DE2846655C2 - Automatische Schalteinrichtung für ein Beleuchtungssystem eines Mikroskops - Google Patents
Automatische Schalteinrichtung für ein Beleuchtungssystem eines MikroskopsInfo
- Publication number
- DE2846655C2 DE2846655C2 DE2846655A DE2846655A DE2846655C2 DE 2846655 C2 DE2846655 C2 DE 2846655C2 DE 2846655 A DE2846655 A DE 2846655A DE 2846655 A DE2846655 A DE 2846655A DE 2846655 C2 DE2846655 C2 DE 2846655C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- light
- lenses
- elements
- magnification
- revolver
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/06—Means for illuminating specimens
- G02B21/08—Condensers
- G02B21/086—Condensers for transillumination only
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine automatische Schalteinrichtung für ein Beleuchtungssystem eines
Mikroskops, das mehrere auf einem Revolver angeordnete Objektive unterschiedlicher Vergrößerung aufweist, mit die Vergrößerung der Objektive anzeigenden
Signalgabeelementen, einer die Signale der Signalgabeelemente empfangenden Detektoreinrichtung, einem
die Beleuchtungsanordnung umschaltenden Stellglied und einer das Stellglied entsprechend dem Ausgangssignal der Detektoreinrichtung steuernden Steuereinrichtung.
Beim Umschalten der Objektive und damit der Vergrößerung eines Mikroskops ist es in der RegeL
notwendig, auch das Beleuchtungssystem entsprechend umzuschalten, um die Beleuchtungsbedingungen dem
für die Mikroskopie gerade verwendeten Objektiv anzupassen. Zu diesem Zweck ist das Beleuchtungssystem für Mikroskopie gewöhnlich mit mehreren
verschiedenen Kondensorlinsen versehen, die in Verbindung mit den Objektiven umgeschaltet werden,
ίο Außerdem weist das Beleuchtungssystem eine auswechselbar angeordnete Hilfslinse auf, welche zur Optimierung der Beleuchtungsbedingungen für das bei der
Mikroskopie gerade verwendete Objektiv in die optische Bahn des Beleuchtungssystems eingeführt oder
aus dieser entfernt wird.
Aus der DE-AS 2219 521 ist eine automatische
Schalteinrichtung der eingangs genannten Art bekannt, die das Mikroskop- Beleuchtungssystem in Verbindung
mit dem Umschalten der Objektive jeweils auf optimale Beleuchtungsbedingungen umschalten soll. Signalgaibeelemente, die entweder als mechanisch abtastbare
Erhebungen oder Vertiefungen, als elektrisch abtastbare Kontakte oder reflektierende Markierungen ausgebildet sind, sind an der Außenseite des Revolvers oder
an den Außenseiten der Objektivfassungen angeordnet. Die Detektoreinrichtung tastet diese Abtastelemente
von der Revolveraußenseite her ab.
Soweit die Beleuchtungsanordnung nach der Drehstellung des Revolvers bestimmt wird, muß die bekannte
automatische Schalteinrichtung dann versagen, wenn den im Revolver ausgebildeten Aufnahmelöchern
falsche Objektive zugeordnet, d. h. die Objektive vertauscht sind. Bei der ebenfalls bekannten Anordnung
lichtreflektierender Signalringe auf den Objektivfassungen ist zwar eine falsche Umschaltung aufgrund
fehlerhafter Anordnung der Objektive am Revolver vermieden, jedoch hat auch diese Anordnung vor allem
funktioneile Mängel, die die Zuverlässigkeit der Betriebsweise der automatischen Schalteinrichtung im
praktischen Einsatz beeinträchtigen und der Einstellung der optimalen Beleuchtungsbedingungen beim Wechseln der Objektive entgegenstehen. Eine wesentliche
Fehlerquelle ist an den lichtreflektierenden Signalringen reflektiertes Fremdlicht Bei der Umschaltung der
Objektivwechselvorrichtung bzw. des Revolvers kann der Detektorstrahlengang durch die Finger der
Bedienungsperson ganz oder teilweise durchbrochen werden. Aufgrund der Anordnung der Ringe an den
Fassungsaußenseiten müssen einige Objektivfassungen so länger gemacht werden, als es ansich ihrer Funktion als
Objektivfassung entsprechen würde.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, unter Verwendung des bekannten Prinzips der direkten
Abtastung eines den einzelnen Objektiven zugeordneten Bauteils die automatische Schalteinrichtung der
eingangs genannten Art so zu verbessern, daß die Anpassung der Beleuchtungsbedingung an den Vergrößerungsfaktor der für die Mikroskopie verwendeten
Objektive beim Umschalten derselben unter Drehung des Revolvers störungsfrei und von äußeren Einflüssen
ungehindert gewährleistet ist.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß alternativ durch die kennzeichnenden Merkmale des Anspruchs 1
oder diejenigen des Anspruchs 2 gelöst.
