DE3007426A1 - Schaltungsanordnung mit einem kondensator im rueckkopplungszweig eines operationsverstaerkers - Google Patents

Schaltungsanordnung mit einem kondensator im rueckkopplungszweig eines operationsverstaerkers

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DE3007426A1
DE3007426A1 DE19803007426 DE3007426A DE3007426A1 DE 3007426 A1 DE3007426 A1 DE 3007426A1 DE 19803007426 DE19803007426 DE 19803007426 DE 3007426 A DE3007426 A DE 3007426A DE 3007426 A1 DE3007426 A1 DE 3007426A1
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Ewald Max Christian Dipl.-Phys. 6000 Frankfurt Hennig
Klaus Dipl.-Phys. Dr. Nicol
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Hennig ewald Max Christian dipl-Phys
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    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R27/00Arrangements for measuring resistance, reactance, impedance, or electric characteristics derived therefrom
    • G01R27/02Measuring real or complex resistance, reactance, impedance, or other two-pole characteristics derived therefrom, e.g. time constant
    • G01R27/26Measuring inductance or capacitance; Measuring quality factor, e.g. by using the resonance method; Measuring loss factor; Measuring dielectric constants ; Measuring impedance or related variables
    • G01R27/2605Measuring capacitance
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
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    • G06G7/00Devices in which the computing operation is performed by varying electric or magnetic quantities
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Description

  • Schaltungsanordnung mit einem Kondensator im Rückkopplungs-
  • zweig eines Operationsverstärkers.
  • Die Erfindung geht aus von einer Schaltungsanordnung mit einem Kondensator im Rückkopplungszweig eines Operationsver -stärkers und mit einem ohmschen Widerstand an dessen invertierendem Eingang.
  • Eine solche Schaltung stellt eine wichtige Anwendung des Operationsverstärkers dar und wird in der Analogrechentechnik als Umkehrintegrator verwendet. Eine Anwendung dieser Schaltungsanordnung bei der Messung von Kapazitäten ist jedoch noch nicht vorgesehen worden.
  • Zur Messung von Kapazitäten sind in der Technik schon verschiedenste Anordnungen verwendet worden. Im einfachsten Fall läßt sich die Kapazität eines Kondensators über den Spannungsabfall am Kondensator eines RC-Gliedes, das mit einer Wechsel spannung beaufschlagt wird, messen. Dieses Verfahren liefert jedoch nur verhältnismäßig grobe Meßwerte.
  • Zur genaueren Messung von Kapazitäten werden verschiedene Meßanordnungen verwendet, die im folgenden beschrieben sind, die jedoch alle eine Reihe von Nachteilen aufweisen: 1. Schwingkreisanordnungen Bei derartigen Anordnungen dient der zu messende Kondensator als frequenzbestimmendes Glied eines RC - oder LC- Generators, dessen Frequenz bei konstantem R bzw. L allein von der Kapazität abhängig ist.
  • Die vom Generator erzeugte Frequenz kann über eine FM-Domodulationsschaltung in ein frequenzproportionales Gleiciispannungssignal umgewandelt werden.
  • 2. Anordnung mit Rcsonanzkreisen hierbei ist der Meßkondensator Teil eines Scharingkreises, der an einen Generator fester Frequenz angekoppelt ist.
  • Der Schwingkreis ist auf die Generatorfrequenz abgeglichen, so daß ein angeschlossenes Hochfrequenzvoltmeter die Resonanzspannung anzeigt. Bei Veränderung des Kapazität -wertes wird der Schwingkreis verstimmt, so daß sich die Spannung am Voltmeter ändert.
  • f. Kapazitätsmeßbrücken Es handelt sich um Wechselstrommeßbrücken, die den Wert eines unbekannten Kondensators durch die "Nullabgleich -methode" ermitteln . Da die Brücke nach Betrag und Phase abgeglichen werden muß , sind zwei einstellbare Elemente für den Abgleich notwendig. Ein Beispiel für eine Kapazitätsmeßbrücke ist die 1,Schering-Meßbrücke". Mit Kapazitätsmeßbrücken lassen sich hohe Genauigkeiten erreichen; sie sind jedoch wegen der manuellen Einstellung für die Erfassung schnell veränderlicher Kapazitätswerte ungeeignet.
