DE4423907C2 - Kapazitiver Sensor - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft einen kapazitiven Sensor, insbesondere einen Drucksensor, mit einem eine variable, insbesondere druckabhängige Kapazität aufweisenden Meßkon­ densator, mit einer den Meßkondensator ansteuernden Ansteuerschaltung, mit einer die Kapazität des Meßkondensators auswertenden und ein insbesondere druckabhän­ giges Sensorsignal ausgebenden Auswerteschaltung und mit einer Steuerschaltung, wobei die Ansteuerschaltung eine den Meßkondensator aufladende Konstantstrom­ quelle aufweist, die Stromrichtung der Konstantstromquelle von der Steuerschaltung gesteuert umschaltbar ist, der Meßkondensator von der Steuerschaltung gesteuert über die Konstantstromquelle abwechselnd auf positives und auf negatives Potential gegen­ über dem Bezugspotential des Meßkondensators aufladbar ist und die Auswerteschal­ tung das Sensorsignal sowohl aus dem positiven Ladevorgang als auch aus dem nega­ tiven Ladevorgang des Meßkondensators bestimmt. Ein solcher Sensor ist aus der DE- AS 29 03 688 bekannt.

Grundsätzlich sind verschiedene Typen von kapazitiven Sensoren bekannt. Bei einem ersten Typ kapazitiver Sensoren wird die gesuchte Kapazität über eine Brückenschal­ tung mit Hilfe einer sinusförmigen Spannung oder einer Gleichspannung bestimmt. Beim zweiten Typ kapazitiver Sensoren wird die gesuchte Kapazität als frequenzbe­ stimmendes Element in einer Oszillatorschaltung eingesetzt. Weiter sind kapazitive Sensoren eines drittes Typs bekannt, bei denen die gesuchte Kapazität über eine Scheinwiderstandsmessung bestimmt wird. Ein vierter, moderner Typ kapazitiver Sensoren nutzt ein digital erzeugtes Testsignal, um über eine anschließende Kreuzkor­ relation die gesuchte Kapazität zu bestimmen (vgl. die DE 36 42 771 C2 und die Lite­ raturstelle "messen, prüfen, automatisieren", März 1987, Seiten 150 bis 153). Der er­ findungsgemäße kapazitive Sensor gehört zu denen eines fünften Typs, bei denen der Ladungstransport beim Laden oder Entladen der Kapazität beobachtet wird. Eine be­ sondere Ausgestaltung eines kapazitiven Sensors des fünften Typs ist aus der, auf die Anmelderin zurückgehenden, nachveröffentlichten DE 43 40 481 A1 bekannt, deren Offenbarungsgehalt hier ausdrücklich einbezogen ist. Die bekannten Typen kapaziti­ ver Sensoren weisen typspezifisch unterschiedliche Vor- und Nachteile auf.

Bei einem bekannten kapazitiven Sensor (vgl. die DE-AS 21 48 775), der zusätzlich zu dem Meßkondensator einen - ggf. eine variable, insbesondere druckabhängige Ka­ pazität aufweisenden - Referenzkondensator aufweist, wobei die Konstantstromquelle oder eine zweite Konstantstromquelle der Ansteuerschaltung den Referenzkondensator auflädt und zur Ausgabe des Sensorsignals neben der Kapazität des Meßkondensators auch die Kapazität des Referenzkondensators von der Auswerteschaltung auswertbar ist, ist jeweils eine Elektrode des Meßkondensators und des Referenzkondensators mit Masse verbunden, während die andere Elektrode jeweils mit einem Schmitt-Trigger verbunden ist. Dieser Schmitt-Trigger verändert bei Erreichen eines seinem Schwell­ wert entsprechenden Wertes der Meßkondensatorspannung bzw. der Referenzkonden­ satorspannung sein Ausgangspotential sprungartig. Diese Potential-änderung an den Ausgängen der Schmitt-Trigger steuert über elektronische Schalter die Entladung des Meßkondensators bzw. des Referenzkondensators. Hierdurch entstehen, für den Fall unterschiedlicher Kapazitäten des Meßkondensators bzw. des Referenzkondensators, Impulsfolgen unterschiedlicher Frequenz an den Ausgängen der Schmitt-Trigger. Die Ausgänge der Schmitt-Trigger sind mit einer Subtrahierschaltung verbunden, deren Ausgangsimpulsfolge das Sensorsignal darstellt. Bei diesem bekannten kapazitiven Sensor wird also die Zeitdauer bestimmt, die notwendig ist, um den jeweiligen Kon­ densator mit einem konstanten Strom auf eine bestimmte Spannung aufzuladen. Insbe­ sondere wird bei diesem kapazitiven Sensor das sogenannte Differenzprinzip ange­ wandt, um Fehler zu eliminieren, die durch äußere Einflüsse, beispielsweise Tempera­ turschwankungen, entstehen können. Insbesondere bei Drucksensoren arbeitet man mit sogenannten Differentialkondensatoren mit zwei festen Außenelektroden und einer durch den Druck auslenkbaren Mittelelektrode. Bei einem solchen Differentialkonden­ sator verändern sich die Kapazitäten des Meßkondensators und des Referenz­ kondensators gegenläufig. Gleichfalls sind jedoch Anordnungen denkbar, bei denen die Referenzkapazität nicht variabel, also konstant, ist.

