SU1015243A1 - Емкостный измерительный щуп - Google Patents

Емкостный измерительный щуп Download PDF

Info

Publication number
SU1015243A1
SU1015243A1 SU797770603A SU7770603A SU1015243A1 SU 1015243 A1 SU1015243 A1 SU 1015243A1 SU 797770603 A SU797770603 A SU 797770603A SU 7770603 A SU7770603 A SU 7770603A SU 1015243 A1 SU1015243 A1 SU 1015243A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
electrode
screen
measuring
shield
electrodes
Prior art date
Application number
SU797770603A
Other languages
English (en)
Inventor
Рисланд Эберхард
Вагнер Вольфганг
Опитц Гюнтер
Original Assignee
Феб Электромат Им Комбинат Месэлектроник /Инопредприятие/
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Феб Электромат Им Комбинат Месэлектроник /Инопредприятие/ filed Critical Феб Электромат Им Комбинат Месэлектроник /Инопредприятие/
Application granted granted Critical
Publication of SU1015243A1 publication Critical patent/SU1015243A1/ru

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/02Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B7/023Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring distance between sensor and object
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/02Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B7/06Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness
    • G01B7/08Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness using capacitive means

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)

Description

Изобретение относитс  к контроль но-измерительной технике и может быть использовано дл  измерени  рас сто ний между емкостным измерительным щупом и электропровод щим материалом . При этом с помощью емкостного измерительного щупа могут быть измерены и плавные изменени  толщины и расположение ограничительных кромок электропровод щего материала Известен емкостный измерительный зонд, примеьГ емый в уровнемере по DE-AS 2 kkB 205, в котором зондовый электрод выступает внутрь измер емого объема. Под воздействием загружаемого материала деформируетс поле зондового электрода по сравнению к состо нию без наличи  загружаемого материала. В результате этого измен ютс  емкостные соотАошени  и производитс  индикаци  в схеме дл  обработки данных. Из-за недостаточно качественного экранировани  данный емкостный зонд непригоден дл  измерени  незначительиых рассто ний между зондовым электродом и контролируемой электропроводной поверхностью. Специальна  конструкци  экранирующего устройства дл  многодорожеч ных электромагнитных головок дл  записи и/или воспроизведени  сигналов описываетс  в хоз йственном патенте DD-WP129 .. При этом экранировка образуетс  из соединени  электропровод щих и диэлектрических слоев, которые составл ют экранирующие пластины и из общей дл  всех магнитных систем пластины дл  деформации пол . Экранирующие пластины при этом размещаютс  между отдельными магнитными системами и уве личивают переходное затухание. Цель изобретени  - создание емкостного измерительного шупа, пригодного дл  определени  самых минимальных емкостей между измерительны шупом и электропровод щим материало . и дл  регистрации их. При этом конструкци  измерительного щупа должна быть простой и иметь небольшую измерительную площадь. Изобретение относитс  к емкостно му измерительному шупу, у которого посредством специального конструкти ного выполнени  экранировки почти полностью подавл ютс  мещающие по отношению к земле емкости и мешающи св зи, из-за чего обеспечиваетс  из мерение самых минимальных рассто ний до провод щей поверхности. Емкостный измерительный шуп состоит .из заземленного экрана в виде закрытой сверху полой детали. В пределах экрана находитс  первый электрод, оканчивающийс  снизуна одном уровне с экраном.Над первымэлектродом размещаетс  второй электрод. Внутри первого электрода и в некоторых случа х в выемке или пазу во втором электроде размещен третий электрод, выполненный в виде щтыр  св зи с измерительной площадкой, причем последн   заканчиваетс  на одном уровне с экраном и первым электродом. ространство между экраном, электроами и соединительнь1м штырьком заполено диэлектриком. При этом толщина тенок между отдельными электропровод щими элементами одинаковой велиины . В пределах экрана, над вторым электродом, размещаетс  усилительный элемент. Первый электрод соединен со входом измерительного шупа через первое отверстие экрана, а второй электрод соединен со входом усилительного элемента , который через второе тверстие в экране соединен с выходом емкостного измерительного шупа. Оказываетс  выгодным, если усилительным элeмeнтqм  вл етс  транзистор с полевым эффектом, затвор которого представл ет собой вход усилительного элемента, сток представл ет собой его выход, а исток соединен