DE2906075A1

DE2906075A1 - Dewargefaess und verfahren zu seiner herstellung

Info

Publication number: DE2906075A1
Application number: DE19792906075
Authority: DE
Inventors: Marvin Henry Anderson; George Chmyz; Jun George Dewey Kneip
Original assignee: Varian Associates Inc
Current assignee: Varian Medical Systems Inc
Priority date: 1978-02-21
Filing date: 1979-02-16
Publication date: 1979-08-30
Also published as: FR2417719B1; JPH0260584B2; JPH0432555B2; CA1116107A; DE2906075C2; JPH01251677A; JPS54128821A; CH639744A5; FR2417719A1; GB2015720A; GB2015720B

Description

PATENTANWÄLTE DR. CLAUS REINLÄNDER DIPL.-ING. KLAUS BERNHARDT Orthstraße 12 · D-8000 München 60 · Telefon 832024/5 2 9 0 6 0 7 B Telex 5212744 · Telegramme Interpatent

•4.

Vl P487 D

Varian Associates, Inc.

611 Hansen Way, Palo Alto, CaI., USA

Dewargefäß und Verfahren zu seiner Herstellung

Priorität: 21. Feb. 1978 - USA - Ser. No. 879 290

Zusammenfassung

Ein FlUssigstickstoff-Dewargefäß weist eine gesponnene Büchse für den flüssigen Stickstoff auf, die von einer äußeren Schale umgeben ist. Zwischen der äußeren Schale und der Büchse befindet sich ein evakuierter Raum, der eine zweite Schale enthält, die als Strahlungsschirm wirkt. Die Kanne und beide Schalen sind aus einer Aluminiumlegierung mit einem sehr hohen Prozentsatz an Aluminium gebildet. Die äußere Büchsenfläche, die Innenfläche der Außenschale und beide Oberflächen der zweiten Schale haben ein sauberes, unzerfressenes, glattes, mattes, schmutzfreies und geätztes Aussehen frei von Verfärbungen und Flecken, so daß diese Oberflächen niedrige Strahlungsemissionseigenschaften haben und ein minimaler Betrag Strahlungsenergie von der Außenschale zur Büchse übertragen wird .und der flüssige Stickstoff in der Büchse im verringerten Umfang erwärmt wird. Jede der

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Oberflächen wird zunächst poliert, entweder mechanisch, elektrochemisch oder chemisch, und dann chemisch mit einem Ätzmittel aus Salpetersäure und Fluorwasserstoffsäure ausreichend lange behandelt» um das gewünschte Aussehen zu erreichen.

Gebiet der Erfindung

Die Erfindung betrifft allgemein Flüssigstickstoff-Dewargefäße und ein Verfahren zu ihrer Herstellung, insbesondere ein Flüssigstickstoff-Dewargefäß mit Oberflächen geringer Strahlungsemissionsfähigkeit mit sauberem, unzerfressenem, glattem, mattem, schmutzfreiem und geätztem Aussehen frei von Verfärbungen und Flecken als Resultat einer chemischen Behandlung mit einem Ätzmittel aus Salpetersäure und Fluorwasserstoffsäure.

Behälter oder Dewargefäße zur Aufbewahrung von Stickstoff in einem flüssigen, kryogenen Zustand werden gewöhnlich als Metallbüchse geformt, in die der flüssige Stickstoff eingebracht wird, die Büchse ist gewöhnlich von einer Schale umgeben. Der Zwischenraum zwischen der Büchse und der Schale wird evakuiert, um die Wärmeleitung vom Äußeren der Schale zum Inneren der Büchse zu verringern. Zusätzlich ist es im allgemeinen erwünscht, die übertragung von Strahlungsengergie von außerhalb der Schale zur Außenfläche der Büchse zu minimieren.

