DE4423907A1 - Kapazitiver Sensor - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft einen kapazitiven Sensor, insbesondere einen Drucksensor, mit einem eine variable, insbesondere druckabhängige Kapazität aufweisenden Meßkon­ densator, mit einer den Meßkondensator ansteuernden Ansteuerschaltung und mit ei­ ner die Kapazität des Meßkondensators auswertenden und ein insbesondere druckab­ hängiges Sensorsignal ausgebenden Auswerteschaltung, wobei die Ansteuerschaltung eine den Meßkondensator aufladende Konstantstromquelle aufweist.

Es sind verschiedene Typen von kapazitiven Sensoren bekannt. Bei einem ersten Typ kapazitiver Sensoren wird die gesuchte Kapazität über eine Brückenschaltung mit Hilfe einer sinusförmigen Spannung oder einer Gleichspannung bestimmt. Im zweiten Typ kapazitiver Sensoren wird die gesuchte Kapazität als frequenzbestimmendes Ele­ ment in einer Oszillatorschaltung eingesetzt. Weiter sind kapazitive Sensoren eines drittes Typs bekannt, wobei die gesuchte Kapazität bei diesen Sensoren über eine Scheinwiderstandsmessung bestimmt wird. Ein vierter, moderner Typ kapazitiver Sensoren nutzt ein digital erzeugtes Testsignal, um über eine anschließende Kreuzkor­ relation die gesuchte Kapazität zu bestimmen. Der erfindungsgemäße kapazitive Sensor gehört zu denen eines fünften Typs, wobei bei diesen der Ladungstransport beim Laden oder Entladen der Kapazität beobachtet wird. Eine besondere Ausgestal­ tung eines kapazitiven Sensors des fünften Typs ist aus der, auf die Anmelderin zu­ rückgehende, nachveröffentlichten DE-A-43 40 481 bekannt, deren Offenbarungs­ gehalt hier ausdrücklich einbezogen ist. Die bekannten Typen kapazitiver Sensoren weisen typspezifisch unterschiedliche Vor- und Nachteile auf.

Bei dem kapazitiven Sensor, von dem die Erfindung ausgeht (vgl. die DE-B-21 48 775), der zusätzlich zu dem Meßkondensator einen - ggf. eine variable, insbesondere druckabhängige Kapazität aufweisenden - Referenzkondensator aufweist, wobei die Konstantstromquelle oder eine zweite Konstantstromquelle der Ansteuerschaltung den Referenzkondensator auflädt und wobei zur Ausgabe des Sensorsignals neben der Ka­ pazität des Meßkondensators auch die Kapazität des Referenzkondensators von der Auswerteschaltung auswertbar ist, ist jeweils eine Elektrode des Meßkondensators und des Referenzkondensators mit Masse verbunden, während die andere Elektrode je­ weils mit einem Schmitt-Trigger verbunden ist. Dieser Schmitt-Trigger verändert bei Erreichen eines seinem Schwellwert entsprechenden Wertes der Meßkondensator­ spannung bzw. der Referenzkondensatorspannung sein Ausgangspotential sprungartig. Diese Potentialänderung an den Ausgängen der Schmitt-Trigger steuert über elektroni­ sche Schalter die Entladung des Meßkondensators bzw. des Referenzkondensators. Hierdurch entstehen, für den Fall unterschiedlicher Kapazitäten des Meßkondensators bzw. des Referenzkondensators, Impulsfolgen unterschiedlicher Frequenz an den Ausgängen der Schmitt-Trigger. Die Ausgänge der Schmitt-Trigger sind mit einer Subtrahierschaltung verbunden, deren Ausgangsimpulsfolge das Sensorsignal darstellt. Bei dem bekannten kapazitiven Sensor, von dem die Erfindung ausgeht, wird also die Zeitdauer bestimmt, die notwendig ist, um den jeweiligen Kondensator mit einem konstanten Strom auf eine bestimmte Spannung aufzuladen. Insbesondere wird bei dem bekannten kapazitiven Sensor das sogenannte Differenzprinzip angewandt, um Fehler zu eliminieren, die durch äußere Einflüsse, beispielsweise Temperatur­ schwankungen, entstehen können. Insbesondere bei Drucksensoren arbeitet man mit sogenannten Differentialkondensatoren mit zwei festen Außenelektroden und einer durch den Druck auslenkbaren Mittelelektrode. Bei einem solchen Differentialkonden­ sator verändern sich die Kapazitäten des Meßkondensators und des Referenzkondensa­ tors gegenläufig. Gleichfalls sind jedoch Anordnungen denkbar, bei denen die Refe­ renzkapazität nicht variabel, also konstant, ist.