Aufgrund der direkten Abtastung der die Objektive halternden Schrauben ist stets die richtige Umschaltung
des Beleuchtungssystems in Verbindung mit dem Wechseln der Objektive beim Drehen des Revolvers
gewährleistet, und zwar unabhängig davon, wie die
Objektive unterschiedlicher Vergrößerungen am Revolver verteilt und angeordnet sind. Die Einordnung der
miteinander in Wechselwirkung stehenden Signalgabe-und Signalempfängerelemente in den Revolver
schließt Einstellfehler des Stellglieds aufgrund äußerer Einflüsse, z. B. Fremdlicht oder Bedhnungsstörungen,
aus. Die erfindungsgemäße automatische Schalteinrichtung sorgt daher zuverlässig und ohne zusätzlichen
Überprüfungsaufwand für die optimalen Belsuchtuugsbedingungen.
Im folgenden wird die Erfindung anhand von in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispielen näher
erläutert. Es zeigt
Fig. 1 eine Schnitlansicht durch ein Mikroskop mit
einer Prnzipdarstellung der automatischen Schalteinrichtung
für das Mikroskop-Beleuchtungssystem;
F i g. 2 eine Teilansicht durch ein erstes Ausführungsbeispiel der automatischen Schalteinrichtung;
Fig.3 eine Teilansicht, welche ein zweites Ausführungsbeispiel
der automatischen Schalteinrichtung veranschaulicht; und
Fig.4 eine Darstellung eines Teils des zweiten
Ausführungsbeispiels in vergrößertem Maßstab.
Bei dem Ausführungsbeispiel gemäß F i g. 1 bezeichnet das Bezugszeichen 1 ein Mikroskop, das Bezugszeichen
2 einen Revolver, das Bezugszeichen 3 ein Objektiv, das Bezugszeichen 4 einen Kondensator, das
Bezugszeichen 5 einen Spiegel, das Bezugszeichen 6 zum Beleuchtungssystem gehörige Hilfslinsen, welche
zwischen den in ausgezogenen und strichpunktierten Linien dargestellten Stellungen umgeschaltet weiden
können, das Bezugszeichen 7 eine Lichtquelle, das Bezugszeichen 8 eine in dem Revolver angeordnete
Detektoreinrichtung, das Bezugszeichen 9 eine Steuereinrichtung, welche das Ein- und Ausrücken der
Hilfslinsen steuert, und das Bezugszeichen 10 ein Stellglied zum Umschalten der Beleuchtungsanordnung,
d. h. zum Ein-uiid Ausrücken der Hilfslinsen in die und
aus der optischen Bahn des Beleuchtungssystems. Der Revolver weist mehrere Objektive mit unterschiedlicher
Vergrößerung auf, von denen nur ein Objektiv dargestellt ist.
Die zur Halterung der Objektive 3 dienenden Schrauben 3a haben eine solche Länge 1, daß sie in den
Revolver 2 nach innen vorstehen. Sie werden an ihren Endflächen von im Revolver stationär angeordneten
Elementen der Detektoreinrichtung 8 abgetastet, um die Vergrößerung der zugehörigen Objektive zu bestimmen.
