DE2855161A1 - Einrichtung zur bestimmung des spezifischen gewichtes von ausgewaehlten bereichen von mikroskopisch kleinen, planparallelen probeteilen - Google Patents
Einrichtung zur bestimmung des spezifischen gewichtes von ausgewaehlten bereichen von mikroskopisch kleinen, planparallelen probeteilenInfo
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Description
J. REITSTÖTTER W. KINZEBACH
W. BUNTE (ΐ95Β-ΐ87β) ι K. P. HÖLLER
TELEFON: (08O) 37 OS 83 TELEX: 521Ü208 ISAR D
BAUERSTRASSE: 23, 800O MONCHBN
den 20. Dezember 1978
M/19 303
M/19 366
M/19 366
österreichische Studiengesellschaft für Atomenergie
Ges. m.b.H.
Lenaugasse 10, A-1082 Wien (Österreich)
Lenaugasse 10, A-1082 Wien (Österreich)
Einrichtung zur Bestimmung des spezifischen Gewichtes von ausgewählten
Bereichen von mikroskopisch kleinen, planparallelen
Probeteilen
POSTANSCHRIFT I POSTfACH 780. D-8000 MÜNCHEN 43
909827/0815
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Die Erfindung bezieht sich auf eine Einrichtung zur Bestimmung des spezifischen Gewichtes von ausgewählten Bereichen von mikroskopisch
kleinen, z.B. 5 /im bis 1 mm großen, ungefähr planparallelen
Probeteilen.
Die Bestimmung des spezifischen Gewichtes von ausgewählten Bereichen
ist auf manchen technischen Gebieten von großer Bedeutung, da dieses sehr oft als signifikantes Merkmal für das
Vorliegen bestimmter Eigenschaften dient.
Beim gasgekühlten Hochtemperaturreaktor werden zur Rückhaltung von Spaltprodukten in den zwischen 1oo und 8ooyum großen Brennstoffkernen
im wesentlichen Pyrokohlenstoffschichten als Hüllmaterial verwendet. Pyrokohlenstoff kann durch Variation der
Abscheideparameter und des bei der thermischen Zersetzung zur Beschichtung verwendeten Gases mit verschiedenen Eigenschaften
und verschiedenen spezifischen Gewichten hergestellt werden.Die mit Brennstoffteilchen verwendeten Pyrokohlenstoffschichten
müssen wähjrend der Bestrahlung den verschiedenen Beeinflussungen
standhalten, was durch die Wahl von geeigneten Schichten möglich ist. Unmittelbar um den Kern wird eine ca. 3o bis loop dicke
poröse Kohlenstoffschichte aufgebracht, deren Aufgabe es ist,
freies Volumen zur Aufnahme der abbrandbedingten Kernschwel2ung
und der gasförmigen Spaltprodukte zur Verfügung zu stellen. Auf diese sogenannte Bufferschicht folgen eine oder mehrere Schichten
spezifisch schwerere Schichten aus dichtem Pyrokohlenstoff, fallweise auch
Siliziumkarbid, mit einer Dicke von 7o bis 150^m, deren Funktion
es ist, einerseits die Diffusion von Spaltprodukten aus dem Kern zu verhindern, anderseits einen Druckkessel für die
gasförmigen Spaltprodukte zu bilden. Während der vergangenen Jahre wurde eine Reihe von Meßmethoden und Meßverfahren zur
Qualitätskontrolle von Pyrokohlenstoff entwickelt, welche weitgehend
die Prüfung der Materialeigenschaften ermöglichen ..
Eine der wesentlichen Materialgrößen ist das spezifische Gewicht. Eine Anzahl von Meßmethoden' steht für dessen Bestimmung
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zur Verfügung,die im wesentlichen entweder auf Bestimmung des
Volumens und der dazugehörigen Masse, oder auf Immersion der zu messenden Schicht in eine Flüssigkeit von bekannter oder bestimmbarer
Dichte hinauslaufen. Diese spezifischen Gewichtswerte geben immer das durchschnittliche spezifische Gewicht
der Schichten über mehrere Schichtbruchstücke oder auch ganze Schichten, an.
Bei einem weiteren Verfahren wird an einer großen Anzahl von Teilchen die Schicht in Stufen von 1o bis 2ο/im mechanisch
abgerieben und durch Differenzmessung das spezifische Gewicht aus Masse und Volumenänderung bestimmt. Die so erhaltenen Profile
sind Mittelwerte aus vielen gleichen Schichten. Aufgrund der relativ großen Meßungenauigkeit ist diese Methode weniger
geeignet. Sie liefert aber eine zusätzliche Information über ■ die Schichthomogenität.