  • Die oben genannten Standardchaltuncn sind für viele Meßaufgaben ausreichend. Sie sind jedoch verhältnismäßig aufwendig im Aufbau. Ferner treten bei diesen erhebliche Schwierigkeiten auf, wenn s&r kleine, sich rasch andernde Kapazitäten gemessen werden sollen, und wenn die Zuleitungskapazitäten in der Größenordnung der Meßkapazität liegen oder diese sogar erheblich überschreiten. Dies ist in der Regel der Fall bei kapazitiven Fühlern für mechanische Größen, die auf dem Einfluss der mechanischen Größen auf Plattenabstand, Plattengröße oder Dielektrikum des kapazitiven Fühlers beruhen. Besonders kritisch ist hier der Einfluß der ScharaSiungen der Zuleitungskapazität aufgrund mechanischer oder thermischer Einnzirkungen.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine einfache und störungsarme Meßeinrichtung für Kapazitäten ausgehend von einer Schaltungsanordnung der eingangs erwähnten Art zu schaffen.
  • Diese Aufgabe wird durch die Merkmale des kennzeichnenden Teils des Ansprucns 1 gelöst.
  • Bei dieser Anordnung ist die Kapazitätsmessung weit -gehend unabhängig von der Größe der Zuleitungskapazitäten und deren Anderungen und damit läßt sich wegen der auf die reine Meßkapazität reduzierten Grundkapazität eine hohe absolute Auflösung erreichen. Weiterhin lassen sich mit der erfindungsgemäßen Anordnung dynamische Kapazitätsänderungen erfassen. Bei Speisung mit Wechselspannung wird ein zur Xnderung der Meßkapazität proportionales Spannungssignal am Meßgerät erzeugt.
  • Der Meßkondensator kann bei der erfindungsgemäßen Anordnung durch zwei jeweils abgeschirmte Zuleitungen mit dem invertierenden Eingang und dem Ausgang des Operationsverstärkers verbunden sein. Die dadurch entstehenden Zuleitungskapazitäten gegenüber Masse treten als Kapazitäten am invertierenden Eingang und am Ausgang des Gperationsverstärkers auf. Diese beiden Kapazitäten haben - unter idealisierten Bedingungen- keinen Einfluß auf die Wirkungsweise der reinen Integratorschaltung ohne Brdungskapa7.itaten. Einerseits bedeutet die Kapazität am Ausgang des Operationsverstärkers lediglich eine kapazitive Last, die im Falle des idealen Operationsverstärkers mit Ausgangswiderstand Null Ohm ohne jegliche Bedeutung ist. Andererseits liegt die Kapazität am invertierenden Eingang wegen der Wirkungsweise des Operationsverstärkers zwischen dem Wert eines virtuellen Nullpotentials an diesem Punkt und dem galvanischen Nullpotential, so daß, wiederum im Falle des idealen Operationsverstärkers, kein Spannungsabfall an diesem Erdungskondensator vorhanden ist und er damit keinen Einfluß auf die Umkehrintegratorschaltung hat.
  • Deshalb haben auch Veränderungen der Erdungskapazitäten keine Auswirkungen auf die Messung der zu messenden Kapazitäten.
  • Aufgrund der Gü-te der erhältlichen Operationsverstärker, die dem idealen Operationsverstärker sehr nahe kommen, sind die Einflüsse der Erdungskapazitäten auch bei den realen Operationsverstärkern vernachlässigbar. Die erfindungsgemäße Schaltungsanordnung eignet sich daher sehr gut zur störungsarmen, hochauflösenden Messung von Kapazitäten und Kapazitätsänderungen.
  • Bei Speisung der Schaltungsanordnung mit Wechselspannung kann es schwierig seiL, ein absolut symmetrisches Wechselspannungssignal zu erzeugen. Da die Schaltungsanordnung bei leichter Unsymmetrie durch eine sich aufsummierende Vorspannung jedoch in die Begrenzung geht, ist eine Weiterbildung der erfindungsgemäßen Schaltungsanordnung dadurch gekennzeichnet, daß der Ausgang des Operationsverstärkers mit einer die Gleichspannungskomponente des Ausgangssignals bildenden Schaltung verbunden ist und daß der Ausgang dieser Schaltung mit einem weiteren Verstärker verbunden ist, dessen Ausgang über einen weiteren ohin schen Widerstand mit dem invertierenden Eingang des Operationsverstärkers verbunden ist. Folglich wird die sich aus der Unsymmetrie ergebende Gleichspannungskomponente auf den Eingang des Operationsverstcirkers rückgekoppelt. Vorzugsweise ist die die Gleichspannungskomponente des Ausgangssignals bildende Schaltung ein Siebglied, insbesondere ein Tiefpass.