Die automatische Anpassung der Beleuchtungsbedingungen an das jeweils verwendete Objektiv erfolgt
dadurch, daß das in der optischen Bahn angeordnete Objektiv an der Endfläche der Schrauben 3a von der
Detektoreinrichtung 8 abgetastet wird und die Hilfslinsen 6 durch Betätigung der Steuereinrichtung 9 und des
Stellgliedes 10 nach Maßgabe des Detektorsignals in den Beleuchtungsstrahlengang eingerückt oder aus
diesem ausgerückt werden.
In F i g. 2 ist der im Bereich des Revolvers 2 gelegene
Teil eines ersten Ausführungsbeispiels der automatisehen Schalteinrichtung dargestellt; der restliche Teil
entspricht der Darstellung in Fig. 1. Bei diesem Ausführungsbeispiel sind die Schrauben 3a der Objektive
3 abgeschrägt und weisen mit dem Bezugszeichen Λ bezeichnete, zur Schraubenachse konisch geneigte
Endflächen auf. Diese konischen Endflächen A haben entsprechend den Vergrößerungsfaktoren der zugehörigen
Objektive unterschiedliche Neigungswinkel. Das Bezugszeichen 11 bezeichnet eine Lichtquelle, z. B. eine
lichtemittierende Diode, und die Bezugszeichen 12,13, ... bezeichnen Lichtempfängerelemente, welche an
unterschiedlichen Stellen im Revolver angeordnet sind. Von der Lichtquelle 11 emittiertes Licht wird von einer
der konischen Endflächen A auf der Schraube 3a des Objektivs 3 reflektiert und von einem der Lichtempfängerelemente
12,13,... aufgefangen. Durch geeignete Anordnung der Lichtempfängerelemente an solchen
Stellen, daß sie jeweils entsprechend der Neigung der konischen Endflächen Licht unter verschiedenen Einfallwinkeln
aufzunehmen vermögen, ist es möglich, das jeweils verwendete Objektiv (den Vergrößerungsfaktor)
anhand der Lage des das reflektierte Licht auffangenden Lichtempfängerelements zu bestimmen
und die Beleuchtungsbedingung nach Maßgabe des bestimmten Signals automatisch einzustellen.
F i g. 3 zeigt ein zweites Ausführungsbeispiel, bei dem die mit dem Bezugszeichen B bezeichneten Endflächen
der Schrauben 3a der Objektive in unterschiedlichen Farben entsprechend den Vergrößerungsfaktoren der
zugehörigen Objektive gekennzeichnet sind Ein optisches Faserbündel 20 liegt mit einer Stirnfläche 20a der
Endfläche B der Schraube des Objektivs gegenüber, so daß das Licht von der Lichtquelle 23 zur Endfläche B
übertragen und das von dieser Endfläche reflektierte Licht zu einem Lichtempfängerelement 24 geleitet wird.
Wie in F i g. 4 genauer gezeigt ist, besteht das optische Faserbündel aus einem das Licht von der Lichtquelle
zuführenden Faserbündel 21 und einem das an der Endfläche der Schraube des Objektivs reflektierte Licht
zum Lichtempfängerelement 24 übertragenden anderen Faserbündel 22, wobei das optische Faserbündel 22
lichtempfängerseitig in mehrere Faserbündel aufgeteilt ist, die das Licht über zugehörige Filter 25a, 256 ...
verschiedenen Lichtempfängerelementen 24a, 24f>
zuführen. Die Filter 25a, 25£>, ... sind für solche
Wellenbänder durchlässig, die jeweils einer der Kennzeichnungsfarben auf den Endflächen der Schrauben
der Objektive entsprechen. Bei diesem Ausführungsbeispiel wird der Lichtstrahl von der Lichtquelle
auf der Endfläche B reflektiert und zu den Lichtempfängerelementen geleitet, wobei jedoch das Licht nur
von dem Lichtempfängerelement aufgenommen wird, dem das für das reflektierte Licht durchlässige Filter
zugeordnet ist, wodurch es möglich wird, ein Beleuchtungssystem automatisch so einzustellen, daß die
Beleuchtungsbedingung dem Vergrößerungsfaktor des für die Mikroskopie gerade verwendeten Objektivs
angepaßt wird.