Die Werte der jeweils äußersten Schicht können relativ einfach
und sicher für das Partikel angegeben werden. Doch auch hier muß berücksichtigt werden, daß die üblicherweise dafür verwendete
Immersionsmethode einen durch das Eindringen der
Immersionsflüssigkeit in offene Poren bedingten, zu hohen Dichtewert liefert.
Wieweit Dichteschwankungen in der Abscheiderichtung bzw. örtliche von der Schichtdicke abhängende Schichtdichten in das
Bestrahlungsverhalten der Schicht eingehen, ist aufgrund der bis jetzt fehlenden Möglichkeit einer Dichtemessung mit hoher
lokaler Auflösung noch völlig unklar. Daß jedoch durch Dichteschwankungen mechanische Spannungen in der Schicht entstehen
können, ist die Schlußfolgerung, die man aus dem Bestrahlungsverhalten
von Pyrokohlenstoff-Schichten unterschiedlicher Ausgangsdichte ziehen kann. Je nach Pyrolysegas stellten sich dabei,
21 '
nach einer Dosis von etwa 2 χ Io EDN, Enddichten ein, die
entweder fast völlig unabhängig von der Ausgangsdichte gleiche
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Werte erreichen, sich zumindestens weitgehend nähern, bzw.
überhaupt konträre Werte annehmen. Jedenfalls gehen mit diesen Änderungen des spezifischen Gewichtes beträchtliche Volumenänderungen vor sich, die die Stabilität der Beschichtung gefährden können.
überhaupt konträre Werte annehmen. Jedenfalls gehen mit diesen Änderungen des spezifischen Gewichtes beträchtliche Volumenänderungen vor sich, die die Stabilität der Beschichtung gefährden können.
Aus der Biologie und der Metallkunde sind
Röntgenabsorptionsmikroskope bekannt, mit welchen das spezifische
Gewicht von ausgewählten Bereichen von mikroskopisch
kleinen, ungefähr planparallelen Probeteilen bestimmt werden kann. Derartige Mikroskope weisen in der Regel eine Röntgeneinheit und ein Lichtmikroskop auf, wobei die zu untersuchende Probe durch eine Auf lichtbeleuchtung erhellt wird. Der zu bestimmende Bereich wird in das Blickfeld des Lichtmikroskopes bewegt, da in der Regel die optische Achse der Röntgeneinrichtung mit jener des Lichtmikroskopes übereinstimmt. Von der Probe wird gemeinsam mit einem Standard eine Röntgenaufnahme aufgenommen. Der Standard ist stufenförmig aufgebaut, so daß
eine unterschiedliche Schwärzung des Filmes, je nach Stufenhöhe erfolgt. Da die Schwärzung unter anderem von der Masse der Probe abhängig ist, kann bei bekannter Schichtdicke der Probe auf das spezifische Gewicht ein Rückschluß gezogen werden, wobei die unterschiedlichen Schwärzungen durch den Standard eine Extrapolation des spezifischen Gewichtes der Probe erlauben.
kleinen, ungefähr planparallelen Probeteilen bestimmt werden kann. Derartige Mikroskope weisen in der Regel eine Röntgeneinheit und ein Lichtmikroskop auf, wobei die zu untersuchende Probe durch eine Auf lichtbeleuchtung erhellt wird. Der zu bestimmende Bereich wird in das Blickfeld des Lichtmikroskopes bewegt, da in der Regel die optische Achse der Röntgeneinrichtung mit jener des Lichtmikroskopes übereinstimmt. Von der Probe wird gemeinsam mit einem Standard eine Röntgenaufnahme aufgenommen. Der Standard ist stufenförmig aufgebaut, so daß
eine unterschiedliche Schwärzung des Filmes, je nach Stufenhöhe erfolgt. Da die Schwärzung unter anderem von der Masse der Probe abhängig ist, kann bei bekannter Schichtdicke der Probe auf das spezifische Gewicht ein Rückschluß gezogen werden, wobei die unterschiedlichen Schwärzungen durch den Standard eine Extrapolation des spezifischen Gewichtes der Probe erlauben.