  • Um zu vermeiden, daß sich durch äußere Einflüsse bedingt unvermeidliche Schwankungen der Eingangsspanmmg als Störungen am Ausgang auswirken, ist gemäß einer anderen Weiterbildung der Erfindung ein weiterer Operationsverstärker mit einem auf Festwerte einstellbaren Kondensator im Rückkopplungszweig vorgesehen, wobei an dem invertierenden Eingang dieses Operationsverstärkers über einen ohmschen Widerstand die gleiche Gleich- oder Wechselspannung wie an den anderen Operationsverstärker gelegt ist und es sind dabei die Ausgänge der Operationsverstärker mit je einem Eingang eines Subtrahierers verbunden, dessen Ausgang mit einem Meßgerät verbunden ist Auf diese Weise läßt sich der Kapazitätswert des zu messenden Kondensators noch genauer ermitteln.
  • Andere vorteilhafte Weiterbildungen sind durch die anderen Unteransprüche gekennzeichnet.
  • Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachstehend anhand der Zeichnungen beschrieben. Dabei zeigen: Fig. 1 eine grundsätzliche Schaltungsanordnung gemäß der Erfindung; Fig. 2 eine Weiterbildung der Schaltungsanordnung nach Fig.1 mit einem Rückkopplungspfad zur Eliminierung von Unsymmetrien in der Eingangswechselspannung; Fig. 3 eine Weiterbildung der Schaltungsanordnung nach Fig.2 zur Eliminierung von Schwankungen der Eingangsspannung; Fig. 4 eine Auswerteschaltung für Ausgangssignale der Schaltungsanordnung nach Fig. 3; Fig. 5 eine Multiplexschaltung zur Abfrage von mehreren Meßkondensatoren.
  • Bei der Schaltungsanordnung nach Fig. 1 ist ein Meßkondensator 1 in den Rückkopplungszweig eines Operationsverstärkers 2 geschal-tet. Dem Operationsverstärker 2 ist ein Vorwiderstand 3 vorgeschaltet, dem über eine Klemme 4 ein Eingangssignal zugeführt wird. Der Meßondensator 1 ist durch zwei jeweils abgeschirmte Zuleitungen 5 und 6 mit dem invertierenden Eingang und dem Ausgang des Operationsverstärkers 2 verbunden.
  • Dadurch treten Zuleitungskapazitäten auf, die als Kondensatoren 7 bzw. 8 dargestellt sind.
  • Wie schon weiter oben beschrieben, treten bei einem idealen Operationsverstärker an den Zuleitungskondensatoren 7 und 8 keine Spannungsabfälle auf, da der Ausgangswiderstand des Operationsverstärkers Null Ohm ist und zwischen der virtuellen Null des Knotenpunktes 10 und der Erde am Kondensator 7 ebenfalls kein Spannungsabfall auftreten kann. Aus diesem Grund haben auch Änderungen der ErdungskapazitWten 7 und 8 keinen Einfluß auf die zu messende Kapazität des Kondensators 1. Am Ausgang 9 ist ein Meßgerät 22 angeschlossen.
  • Die Ausgangsspannung des Umkehrintegrators bestimmt sich zu so daß man bei bekanntem Verlauf der Spannung Ue(t) an der Eingangsklemme 4 und konstantem Widerstand 3 mit Hilfe der Ausgangsspannung Ua(t) die Kapazität C.bestimmen kann . Wird die Schaltungsanordnung mit einer Wechselspannung, z.B. in Form eines Rechtecksignals betrieben, das symmetrisch zur Nullinie ist, so ent -steht am Ausgang ein ebenfalls zur Nullinie symmetrisches Dreieckspannungssignal.
  • In dz regel ist es jedoch schwierig, ein absolut symmetrisches Wechselspannungssignal zu erzeugen. Ferner geht die Schaltungsanordnung bereits bei leichter Unsymmetrie durch eine sich auf summierende Vorspannung in die Begrenzung.
