DE2258691A1

DE2258691A1 - Geraet zur direkten anzeige von kapazitiv gemessenen abmassen

Info

Publication number: DE2258691A1
Application number: DE19722258691
Authority: DE
Inventors: Robert Cleveland Abbe; Abbe Robert Cleveland
Original assignee: ADE Corp
Current assignee: ADE Corp
Priority date: 1971-12-09
Filing date: 1972-11-30
Publication date: 1973-06-14
Also published as: GB1392110A; CA961927A; DE2258691C2; FR2164365A5; JPS526184B2; JPS4866455A; US3775679A; IT973956B

Description

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vI/No - AD-3 - 206 364 München-Pullach, 30. November 1972

ADE CORPORATION, 50 Hunt Street, Watertown, Massachusetts 02172, USA

Gerät zur direkten Anzeige von kapazitiv gemessenen Abmaßen

Die Erfindung betrifft ein elektronisches System und , Verfahren zur Verarbeitung der Ausgangsgröße einer ein Abmaß abtastenden kapazitiven Meßeinrichtung oder Taster bzw. Sonde, die zwischen Elektroden eine gemessene Kapazität aufweist. Die Steuerung der Ausgangsgröße der kapazitiven Meßeinrichtung durch die Steuerung ihrer Erregung führt zu einem Parameter der Erregungsausgangsgröße, der als Anzeige verwendet werden kann und direkt proportional zu einem Abmaß, typisch der Elektronentrennung ist, welche umgekehrt zur Kapazität zwischen den Elektroden schwankt. Die Ausgangsgröße aus einem zweiten ähnlichen Taster oder Sonde wird dazu verwendet, ein Anzeigegerät abzulenken, um eine direkte Anzeige der Abmessung vorzusehen. Es besteht auch die Möglichkeit, eine zweite Erregung für den zweiten Taster vorzusehen, wobei dessen Ausgangsgröße dazu verwendet wird, die erste Erregung zu steuern, wobei das Frequenzverhältnis der zwei Erregungen zu einer direkten Anzeige einer Abmessung führt und einfach digitalisiert werden kann. Durch die Umgebung induzierte Änderungen in einem der Taster oder

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Sonden werden durch die Nähe der Sonden ausgeglichen, und es wird auch die Erregungsamplitude eingestellt.

Ein berührungsfreies automatisches Messen von Abständen oder Abmaßen läßt sich mit Hilfe der Abtastung einer Kapazität durchführen, die sich umgekehrt zur Änderung des Abstandes oder des Abmaßes ändert. Die Ausgangsgröße von vielen Meßeinrichtungen, insbesondere sehr genauen Meßeinrichtungen des Typs, wie sie in der Patentanmeldung P 21 37 545 beschrieben sind, besteht aus einem Ausgangssignal, welches sich mit der abgetasteten Kapazität ändert und sich umgekehrt zum Abstand oder Abmaß, der erfaßt werden soll, ändert. Diese Tatsache macht eine direkte sichtbare Anzeige, eine, weitere Verwendung der Abstandsinformation, ohne eine weitere elektronische Verarbeitung, unmöglich.

Bei der Verarbeitung der Ausgangsgröße der Meßeinrichtung ist es wünschenswert, den Schaltungsaufwand, welcher eingesetzt wird, zu begrenzen, und zwar aufgrund der Möglichkeit, dadurch Schaltungsungenauigkeiten einzuführen. Ein Weg, der beschritten werden kann, um sowohl den Schaltungsaufwand zu begrenzen als auch die Genauigkeiten zu steuern, besteht darin, ein geschlossenes Schleifensystem zu verwenden, in welchem bestimmte Variable des Systems, die Fehler einführen können, eliminiert werden.