Bekannte Anwendungsbereiche kapazitiver Sensoren sind, wie bereits erwähnt, die Druckmessung, weiter die Kraftmessung, die Wegmessung, insbesondere durch einen kapazitiven Näherungsschalter, und die Füllstandsmessung in einem Behälter.

Die Schaltung des kapazitiven Sensors, von dem die Erfindung ausgeht, ist in ver­ schiedenen Punkten problematisch. Insbesondere ist die bekannte Schaltung proble­ matisch, da mit ihr verschiedene nicht eliminierbare die Meßgenauigkeit beeinträchti­ gende Störquellen verbunden sind. Beispielsweise können Leckströme der den kon­ stanten Strom führenden Konstantstrombahnen durch Oberflächenwiderstände einer die elektronischen Bauteile des kapazitiven Sensors tragenden Platine nicht eliminiert werden. Weiter können ebenfalls kapazitive Einkopplungen von Störspannungen nicht beseitigt werden.

Der Erfindung liegt somit die Aufgabe zugrunde, einen kapazitiven Sensor zu schaf­ fen, der eine Mehrzahl von Störgrößen eliminiert, und so eine deutlich verbesserte Meßgenauigkeit gewährleistet.

Die zuvor erläuterte und dargelegte Aufgabe ist erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß eine Steuerschaltung vorgesehen ist, daß die Stromrichtung der Konstantstromquelle von der Steuerschaltung gesteuert umschaltbar ist und daß der Meßkondensator von der Steuerschaltung gesteuert über die Konstantstromquelle abwechselnd auf positives und negatives Potential gegenüber dem Bezugspotential des Meßkondensators auflad­ bar ist. Durch die erfindungsgemäße Maßnahme ist gewährleistet, daß bei ent­ sprechender Mittelung der Sensorsignale sich die Störquellen aus den Sensorsignalen herausheben, die entweder von der Steigung des Potentials am Meßkondensator ab­ hängig sind oder vom Vorzeichen des am Meßkondensator anliegenden Potentials.

Im einzelnen gibt es nun eine Vielzahl von Möglichkeiten, das Massendurchflußmeß­ gerät auszugestalten und weiterzubilden. Dazu wird verwiesen einerseits auf die dem Patentanspruch 1 nachgeordneten Patentansprüche, andererseits auf die Beschreibung von bevorzugten Ausführungsbeispielen in Verbindung mit der Zeichnung. In der Zeichnung zeigen

Fig. 1 ein Schaltbild eines erfindungsgemäßen kapazitiven Sensors,

Fig. 2a) und b) verschiedene Diagramme der Spannungsverläufe an einem Meßkond­ ensator bzw. an einem Referenzkondensator des erfindungsgemäßen kapazitiven Sensors und

Fig. 3 eine Ausführungsform des Layouts einer die elektronischen Bauteile des kapazitiven Sensors tragenden Platine.

In Fig. 1 ist das Schaltbild eines kapazitiven Sensors, insbesondere eines Drucksensors abgebildet. Der abgebildete kapazitive Sensor wird dadurch zum Drucksensor, daß er einen eine variable, druckabhängige Kapazität aufweisenden Meßkondensator 1 auf­ weist. Weiter weist der Drucksensor auf eine den Meßkondensator 1 ansteuernde An­ steuerschaltung 2 und eine die Kapazität des Meßkondensators 1 auswertende und ein druckabhängiges Sensorsignal ausgebende Auswerteschaltung 3. Die Ansteuerschal­ tung 2 wiederum weist eine den Meßkondensator 1 aufladende Konstantstromquelle 4 auf.