Bekannte Anwendungsbereiche kapazitiver Sensoren sind, wie bereits erwähnt, die Druckmessung, weiter die Kraftmessung, die Wegmessung, insbesondere durch einen kapazitiven Näherungsschalter, und die Füllstandsmessung in einem Behälter.

Die Schaltungen der bekannten kapazitiven Sensoren sind in verschiedenen Punkten problematisch. Insbesondere sind die bekannten Schaltungen insoweit problematisch, als mit ihnen verschiedene, nicht eliminierbare, die Meßgenauigkeit beeinträchtigende Störquellen verbunden sind. Beispielsweise können Leckströme der den konstanten Strom führenden Konstantstrombahnen durch Oberflächenwiderstände einer die elek­ tronischen Bauteile eines kapazitiven Sensors tragenden Platine nicht eliminiert wer­ den. Weiter können ebenfalls kapazitive Einkopplungen von Störspannungen nicht be­ seitigt werden.

Der Erfindung liegt somit die Aufgabe zugrunde, einen kapazitiven Sensor zu schaf­ fen, der eine Mehrzahl von Störgrößen eliminiert und so eine deutlich verbesserte Meßgenauigkeit gewährleistet.

Die zuvor erläuterte und dargelegte Aufgabe ist erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß das aus dem positiven Ladevorgang des Meßkondensators ermittelte Sensorsignal und das aus dem negativen Ladevorgang des Meßkondensators ermittelte Sensorsignal in der Auswerteschaltung gemittelt werden kann.

Im einzelnen gibt es nun eine Vielzahl von Möglichkeiten, den erfindungsgemäßen Sensor auszugestalten und weiterzubilden. Dazu wird verwiesen einerseits auf die dem Patentanspruch 1 nachgeordneten Patentansprüche, andererseits auf die Beschreibung eines bevorzugten Ausführungsbeispiels in Verbindung mit der Zeichnung. In der Zeichnung zeigen

Fig. 1 ein Schaltbild eines kapazitiven Sensors gemäß einem bevorzugten Aus­ führungsbeispiel der Erfindung,

Fig. 2 a) und b) verschiedene Diagramme der Spannungsverläufe an einem Meßkonden­ sator bzw. an einem Referenzkondensator eines kapazitiven Sensors ge­ mäß dem Ausführungsbeispiel der Erfindung nach Fig. 1 und

Fig. 3 eine Ausführungsform des Layouts einer die elektronischen Bauteile des kapazitiven Sensors tragenden Platine.

In Fig. 1 ist das Schaltbild eines kapazitiven Sensors, insbesondere eines Drucksensors abgebildet. Der abgebildete kapazitive Sensor wird dadurch zum Drucksensor, daß er einen eine variable, druckabhängige Kapazität aufweisenden Meßkondensator 1 auf­ weist. Weiter weist der Drucksensor auf eine den Meßkondensator 1 ansteuernde An­ steuerschaltung 2 und eine die Kapazität des Meßkondensators 1 auswertende und ein druckabhängiges Sensorsignal ausgebende Auswerteschaltung 3. Die Ansteuerschal­ tung 2 wiederum weist eine den Meßkondensator 1 aufladende Konstantstromquelle 4 auf.