Aufgrund der Genauigkeit der Meßeinrichtungen, die sich normalerweise in der Praxis mit dem Gegenstand der Erfindung erreichen lassen, und aufgrund des Wunsches, eine einfache Verbindung zu einer Computerschaltung herstellen zu können, ist es üblich, eine digitale Ziffernanzeige zu verwenden. Diese Art von Ausgangsgröße führt zu dem weiteren Vorteil, daß mit großer Genauigkeit ein breiter Bereich angezeigt werden kann. Durch das Messen der Frequenz einer geregelten Erregerquelle ist die Möglichkeit geschaffen, diese Form der Ausgabe bzw. Ziffernanzeige zu erreichen.

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Es ist somit Ziel der Erfindung, eine einfache und genauarbeitende verarbeitende Elektronik für eine Kapazität abtastende, Abmaße anzeigende Meßeinrichtung oder Taster zu schaffen, die ein Ausgangssignal erzeugt, welches direkt mit dem Abmaß schwankt, welches gemessen wird, und welches umgekehrt mit der abtastenden Kapazität schwankt.

Speziell ist es Ziel der vorliegenden Erfindung, eine einfache und genau arbeitende Verarbeitungselektronik für eine Kapazität abtastende>Abmaße anzeigende Meßeinrichtung bzw. Taster zu schaffen, die eine Rückkopplungsregelung über den Ausgang der Meßeinrichtung vorsieht, indem ein Parameter der Anregung verändert wird und dann die Anregung für eine Anzeige der gemessenen Strecke oder Abmaße verwendet wird. Es ist ebenso Aufgabe der Erfindung, eine einfache und genaue verarbeitende Elektronik für einen kapaztiv abtastenden,Abmaße anzeigenden Taster zu schaffen, die eine digitale Ziffernanzeige vorsieht, welche direkt mit der gemessenen Entfernung bzw. Abmaß schwankt.

Eine bevorzugte Ausführungsform nach nach der Erfindung wird in Verbindung mit einer kapazitiv abtastenden und Abmaße messenden Sonde desjenigen Typs verwendet, wie er in der Patentanmeldung P 21 37 515 beschrieben ist. Die Ausgangsgröße dieses Sondentyps besteht aus einem elektrischen Signal, welches proportional zu einer Anregungs- oder Erregungsfrequenz und Amplitude ist und proportional zur Kapazitäts-Differenz zwischen der abgetasteten Kapazität und einer Bezugskapazität ist. Diese Differenz stellt ein Abmaß dar, welches gemessen wird. Bei einer bevorzugten Ausführungsform wird das Ausgangssignal geregelt und wird gleich mit einem Steuersignal gehalten, und zwar mit Hilfe einer geschlossenen Schleifen-Rückkopplungssteuerung über die Anregungsquelle. Die Anregung oder Erregung wird dann dazu verwendet, direkt die Abmessung anzuzeigen, die gemessen wurde.

Bei einer weiteren Ausführungsform ist das Steuersignal eine Konstante, und die Erregergröße wird dann zu einer Schein- oder

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Hilfssonde geführt, deren Ausgangsgröße direkt mit der gemessenen Abmessung oder Abmaß schwankt.

Bei einer noch weiteren Ausführungsform wird eine Hilfs- oder Scheinsonde durch eine zweite Erregerquelle gespeist, und die Ausgangsgröße dieser Hilfssonde wird als Steuersignal verwendet, wobei die Frequenz der Erregergröße für die Meßsonde durch dieses Signal über eine Rückkopplungsschleife gesteuert wird. Es wird ein Zähler tormäßig gesteuert, um die Anzahl der Zyklen oder Polaritätsumkehrungen in der Erregergröße für die Meßsonde während einer vorgewählten Anzahl von Zyklen oder Umkehrungen in der Erregergröße der Hilfssonde zu registrieren. Die registrierte Zahl kennzeichnet die Abmessung, die direkt gemessen wurde.

Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus der nun folgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen unter Hinweis auf die Zeichnung. Es zeigt:

Figur 1 eine Schaltung teilweise im Blockschaltbild und teilweise als Stromlaufplan einer Abmaßmeßsonde, welche typisch in Verbindung mit der Schaltungsanordnung nach der Erfindung verwendet werden kann;

Figur 2 ein Blockschaltbild einer bevorzugten verarbeitenden Elektronik gemäß einer möglichen Ausführungsform; und

Figur 3 ein Blockschaltbild einer bevorzugten verarbeitenden Elektronik gemäß einer zweiten Ausführungsform nach der Erfindung.