Beim Stand der Technik sind relativ geringe Strahlungsmengen zwischen der Schale und dem Äußeren der Büchse übertragen worden, indem sowohl die Büchse als auch die Schale aus einer Aluminiumlegierung mit einem sehr hohen Prozentsatz, beispielsweise 99 %, an Aluminium hergestellt wurden. Das Innere der Schale und das Äußere der Büchse werden gewöhnlich mechanisch zu einem schimmernden Hochglanz poliert, ein Arbeitsgang,, der im wesentlichen auch Werkzeugmarken entfernt, die während der Bearbeitung dieser Teile auf der Schale und Büchse entstehen. Nachdem die Büchse und die Schale mechanisch poliert sind,

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werden sie dampfentfettet, um Feilspäne, Schmutz und andere Fremdstoffe von den Oberflächen der Büchse und Schale zu entfernen, so daß diese Überflächen relativ niedrige Strahlungsenergieemissionsfähigkeiten von etwa 0,024 bei der Temperatur flüssigen Stickstoffs, 77° K, haben. Strahlungsenergieemissionsfähigkeit wird in der üblichen Weise definiert, d. h. als das Verhältnis der Strahlung, die von einer Oberfläche emittiert wird, zu der Strahlung, die von einem perfekten Schwarzkörperstrahler bei der gleichen Temperatur emittiert wi rd.

Die bekannten Techniken zur Herabsetzung der Emissionsfähigkeit von Schale und Büchse sind zwar für viele Zwecke befriedigend, für andere Zwecke war die Emissionsfähigkeit jedoch nicht ausreichend herabgesetzt. Insbesondere, wenn es erwünscht ist, den Stickstoff für längere Zeitdauern in einem flüssigen Zustand zu erhalten, beispielsweise drei Monate, so ist die Emissionsfähigkeit der Büchse und der Schale bekannter Art zu hoch, wenn das Aluminium nur poliert ist.

Kurzbeschreibung der Erfindung

Erfindungsgemäß wird eine erhebliche Herabsetzung der Strahlungsemissionsfähigkeit von gesponnenen Büchsen und Schalen aus Aluminiumlegierungsblechen erreicht, die in Dewargefäßen für Flüssigstickstoff verwendet werden. Die Herabsetzung der Emissionsfähigkeit wird erreicht, weil die innere Oberfläche der Schale und die äußere Oberfläche der Büchse ein sauberes, von Zerfressungen freies, glattes, mattes, schmutzfreies und geätztes Aussehen frei von Verfärbungen und Flecken haben, das sich dadurch ergibt, daß die polierten Oberflächen chemisch mit einem Ätzmittel aus Salpetersäure und Fluorwasserstoffsäure behandelt werden (der Ausdruck "schmutzfrei" (smut free) ist in der Aluminiumbehandlungstechnik bekannt und bedeutet, daß die Oberfläche nicht grau oder schwarz ist). Die Oberflächen werden mit dem Ätzmittel chemisch für Zeitspannen zwischen 15 und 45 Sekunden behandelt, bis das gewünschte Aussehen erreicht ist, was gewöhnlich geschieht, wenn ein mil (25 Mikro-

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meter) entfernt worden sind. Wenn die Oberfläche kurzer als die adäquate Zeit behandelt worden ist, ist sie nicht ausreichend gesäubert, mattiert oder schmutzfrei und kann verfärbt oder verfleckt sein. Wenn die Oberfläche zu lange behandelt wird₉ wird sie zerfressen und ist nicht glatt. In beiden Fällen ist die Emissionsfähigkeit der Oberfläche erhöht,, verglichen mit der Emissionsfähigkeit für eine richtige Behandlungsdauer. Teste, die mit Dewargefäßen durchgeführt wurdens, deren Oberflächen nach der Erfindung hergestellt worden sind_s zeigen etwa 35 % Herabsetzung der Emissionsfähigkeit., verglichen mit dem Stand der Technik.

Das Aluminiumblech kann entweder mechanisch, elektrochemisch oder chemisch poliert werden. Wenn eine mechanische Einrichtung verwendet wird₉ ist das Vorgehen identisch mit dem des Standes der Technik. Elektrochemisches,, d. h. elektrolytisches Polieren wird in einem Borflußsäurebad (2,5 Gewichtsprozent) von 85 ⁰F (29,4° C) bei einer

2 Stromdichte von 10 bis 20 Ampere pro Quadratfuß (10,8 mA/cm ) und Spannungen von 15 bis 30 Volt für 5 bis 10 Minuten erreicht (US-PS 2 108 603). Wenn chemisches Polieren verwendet WiTd₉ erfolgt das Polieren mit einem wässrigen Bad aus Phosphor- und Salpeter-Säuren (US-PS 2 729 551) oder in einem Bad aus Phosphor-Essig- und Salpeter-Säuren (US-PS 2 650 157).