Die Bestimmung des spezifischen Gewichtes mit einem Röntgenschattenmikroskop,
wobei über die Schwärzung eines Filmes das spezifische Gewicht bestimmt wird, weist neben der an sich
komplizierteren Bestimmung noch den Nachteil auf, daß zwischen Expositionsstärke und Schwärzung ein zusätzlich von der Entwicklung beeinflußter logarithmischer Zusammenhang besteht,
wodurch selbst bei kleinen Unregelmäßigkeiten große Fehler
komplizierteren Bestimmung noch den Nachteil auf, daß zwischen Expositionsstärke und Schwärzung ein zusätzlich von der Entwicklung beeinflußter logarithmischer Zusammenhang besteht,
wodurch selbst bei kleinen Unregelmäßigkeiten große Fehler
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M/19 303 - 7 » OQCC 1 Cl
auftreten können.
Die vorliegende Erfindung hat sich das Ziel gesetzt, eine.. Einrichtung
zu schaffen, die die Bestimmung des spezifischen Gewichtes von mikroskopisch kleinen, planparallelen Probeteilen
möglichst einfach und genau erlaubt.
Die erfindungsgemäße Einrichtung zur Bestimmung des spezifischen
Gewichtes von ausgewählten Bereichen von mikroskopisch kleinen, z.B. 5 yum bis 1 mm großen, ungefähr planparallelen
Probeteilen mit einer punktförmigen Strahlenquelle für t - bzw.
Röntgenstrahlen, zumindest einem Kollimator, einer Beobachtungseinrichtung
mit Aufliehtbeleuchtung, einem normal zur
Achse des Strahlenkegels der punktförmigen Strahlenquelle bewegbaren Probetisch mit Probenträger und Standard für das spezifische
Gewicht und einer Strahlenmeßeinrichtung zur Messung der Absorption, besteht im wesentlichen darin, daß ein weiterer
Kollimator mit einer kleineren Öffnung als der erste Kollimator und als Strahlenmeßeinrichtung eine Meßsonde sowie eine Zählratenmeßvorrichtung
für eine bestimmte Wellenlänge vorgesehen sind.
Mit einer derartigen Einrichtung ist es möglich, auf besonders schnelle und einfache Art und Weise das spezifische Gewicht zu
bestimmen. Durch die öffnung des weiteren Kollimators wird der Bereich, in welchem das spezifische Gewicht bestimmt werden
soll, definiert und durch die Verwendung einer Meßsonde mit Zählratenmeßvorrichtung
für eine bestimmte Wellenlänge kann eine Berechnung des spezifischen Gewichtes über die Zählraten durchgeführt
werden.
Erfindungsgemäß weist der weitere Kollimator mehrere öffnungen
auf, die in den Strahlengang der punktförmigen Strahlenquelle bewegbar sind, wobei vorzugsweise in der Beobachtungseinrichtung
eine der jeweiligen Kollimatoröffnung entsprechende Markierung anordbar ist. Dadurch können besonders einfache Messungen von
verschiedenen, z.B. unterschiedlich großen Bereichen durchgeführt werden, wobei gleichzeitig eine optische Beobachtung im ent-
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sprechenden Bereich ermöglicht wird.
Sind die Kollimatoren zwischen Probe und Meßsonde angeordnet, so können auch besonders kleine Bereiche während der Bestimmung
beobachtet werden
Als besonders vorteilhaft hat sich erwiesen, wenn die öffnungen
des weiteren Kollimators rechteckig sind, da hier eine Anpassung an die verschiedenen Probenformen und an die verschiedene Anordnung
der Probenstrukturen möglich ist. So ist z.B. bei kugelschichtförmigen
Abscheidungen die rechteckige Kollimatoröffnung so zu wählen, daß sie lediglich eine Schicht erfaßt, wodurch genaue
Meßergebnisse über einen größeren Bereich der Probe erhalten werden können.
Ist die Probe durch den Strahlengang der punktförmigen Quelle in
Abhängigkeit von dem spezifischen Gewicht des im Strahlengang befindlichen Probenbereiches bewegbar, so kann auch bei großen Unterschieden
im spezifischen Gewicht eine hohe Genauigkeit erreicht werden, da z.B. der Bereich einer Probe solange im Strahlengang
gehalten werden kann, bis eine bestimmte Gesamtanzahl von Impulsen erreicht ist.