Figur 1 zeigt teilweise im Blockschaltbild und teilweise als Stromlaufplan eine Kapazitätsabtast- und Abmaße messende Sonde 10, die von einer Erregerquelle 12 einer wechselnden elektrischen Größe zwischen Masseanschluß und der hoch liegenden Seite gespeist wird, wobei die hoch liegende Seite elektrisch mit der Sonde 10 verbunden ist, und zwar an einem Anschluß von jeweils einer ersten und einer zweiten, eine Gleichspannung abblockende Impedanz IH und 16. Die anderen Anschlüsse der Impedanzen IU und

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INSPECTED

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16 sind elektrisch mit Verbindungspunkten 18 und 20 einer Diodenmatrix 22 verbunden, die aus vier in Reihe geschalteten und angepaßten Dioden 24 besteht, welche Dioden so orientiert sind, daß sie in gleicher Richtung innerhalb eines geschlossenen leitenden Pfades leiten. Die Verbindungspunkte 18 und 20 stellen Verbindungen zwischen den Dioden in der Matrix 22 dar, die durch zwei Dioden in einer von zwei möglichen Richtungen getrennt sind. Zwei verbleibende Verbindungen 26 und 28 zwischen den Dioden in der Matrix 22 sind jeweils elektrisch mit einem Anschluß einer veränderlichen, abtastenden und Bezugskapazität.30 und 32 verbunden, deren andere Anschlüsse geerdet sind. Die Abtastkapazität enthält typisch die für eine Anzeige einer Abmessung abgetastete Kapazität. Von den Verbindungsstellen 18 und 20 zweigen jeweils Tiefpassfilter 34 und 36, die als Induktivitäten gezeigt sind, ab und führen jeweils zu Detektoren 38 und 40, welche den Strom durch die Filter 34 und 36 in ein Ausgangssignal an den Ausgangsanschlüssen 42 und 44 konvertieren. Die Detektoren 38 und 40. können Verstärker oder Widerstände sein, welche nach Masse führen, oder können aus irgendwelchen anderen elektronischen Einrichtungen bestehen, welche die erwähnte Funktion ausführen können.

Eine Unangeglichenheit in dem Wert der Kapazitäten 30 und 32 führt zu der Erzeugung von nicht gleichen Halbwellen oder Zyklen entgegengesetzter Polarität in den Strömen, die durch die Impedanzen 14 und 16 fließen, was zu einer Ladungsansammlung führt, ausgenommen, daß diese übermäßige Ladung durch die Filter 38 und 40 nach Masse abgeleitet wird. Der durch die Filter 38 und 40 fließende Nettostrom ist zur Unsymmetrie zwischen den Kapazitäten 30 und 32 proportional (ungeachtet der Größe der Unsymmetrie), als auch zur Frequenz und zur Amplitude der Erregergröße aus der Quelle 12.

Von besonderer Nützlichkeit ist der Fall, bei welchem die Impedanzen 14 und 16 einen Wert aufweisen, der wesentlich niedriger ist als der Impedanzwert der Kapazitäten 30 und 32. Die Verbindungspunkte 26 und 2 8 werden auf nahezu gleichem

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momentanen Potential gehalten, wodurch jeglicher Stromfluß zwischen diesen, über Streukapazitaten, minimal gehalten wird.

Die Filter 34 und 36 können ebenso mit den Verbindungspunkten 26 und 28 verbunden werden, sie erzeugen jedoch dann Streukapazitäten, die die angezeigte Unsymmetrie zwischen den Kapazitäten 30 und 32 verändern.