Es wird zwar anerkannt, daß Aluminiumoberflächen bereits mit einem Ätzmittel aus Salpetersäure und Fluorwasserstoffsäure nach dem mechanischen Polieren behandelt worden sind₉ die bekannten Bearbeitungsweisen standen jedoch allgemein in Verbindung mit der Herstellung von Vakuumgeräten, bei denen die Strahiungsemissionsfähigkeit kein Gesichtspunkt ist. Die Erfindung verwendet die bekannte Technik» um das unerwartete Resultat einer herabgesetzten Strahiungsemissionsfähigkeit zu erreichenj, um dazu bei zutragen, ein Kryogen-Dewargefäß auf Temperaturen vom flüssigen Stickstoff zu halten.

Gemäß einem anderen Aspekt der Erfindung weist der evakuierte Raum zv/isehen der Büchse für den flüssigen Stickstoff und der Äußenschale des Dewargefäßes eine zweite Schale aus gesponnener Aluminiumlegierung

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auf, deren beide Oberflächen die gleiche niedrige Emissionsfähigkeit haben wie die innere Oberfläche der Schale und die äußere Oberfläche der Büchse. Dabei absorbiert die Außenfläche der zweiten Schale einen kleinen Prozentsatz der Strahlung, die von der Innenfläche der ersten Schale emittiert wird, und die Innenfläche der zweiten Schale emittiert einen kleinen Betrag an Strahlungsernergie in Richtung zur Büchse.

Aufgabe der Erfindung ist es also, ein neuartiges und verbessertes Dewargefäß für Flüssigstickstoff und ein Verfahren zu dessen Herstellung verfügbar zu machen.

Weiter ist es Aufgabe der Erfindung, ein Flüssigstickstoff-Dewargefäß mit herabgesetzter Strahlungsenergieemissionsfähigkeit zu schaffen, sowie ein Verfahren zu dessen Herstellung.

Weiter soll durch die Erfindung ein neues und verbessertes Flüssigstickstoff-Dewargefäß verfügbar gemacht werden, in dem flüssiger Stickstoff für extrem lange Zeitspannen, beispielsweise 90 Tage,gelagert werden kann und ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Dewargefäßes.

Diese und weitere Aufgaben und Merkmale sowie Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der folgenden Beschreibung in Verbindung mit der Zeichnung, in der ein Schnitt durch ein Dewargefäß dargestellt ist, das entsprechend der Erfindung hergestellt ist.

In der Zeichnung ist ein Dewargefäß 10 dargestellt, das in Verbindung mit einem Spektrometer für die magnetische Kernresonanz verwendet wird, das eine supraleitende Spule 11 aufweist, die ein Magnetfeld Hq relativ hoher Intensität in Längsrichtung der Spule durch eine Probe 12 erzeugt, das in einer Phiole 13 angeordnet ist. Die Probe 13 wird mit HF-Energie zur magnetischen Kernresonanz angeregt, die von einer HF-Impulsquelle 15 Spulen 14 zugeführt wird. Die Spulen 14 sind so gewickelt, daß ihre Achsen rechtwinklig zum Feld Hq liegen. Eine Auffangspule 16, die in der Nachbarschaft der Probe 13 angeordnet ist und auf von der Probe

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abgestrahlte Energie anspricht, liefert ein geeignetes Signal an einen HF-Empfänger 17. Die Spule 16 ist so angeordnet, daß ihre Achse rechtwinklig zu den Achsen der Spulen 14 sowie zur Richtung des Feldes Hq liegt. Der Empfänger 17 kann geeignete Fourieranalyseeinrichtungen aufweisen, um ein Ausgangssignal abzuleiten, das einem X-Y-Schreiber 18 zugeführt wird, der die Spektralantwort der Probe auf verschiedene Frequenzen vom Sender 15 aufzeichnet. Leistung wird der Spule 11 anfänglich mit einer Gleichstromversorgung 18 zugeführt, die von der Spule getrennt wird, wenn diese im persistenten Supraleitungsbetrieb arbeitet.