Erfindungsgemäß ist der in Fig. 1 dargestellte Drucksensor dadurch gekennzeichnet, daß eine nicht dargestellte Steuerschaltung vorgesehen ist, daß die Stromrichtung der Konstantstromquelle 4 von der Steuerschaltung gesteuert umschaltbar ist und daß der Meßkondensator 1 von der Steuerschaltung gesteuert über die Konstantstromquelle 4 abwechselnd auf positives und negatives Potential gegenüber dem Bezugspotential des Meßkondensators 1 aufladbar ist. Die den Meßkondensator 1 aufladende Konstant­ stromquelle 4, deren Stromrichtung von der Steuerschaltung gesteuert umschaltbar ist, besteht aus einem Konstantstromoperationsverstärker 5, einem Koppelwiderstand 6, einem Referenzwiderstand 7, einem Gegenkopplungswiderstand 8 und einem Be­ zugswiderstand 9. Die Funktion einer solchen Konstantstromquelle ist in einer auf die Anmelderin zurückgehenden Anmeldung mit gleichem Datum beschrieben. Die Um­ schaltung der Konstantstromquelle 4 erfolgt über die Umpolung der an den Eingangs­ kontakten 10, 11 anliegenden Referenzspannung durch die nicht dargestellte Steuer­ schaltung. Die hier nicht dargestellte Steuerschaltung ist vorteilhaft als Mikroprozes­ sor ausgebildet.

Der in Fig. 1 dargestellte Drucksensor wird dadurch bevorzugt weitergebildet, daß die Auswerteschaltung 3 das Sensorsignal sowohl aus dem positiven Ladevorgang als auch dem negativen Ladevorgang des Meßkondensators 1 bestimmt und daß das aus dem positiven Ladevorgang des Meßkondensators 1 ermittelte Sensorsignal und das aus dem negativen Ladevorgang des Meßkondensators 1 ermittelte Sensorsignal in der Auswerteschaltung 3 mittelbar ist. Durch diese Mittelung ist gewährleistet, daß sich die Störquellen herausheben, die beim positiven Ladevorgang und beim negativen La­ devorgang in entgegengesetzten Richtungen wirken.

Bei dem in Fig. 1 dargestellten Drucksensor weist die Ansteuerschaltung 2 einen dem Meßkondensator 1 zugeordneten Spannungsfolger 12 auf, so daß ein wesentlicher Anteil des von der Konstantstromquelle 4 gelieferten Konstantstromes am Meßkon­ densator 1 über den Spannungsfolger 12 vorbeifließt (vgl. DE-A-43 40481).

Bei der bisherigen Betrachtungsweise ist nicht berücksichtigt worden, daß der in Fig. 1 dargestellte Drucksensor neben dem Meßkondensator 1 einen Referenzkonden­ sator 13 aufweist. Dieser Referenzkondensator 13 wird bei dem in Fig. 1 dargestellten Drucksensor von einer zweiten Konstantstromquelle 14 der Ansteuerschaltung 2 auf­ geladen. Bei dem in Fig. 1 dargestellten Drucksensor ist neben der Kapazität des Meßkondensators 1 die Kapazität des Referenzkondensators 13 von der Auswerte­ schaltung 3 auswertbar. In der auf die Anmelderin zurückgehenden Anmeldung vom gleichen Datum ist eine Schaltung eines kapazitiven Sensors offenbart, bei der Meß­ kondensator und Referenzkondensator von einer gemeinsamen Konstantstromquelle aufladbar sind. Die erfindungsgemäße Lehre ist selbstverständlich auch bei einem der­ artig ausgestalteten kapazitiven Sensor verwirklichbar.