Dient ein Standard für das spezifische Gewicht als Probenträger, so
kann dadurch jederzeit schnell eine Vergleichsmessung durchgeführt v/erden, ohne daß die Probe der Einrichtung entnommen werden muß.
Weist der Standard im Bereich der Probe dieselbe Dicke wie die Probe auf, so muß nicht die Dicke der Probe bestimmt werden, sondern
es kann direkt von der Zählrate aus auf das spezifische Gewicht geschlossen werden, wodurch eine besonders rasche und genaue Bestimmung
des spezifischen Gewichtes erreicht werden kann. Ein besonders geringer Unterschied bei den Zählraten von Standard und Probe erlaubt
eine sehr hohe Genauigkeit bei der Bestimmung, die dadurch erreicht werden kann, daß der Standard aus demselben chemischen
Material besteht wie die zu bestimmenden Bereiche der Probe.
Eine bevorzugte Ausführungsform der erfindungsgemäßen Einrichtung besteht darin, daß die Meßsonde ein Szintillationszähler ist, der
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ist«
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ans Eorrael (1);
- I0 . . <-k2 ·ί '
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Im Dünnschliff wird ein Standard bekannter DichteCiP f ) mitgeführt,
so daß nach Bestimmung von IQ und I die Konstante k„
errechnet werden kann.
K - fe-2
(4)
5> ref .
Das spezifische Gewicht einer Schicht kann somit nach Messung
der jeweiligen Restintensität berechnet werden:
= in ■ 1O
y (5)
Das in Fig. 1 dargestellte Dichtemeßgerät weist eine punktförmige
Röntgenstrahlenquell^ 1 auf, die von einer Strahlenabschirmung 2 umgeben ist, welche im wesentlichen bis zum Probentisch
3 reicht, auf dem ein Probenträger 4 mit Probe angeordnet ist. Unterhalb der Probe befinden sich die Kollimatoren 5 und 6, wobei
der Kollimator 5, welcher sich zunächst der Meßsonde befindet, kleinere öffnungen aufweist als der Kollimator 6 und, wie
Fig. 3 zeigt, mehrere verschiedene Meßöffnungen besitzen kann,
die in den Strahlengang gebracht werden können, wobei durch Verschiebung des Kollimators 6 jeweils verschiedene Meßöffnungen
freigegeben werden. Unterhalb der Kollimatoren ist eine Meßsonde T mit einem Fotomultiplier 8 angeordnet. Die Meßsonde ist ein
Natriumjodidszintillator. Die Probe am Probenträger 4 wird durch die Aufliehtbeleuchtungseinrxchtung 9 beleuchtet, wobei die Probe
über eine Beobachtungseinrichtung'mit Okular 10, das eine Markierung
aufweist, die einer Kollimatoröffnung 14 entspricht und
z.B. durch eine Lochblende gebildet ist, sowie ein Objektiv 11 beobachtet werden kann. Der für die Beobachtung und Beleuchtung
dienende Spiegel 12 und das Objektiv 11 sind durchbohrt, so daß
die Röntgenstrahlen ungeschwächt zur Probe gelangen können. Der
Probentisch kann durch den Schrittmotor 13 bewegt werden.
Das in Fig. 2 dargestellte Blockschaltbild zur Steuerung des Probentisches
arbeitet wie folgt: Die Datenerfassung besteht, aus ei-
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nein Detektor mit Meßsonde und Fotomultiplier, einem Vor- und
Hauptverstärker für die Verstärkung der elektrischen Impulse, einem Einkanalanalysator r der die Auswahl der Impulse mit einer
bestimmten Energie trifft, welche in einem Zähler aufsummiert
werden. Es wird die Zeit bestimmt, welche benötigt wird,z.B.
Too.ooo Impulse zu registrieren. Diese Zeitspanne ist eine Maßzahl
für das- spezifische Gewicht, dasaus der daraus resultierenden Restintensität gemäß Gleichung (5) berechnet werden kann,
wenn über- eine Messung des Standards k_ und auch I bestimmt
wurde. Sind nun z.B. I00.000 Impulse registriert, so wird über die Prozeßsteuerung der Schrittmotor so angesteuert, daß der
nächste Probenbereich zur Bestimmung gelangen kann, so daß ein Profil des spezifischen Gewichtes aufgenommen und gegebenenfalls
gespeichert wird. Eine Wiedergabe der gespeicherten Werte kann z.B. mit einem Schreiber, Display od. dgl. erfolgen. Für bestimmte,
z.B. medizinische Zwecke (Gewebedünnschnitte) kann es von Interesse sein lediglich die Unterschiede des spezifischen
Gewichtes anzugeben, wobei die verschiedenen Bereiche mit gleichem spezifischen Gewicht, z.B. mit einem Vielfarbschreiber,
in jeweils einer Farbe wiedergegeben werden können.