Bei dem in Fig. 1 dargestellten Drucksensor ist eine nicht dargestellte Steuerschaltung vorgesehen, ist die Stromrichtung der Konstantstromquelle 4 von der Steuerschaltung gesteuert umschaltbar und ist der Meßkondensator 1 von der Steuerschaltung gesteuert über die Konstantstromquelle 4 abwechselnd auf positives und negatives Potential ge­ genüber dem Bezugspotential des Meßkondensators 1 aufladbar. Die den Meßkonden­ sator 1 aufladende Konstantstromquelle 4, deren Stromrichtung von der Steuerschal­ tung gesteuert umschaltbar ist, weist auf einen Konstantstromoperationsverstärker 5, einen Koppelwiderstand 6, einen Referenzwiderstand 7, einen Gegenkopplungswider­ stand 8 und einen Bezugswiderstand 9. Die Funktion einer solchen Konstantstrom­ quelle ist in einer auf die Anmelderin zurückgehenden Patentanmeldung mit gleichem Datum beschrieben. Die Umschaltung der Konstantstromquelle 4 erfolgt über die Um­ polung der an Eingangskontakten 10, 11 anliegenden Referenzspannung durch die nicht dargestellte Steuerschaltung. Die hier nicht dargestellte Steuerschaltung ist vor­ teilhaft als Mikroprozessor ausgebildet.

Der in Fig. 1 dargestellte Drucksensor zeichnet sich dadurch aus, daß die Auswerte­ schaltung 3 das Sensorsignal sowohl aus dem positiven Ladevorgang als auch dem negativen Ladevorgang des Meßkondensators 1 bestimmt und daß das aus dem positi­ ven Ladevorgang des Meßkondensators 1 ermittelte Sensorsignal und das aus dem ne­ gativen Ladevorgang des Meßkondensators 1 ermittelte Sensorsignal in der Auswerte­ schaltung 3 gemittelt wird. Durch diese Mittelung ist gewährleistet, daß sich die Stör­ quellen herausheben, die beim positiven Ladevorgang und beim negativen Ladevor­ gang in entgegengesetzten Richtungen wirken.

Bei dem in Fig. 1 dargestellten Drucksensor weist die Ansteuerschaltung 2 einen dem Meßkondensator 1 zugeordneten Spannungsfolger 12 auf, so daß ein wesentlicher Anteil des von der Konstantstromquelle 4 gelieferten Konstantstromes am Meßkon­ densator 1 über den Spannungsfolger 12 vorbeifließt (vgl. DE 43 40 481 A1).

Bei der bisherigen Betrachtungsweise ist nicht berücksichtigt worden, daß der in Fig. 1 dargestellte Drucksensor neben dem Meßkondensator 1 einen Referenzkonden­ sator 13 aufweist. Dieser Referenzkondensator 13 wird bei dem in Fig. 1 dargestellten Drucksensor von einer zweiten Konstantstromquelle 14 der Ansteuerschaltung 2 auf­ geladen. Bei dem in Fig. 1 dargestellten Drucksensor ist neben der Kapazität des Meßkondensators 1 die Kapazität des Referenzkondensators 13 von der Auswerte­ schaltung 3 auswertbar. In der auf die Anmelderin zurückgehenden Patentanmeldung mit gleichem Datum ist eine Schaltung eines kapazitiven Sensors offenbart, bei der der Meßkondensator und der Referenzkondensator von einer gemeinsamen Konstant­ stromquelle aufladbar sind. Die erfindungsgemäße Lehre ist selbstverständlich auch bei einem derartig ausgestalteten kapazitiven Sensor verwirklichbar.