Die Spule 11 wird in einem supraleitenden Zustand gehalten, auf der Temperatur von flüssigem Helium (4,2° K), weil sie im Zylinder 21 angeordnet ist, der seinerseits von einem Flüssigheliumreservoir 23 umgeben ist, das in einer Büchse 24 enthalten ist. Die Büchse 24 befindet sich unterhalb eines Flüssigstickstoffreservoirs, das von einer Büchse 25 gebildet ist. Die Büchsen 24 und 25 befinden sich im Inneren einer Schale 26, die das Äußere des Dewargefäßes bilden. Zwischen dem Äußeren der Büchse 24 und dem Inneren der Schale 26 befindet sich ein evakuiertes Volumen, ausgenommen wo die Büchse angeordnet ist. Im evakuierten Volumen befinden sich Wärmeschimie 27, 28 und 29. Der Schirm 27 ist zwischen der Außenfläche der Büchse und der Innenfläche des Schirms 28 sowie zwischen dem Boden 31 der Büchse 25 und dem Äußeren der Büchse 24 angeordnet. Der Schirm 29 ist zwischen der Außenwand des Schirms 28 und der Innenwand der Schale 26 positioniert, sowie zwischen der Seitenwand 32 und dem Deckel der Büchse 25 und der Innenfläche der Schale 26.

Jede der Büchsen 24 und 25 ebenso wie die Schale 26 und die Schirme 27, 28 und 29 bildet im wesentlichen eine isothermische Fläche, die aus gesponnenem Blechen aus Aluminiumlegierung mit einem sehr hohen Prozentsatz an Aluminium gebildet sind. Vorzugsweise ist die Aluminiumlegierung

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1100-0, eine Legierung, die leicht von verschiedenen Herstellern erhältlich ist, beispielsweise Reynolds oder Alcoa. Die Legierung hat einen Aluminiumgehalt von wenigstens 99 %, einen maximalen Eisen- und SiIiciumgehalt von 1 %, einen maximalen Kupfergehalt von 0,2 %, einen maximalen Mangangehalt von 0,05 % und einen maximalen Zinkgehalt nicht größer als 0,1 %.

Um die Strahlungsenergieübertragung zwischen der Innenfläche der Schale 26 und der Außenfläche der Büchse 25 zu minimieren, haben die Innenfläche der Schale, die Außenfläche der Büchse und beide Oberflächen des Schirms 29 niedrige thermische Emissionsfähigkeit, weil sie speziell behandelt sind, um sauberes, zerfressungsfreies, glattes, mattes, schmutzfreies und geätztes Aussehen frei von Verfärbungen und Flecken zu haben. Alle diese Oberflächen sind in der gleichen Weise behandelt, um die gewünschten Resultate zu erreichen.

Nachdem die Büchse 25, die Schale 26 und der Schirm 29 gesponnen worden sind, werden sie poliert, entweder mechanisch, elektrolytisch oder chemisch. Das mechanische Polieren schließt die üblichen Schleif- und Schwabbelarbeiten ein, so daß die interessierende Oberfläche einen schimmernden Hochglanz aufweist, wobei praktisch alle Werkzeugmarken von dem Spinnvorgang entfernt werden. Elektrolytisches oder chemisches Polieren, die wesentlich weniger aufwendig sind und deshalb erwünschter als mechanisches Polieren, kann in der oben erwähnten Weise erreicht werden. Nachdem die Oberfläche poliert worden ist, wird das Teil in einem Bad aus flüssigem Trichloräthylen dampfentfettet, das Dämpfe abgibt, um Schmutz, Feilspäne und andere Fremdstoffe zu entferner.. Das Teil wird dann mit einem Detergenz, beispielsweise Oakite 27, gesäubert, das vom Teil mit einer Heißwasserspülung entfernt wird.