Der in Fig. 3 gezeigte Kollimator hat die Form einer Kappe, die über dem Natriumjodid-Kristall angeordnet ist und verschiedene
rechteckige Meßöffnungen 14 aufweist, die durch Verschieben des Kollimators 6 (Fig. 1) jeweils so abgedeckt
werden, daß sich nur eine Meßöffnung im Strahlengang befindet.
In Fig. 4 ist im Schnitt ein Probenträger 15 mit Proben 16 dargestellt.
Der Probenträger und die Proben werden wie folgt hergestellt: · In einem Kohlenstoffplättchen mit einem Durchmesser von ca.
12 mm und einer Dicke von 1,5 mm sind mehrere Bohrungen mit T mm Durchmesser angebracht. In diese Bohrungen werden die zu
bestimmenden Proben, welche annähernd kugelförmig sind, eingepreßt. Danach werden sowohl Probe als auch Probenträger auf
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einer Präzissionsstirnschleifmaschine mit einer Diamanttopfscheibe
zu einem Dünnschliff geschliffen.
Die Proben 16 weisen einen Kern 17 mit Kernbrennstoffen auf,
welcher von zwei Schichten 18 und 19 aus Pyrokohlenstoff umgeben
ist.
Das in Fig. 5 dargestellte Diagramm wurde mit einer Probe gemäß
Fig. 4 erhalten, wobei die Probe mittels Schrittmotor so bewegt wurde, daß zuerst die Schichte 18 und sodann die Schichte 19
bestimmt wurde. Die Dichten in den einzelnen Schichten sind in Abhängigkeit vom Abstand zur Mitte unterschiedlich. Die innere
Schicht mit 1,17 g/ cm weist eine relativ poröse Struktur auf, wohingegen die zweite Schicht mit einem durchschnittlichen spezifischen
Gewicht von 1,76 g/ cm bereits eine dichte Schicht darstellt. Wie dem Diagramm zu entnehmen ist, ist ein langsamer
steter übergang von der porösen Schicht in die dichte Schicht vorhanden. Ein derartiger stetiger übergang ist für die Haftung
der Schichten aufeinander und für geringere Spannungsbelastungen von besonderer Bedeutung.
Die folgenden angeführten Werte zeigen, daß die Bestimmung des spezifischen Gewichtes mit der erfindungsgemäßen Einrichtung genauer
und mit weniger systematischen Fehlern behaftet ist als die Dichtemessung mittels Mikroradiographie bzw. nach der Schwebemethode
.
Bestimmung mittels Mikroradiographie: Zur Durchstrahlung eines
Dünnschliffes einer Probe aus dichtem Kohlenstoff wurde ungefilterte
Chromstrahlung mit einer Anregespannung von 2o kV verwendet; die photographische Aufzeichnung erfolgte auf Kodak
"High Resolution Plates". Ausgewertet wurden die Mxkroradiographien auf einem Mikroskop "Reichert MeF", ausgestattet mit Durchlichteinrichtung
und Mikrophotometer.
Bestimmung der Dichte nach der Schwebemethode: In einem Becherglas wurde Bromoform vorgelegt, in welches die
Probe getaucht wurde. Sodann wurde solange Isobutanol zugefügt bis die Probe schwebte. Aus den Mengen Bromoform und Isobutanol
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und deren spezifischen Gewichten wurde das spezifische Gewicht der
Mischung und damit der Probe errechnet.
Von einem dichten Kohlenstoff wurde das spezifische Gewicht nach der Schwebemethode bestimmt, wobei das Mittel aus 5 Werten
ein Gewicht von 1,575 g/ cm mit einer Standardabweichung von o,oo5 ergeben hat- Der Wert nach der Mikroradiographie
ebenfalls aus 5 Meßwerten hat sich mit 1,583 g/cm /und einer Standardabweichung von o,o11 ergeben.