Die den Referenzkondensator 13 aufladende zweite Konstantstromquelle 14 ist ebenso wie die Konstantstromquelle 4 von der nicht dargestellten Steuerschaltung gesteuert umschaltbar, so daß der Referenzkondensator 13, von der Steuerschaltung gesteuert, über die den Referenzkondensator 13 aufladende zweiten Konstantstromquelle 14 ab­ wechselnd auf positives und auf negatives Potential gegenüber dem Bezugspotential des Meßkondensators 1 und des Referenzkondensators 13 aufladbar ist. Die zweite Konstantstromquelle 14 ist zu diesem Zweck analog zur Konstantstromquelle 4 aufge­ baut, besteht also aus einem zweiten Konstantstromoperationsverstärker 15, einem zweiten Koppelwiderstand 16, einem zweiten Referenzwiderstand 17, einem zweiten Gegenkopplungswiderstand 18 und einem zweiten Bezugswiderstand 19. Die zweite Konstantstromquelle 14 ist ebenso wie die Konstantstromquelle 4 an die Eingangskon­ takte 10, 11 für die von der nicht dargestellten Steuerschaltung gelieferte Referenz­ spannung angeschlossen. Außerdem weist die Ansteuerschaltung 2 des in Fig. 1 dar­ gestellten Drucksensors einen den Referenzkondensator 13 zugeordneten zweiten Spannungsfolger 20 auf, so daß ein wesentlicher Anteil des von der zweiten Konstant­ stromquelle 14 gelieferten Konstantstroms am Referenzkondensator 13 über den zwei­ ten Spannungsfolger 20 vorbeifließt.

Der in Fig. 1 dargestellte Drucksensor ist weiter dadurch ausgestaltet, daß die Auswer­ teschaltung 3 das Sensorsignal sowohl aus dem positiven Ladevorgang als auch dem negativen Ladevorgang des Meßkondensators 1 und des Referenzkondensators 13 be­ stimmt und daß das aus dem positiven Ladevorgang des Meßkondensators 1 und des Referenzkondensators 13 ermittelte Sensorsignal und daß das aus dem negativen La­ devorgang des Meßkondensators 1 und des Referenzkondensators 13 ermittelte Sen­ sorsignal in der Auswerteschaltung 3 gemittelt wird. Durch diese Maßnahme wird ge­ währleistet, daß die je nach dem Vorzeichen des Ladevorgangs umgekehrt wirkenden Störquellen aus dem aus den Kapazitäten des Meßkondensators 1 und des Referenz­ kondensators 13 ermittelten Sensorsignale eliminierbar sind.

Der in Fig. 1 dargestellte Drucksensor bestimmt das Sensorsignal dadurch, daß die Auswerteschaltung 3 von der nicht dargestellten Steuerschaltung gesteuert die Stei­ gung der Differenz der am Meßkondensator 1 und am Referenzkondensator 13 anlie­ genden Spannungen in einem Zeitraum während der gleichzeitigen Aufladung be­ stimmt (vgl. DE 43 40 481 A1). Hierzu weist der Drucksensor einen Differenzver­ stärker 21 und einen Differentiator 22 auf. Selbstverständlich sind auch andere Ausge­ staltungen des Drucksensors denkbar, beispielsweise mit einer gemeinsamen Kon­ stantstromquelle, wie sie in der auf die Anmelderin zurückgehenden Anmeldung mit gleichem Datum beschrieben ist.

Der in Fig. 1 dargestellte erfindungsgemäße Drucksensor ist besonders vorteilhaft da­ durch ausgestaltet, daß die Auswerteschaltung 3 das Sensorsignal aus einem Intervall des Ladevorgangs symmetrisch zum Nulldurchgang der Ladespannung des Meßkon­ densators 1 bestimmt. Durch diese Maßnahme werden zusätzlich sämtliche Störquel­ len eliminiert, die ausschließlich vom Vorzeichen der am Meßkondensator 1 und am Referenzkondensator 13 anliegenden Spannungen abhängig sind. Eine solche Stör­ quelle wird beispielsweise durch die von den Konstantströmen abzuziehenden Kriechströme von den Konstantstromquellen 4, 14 gegen Masse gebildet.

In Fig. 2 der Zeichnung ist ein beispielhafter Verlauf der an dem Meßkondensator 1 und dem Referenzkondensator 13 anliegenden Spannungen dargestellt. In Fig. 2a) ist die Ladespannung dargestellt, die beispielsweise am Meßkondensator 1 anliegt. Die am Referenzkondensator 13 anliegende Ladespannung folgt in etwa dem in Fig. 2a) dargestellten Verlauf der Ladespannung des Meßkondensators 1, weist jedoch bei un­ terschiedlichen Kapazitäten des Meßkondensators 1 und des Referenzkondensators 13 eine abweichende Steigung während des positiven und des negativen Ladevorgangs auf. In Fig. 2b) ist die Differenz der Ladespannungen am Meßkondensator 1 und am Referenzkondensator 2 bei unterschiedlichen Steigungen der Ladespannungen darge­ stellt. Man erkennt zum einen die durch vom Vorzeichen des Ladevorgangs abhängige Störquellen, wie z. B. Offsetspannungdriften der Operationsverstärker und Driften der Eingangsströme der Operationsverstärker, verursachten unterschiedliche Steigungen der Differenzen der Ladespannungen des Meßkondensators 1 und des Referenzkon­ densators 13. Man erkennt weiter die Steigungsänderung während eines Ladevorgangs abhängig vom Vorzeichen der Ladespannung, wie sie etwa durch Kriechströme des Ladestroms gegen Masse verursacht werden. Wie bereits beschrieben, werden durch entsprechende Maßnahmen diese Störquellen eliminiert.

