DE3314281A1 - Vorrichtung zum messen der dicke duenner schichten - Google Patents
Vorrichtung zum messen der dicke duenner schichtenInfo
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Description
PATENTANWALT DIPL.- ING. ULRICH KINKELIN 7032 Sindelfingen -Auf dem Goldberg- Weimarer Str. 32/34 -Telefon 07031/80501
Telex 7265509 rose d
30. März 1983
Firma Helmut Fischer GmbH. & Co., Industriestraße 21, 7032 Sindelfingen 6
Institut für Elektronik und Meßtechnik
VORRICHTUNG ZUM MESSEN DER DICKE DÜNNER SCHICHTEN
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung gemäß dem Oberbegriff des Hauptanspruchs.
In der Starnmanmeldung wird im Teilmerkmal b) ein Umlenkspiegel 46 aus einem Roentgenstrahlen
praktisch nicht absorbierenden Material angegeben und später beschrieben.
Es ist bekannt, daß entsprechend der Ordnungszahl der Stoffe diese Roentgensfrahlen
beim Durchtritt schwächen. Luft schwächt am wenigsten.
Die niederste Ordnungszahl hat Wasserstoff. Aus ihm kann man aber keinen Spiegel
herstellen. Das gleiche gilt für Helium, Litium, Beryllium usw.
Ein technisch verifizierbarer Spiegel muß also aus Glas sein. Solches Glas schwächt
zwar Roentgenstrahlen praktisch nicht, wenn man dies vom gesamten Spektrum der Roentgensirahlen aus betrachtet. Niederenergetische Strahlung wird jedoch
mehr geschwächt als mittel- oder hochenergetische Strahlung.
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12294 .:λ:..: " :..: : ".- .-" 3 33Η28Ί
Es kann aber auch sein, daß niederenergetische Strahlung gleich von vornherein
unterrepräsentiert ist, wenn z. B. eine Roentgenröhre mit Aluminiumfenster verwendet
wird.
Unter den zu messenden Stoffen gibt es solche mit niederer und solche mit höherer
Ordnungszahl. Dabei sei grob gesagt der Bereich zwischen den Ordnungszahlen 15 und 25 betrachtet. Zum Beispiel hat Chrom 24 und Titan 22 als Ordnungszahl.
. - Solche Stoffe mit niederer Ordnungszahl haben Energien von etwa 6 bis 10 keV
(Kiloelektronenvolt). Solche Stoffe lassen sich mit einem Spektrum niederenergetischer
Anteile wesentlich besser anregen als mit mittel- und hochenergetischen Anteilen.
Die Wahrscheinlichkeit einer Fluoreszenz (Eigenstrahlung) ist umso größer, je kleiner
die Differenz zwischen der eigenen Energie und der anregenden Energie ist. Diese
Differenz muß allerdings positiv sein. Ein Beispiel: Kupfer hat eine Energie von
etwa 9 keV. Es läßt sich mit einer 8 keV-Strahlung nicht anregen. Man kann es
aber mit 12 oder 13 keV durchaus anregen , und sehr schlecht ist es mit 50 keV
anzuregen. Die Wahrscheinlichkeit für die Anregung wird umso kleiner, je größer die Energieunterschiede sind, und zwar in erster Näherung mit der dritten Potenz.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine einfache Maßnahme anzugeben, die die Vorteile
gemäß der Hauptanmeldung beibehält, es jedoch gestattet, mit ganz erheblich höherer Wahrscheinlichkeit auch Stoffe niedrigerer Ordnungszahl anzuregen.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch den kennzeichnenden Teil des Hauptanspruchs
gelöst. In dem dort erwähnten Loch ist Luft, und Luff ist in der Absorption
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12294 : ' - " -.'"■ ' - /r 33H281
gegenüber niederenergetischen Strahlen vernachlässigbar.
Durch die Merkmale des Anspruchs 2 ist die Querschnittsfläche des Lochs gleich der
effektiven Querschnittsfläche, d. h., man kann ein vergleichsweise kleines Loch incen Spiegel einbringen. Verwendet man andere Winkel, dann muß der Querschnitt
i !
des Lochs größer werden, damit der Roentgenstrahl-Erzeuger die Schicht noch sieht.
: I ι ;
In &er i'raxis haben sich Abmessungen gemäß dem Anspruch 3 bewährt. Sie ändern
die optischen Eigenschaften des Spiegels'praktisch nicht.
die Merkmale des Anspruchs 4 wird dem Erzeuger ermöglicht, insbesondere
einer ivoentgenstrahl-Röhre sehr viel niederenergetische Energie abzugeben.
Die Zeichnung zeigt ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel. Die einzige Figur zeigt
den gleichen Umlenkspiegel |wie aus der Stammanmeldung in abgewandelter Form.
Der Spiegel 46 befindet sich wie der Spiegel 46 der Hauptanmeldung an deir
gleichen Stelle.Seine Lage zu der geometrischen Längsachse 32 und der optischen
Achse 87 ist unverändert. Sein Körper 109 besteht wie dort aus anorganischem Glas
und ist mit einer Silber- oder Aluminiumschicht IM überzogen. Koaxial zur geometrischen
Längsachse 32 befindet sich in ihm jedoch ein DurchgangsIoch 112, das
kreiszylindrische Gestalt hat und in dem sich die Umgebungsluft befindet. Die
optische Achse 87 trifft sich an der gezeichneten Stelle mit der geometrischen Längsachse 32, die ja auch die geometrische Längsachse des Durchgangslochs 112 ist.