Bei dem Blockschaltbild von Figur 2 ist ein steuerbarer Oszillator 46 vorgesehen, und dieser sieht eine Wechselstrom-Erregergröße zwischen Masse und einer hoch liegenden Seite vor, die an die Erregereingänge der Sonden 48 und 50 angeschlossen ist. Die Sonden 48 und 50 können gleich aufgebaut sein wie die Sonde 10 in Figur 1, oder sie können irgendeine andere Kapazitätabtast-Sonde oder -Taster sein, der ein Ausgangssignal abgibt, welches direkt mit der abgetasteten Kapazität, der Erregerfrequenz und der Erregeramplitude schwankt oder variiert.

Ein Ausgang der Sonde 50, der diese Eigenschaften aufweist (wie die Ausgänge 42 und 44 in Figur 1), ist mit einem Eingang eines Reglers 52 verbunden. Ein Steuersignal 54 wird differentiell dem Regler 52 zugeführt, und ein Ausgang des Reglers 52 wird einem Steuereingang einer Quelle 46 zugeführt. Eine Veränderung des Signalpegels des Steuereingangs der Quelle 46 verändert die Amplitude und/oder Frequenz der Erregergröße aus der Quelle 46 zu den Sonden oder Tastern 48 und 50. Der Regler 52 erzeugt ein Signal an seinem Ausgang, welcher zum Steuereingang der Quelle 46 geleitet wird, wodurch die Eingangssignale zum Regler 52 gleich gehalten werden. In üblicher Weise kann der Regler 52 ein Integrator sein, welcher an seinem Ausgang ein Zeitintegral der Differenz zwischen seinen Eingangsgrößen erzeugt.

Geht man davon aus, daß die Ausgangssignale der Sonden 48 und 50 proportional zur Frequenz und zur Amplitude der Ausgangsgröße der Quelle 46 und zur Kapazitätsdifferenz zwischen der Abtast-

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kapazität und der Bezugskapazität sind, so gelten für jede Sonde die folgenden Gleichungen:

^S50 ^VFC50 ">...-..;..

S₁₊₈ ^VFCti8 ' ^durch. Substitution für VF ergibt sich

S_Ufi ^KC48 = ^KC48^D
~~S5 ^EA

Hierin bedeuten:

S₅Q das Ausgangssignal der Sonde 50;

S^₈ das Ausgangssignal der Sonde 48;

V die Amplitude der Ausgangsgröße der Quelle 46; F die Frequenz der Ausgangsgröße aus der Quelle 46;

C₅₀ die Differenz zwischen den Kapazitätswerten der abtastenden und der Bezugskapazität der Sonde 50, wobei angenommen ist, daß für D gegen unendlich diese Differenz verschwindet (sonst in ein konstanter Additionsausdruck in diesen Gleichungen erforderlich);

C^₈ die Differenz zwischen den Kapazitätswerten der abtastenden und der Bezugskapazität der Sonde 48, die fest sein kann; ·

K die Konstante 54;

D die gemessene Dimension;

E die Dielektrizitätskonstante der Abtastkapazität der Sonde 50; und

A die Fläche, über welche die Abtastkapazität der Sonde 50 vorhanden ist.

Das Ausgangssignal ist somit proportional zu der Dimension D, die gemessen wird (oder verändert sich direkt mit dieser für den Fall eines konstanten Additionsausdruckes). Ein Meßgerät 56 kann zur Anzeige dieses Signals verwendet werden.

Figur .3 zeigt in Blockschaltbildform die Verarbeitungselektronik, die eine digitale Ziffernanzeige einer gemessenen Dimension