с экраном. Экран между первым и вторым электродами снабжен разв зывающим выступом. Это приводит к снижению мешающей св зи между электродами. Оказываетс  выгодным, если измерительна  площадка штыр  незначительно выходит за пределы внешних торцов экрана и первого электрода, так как в случае соприкосновени  измер емой поверхности с изолированным со всех сторон штырем св зи исключаетс  возникновение к.3. между остальными электропровод щими детал ми шупа. Конструктивна  конфигураци  измерительного шупа должна быть специфичной дл  разных способов измерени . Если преимущественно должно замер тьс  рассто ние, то благопри тным оказываетс  круглое сечение экрана. Дл  определени  расположени  ограничительHbix кромок электропровод щего материала выгодным оказываетс  пр моугольное сечение экрана. . В результате изменени  рассто ни  измен ютс  емкости между экраном, первым электродом и соединительным штырьком. В момент приложени  переменного напр жени  ко входу шупа на выходе его по вл етс  выходное переменное напр жение,:завис щее от рассто ни  до провод щей поверхности. На фиг.1 показана схема размещени емкостного измерительного шупа отно .сите/1ьно провод щей поверхности; на фиг.2 - сечение шупа; на фиг.З - схе ма занещ ни  емкостного шупа; на фиг. и фиг.5 - другие варианты ис ,полнени  емкостного щупа; Емкостный измерительный шуп 1 пре назначен дл  измерени  рассто ни  d до электропровод щего материала 2 ил дл  определени  расположени  ограничительных кромок электропровод щег материала 2. Емкостный измерительный шуп 1 содержит заземленный экран 3 в виде закрытого сверху пустотелого элемента . Внутри экрана 3 раз1мещаетс  первый электрод k, над которым расположен второй электрод 5 В отверстии электрода k и вблизи электрода 5 раз мещен соединительный штырь 6 св зи, имеющий измерительную площадку 7 При этом измерительна  площадка 7 не значительно выступает за пределы пло щадки, образованной нижними торцами экрана 3 и электрода ( дл  того, что бы избегать по влени  к.з. между электропровод щими детал ми щупа при его установке на электропровод щий материал 2. При этом пространство между экраном 3, электродами , 5 и соединител ным штырем 6 заполн етс  диэлектриком с низкой диэлектрической пронициаемостью , благодар  чему эти детал оказываютс  изолированными друг от друга гальванически. При этом следует выбрать одинаковую толщину стен ки диэлектрика 8 между отдельными детал ми. В пределах экрана 3 и над электро дом 5 размещен усилительный элемент 9. Экран 3 имеет между электродами k и S разв зывающий выступ 10, что снижает риск мешающей св зи между этими электродами. Электрод t соединен посредством первого отверсти  11 экрана 3 с входом Е шупа, второй электрод 5 соединен с входом усилительного элемента а выход усилител  посредством второго отверсти  12 в экране 3 соединен с выходом А цупа. Принцип работы емкостного измерительного щупа по сн етс  на основании схемы замещени  (фиг.З). . Существуют следующие емкости: емкость Сц между электродом Ц и штырем 6 св зи, емкость С между штырем 6 и электродом 5 и измерительна  емкость Су между штырем 6 и наход щимс  под ; потенциалом экрана провод щим материалом 2. Кроме того, существют паразитные емкости Ср между соединительным штырем 6 и экраном 3 и Ср между электродами А и 5, величины которых сохран ютс  минимальными за счет выполнени  экранирующего выступа 10 между ними. Другие емкостисуществуют между экраном 3 и электро° емкостью С,, а также между экраном 3 и электродом 5с подключением параллельно расположенной входной емкости усилительного элемента 9 с емкостью Сдл емкость приводит к искажению результатаизмерени , а ее мешающее вли ние всего лишь сказываетс  в нагрузке переменного напр жени  питани  YQ. Поэтому емкость С„ показана на фиг.З только условно. Если подключить на вход Е напр жение UQ питани  переменного тока, то происходит деление напр жени  на вышеуказанных емкост х емкостного измерительного (цупа 1. Благодар  наличию разв зывающего выступа 10 паразитна  емкость Ср . поддерживаетс  в пренебрежительно малых пределах. Благодар  этому получаем дл  выходного напр жени  Уд в зависимости от замер емого рассто ни  d. W2 К. (в,) Дйполнительной целью  вл етс  поддерживание паразитной емкости Ср малой за счет выбора специальной конструкции 1цупа, так как вли ние от Ср подавл ет собственный эффект измерени . Переменной емкостью  вл етс  : емкость Су заданна  измен ющимс  рассто нием d измерительной площадки 7 штыр  6 св зи до провод щей поверхности 2.
Признано изобретением по резуль laraM экспертизы, осуществленной ведомством по изобретательству Германской Лемократической республики.
У//7//7////////А %
(30иг.
Ua
9
/// //////Л
7/ XЧ
......i;.....5i;
/// // /7//7// /
фигЛ
ZZZZZ
2 7
(раг.5