Die zuletzt beschriebene Maßnahme wird besonders vorteilhaft dadurch weitergebil­ det, daß das Design des Layouts einer die elektronischen Bauteile des kapazitiven Sensors tragenden Platine 23 nur Oberflächenwiderstände 24 zwischen den Konstant­ strombahnen 25 und Masse zuläßt. Eine solche Maßnahme ist in Fig. 3 der Zeichnung dargestellt. Diese Maßnahme ist deshalb besonders vorteilhaft, weil dadurch, daß die Auswerteschaltung 3 das Sensorsignal aus einem in Fig. 2 schraffiert dargestellten In­ tervall des Ladevorgangs symmetrisch zum Nulldurchgang der Ladespannung des Meßkondensators 1 bestimmt, nur die Störquellen eliminiert werden, die durch Ober­ flächenwiderstände 24 verursacht werden, die die Konstantstrombahnen 25 unmittel­ bar mit Masse verbinden. Dies wird bei der in Fig. 3 dargestellten Platine 23 dadurch gewährleistet, daß die auf der Platine 23 verlaufenden Konstantstrombahnen 25 von einer mit Masse verbundenen Leiterbahn 26 umgeben sind.

Wie in Fig. 2a) dargestellt, ist der kapazitive Sensor besonders vorteilhaft dadurch weitergebildet, daß die Konstantstromquellen 4, 14 beim positiven Ladevorgang und beim negativen Ladevorgang eine Spannungsbegrenzung aufweisen. Durch diese Spannungsbegrenzung ist gewährleistet, daß zumindest der Meßkondensator 1 bei sehr stark verringerter Kapazität nicht überladen werden kann.

Eine weitere besonders vorteilhafte Ausgestaltung des kapazitiven Sensors ergibt sich dadurch, daß die nicht dargestellte Steuerschaltung die Konstantstromquellen 4, 14 so lange in der Spannungsbegrenzung betreibt, bis die am Meßkondensator 1 anliegende Spannung mit der am Referenzkondensator 13 anliegenden Spannung übereinstimmt. Durch diese Maßnahme ist gewährleistet, daß der positive und der negative Ladevor­ gang des Meßkondensators 1 und des Referenzkondensators 13 immer von einem ge­ meinsamen Potential aus erfolgt, und so sehr gut reproduzierbar ist.

Da bei dem in Fig. 1 dargestellten Drucksensor am Ausgang des Differentiators 22 ein Sensorsignal mit wechselnden Vorzeichen anliegt, weist die Auswerteschaltung 3 einen diese Sensorsignale gleichrichtenden Gleichrichter 27 auf. Da nun der Ausgang dieses Gleichrichters 27 wenig belastet werden darf, weist die Auswerteschaltung 3 weiter einen hochohmigen Verstärker 28 auf. Am Ausgang des hochohmigen Verstär­ kers 28 ist, wie aus der DE 43 40 481 A1 bekannt, ein von der nicht dargestellten Steuerschaltung gesteuertes Abtast-Halte-Glied 29 angeordnet.

Der kapazitive Sensor gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung zeichnet sich dadurch aus, daß die nicht dargestellte Steuerschaltung abhängig vom Vorzeichen des Ladevorgangs eine Offsetspannung an die Auswerteschaltung anlegt, so daß sicherge­ stellt ist, daß das Sensorsignal am Eingang des Gleichrichters 27 während eines positi­ ven Ladevorgangs bzw. eines negativen Ladevorgangs einmal positiv und einmal ne­ gativ ist, also die Mittelwertbildung der beiden Sensorsignale nicht zu einem fehler­ haften Meßwert führt.