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vorsieht. Ein spannungsgesteuerter Oszillator 5 8 sieht die Erregergröße für eine Sonde 60 vor, die auch hier wiederum die Sonde gemäß Figur 1 sein kann, die die zuvor geschilderten Ausgangseigenschaften aufweist. Die Sonde 60 weist eine Abtastkapazität und eine Bezugskapazität auf, wobei wenigstens die Abtastkapazität umgekehrt mit der Dimension, die gemessen wird, schwankt. Ein zweiter Oszillator 64 sieht eine Erregergröße für eine Sonde 66 vor, die ebenso eine Abtastkapazität und eine Bezugskapazität aufweist. Ein Regler 62 wird mit dem Ausgangssignal der Sonde 60 an einem Eingang und wird mi.t dem Ausgangssignal der Sonde 66 an einem Differentialexngang gespeist. Der Ausgang des· Reglers 62 wird als Steuersignal zu einem Steuereingang des Oszillators 58 geleitet, so daß der Wert des Steuersignals die Frequenz des Oszillators 5 8 verändert. Der Regler 62 arbeitet derart, daß er seine zwei Eingangsgrößen gleich hält, indem er die Frequenz des Oszillators 5 8 und demzufolge den Frequenzmeßausgang der Sonde 60 steuert.

Die Erregergröße aus dem Oszillator 5 8 gelangt ebenso zu einem Gatter, welches entweder diese Erregergröße zu einem Zähler 70 durchläßt oder sperrt, welche Zähler digital vorgestellt wird, und zwar durch jeden Zyklus oder Halbwelle der Erregergröße des Oszillators 58. Ein Torsteuersignal wird dem Gatter 6 8 durch eine einstellbare Zählanzeigevorrichtung 72 zugeführt, welche die Erregergröße aus dem Oszillator 64 erhält und zurückstellbar die Anzahl der Zyklen oder Halbwellen in dieser Erregergröße zählt. Wenn die Zählung in der Anzeigevorrichtung 72 eine wählbare Zahl erreicht hat, so gibt die Anzeigevorrichtung ein Signal zum Gatter 6 8 ab, um die Erregergröße aus dem Oszillator 58 zu blockieren bzw. daran zu hindern, zum Zähler 70 zu gelangen. Während die Anzeigevorrichtung 72 zählt, ermöglicht das Signal, welches die Anzeigevorrichtung an das Gatter 6 8 abgibt, das Zuführen der Erregergröße des Oszillators 58 zum Zähler 72.

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Eine digitale Ziffernanzeige 74 erhält ebenso die Ausgangsgröße der Anzeigevorrichtung 72. Wenn die Anzeigevorrichtung 72 die auswählbare Zählschrittnummer erreicht, gibt sie eine Ausgangsgröße ab, welche die Ziffernanzeige 74 veranlaßt, die Zählung bzw. Zahl digital darzustellen oder aufzugeben, welche in dem Zähler 70 angesammelt ist, bis sie das nächste Signal aus der Anzeigevorrichtung 72 erhält. Eine verzögernde Rückstelleinrichtung 76 empfängt die gleiche Ausgangsgröße aus der Anzeigevorrichtung 72 und signalisiert nach einer kurzen Verzögerung, daß die Anzeigevorrichtung 72 und der Zähler 70 zurückgestellt werden müssen.

Im Betrieb erzeugt diese Elektronik .eine Zählung im Zähler der Anzahl der Zyklen oder Halbweilen aus dem Oszillator 58, diewährend einer wählbaren Anzahl von Zyklen oder Halbwellen aus dem Oszillator 64 austreten. Auf diese Weise registriert der Zähler 70 Verhältnisse dieser zwei Frequenzen, und die Ziffernanzeige 74 stellt die Verhältnisse dieser zwei Frequenzen dar.

Mathematisch ergibt sich unter Verwendung der gleichen zuvor angegebenen Zeichen:

^S60 ^{= V}58^F58^C60

°60 " ^ν64^Γ64^66 " ^ν58^Γ58^60

^r58 ^ν 64^U66 _r _6_4 D_
^F64'·" ^V58^C6O " ^{66 V}58 ^EA

Hierin bedeutet:

V und F die Spannung und die Frequenz der Ausgangsgrößen der Oszillatoren, die aus dem Index hervorgehen;

S das Ausgangssignal der Sonde, die aus dem Index hervorgeht; und

C die Kapazitätsdifferenz zwischen der abtastenden und der Bezugskapazität, die als Index angegeben sind.