Claims (3)

1. ЕМКОСТНЫЙ ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЙ ЩУП для измерения малых расстояний до поверхности электропроводных материалов, содержащий полый электропроводный экран и размещенные внутри не^о два электрода, отделенные один от другого диэлектриком, и усилительный элемент, подключенный к одному из электродов, о т л и ч а_ющийс я тем, что он снабжён тре тьим электродом, выполненным в виде штыря 6 связи с измерительной площадкой 7 на его внешнем торце, штырь 6 связи размещен внутри первого электрода 4 и отделен· от него и от второго электрода 5 диэлектриком, второй электрод размещен над первым электродом и отделен от него развязывающим выступом 10 электропроводного экрана 3* а усилительный элемент 9 размещен внутри экрана 3 и выполнен в виде полевого транзистора. .
2. Емкостный измерительный щуп поп.1, отли чающийся тем, что измерительная площадка 7 штыря 6 связи находится на одном уровне с внешними торцами первого электрода 4 и экрана 3.
3. Емкостный измерительный щуп по п. 1, о т л и*· ч а ю щ и й с я тем, что измерительная площадка 7 штыря 6 связи выступает за пределы внешних торцов первого электрода 4. и экрана 3·
SU797770603A 1978-06-20 1979-06-06 Емкостный измерительный щуп SU1015243A1 (ru)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DD20613878A DD136897B1 (de) 1978-06-20 1978-06-20 Kapazitiver messfuehler

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1015243A1 true SU1015243A1 (ru) 1983-04-30

Family

ID=5513173

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU797770603A SU1015243A1 (ru) 1978-06-20 1979-06-06 Емкостный измерительный щуп

Country Status (12)

Country Link
US (1) US4311959A (ru)
JP (2) JPS5536793A (ru)
BG (1) BG32528A1 (ru)
CH (1) CH639754A5 (ru)
CS (1) CS218893B1 (ru)
DD (1) DD136897B1 (ru)
DE (1) DE2920491A1 (ru)
FR (1) FR2429411A1 (ru)
GB (1) GB2023847B (ru)
HU (1) HU182731B (ru)
SE (1) SE436151B (ru)
SU (1) SU1015243A1 (ru)