Claims (7)

1. Kapazitiver Sensor, insbesondere Drucksensor, mit einem eine variable, insbeson­ dere druckabhängige Kapazität aufweisenden Meßkondensator (1), mit einer den Meßkondensator (1) ansteuernden Ansteuerschaltung (2), mit einer die Kapazität des Meßkondensators (1) auswertenden und ein insbesondere druckabhängiges Sensor­ signal ausgebenden Auswerteschaltung (3) und mit einer Steuerschaltung, wobei die Ansteuerschaltung (2) eine den Meßkondensator (1) aufladende Konstantstrom­ quelle (4) aufweist, die Stromrichtung der Konstantstromquelle (4) von der Steuer­ schaltung gesteuert umschaltbar ist, der Meßkondensator (1) von der Steuerschaltung gesteuert über die Konstantstromquelle (4) abwechselnd auf positives und auf nega­ tives Potential gegenüber dem Bezugspotential des Meßkondensators (1) aufladbar ist und die Auswerteschaltung (3) das Sensorsignal sowohl aus dem positiven Lade­ vorgang als auch aus dem negativen Ladevorgang des Meßkondensators (1) be­ stimmt, dadurch gekennzeichnet, daß das aus dem positiven Ladevorgang des Meß­ kondensators (1) ermittelte Sensorsignal und das aus dem negativen Ladevorgang des Meßkondensators (1) ermittelte Sensorsignal in der Auswerteschaltung (3) gemit­ telt werden kann.

2. Kapazitiver Sensor nach Anspruch 1, mit einem - ggf. eine variable, insbesondere druckabhängige Kapazität aufweisenden - Referenzkondensator (13), wobei die Konstantstromquelle (4) oder eine zweite Konstantstromquelle (14) der Ansteuer­ schaltung (2) den Referenzkondensator (13) auflädt, zur Ausgabe des Sensorsignals die Kapazität des Referenzkondensators (14) von der Auswerteschaltung (3) aus­ wertbar ist, die den Referenzkondensator (13) aufladende Konstantstromquelle (14) von der Steuerschaltung gesteuert umschaltbar ist, der Referenzkondensator (13) von der Steuerschaltung gesteuert über die den Referenzkondensator (13) aufladende Konstantstromquelle (14) abwechselnd auf positives und auf negatives Potential ge­ genüber dem Bezugspotential des Meßkondensators (1) und des Referenzkondensa­ tors (13) aufladbar ist und die Auswerteschaltung (3) das Sensorsignal sowohl aus dem positiven Ladevorgang als auch aus dem negativen Ladevorgang des Meßkon­ densators (1) und des Referenzkondensators (13) bestimmt, dadurch gekennzeichnet, daß das aus dem positiven Ladevorgang des Meßkondensators (1) und des Refe­ renzkondensators (13) ermittelte Sensorsignal und das aus dem negativen Ladevor­ gang des Meßkondensators (1) und des Referenzkondensators (13) ermittelte Sen­ sorsignal in der Auswerteschaltung (3) gemittelt werden kann.

3. Kapazitiver Sensor nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Auswerteschaltung (3) das Sensorsignal aus einem Intervall des Ladevorgangs sym­ metrisch zum Nulldurchgang der Ladespannung des Meßkondensators (1) bestimmt.

4. Kapazitiver Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Design des Layouts einer die elektronischen Bauteile des kapazitiven Sen­ sors tragenden Platine (23) nur Oberflächenwiderstände (24) zwischen den Kon­ stantstrombahnen (25) und Masse zuläßt.

5. Kapazitiver Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Konstantstromquelle (4) bzw. die Konstantstromquellen (4, 14) beim positi­ ven Ladevorgang und beim negativen Ladevorgang eine Spannungsbegrenzung aufweisen.

6. Kapazitiver Sensor nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuer­ schaltung die Konstantstromquellen (4, 14) solange in der Spannungsbegrenzung be­ treibt, bis die am Meßkondensator (1) anliegende Spannung mit der am Referenzkon­ densator (13) anliegenden Spannung übereinstimmt.

7. Kapazitiver Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Auswerteschaltung (3) einen die Sensorsignale gleichrichtenden Gleichrich­ ter (27) aufweist.