Die interessierende Oberfläche wird dann chemisch mit einer Ätzlösung aus etwa 20 Volumprozent Salpetersäure, 4 Volumprozent Fluorwasserstoffsäure, Rest entionisiertes Wasser, behandelt. Das Ätzmittel greift

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die Oberfläche 15 bis 45 Sekunden lang an, so daß etwa 1 mil (25 Mikrometer) weggenommen werden, so daß Phosphate oder Chromate, die während des chemischen Polierens an der Oberfläche gehaftet haben können, weggenommen werden, und die Oberfläche hat das gewünschte zerfressungsfreie, glatte, matte, schmutzfreie und geätzte Aussehen, das frei von Verfärbungen und Flecken ist. Anfänglich hat das Ätzbad die angegebenen Anteile. Nachdem das Ätzbad eine Zeitlang benutzt worden ist, ändern sich die Anteile etwas. Der Säuregehalt wird aufgrund einer periodischen Prüfung des spezifischen Gewichtes und der chemischen Analyse kontrolliert. Wenn diese Tests eine deutliche Änderung des Säureprozentsatzes zeigen, d. h. Verringerungen von etwa ein Viertel der Prozentsätze, wird zusätzliche Säure hinzugefügt oder ein das Bad enthaltender Tank wird gesäubert und eine neue Mischung verwendet.

Das Teil wird dann mit kaltem Leitungswasser abgespült und dann zweimal mit entionisiertem Wasser gespült. Nach der zweiten Spülung mit entionisiertem Wasser wird das Teil in einem geeigneten Tunnel getrocknet, gekühlt und dann zu Schutzzwecken in einen Polyäthylensack eingesetzt.

Das Dewar wird dadurch montiert, daß die verschiedenen Teile miteinander verbunden werden, wie in der Zeichnung dargestellt. Dann wird ein Vakuum aus dem ganzen Dewargefäß 10 durch die öffnung 35 in Schale gezogen, so daß alle Bereiche zwischen den verschiedenen Büchsen und Schirmen auf etwa 10~ Torr evakuiert werden. Die Büchse 25 wird dann durch öffnung 36 mit flüssigem Stickstoff gefüllt, so daß die Büchse schließlich auf die Temperatur des flüssigen Stickstoffs erniedrigt wird. Dann wird die Büchse 23 durch eine nicht dargestellte öffnung mit flüssigem Helium gefüllt, um die Temperatur der superleitenden Spule 11 auf die Temperatur von flüssigem HeIiUm₅ 4,2 ° K herabzusetzen.

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Es wurde festgestellt, daß die Oberflächen der Schale 26, der Büchse 25 und des Schirms 29, die erfindungsgemäß präpariert worden sind, Strahlungsenergieemissionsfähigkeiten haben, die erheblich niedriger liegen als beim Stand der Technik. Bekannte gesponnene Aluminiumoberflächen, die aus der gleichen Legierung hergestellt sind, wie sie zur Herstellung der Büchse 25, der Schale 26 und des Schirms 29 verwendet wurden, die mechanisch, elektrochemisch oder chemisch poliert worden sind, aber nicht mit der Salpetersäure-Fluorwasserstoffsäure-Mischung geätzt worden sind, haben allgemein Strahlungsenergie-Emissionsfähigkeiten von etwa 0,024 bei 77° K gehabt. Im Gegensatz dazu hatten Oberflächen, die chemisch mit dem Salpetersäure-Fluorwasserstoffsäure-Stzmittel behandelt worden sind, Strahlungsenergie-Emissionsfähigkeiten von etwa 0,016 bei 77° K. Es ergibt sich also eine Verbesserung von etwa 35 % hinsichtlich der Emissionseigenschaften der Teile aus gesponnenen Flächen aus sehr reiner Aluminiumlegierung 1100-0, die mit dem Salpetersäure-Fluorwasserstoffsäure-Bad nach der Erfindung behandelt worden sind.

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Claims

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Patentansprüche

Dewargefäß zur Aufbewahrung einer Flüssigkeit, insbesondere
flüssigen Stickstoffs, unter kryogenen Temperaturen, bestehend aus einer gesponnenen Büchse aus einer Aluminiumlegierung mit einem sehr hohen Prozentsatz an Aluminium für die Flüssigkeit, einer gesponnenen Schale aus einer Aluminiumlegierung mit einem sehr hohen Prozentsatz an Aluminium, die die Büchse umgibt und die eine Innenfläche hat, die zur Außenfläche der Büchse weist, wobei der Raum zwischen diesen beiden Flächen evakuiert ist,
dadurch gekennzeichnet, daß beide aufeinander zu weisenden
Flächen ein sauberes, zerfressungsfreies, glattes, mattes, schmutzfreies und geätztes Aussehen, frei von Verfärbungen und Flecken haben, so daß sich wesentliche Herabsetzungen der Strahlungsenergie
ergeben, die von der genannten Innenfläche zu der genannten Außenfläche gestrahlt wird, und daß die Wärme herabgesetzt ist, die von der genannten Außenfläche absorbiert wird, so daß die zum flüssigen Stickstoff übertragene Wärme entsprechend herabgesetzt ist.
2. Dewargefäß nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der Schale und der Büchse ein Strahlungsschirm angeordnet ist, der aus gesponnener Aluminiumlegierung mit einem sehr hohen Prozentsatz an Aluminium besteht, und daß beide Oberflächen des
Schirms ein sauberes, von Zerfressungen freies, glattes, mattes, schmutzfreies und geätztes Aussehen frei von Verfärbungen und Flecken haben.