  • In Fig. 2 ist die Schaltungsanordnung nach Fig. 1 so modifiziert, daß durch einen Regelkreis das Ausgangssignal der als Integrator geltenden Schaltungsanordnung symmetrisch zur Nullinie liegt. Die Schaltungsanordnung weist den gleichen Aufbau auf wie die Schaltungsanordnung nach Fig. 1 und es sind die gleichen Bezugszeichen für die gleichen Teile verwendet. Zusätzlich ist am Ausgang 9 ein aus einem Widerstand 11 und einem Kondensator 12 bestehendes RC-Glied vorgesehen, dessen Ausgang einem Gleichspannungsverstärker 13 zugeführt wird. Der Ausgang 14 des Verstärkers 13 ist über einen Widerstand 15 mit dem Eingang des Operationsverstärkers 2 verbunden. Es wird also die Wechselspannungskomponente des Ausgangssignals der Schaltungsanordnung im RC-Glied 11 , 12 unterdrückt, und die verbleibende Gleichspannungskomponente über den Widerstand 15 rückgekoppelt. Damit werden sämtliche Unsymmetrien in der Spannung am Eingang 4 ausgeregelt Wie sich aus der obigen Formel ergibt, ist die Spannung am Ausgang 9 abhängig von der dem Eingang 4 zugeführten Wechsel- oder Gleichspannung, so daß sich bei der Schaltung nach Fig. 1 durch äußere Einflüsse bedingte unvermeidliche Schwankungen der Eingangss1)amlurlg als S-törungen am Ausgang niederschlagen .Zum Ausgleich dieser Störungen ist bei der Schaltung nach Fig. 3 eine weitere Schaltungsanordnung der in Fig. 1 angegebenen Art vorgesehen, bei der anstelle des Meßkondensators 1 ein Festkondensator 1' angeschlossen ist. Die Eingänge der beiden Schaltungsanordnungen werden mit dem gleichen Eingangssignal beaufschlagt. Die Spannungen an den Ausgängen 9 bzw.
  • 9' der beiden Schaltungsanordnungen werden einem Subtrahierer 16 zugeführt, dessen Ausgangssignal an seinem Ausgang 17 weitgehend unabhängig von Schwankungen am Eingang der Spannung 4 ist.
  • In Fig. 4 ist eine Auswerteschaltung für das Ausgingssignal des Subtrahierers 16 an dessenAusgang 17 dargestellt. Diese Auswerteschaltung enthält einen Präzisionsgleichrich-ter 18, ein Filter 19, eine Vorspannungskompensationsschaltung 20 und einen Verstärker 21.
  • Werden die Kapazitäten der Kondensatoren 1 und 1' der Schaltung nach Fig. 3 völlig gleich gewählt, so erreicht bei Einspeisung von Wechselspannung die Spannung am Ausgang 17 des Verstärkers 16 ein Minimum und jede Änderung des Kondensaors führt ohne Berücksichtigung ihrer Richtung zu einer Amplitudenerhöhung. Differieren dagegen die Grundkapazitäten 1 und 1' geringfügig, so ist bei kleinen Anderungen der Meßkapazität 1 die Ausgangsspannung am Ausgang 17 eine eindeutige und weitgehend lineare Funktion des Meßkondensators 1.
  • Mit der beschriebenen Anordnung lassen sich bei einfachem Schaltungsaufbau mit Standardbauteilen dynamische Kapazitätsänderungen (fig ) 200 Hz) mit einer absoluten Auflösung a C von 10 pF und einer relativen Auflösung 4 C/CO < 10 7mit dem Vorteil der Unabhängigkeit von Zuleitungskapazitäten messen.
  • Eine besonders vorteilhafte Anwendung der erfindung.sgemäßen Schaltungsanordnungen ist bei Kombinationen in einer Multiplexschaltung zur Abfrage von Meßkondensatoren gegeben, wie sie in Fig. 4 dargestellt ist und wie sie z.B. in der D3-OS 25 29 475 oder der DE-OS 25 59 223 beschrieben ist.