Families Citing this family (40)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58144215U (ja) * 1982-03-23 1983-09-28 岩崎通信機株式会社 変位計の静電容量プロ−プ
US4476430A (en) * 1982-04-05 1984-10-09 Wright Wade S Non-contact sensor for determining moving flat steel strip shape profile
US4446432A (en) * 1982-05-27 1984-05-01 Motorola Inc. Method for determining surface contour of piezoelectric wafers
US4498045A (en) * 1982-05-27 1985-02-05 Motorola, Inc. Apparatus and method for determining surface contour of piezoelectric wafers
US4538069A (en) * 1983-10-28 1985-08-27 Control Data Corporation Capacitance height gage applied in reticle position detection system for electron beam lithography apparatus
CA1191261A (fr) * 1983-12-14 1985-07-30 Francois Lalonde Appareil de mesure dynamique et sans contact de faibles distances
DE3525325A1 (de) * 1985-07-16 1987-01-22 Papst Motoren Gmbh & Co Kg Automatische kontaktklemme
US4814691A (en) * 1985-08-09 1989-03-21 Washington Research Foundation Fringe field capacitive sensor for measuring profile of a surface
GB8523982D0 (en) * 1985-09-28 1985-10-30 Emi Plc Thorn Tactile sensor array
US4818948A (en) * 1986-08-05 1989-04-04 Pratt & Whitney Canada Inc. Capacitive bridge-type probe for measuring blade tip clearance
US5263363A (en) * 1988-02-11 1993-11-23 Agar Corporation, Ltd. Apparatus and method for determining the percentage of a fluid in a mixture of fluids
FR2629204B1 (fr) * 1988-03-25 1990-12-14 Oreal Dispositif pour realiser une mesure de la teneur en eau d'un substrat, notamment de la peau
GB9021448D0 (en) * 1990-10-03 1990-11-14 Renishaw Plc Capacitance sensing probe
DE4040084C2 (de) * 1990-12-14 1998-09-24 Dittel Walter Luftfahrt Berührungsloses Abstandsmeßgerät
DE4120913A1 (de) * 1991-06-25 1993-01-07 Draegerwerk Ag Kolben-zylindereinheit zur atemgasfoerderung als zylinderkondensator fuer die hubstreckenmessung
US5155444A (en) * 1991-08-22 1992-10-13 Xerox Corporation Trim bar gap verification tool and method using a flexible capacitor sensor having a magnetic metallic laminate
US5605665A (en) * 1992-03-27 1997-02-25 Abbott Laboratories Reaction vessel
US5578494A (en) * 1992-03-27 1996-11-26 Abbott Laboratories Cap actuator for opening and closing a container
US5536471A (en) * 1992-03-27 1996-07-16 Abbott Laboratories Syringe with bubble flushing
US5575978A (en) * 1992-03-27 1996-11-19 Abbott Laboratories Sample container segment assembly
US5627522A (en) * 1992-03-27 1997-05-06 Abbott Laboratories Automated liquid level sensing system
US5610069A (en) * 1992-03-27 1997-03-11 Abbott Laboratories Apparatus and method for washing clinical apparatus
US5507410A (en) * 1992-03-27 1996-04-16 Abbott Laboratories Meia cartridge feeder
US5540890A (en) * 1992-03-27 1996-07-30 Abbott Laboratories Capped-closure for a container
US5376313A (en) * 1992-03-27 1994-12-27 Abbott Laboratories Injection molding a plastic assay cuvette having low birefringence
US5960160A (en) * 1992-03-27 1999-09-28 Abbott Laboratories Liquid heater assembly with a pair temperature controlled electric heating elements and a coiled tube therebetween
US6190617B1 (en) 1992-03-27 2001-02-20 Abbott Laboratories Sample container segment assembly
US5635364A (en) * 1992-03-27 1997-06-03 Abbott Laboratories Assay verification control for an automated analytical system
US5646049A (en) * 1992-03-27 1997-07-08 Abbott Laboratories Scheduling operation of an automated analytical system
GB9221926D0 (en) * 1992-10-19 1992-12-02 Rue De Systems Ltd Conductive strip detector
US5363051A (en) * 1992-11-23 1994-11-08 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Steering capaciflector sensor
DE19544620A1 (de) * 1995-11-30 1997-06-05 Hoefler Maschbau Verfahren zur Detektion von Schleifbrand beim Schleifen und zur Detektion des Zustandes der Schleifscheibe mittels Messung der dielektrischen Funktion im hochfrequenten Bereich
US6307385B1 (en) 1997-12-30 2001-10-23 Vibrosystm, Inc. Capacitance measuring circuit for a capacitive sensor
DE19837526A1 (de) * 1998-08-19 2000-02-24 Reinhard Wiesemann Kapazitiver Sensor
WO2012129105A1 (en) * 2011-03-18 2012-09-27 Siemens Healthcare Diagnostics Inc. Methods and systems for calibration of a positional orientation between a sample container and nozzle tip
US8875979B2 (en) * 2012-05-04 2014-11-04 Asm Technology Singapore Pte. Ltd. Apparatus and method for determining an alignment of a bondhead of a die bonder relative to a workchuck
ITBO20130535A1 (it) 2013-09-30 2015-03-31 Alberto Bauer Sensore capacitivo di tensione elettrica, sistema e metodo per ottenerlo
CN109507243B (zh) * 2018-11-22 2024-02-27 华侨大学 一种地铁管片与预埋槽道的脱空检测装置及检测方法
RU192380U1 (ru) * 2019-05-20 2019-09-16 ООО "Оптиметрик" Высоковольтный измерительный преобразователь напряжения
CN112518614B (zh) * 2020-11-25 2022-02-25 益阳市产商品质量监督检验研究院 一种圆柱型脉冲电容器检测用夹持机构及其制造工艺