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3. Dewargefäß nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,

daß die genannten Oberflächen eine Strahlungsenergie-Emissionsfähigkeit von etwa 0,016 bei 77° K haben.
4. Dewargefäß nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß alle genannten Oberflächen poliert und dann chemisch mit einem flüssigen Ätzmittel aus Salpetersäure und Fluorwasserstoffsäure behandelt worden sind.
5. Dewargefäß nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das gesponnene Aluminium mechanisch zu einem schimmernden Hochglanz poliert worden ist, um im wesentlichen alle Werkzeugmarken zu entfernen.
6. Dewargefäß nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das gesponnene Aluminium chemisch zu einem schimmernden Hochglanz poliert worden ist, um im wesentlichen alle Werkzeugmarken zu entfernen, und das Ätzmittel alle Chemikalien entfernt, die auf den Oberflächen durch das chemische Polieren niedergeschlagen worden sind.
7. Verfahren zur Herstellung eines Dewargefäßes nach einem der Ansprüche 1 bis 6, bei dem eine gesponnene Büchse aus einer Aluminiumlegierung mit einem sehr hohen Prozentsatz an Aluminium in eine Schale aus gesponnenem Blech aus Aluminiumlegierung mit einem sehr hohen Prozentsatz an Aluminium montiert wird, der Raum zwischen der Schale und der Büchse evakuiert und dann die Büchse mit der Flüssigkeit, insbesondere flüssigem Stickstoff, gefüllt wird, wobei die Außenfläche d°r Büchse und die Innenfläche der Schale vor der Montage zu einem schimmernden Hochglanz so weit poliert werden, daß im-wesentlichen ^aMe Werkzeugmarken entfernt werden, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden genannten Oberflächen mit einem flüssigen Ätzmittel aus Salpetersäure und 'Fluorwasserstoffsäure geätzt werdet^, bis diese beiden Oberflächen ein von Zerfressungen freies, glattes, mattes, schmutz-

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freies und geätztes Aussehen haben, daß frei von Verfärbungen und Flecken ist.
8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen die Büchse und die Schale eine zweite Schale aus gesponnener Aluminiumlegierung mit einem sehr hohen Prozentsatz an Aluminium montiert wird, wobei vor der Montage beide Oberflächen der zweiten Schale zu einem schimmernden Hochglanz poliert werden, so daß praktisch alle Werkzeugmarken entfernt werden, und beide Oberflächen der zweiten Schale mit einem flüssigen Ätzmittel aus Salpetersäure und Fluorwasserstoffsäure vorbehandelt werden, bis beide Oberflächen der zweiten Schale ein von Zerfressungen freies, glattes, helles und geätztes Aussehen haben, das frei von Verfärbungen und Flecken ist.
9. Verfahren nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß die genannten Oberflächen mechanisch poliert werden.
10. Verfahren nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß die genannten Oberflächen chemisch poliert werden und das Ätzmittel irgendwelche Chemikalien entfernt, die durch das chemische Polieren auf die Oberfläche niedergeschlagen sind.
11. Verfahren nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberflächen elektrochemisch poliert werden.
12. Verfahren nach einem der Ansprüche 7 bis 11, dadurch gekennzeichnet daß das Ätzmittel aus etwa 4 Volumprozent Fluorwasserstoffsäure, etwa 20 Volumprozent Salpetersäure, Rest entionisiertes Wasser, besteht.
13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß jede Oberfläche 15 bis 45 Sekunden lang mit dem Ätzmittel behandelt wird.

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