Die den Referenzkondensator 13 aufladende zweite Konstantstromquelle 14 ist ebenso wie die Konstantstromquelle 4 von der nicht dargestellten Steuerschaltung gesteuert einschaltbar, so daß der Referenzkondensator 13 von der Steuerschaltung gesteuert über die den Referenzkondensator 13 aufladende zweiten Konstantstromquelle 14 ab­ wechselnd auf positives und negatives Potential gegenüber dem Bezugspotential der Kondensatoren 1, 13 aufladbar ist. Die zweite Konstantstromquelle 14 ist zu diesem Zweck analog zur Konstantstromquelle 4 aufgebaut, besteht also aus einem zweiten Konstantstromoperationsverstärker 15, einem zweiten Koppelwiderstand 16, einem zweiten Referenzwiderstand 17, einem zweiten Gegenkopplungswiderstand 18 und ei­ nem zweiten Bezugswiderstand 19. Die zweite Konstantstromquelle 14 ist ebenso wie die Konstantstromquelle 4 an die Eingangskontakte 10, 11 für die von der nicht darge­ stellten Steuerschaltung gelieferte Referenzspannung angeschlossen. Außerdem weist die Ansteuerschaltung 2 des in Fig. 1 dargestellten Drucksensors einen den Referenz­ kondensator 13 zugeordneten zweiten Spannungsfolger 20 auf, so daß ein wesentlicher Anteil des von der zweiten Konstantstromquelle 14 gelieferten Konstantstroms am Re­ ferenzkondensator 13 über den zweiten Spannungsfolger 20 vorbeifließt.

Der in Fig. 1 dargestellte Drucksensor ist weiter dadurch ausgestaltet, daß die Auswer­ teschaltung 3 das Sensorsignal sowohl aus dem positiven Ladevorgang als auch dem negativen Ladevorgang des Meßkondensators 1 und des Referenzkondensators 13 be­ stimmt und daß das aus dem positiven Ladevorgang des Meßkondensators 1 und des Referenzkondensators 13 ermittelte Sensorsignal und daß aus dem negativen Ladevor­ gang des Meßkondensators 1 und des Referenzkondensators 13 ermittelte Sensorsignal in der Auswerteschaltung 3 mittelbar ist. Durch diese Maßnahme wird gewährleistet, daß die je nach Vorzeichen des Ladevorgangs umgekehrt wirkenden Störquellen aus dem aus den Kapazitäten des Meßkondensators 1 und des Referenzkondensators 13 ermittelten Sensorsignalen eliminierbar sind.

Der in Fig. 1 dargestellte Drucksensor bestimmt das Sensorsignal dadurch, daß die Auswerteschaltung 3 von der nicht dargestellten Steuerschaltung gesteuert die Stei­ gung der Differenz der am Meßkondensator 1 und am Referenzkondensator 13 anlie­ genden Spannungen in einem Zeitraum während der gleichzeitigen Aufladung be­ stimmt (vgl. DE-A-43 40 481). Hierzu weist der Drucksensor einen Differenzver­ stärker 21 und einen Differentiator 22 auf. Selbstverständlich sind auch andere Ausge­ staltungen des Drucksensors denkbar, beispielsweise mit einer gemeinsamen Kon­ stantstromquelle, wie sie in der auf die Anmelderin zurückgehenden Anmeldung mit gleichem Datum beschrieben ist.

Der in Fig. 1 dargestellte erfindungsgemäße Drucksensor ist besonders vorteilhaft da­ durch ausgestaltet, daß die Auswerteschaltung 3 das Sensorsignal aus einem Intervall des Ladevorgangs symmetrisch zum Nulldurchgang der Ladespannung des Meßkon­ densators 1 bestimmt. Durch diese Maßnahme werden zusätzlich sämtliche Störquel­ len eliminiert, die ausschließlich vom Vorzeichen der an den Kondensatoren 1, 13 an­ liegenden Spannungen abhängig sind. Eine solche Störquelle wird beispielsweise durch die von den Konstantströmen abzuziehenden Kriechströme von den Konstant­ stromquellen 4, 14 gegen Masse gebildet.

In Fig. 2 der Zeichnung ist ein beispielhafter Verlauf der an dem Meßkondensator 1 und dem Referenzkondensator 13 anliegenden Spannungen dargestellt. In Fig. 2a) ist die Ladespannung dargestellt, die beispielsweise am Meßkondensator 1 anliegt. Die am Referenzkondensator 13 anliegende Ladespannung folgt in etwa dem in Fig. 2a) dargestellten Verlauf der Ladespannung des Meßkondensators 1, weist jedoch bei un­ terschiedlicher Kapazität des Meßkondensators 1 und des Referenzkondensators 13 eine abweichende Steigung während des positiven und des negativen Ladevorgangs auf. In Fig. 2b) ist die Differenz der Ladespannungen am Meßkondensator 1 und am Referenzkondensator 2 bei unterschiedlichen Steigungen der Ladespannungen darge­ stellt. Man erkennt zum einen die durch vom Vorzeichen des Ladevorgangs abhängige Störquellen, wie z. B. Offsetspannungsdriften der Operationsverstärker und Driften der Eingangsströme der Operationsverstärker, verursachten unterschiedliche Steigungen der Differenzen der Ladespannungen des Meßkondensators 1 und des Referenzkon­ densators 13. Man erkennt weiter die Steigungsänderung während eines Ladevorgangs abhängig vom Vorzeichen der Ladespannung, wie sie etwa durch Kriechströme des Ladestroms gegen Masse verursacht werden. Wie bereits beschrieben werden durch entsprechende Maßnahmen diese Störquellen eliminiert.