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2800628A (en) * 1953-12-18 1957-07-23 Sinclair Res Lab Inc Dual testing capacitor
US2802178A (en) * 1954-09-22 1957-08-06 Gen Electric Motion detecting device
US3019651A (en) * 1956-11-30 1962-02-06 Honeywell Regulator Co Liquid quantity measuring apparatus
US3084558A (en) * 1958-11-28 1963-04-09 North American Aviation Inc Capacitance pickoff with low coercion
US3119266A (en) * 1960-11-10 1964-01-28 Duane E Atkinson Level indicating system, method and probe
US3400331A (en) * 1965-01-18 1968-09-03 Pratt & Whitney Inc Gaging device including a probe having a plurality of concentric and coextensive electrodes
US3515987A (en) * 1967-10-20 1970-06-02 Avco Corp Coplanar dielectric probe having means for minimizing capacitance from stray sources
DE1914876C3 (de) * 1969-03-24 1978-10-26 Messer Griesheim Gmbh, 6000 Frankfurt Einrichtung zum Schutz einer Anordnung zur kapazitiven Abstandsmessung
US3805150A (en) * 1970-08-17 1974-04-16 Ade Corp Environment immune high precision capacitive gauging system
US3716782A (en) * 1971-06-03 1973-02-13 J Henry Capacitance gage for measuring small distances
BE792405A (fr) * 1971-12-08 1973-03-30 Paratronic Ag Dispositif pour mesurer sans les detruire l'epaisseur de revetements electriquement non conducteurs sur des supports electriquement conducteurs
US3986109A (en) * 1975-01-29 1976-10-12 Ade Corporation Self-calibrating dimension gauge

Also Published As

Publication number Publication date
JPS5536793A (en) 1980-03-14
DD136897B1 (de) 1981-03-25
DE2920491A1 (de) 1980-01-17
GB2023847B (en) 1983-04-27
GB2023847A (en) 1980-01-03
DD136897A1 (de) 1979-08-01
DE2920491C2 (ru) 1988-07-28
SE436151B (sv) 1984-11-12
US4311959A (en) 1982-01-19
FR2429411B3 (ru) 1982-05-28
BG32528A1 (en) 1982-08-16
JPS63141406U (ru) 1988-09-19
FR2429411A1 (fr) 1980-01-18
CH639754A5 (de) 1983-11-30
SE7905398L (sv) 1979-12-21
CS218893B1 (en) 1983-02-25
HU182731B (en) 1984-03-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SU1015243A1 (ru) Емкостный измерительный щуп
JP4198306B2 (ja) 静電容量型センサ、半導体製造装置および液晶表示素子製造装置
US7342401B2 (en) Measurement bias tee
JPH0729467A (ja) 静電容量形近接センサ
US3829770A (en) Directional coupler for transmission lines
EP0382600A3 (en) Shielded capacitances standard
US4818945A (en) Non contacting volt meter
GB1395392A (en) Impedance measurement
JP3815771B2 (ja) 静電容量式ギャップセンサ、及びその信号検出方法
JP4872989B2 (ja) 静電容量型センサ部品、物体搭載体、半導体製造装置および液晶表示素子製造装置
JPS6232490B2 (ru)
EP1057136B1 (en) Induction sensor
US3133207A (en) Transmission line package having transistor disposed between inner conducting strips
US6057683A (en) Induction sensor having conductive concentrator with measuring gap
JPH03204097A (ja) 電極アレー
JPS6019380Y2 (ja) 同軸ノイズフィルタ−
JPS62245976A (ja) 電気機器異常検出装置
KR20190101218A (ko) 기생용량 제거회로를 포함한 정전센서
CN108152554B (zh) 一种测量同轴电缆脉冲电压的电容分压器
SU1718094A2 (ru) Высокочастотна электрохимическа чейка
KR20200024635A (ko) 플라즈마 챔버의 rf 센싱 장치 및 이를 포함하는 플라즈마 챔버
JPS6245219Y2 (ru)
JPH02129559A (ja) 電圧測定装置
JPS63186512A (ja) 縮小形開閉装置の異常検出装置
JPH01136074A (ja) ガス絶縁密閉電器の電圧および部分放電検出装置