 益阳市产商品质量监督检验研究院 | 一种圆柱型脉冲电容器检测用夹持机构及其制造工艺 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2800628A (en) * | 1953-12-18 | 1957-07-23 | Sinclair Res Lab Inc | Dual testing capacitor |
US2802178A (en) * | 1954-09-22 | 1957-08-06 | Gen Electric | Motion detecting device |
US3019651A (en) * | 1956-11-30 | 1962-02-06 | Honeywell Regulator Co | Liquid quantity measuring apparatus |
US3084558A (en) * | 1958-11-28 | 1963-04-09 | North American Aviation Inc | Capacitance pickoff with low coercion |
US3119266A (en) * | 1960-11-10 | 1964-01-28 | Duane E Atkinson | Level indicating system, method and probe |
US3400331A (en) * | 1965-01-18 | 1968-09-03 | Pratt & Whitney Inc | Gaging device including a probe having a plurality of concentric and coextensive electrodes |
US3515987A (en) * | 1967-10-20 | 1970-06-02 | Avco Corp | Coplanar dielectric probe having means for minimizing capacitance from stray sources |
DE1914876C3 (de) * | 1969-03-24 | 1978-10-26 | Messer Griesheim Gmbh, 6000 Frankfurt | Einrichtung zum Schutz einer Anordnung zur kapazitiven Abstandsmessung |
US3805150A (en) * | 1970-08-17 | 1974-04-16 | Ade Corp | Environment immune high precision capacitive gauging system |
US3716782A (en) * | 1971-06-03 | 1973-02-13 | J Henry | Capacitance gage for measuring small distances |
BE792405A (fr) * | 1971-12-08 | 1973-03-30 | Paratronic Ag | Dispositif pour mesurer sans les detruire l'epaisseur de revetements electriquement non conducteurs sur des supports electriquement conducteurs |
US3986109A (en) * | 1975-01-29 | 1976-10-12 | Ade Corporation | Self-calibrating dimension gauge |
-
1978
- 1978-06-20 DD DD20613878A patent/DD136897B1/de not_active IP Right Cessation
-
1979
- 1979-05-21 DE DE2920491A patent/DE2920491A1/de active Granted
- 1979-06-06 SU SU797770603A patent/SU1015243A1/ru active
- 1979-06-08 CS CS794030A patent/CS218893B1/cs unknown
- 1979-06-14 GB GB7920763A patent/GB2023847B/en not_active Expired
- 1979-06-14 US US06/048,354 patent/US4311959A/en not_active Expired - Lifetime
- 1979-06-15 CH CH562979A patent/CH639754A5/de not_active IP Right Cessation
- 1979-06-18 FR FR7915562A patent/FR2429411A1/fr active Granted
- 1979-06-19 HU HU79EE2671A patent/HU182731B/hu unknown
- 1979-06-19 SE SE7905398A patent/SE436151B/sv not_active IP Right Cessation
- 1979-06-20 JP JP7696979A patent/JPS5536793A/ja active Pending
- 1979-06-27 BG BG7943866A patent/BG32528A1/xx unknown
-
1988
- 1988-02-12 JP JP1988016423U patent/JPS63141406U/ja active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS5536793A (en) | 1980-03-14 |
DD136897B1 (de) | 1981-03-25 |
DE2920491A1 (de) | 1980-01-17 |
GB2023847B (en) | 1983-04-27 |
GB2023847A (en) | 1980-01-03 |
DD136897A1 (de) | 1979-08-01 |
DE2920491C2 (ru) | 1988-07-28 |
SE436151B (sv) | 1984-11-12 |
US4311959A (en) | 1982-01-19 |
FR2429411B3 (ru) | 1982-05-28 |
BG32528A1 (en) | 1982-08-16 |
JPS63141406U (ru) | 1988-09-19 |
FR2429411A1 (fr) | 1980-01-18 |
CH639754A5 (de) | 1983-11-30 |
SE7905398L (sv) | 1979-12-21 |
CS218893B1 (en) | 1983-02-25 |
HU182731B (en) | 1984-03-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
SU1015243A1 (ru) | Емкостный измерительный щуп | |
JP4198306B2 (ja) | 静電容量型センサ、半導体製造装置および液晶表示素子製造装置 | |
US7342401B2 (en) | Measurement bias tee | |
JPH0729467A (ja) | 静電容量形近接センサ | |
US3829770A (en) | Directional coupler for transmission lines | |
EP0382600A3 (en) | Shielded capacitances standard | |
US4818945A (en) | Non contacting volt meter | |
GB1395392A (en) | Impedance measurement | |
JP3815771B2 (ja) | 静電容量式ギャップセンサ、及びその信号検出方法 | |
JP4872989B2 (ja) | 静電容量型センサ部品、物体搭載体、半導体製造装置および液晶表示素子製造装置 | |
JPS6232490B2 (ru) | ||
EP1057136B1 (en) | Induction sensor | |
US3133207A (en) | Transmission line package having transistor disposed between inner conducting strips | |
US6057683A (en) | Induction sensor having conductive concentrator with measuring gap | |
JPH03204097A (ja) | 電極アレー | |
JPS6019380Y2 (ja) | 同軸ノイズフィルタ− | |
JPS62245976A (ja) | 電気機器異常検出装置 | |
KR20190101218A (ko) | 기생용량 제거회로를 포함한 정전센서 | |
CN108152554B (zh) | 一种测量同轴电缆脉冲电压的电容分压器 | |
SU1718094A2 (ru) | Высокочастотна электрохимическа чейка | |
KR20200024635A (ko) | 플라즈마 챔버의 rf 센싱 장치 및 이를 포함하는 플라즈마 챔버 | |
JPS6245219Y2 (ru) | ||
JPH02129559A (ja) | 電圧測定装置 | |
JPS63186512A (ja) | 縮小形開閉装置の異常検出装置 | |
JPH01136074A (ja) | ガス絶縁密閉電器の電圧および部分放電検出装置 |