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Es sei hervorgehoben, daß die Ziffernanzeige 71 eine Zahl darstellt, die proportional zur rechten Seite der Gleichung (2) ist und damit proportional zu D, der gemessenen Dimension bzw. Abmaß.

Fg^ kann ohne irgendeinen Verlust in der Genauigkeit schwanken, vorausgesetzt, daß diese Größe langsam, verglichen mit der für jeden Zählschritt erforderlichen Zahl, variiert. V₅₈ und V_R1, können ebenso schwanken, so lange deren Verhältnis das gleiche bleibt. Das Verhältnis wird konstant gehalten, und dies kann dadurch erreicht werden, indem man sie aus dem Strom aus der gleichen Stromversorgung 78 erzeugt und/oder sie in der gleichen Umgebung 80 hält. C~g kann durch herkömmliche Techniken konstant gehalten werden oder kann schwanken, wobei es einen Parameter, darstellt, welcher die Ziffernanzeige beeinflussen soll.

Durch Änderung der Positionen der Sonden 60 und 66 ist es möglich, eine Ausgangsgröße in der Ziffernanzeige 7·+ vorzusehen, die umgekehrt zu der einen in Gleichung (2) schwankt.

Obwohl nur eine bestimmte Ausführungsform der Erfindung beschrieben wurde, ist es für den Fachmann offensichtlich, daß eine Reihe von Abwandlungen und Änderungen vorgenommen werden können, ohne dabei den Rahmen der Erfindung zu verlassen.

Sämtliche in der Beschreibung erwähnten und in den Zeichnungen erkennbaren technischen Einzelheiten sind für die Erfindung von Bedeutung.

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Claims

Patentansprüche

lJ Gerät zum Vorsehen einer Ausgangsanzeige, die mit der Trennung bzw. dem Abstand zwischen einem Paar von ersten elektrischen Leitern schwankt, bestehend aus einem ersten elektrischen Leiterpaar, welches einen nichtleitenden Spalt zwischen sich einschließt, einer ersten Quelle zum Vorsehen einer Wechselstrom-Erregergröße, einer Einrichtung zum Zuführen der Erregergröße aus der ersten Quelle an das erste elektrische Leiterpaar, gekennzeichnet durch folgende Einrichtungen und Maßnahmen: eine Einrichtung (50) zum Herleiten eines ersten Signals, welches das Ansprechverhalten der ersten elektrischen Leiter auf die Erregergröße aus der ersten Quelle (46) wiödergibt und mit dem Kapazitätswert zwischen den ersten elektrischen Leitern schwankt; eine Einrichtung (52, 5U) zum Steuern eines Parameters der Erregung der ersten Quelle (46), um das erste Signal gleich einem Steuersignal (54) zu halten; und Mittel (52) zum Entwickeln eines zweiten Signals, welches mit dem gesteuerr ten Parameter der ersten Quelle (46) schwankt.
2. Gerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Steuersignal (54) einen konstanten Wert aufweist; daß weiter die Einrichtung zum Entwickeln des zweiten Signals folgende Einrichtungen enthält: Mittel (50) zum Zuführen der Erregergröße aus der ersten Quelle (46) an ein Paar von zweiten elektrischen Leitern, die durch einen nichtleitenden Spalt getrennt sind, und Mittel (52) zum Herleiten eines zweiten Signals, welches das Ansprechverhalten der zweiten elektrischen Leitung auf die Erregergröße aus der ersten Quelle (46) wiedergibt und mit dem Kapazitätswert zwischen den zweiten elektrischen Leitern s chwankt. .
3. Gerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der gesteuerte Parameter die Frequenz ist und daß die Mittel zum Herleiten des zweiten Signals weiterhin folgendes aufweisen: eine zweite Quelle (64) zum Vorsehen einer Wechselstrom-