  • Mit Hilfe einer solchen Hultiplexschaltung wird eine Vielzahl von Kondensatoren abgefragt, mit deren Hilfe z.B. die Flächenverteilung physikalischer Größen, z.B. von Drucken, ermittelt wird. Die Kondensatoren haben dabei typischerweise Kapazitäten in der Größenordnung von 1 pF und ihre Veränderung während der Messung beträgt 0,1 pF,während die Zuleitungskapazitäten bis zu l nF betragen können. Bei den bekannten Anordnungen konnten Anderungen der Zuleitungskapazitäten durch thermische oder mechanische Veränderungen zu Störungen der Messung führen. Weiterhin sind aufgrund der notwendigerweise unterschiedlichen Länge der Zuleitungen die Einzelkapazitäten unterschiedlich groß, so daß das Ruhesignal aller Kondensatoren stark differiert. Deshalb musste bisher für jeden einzelnen Kondensator die Differenz der Kapazitäten vor und während der Messung ermittelt werden, was wegen der großen Meßstellenzahl den Einsatz eines Computers notwendig machte. Dagegen ist es bei Benutzung der erfindungsgemäßen Kompensationsschaltung für Zuleitungskapazitäten möglich, ein für alle Einzelkapazitäten weitgehend gleiches Ausgangssignal zu erzeugen, das eine individuelle Spannungskompensation durch Differenzbildung nicht erforderlich macht, so daß z.B. die Ausgangssignale direkt auf einem Fernsehbildschirm durch geeignete Verfahren dargestellt werden können.

Claims (12)

  1. Patentan spruche Q Schaltungsanordnung mit einem Kondensator im RUckkoppungszweig eines Operationsverstärkers und mit einem ohmschen Widerstand an dessen invertierendem Eingang, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß der Kondensator ein Meßkondensator (i) ist, daß eine Spannung über den ohmschen Widerstand (3) am invertierenden Eingang (10) des Operationsverstärkers (2) anliegt und daß am Ausgang (9) des Operationsverstärkers (2) ein Meß -gerät (22) angeordnet ist.
  2. 2. Schaltungsanordnung nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß die am Widerstand (3) anliegende Spannung eine Wechselspannung ist.
  3. 3. Schaltungsanordnung nach Anspruch 2, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß der Ausgang (9) des Operationsverstärkers (2) mit einer die Gleichspannungskomponente des Ausgangssignals bildenden Schaltung (11,12) verbunden ist und daß der Ausgang dieser Schaltung (11,12) mit einem weiteren Verstärker (13) verbunden ist, dessen Ausgang über einen weiteren ohmschen Widerstand (15) mit dem invertierenden Eingang (10) des Operationsverstärkers (2) verbunden ist.
  4. 4. Schaltungsanordnung nach Anspruch 3, d a d u r 0 b g e k e n n z e i c h n e t, daß die die Gleichspannungskomponente des Ausgangssignals bildende Schaltung ein Siebglied (11,12) ist.
  5. 5. Schaltungsanordnung nach Anspruch 4, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß das Siebglied ein Tiefpaß (11?12) ist.
  6. 6. Schaltungsanordnung nach einem der Ansprüche 3 bis 5, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß der weitere Verstärker ein Operationsverstärker (13) ist.
  7. 7. Schaltungsanordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß ein weiterer Operationsverstärker mit einem auf Festwerte einstellbaren Kondensator (1') im Rückkopplungs -zweig vorgesehen ist, daß an dem invertierenden Eingang dieses Operationsverstärkers über einen ohmschen Widerstand die gleiche Gleich- oder Wechselspamnung wie an den anderen Operationsverstärker (2) gelegt ist,.und daß die Ausgänge (9,9') der Operationsverstärker mit je einem Eingang eines Subtrahierers (16) verbunden sind, dessen Ausgang (17) mit einem Meßgerät (22) verbunden ist.
  8. 8. Schaltungsanordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß das Meßgerät (22) einen Präzisionsgleichrichter (18) enthält, an dessen Ausgang ein Tiefpaßfilter (19), eine Vorspannungskompensationsschaltung (20) und ein Verstärker (21) nachgeschaltet sind.
  9. 9. Schaltungsanordnung nach Ansprüchen 7 oder 8, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß der Kapazitätswert des Meßkondensators (1) und Festwertkondensators (1') sich um einen geringen Bruchteil unterscheiden.
  10. 10. Schaltungsanordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß die Meßkondensatoren (1) als kapazitive Sensoren zur Erfassung mechanischer Größen ausgeführt sind.
  11. 11. Schaltungsanordnung nach Anspruch 7, 8 oder 9, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß der Festkondensator (1') sowie der Meßkondensator(1) weitgehend identische elektrische Eigenschaften aufweisen.
  12. 12. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß die Zuleitung (5,6) zum Meßkondensator (1) aus einem zweiadrigen Kabel mit Einzelabschirmung der Adern besteht.
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