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12294 ------- ·--■ : ■-■■-■ * 33H281
Abgesehen vom Durchgangsloch 112 besteht eine weitere Modifikation darin, das
Austrittsfenster der Röntgenröhre 33 aus Beryllium herzustellen. Dies ist ein Material,
welches niederenergetische Strahlung sowohl am wenijsten schwächt als auch als
Fenstermaterial verwendbar ist.
Das Durchgangsloch 112 setzt die Schärfe nicht herunter. Lediglich die Helligkeit
wird abgesenkt, was jedoch auf einfache Weise kompensiert werden kann.
Kann man erfindungsgemäß das niederenergetische Spektrum verwenden, so ist man
auch in der Lage, die in der Stammanmeldung geschilderten Blendenlöcher 58, 59, 61,
62 entweder insgesamt noch kleiner zu machen oder um ein noch kleineres Loch zu ergänzen, das z. B. dann eine Abmessung von 0,05 mm haben kann. Man ist dann
in der Lage, auch auf winzigen Objekten zu messen.
Ferner geht nunmehr auch der statistische Fehler ganz wesentlich herunter, weil die
Zähl rate höher werden kann.
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Leerseite
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Claims (1)
- PATENTANWALT.^iHPVA.fNG." ULRLCH KINKELIN314 Sindelfingen -Auf dem Goldberg- Weimarer Str. 32/34 -Telefon 07031/86501Telex 7265509 rose d12 29430. März 1983Pate nta nsprüche:Vorrichtung zum Messen der Dicke dünner Schichten nach dem Roentgen-Fluoreszenz-Prinzip, nach Anspruch 1 der deuischen Patentanmeldung P 32 39 379.2 , dadurch gekennzeichnet, daß der Umlenkspiegel(46) ein mit der geometrischen Längsachse(32)fluchtendes Loch hat.Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Loch eine unter 45 zur Ebene des Umlenkspiegels (^6) stehende geometrische Längsachse (32) hat.Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Loch eine Querschnittsabmessung im Bereich von 0,5-2 mm, vorzugsweise um 1 mm hat !Vorrichtung nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Roentgef strahl-Erzeuger ein Beryllium-Fenster hat.COPY \
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE19823239379 DE3239379A1 (de) | 1982-10-23 | 1982-10-23 | Vorrichtung zum messen der dicke duenner schichten |
DE19833314281 DE3314281A1 (de) | 1982-10-23 | 1983-04-20 | Vorrichtung zum messen der dicke duenner schichten |
Publications (1)
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DE3314281A1 true DE3314281A1 (de) | 1984-10-25 |
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ID=25805324
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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DE19833314281 Granted DE3314281A1 (de) | 1982-10-23 | 1983-04-20 | Vorrichtung zum messen der dicke duenner schichten |
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DE (1) | DE3314281A1 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102013102270A1 (de) | 2013-03-07 | 2014-09-11 | Helmut Fischer GmbH Institut für Elektronik und Messtechnik | Optischer Spiegel, Röntgenfluoreszenzanalysegerät und Verfahren zur Röntgenfluoreszenzanalyse |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4262201A (en) * | 1977-12-21 | 1981-04-14 | Oesterreichische Studiengeseilschaft fur Atomenergie G.m.b.H. | Apparatus for determining the specific weight of selected regions of microscopic small plane parallel samples |
DE3137186A1 (de) * | 1980-09-22 | 1982-05-06 | Kabushiki Kaisha Daini Seikosha, Tokyo | Roentgenfluoreszenz-messeinrichtung |
-
1983
- 1983-04-20 DE DE19833314281 patent/DE3314281A1/de active Granted
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4262201A (en) * | 1977-12-21 | 1981-04-14 | Oesterreichische Studiengeseilschaft fur Atomenergie G.m.b.H. | Apparatus for determining the specific weight of selected regions of microscopic small plane parallel samples |
DE3137186A1 (de) * | 1980-09-22 | 1982-05-06 | Kabushiki Kaisha Daini Seikosha, Tokyo | Roentgenfluoreszenz-messeinrichtung |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Prospekt "Faxitron 805" der Fa. Field Emission GmbH, München, 1968 * |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102013102270A1 (de) | 2013-03-07 | 2014-09-11 | Helmut Fischer GmbH Institut für Elektronik und Messtechnik | Optischer Spiegel, Röntgenfluoreszenzanalysegerät und Verfahren zur Röntgenfluoreszenzanalyse |
WO2014135429A1 (de) * | 2013-03-07 | 2014-09-12 | Helmut Fischer GmbH Institut für Elektronik und Messtechnik | Optischer spiegel, röntgenfluoreszenzanalysegerät und verfahren zur röntgenfluoreszenzanalyse |
CN105008905A (zh) * | 2013-03-07 | 2015-10-28 | 赫尔穆特费舍尔股份有限公司电子及测量技术研究所 | 光学镜、x射线荧光分析装置以及x射线荧光分析方法 |
US9880329B2 (en) | 2013-03-07 | 2018-01-30 | Helmut Fischer GmbH Insitut fur Elektronik und Messtechnik | Optical mirror, X-ray fluorescence analysis device, and method for X-ray fluorescence analysis |
CN110702718A (zh) * | 2013-03-07 | 2020-01-17 | 赫尔穆特费舍尔股份有限公司电子及测量技术研究所 | 光学镜、x射线荧光分析装置以及x射线荧光分析方法 |
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