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Erregergröße; eine Einrichtung (66) zum Ableiten des Steuersignals in Form eines zur Erregeramplitude und Frequenz der zweiten Quelle (64) proportionalen Signals, eine Einrichtung (72) zum Zählen der Anzahl der Polaritätsumkehrungen in der Erregergröße aus der zweiten Quelle (6U), wobei die gezählte Zahl umgekehrt zum Kapazitätswert zwischen den ersten elektrischen Leitern proportional ist.
4. Gerät nach Anspruch 3, gekennzeichnet durch eine Einrichtung (62, 78, 80) zum Aufrechterhalten des Verhältnisses der Effektivwertamplituden (RMS) des Potentials aus der ersten (5 8) und der zweiten (64) Quelle gleich einer voreingestellten Zahl.
5. Gerät nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine erste Bezugskapazität (32); durch eine Einrichtung (14, 16, 24) zum Zuführen der Erregergröße aus der ersten Quelle (12) an die erste Bezugskapazität (32), wobei das erste Signal, welches von der Einrichtung (38, 40) zum Ableiten des ersten Signals abgeleitet wurde, die Differenz im Ansprechverhalten der ersten Bezugskapazität (32) und der Kapazität (30) zwischen den ersten elektrischen Leitern wiedergibt.
6. Gerät nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der gesteuerte Parameter die Frequenz ist und daß die Einrichtung zum Entwickeln des zweiten Signals folgendes enthält: eine zweite Quelle (64) zum Vorsehen einer Wechselstrom-Erregergröße, ein Paar von Vergleichskapazitäten (32), die voneinander um einen endlichen Kapazitätswert abweichen, eine Einrichtung zum Zuführen der Erregergröße aus der zweiten Quelle (64) an jedes Paar der Vergleichskapazitäten (32) und Mittel (62, 66) zum Ableiten des Steuersignals in Form eines Signals, welches die Kapazitätsdifferenz zwischen den Kapazitäten des Paares der Vergleichskapazitäten (32) wiedergibt.
7. Gerät nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung (58, 60, 62) zum Entwickeln eines zweiten Signals weiter eine Zähleinrichtung (70) zum Zählen der Anzahl der

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Polaritätsumkehrungen der Erregergröße aus der ersten Quelle (58) während einer ausgewählten Anzahl von Polaritätsumkehrungen der Erregergröße aus der zweiten Quelle (.6 4) aufweist, wobei die gezählte Zahl umgekehrt zum Kapazitätswert (30) zwischen den ersten elektrischen Leitern proportional ist.
8. Gerät nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß eine Einrichtung (78, 80) vorgesehen ist, um das Amplitudenverhältnis der Erregergröße aus der ersten (5 8) und der zweiten (64) Quelle gleich einer voreingestellten Zahl zu halten.
9. Gerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine erste Brücke vorgesehen ist, die aus folgenden Einrichtungen zusammengesetzt ist: aus einer ersten und einer zweiten Gleichstrom abblockenden Impedanz (14, 16), die beide elektrisch mit einem Anschluß mit dem ersten Erregeranschluß der ersten Quelle (12) verbunden sind; einer ersten Bezugskapazität (32), die an einem Anschluß sowohl mit einem C28) der ersten elektrischen Leiter als auch mit dem zweiten Erregeranschluß der Quelle (12) verbunden ist; einer Einrichtung (24) zum Leiten der Erregergröße aus der ersten Quelle (12) durch die erste und die zweite Gleichstrom abblockende Impedanz (14, 16) zum anderen Anschluß (28). und anderen Leiter der ersten Bezugskapazität (32) und der ersten elektrischen Leiter während einer Polarität der Erregergröße aus der ersten Quelle (12) und zum anderen Leiter und dem anderen Anschluß der ersten elektrischen Leiter und ersten Bezugskapazität (32) während der anderen Polarität; einer Einrichtung (34, 38; 36, 40) zum Leiten der sich über den Gleichspannung abblockenden Impedanzen (14, 16) aufbauenden Ladung zum zweiten Anschluß (42, 44) der ersten Quelle (12), wobei das erste Signal der mittlere Strom durch die genannte Einrichtung (34, 3 8', _r 36, 40) zum Leiten der Ladung ist.

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