Mit der erfindungsgemäßen Einrichtung mit einer Röntgenstrahlenquelle
mit 4,9 keV und einem Meßkollimator von 5 χ 1oo/u wurde
ebenfalls aus 5 Meßwerten ein spezifisches Gewicht von 1,572 g/ cm mit einer Standardabweichung von o,oo5 erhalten«
Für einen porösen Kohlenstoff wurde aufgrund seines Gewichtes und seiner geometrischen Abmessungen ein spezifisches Gewicht
von 1,16 g/ cm mit einer Standardabweichung von o,oo5 errechnet.
Der Wert für das spezifische Gewicht nach der Schwebemethode hat sich aus 5 Werten mit 1,7o g/ cm und einer Standardabweichung
von o,o2 ergeben. Diese große Abweichung ist dadurch zu erklären, daß die Flüssigkeit teilweise in den Probenkörper
eindringt und daß ein höheres spezifisches Gewicht vorgetäuscht wird.
Mit der erfindungsgemäßen Einrichtung wurde aufgrund von 5
Meßwerten ein spezifisches Gewicht von 1,163 g/ cm mit einer
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Standardabweichung von o,oo5 erhalten.
Wie den obigen Ausführungen zu entnehmen ist, ist die erfindungsgemäße
Einrichtung auch für die Bestimmung von spezischen Gewichten geeignet, wenn andere Methoden versagen, wobei eine relativ
hohe Genauigkeit erreicht werden kann. Es kommen für die Bestimmungen Strahlen mit einer Wellenlänge von o,1 A bis 7 A in
Betracht.
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Claims (12)
1. Einrichtung zur Bestimmung des spezifischen Gewichtes in ausgewählten
Bereichen von mikroskopisch kleinen, ungefähr planparallelen Probeteilen mit einer punktförmigen Strahlenquelle
für γ- bzw. Röntgenstrahlen, zumindest einem Kollimator, einer Beobachtungseinrichtung mit Auflichtbeleuchtung,
einem normal zur Achse des Strahlenkegels der punktförmigen Strahlenquelle bewegbaren Probentisch mit Probenträger und
Standard für das spezifische Gewicht und einer Strahlenmeßeinrichtung zur Bestimmung der Absorption, dadurch gekennzeichnet,
daß ein weiterer Kollimator (5) mit einer kleineren Öffnung als der erste Kollimator (6) und als
Strahlenmeßeinrichtung eine Meßsonde (7) sowie eine Zählratenmeßvorrichtung
für eine bestimmte Wellenlänge vorgesehen sind.
2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die Kollimatoren (5,6) zwischen Probe und Meßsonde angeordnet sind.
3. Einrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
daß der weitere Kollimator (5) mehrere Öffnungen (14) aufweist, die in den Strahlengang der punktförmigen Strahlenquelle
bewegbar sind, wobei vorzugsweise in der Beobachtungseinrichtung eine, der jeweiligen Kollimatoröffnung entsprechende
Markierung angeordnet ist.
4. Einrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Markierung durch eine der jeweiligen Kollimatoröffnung (14)
entsprechende Lochblende gebildet ist.
5. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet,
daß die Öffnungen (14) des weiteren Kollimators (5) rechteckig sind.
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6- Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet,
daß die Probe (16) durch den Strahlengang der punktförmigen Quelle (1) in Abhängigkeit von dem spezifischen
Gewicht des im Strahlengang befindlichen Probenbereiches bewegbar "ist.
7. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet,
daß ein Standard (15) für das spezifische Gewicht als Probenträger dient.
8. Einrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Standard (15) im Bereich der Probe (16) dieselbe Dicke
wie die Probe auf weis*-.
9. Einrichtung nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Standard (15) aus chemisch demselben Material besteht,
wie die zu bestimmenden Bereiche der Probe (16).
10. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet,
daß die Meßsonde (7) einen Szintillatorkristall aufweist.
11. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 1o, dadurch gekennzeichnet,
daß die Meßsonde (7) mit einer Prozeßsteuerung verbunden ist.
12. Einrichtung nach Anspruch 6 und 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Prozeßsteuerung die Steuerung der Bewegung der Probe
durch den Strahlengang bewirkt.
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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DE2855161A1 true DE2855161A1 (de) | 1979-07-05 |
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Family Applications (1)
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DE19782855161 Withdrawn DE2855161A1 (de) | 1977-12-21 | 1978-12-20 | Einrichtung zur bestimmung des spezifischen gewichtes von ausgewaehlten bereichen von mikroskopisch kleinen, planparallelen probeteilen |
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