Die zuletzt beschriebene Maßnahme wird besonders vorteilhaft dadurch weitergebil­ det, daß das Design des Layouts einer die elektronischen Bauteile des kapazitiven Sensors tragenden Platine 23 nur Oberflächenwiderstände 24 zwischen den Konstant­ strombahnen 25 und Masse zuläßt. Eine solche Maßnahme ist in Fig. 3 der Zeichnung dargestellt. Diese Maßnahme ist deshalb besonders vorteilhaft, da dadurch, daß die Auswerteschaltung 3 das Sensorsignal aus einem in Fig. 2 schraffiert dargestellten In­ tervall des Ladevorgangs symmetrisch zum Nulldurchgang der Ladespannung des Meßkondensators 1 bestimmt, nur die Störquellen eliminiert werden, die durch Ober­ flächenwiderstände 24 verursacht werden, die die Konstantstrombahnen 25 unmittel­ bar mit Masse verbinden. Dies wird bei der in Fig. 3 dargestellten Platine 23 dadurch gewährleistet, daß die auf der Platine verlaufenden Konstantstrombahnen von einer mit Masse verbundenen Leiterbahn 26 umgeben sind.

Wie in Fig. 2a) dargestellt, ist der kapazitive Sensor besonders vorteilhaft dadurch weitergebildet, daß die Konstantstromquellen 4, 14 beim positiven Ladevorgang und beim negativen Ladevorgang eine Spannungsbegrenzung aufweisen. Durch diese Spannungsbegrenzung ist gewährleistet, daß zumindest der Meßkondensator 1 bei sehr stark verringerter Kapazität nicht überladen werden kann.

Eine weitere besonders vorteilhafte Ausgestaltung des kapazitiven Sensors ergibt sich dadurch, daß die nicht dargestellte Steuerschaltung die Konstantstromquellen 4, 14 so lange in der Spannungsbegrenzung betreibt, bis die am Meßkondensator 1 anliegende Spannung mit der am Referenzkondensator 13 anliegenden Spannung übereinstimmt.

Durch diese Maßnahme ist gewährleistet, daß der positive und der negative Ladevor­ gang der Kondensatoren 1, 13 immer von einem gemeinsamen Potential aus erfolgt, und so sehr gut reproduzierbar ist.

Da bei dem in Fig. 1 dargestellten Drucksensor am Ausgang des Differentiators 22 ein Sensorsignal mit wechselnden Vorzeichen anliegt, weist die Auswerteschaltung 3 einen diese Sensorsignale gleichrichtenden Gleichrichter 27 auf. Da der Ausgang die­ ses Gleichrichters 27 wenig belastet werden darf, weist die Auswerteschaltung 3 weiter einen hochohmigen Verstärker 28 auf. Am Ausgang des hochohmigen Verstär­ kers 28 ist, wie aus der DE-A-43 40 481 bekannt, ein von der nicht dargestellten Steuerschaltung gesteuertes Abtast-Halte-Glied 29 angeordnet.

Schließlich wird der erfindungsgemäße kapazitive Sensor dadurch besonders vorteil­ haft ausgestaltet, daß die nicht dargestellte Steuerschaltung abhängig vom Vorzeichen des Ladevorgangs eine Offsetspannung an die Auswerteschaltung anlegt, so daß si­ chergestellt ist, daß das Sensorsignal am Eingang des Gleichrichters 27 während eines positiven Ladevorgangs bzw. eines negativen Ladevorgangs einmal positiv und einmal negativ ist, also die Mittelwertbildung der beiden Sensorsignale nicht zu einem fehler­ haften Meßwert führt.

Claims (9)

1. Kapazitiver Sensor, insbesondere Drucksensor, mit einem eine variable, insbeson­ dere druckabhängige Kapazität aufweisenden Meßkondensator (1), mit einer den Meßkondensator (1) ansteuernden Ansteuerschaltung (2) und mit einer die Kapazität des Meßkondensators (1) auswertenden und ein insbesondere druckabhängiges Sen­ sorsignal ausgebenden Auswerteschaltung (3), wobei die Ansteuerschaltung (2) eine den Meßkondensator (1) aufladende Konstantstromquelle (4) aufweist, dadurch ge­ kennzeichnet, daß eine Steuerschaltung vorgesehen ist, daß die Stromrichtung der Konstantstromquelle (4) von der Steuerschaltung gesteuert umschaltbar ist und daß der Meßkondensator (1) von der Steuerschaltung gesteuert über die Konstantstrom­ quelle (4) abwechselnd auf positives und negatives Potential gegenüber dem Be­ zugspotential des Meßkondensators (1) aufladbar ist.

2. Kapazitiver Sensor, nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Auswerte­ schaltung (3) das Sensorsignal sowohl aus dem positiven Ladevorgang als auch dem negativen Ladevorgang des Meßkondensators (1) bestimmt und daß das aus dem posi­ tiven Ladevorgang des Meßkondensators (1) ermittelte Sensorsignal und das aus dem negativen Ladevorgang des Meßkondensators (1) ermittelte Sensorsignal in der Aus­ werteschaltung (3) mittelbar ist.

3. Kapazitiver Sensor nach Anspruch 1 oder 2, mit einem - ggf. eine variable, insbe­ sondere druckabhängige Kapazität aufweisenden - Referenzkondensator (13), wobei die Konstantstromquelle (4) oder eine zweite Konstantstromquelle (14) der Ansteuer­ schaltung (2) den Referenzkondensator (13) auflädt und wobei zur Ausgabe des Sen­ sorsignals die Kapazität des Referenzkondensators (14) von der Auswerteschaltung (3) auswertbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß die den Referenzkondensator (13) aufla­ dende Konstantstromquelle (14) von der Steuerschaltung gesteuert umschaltbar ist und daß der Referenzkondensator (13) von der Steuerschaltung gesteuert über die den Referenzkondensator (13) aufladende Konstantstromquelle (14) abwechselnd auf posi­ tives und negatives Potential gegenüber dem Bezugspotential der Kondensato­ ren (1, 13) aufladbar ist.

4. Kapazitiver Sensor nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Auswerte­ schaltung (3) das Sensorsignal sowohl aus dem positiven Ladevorgang als auch dem negativen Ladevorgang des Meßkondensators (1) und des Referenzkondensators (13) bestimmt und daß das aus dem positiven Ladevorgang des Meßkondensators (1) und des Referenzkondensators (13) ermittelte Sensorsignal und das aus dem negativen La­ devorgang des Meßkondensators (1) und des Referenzkondensators (13) ermittelte Sensorsignal in der Auswerteschaltung (3) mittelbar ist.

5. Kapazitiver Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Auswerteschaltung (3) das Sensorsignal aus einem Intervall des Ladevorgangs symmetrisch zum Nulldurchgang der Ladespannung des Meßkondensators (1) be­ stimmt.

6. Kapazitiver Sensor nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Design des Layouts einer die elektronischen Bauteile des kapazitiven Sensors tragenden Pla­ tine (23) nur Oberflächenwiderstände (24) zwischen den Konstantstrombahnen (25) und Masse zuläßt.

7. Kapazitiver Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Konstantstromquellen (4, 14) beim positiven Ladevorgang und beim negativen Ladevorgang eine Spannungsbegrenzung aufweisen.

8. Kapazitiver Sensor nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuerschal­ tung die Konstantstromquellen (4, 14) solange in der Spannungsbegrenzung betreibt bis die am Meßkondensator (1) anliegende Spannung mit der am Referenzkondensa­ tor (13) anliegenden Spannung übereinstimmt.

9. Kapazitiver Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Auswerteschaltung (3) einen die Sensorsignale gleichrichtenden Gleichrichter (27) aufweist.