Obwohl in den zuvor beschriebenen Ausführungsbeispielen die Zahl der unterschiedlichen Winkel der
konischen Oberflächen und die Signalgabeelemente, z. B. die Farbkennzeichnungen auf den Endflächen der
Schrauben usw. derjenigen der Objektive mit unterschiedlichen Vergrößerungsfaktoren entspricht, ist es
möglich, die Zahl derartiger Unterscheidungssignale auf die Zahl von Vergrößerungsbereichen abzustimmen,
z. B. zwei für einen niedrigen Vergrößerungsbereich (4X und 10A^ und einen hohen Vergrößerungsbereich (20A"
und 40Xy oder drei für niedrige (4X), mittlere (IOX, Il
und 20X; und hohe (4OX und 10ΟΛ7 Vergrößerungsbereiche.
Solche Unterscheidungssignale können jedoch für die verschiedenen Verstärkungsfaktoren an der
Detektorstufe unterschiedlich sein und für die nachfolgende Steuerungsstufe zum Einstellen des Beleuchtungssystems
auf eine mit einem Vergrößerungsbereich abgestimmte Beleuchtungsbedingung verwendet wer-
den. In dem zuletzt genannten Fall ermöglicht die Schalteinrichtung für das Beleuchtungssystem die
Bestimmung des Vergrößerungsfaktors der für die Mikroskopie eingesetzten Objektivlinsen, und es ist
daher möglich, eine Einrichtung vorzusehen, die eine lesbare Anzeige des Vergrößerungsfaktors für die
Bedienungsperson zur Verfügung stellt.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen
Claims (2)
1. Automatische Schalteinrichtung für ein Beleuchtungssystem eines Mikroskops, das mehrere
auf einem Revolver angeordnete Objektive unterschiedlicher Vergrößerung aufweist, mit die Vergrößerung der Objektive anzeigenden Signalgabeelementen, einer die Signale der Signalgabeelemente
empfangenden Detektoreinrichtung, einem die Beleuchtungsanordnung umschaltenden Stellglied und
einer das Stellglied entsprechend dem Ausgangssignal der Detektoreinrichtung steuernden Steuereinrichtung, dadurch gekennzeichnet, daß
die in den Revolver (2) nach innen vorstehenden Endflächen (A) der die verschiedenen Objektive (3)
am Revolver festlegenden Schrauben (3a) als Signalgabeelemente lichtreflektierend ausgebildet
und unter verschiedenen Winkeln zur Schraubenachse konisch geneigt angeordnet sind und daß die
Detektoreinrichtung (8) eine in der Nähe der geneigten Endflächen angeordnete Lichtquelle (11)
und mehrere Lichtempfängerelemente (12, 13) aufweist, wobei die Anordnung der Lichtempfängerelemente so getroffen ist, daß jeweils ein Lichtempfängerelement nur das an einer Endfläche mit einem
bestimmten Neigungswinkel reflektierte Licht aufzunehmen vermag.
2. Automatische Schalteinrichtung für ein Beleuchtungssystem eines Mikroskops, das mehrere
auf einem Revolver angeordnete Objektive unterschiedlicher Vergrößerung aufweist, mit die Vergrößerung der Objektive anzeigenden Signalgabeelementen, einer die Signale der Signalgabeelemente
empfangenden Detektoreim ichtung, einem die Beleuchtungsanordnung umschaltenden Stellglied und
einer das Stellglied entsprechend dem Ausgangssignal der Detektoreinrichtung steuernden Steuereinrichtung, dadurch gekennzeichnet, daß an den in den
Revolver (2) nach innen vorspringenden Endflächen (B) der die verschiedenen Objektive (3) am Revolver
festlegenden Schrauben (3a) unterschiedliche reflektierende Farbkennzeichnungen als Signalgabeelemente angeordnet sind und daß die Detektoreinrichtung (8) eine Lichtquelle (23), Lichtempfängerelemente (24a, 24b)\md zwei optische Faserbündel (21,
22) aufweist, von denen eines (21) Licht von der Lichtquelle zu den Endflächen (B) der Schrauben
(3a) überträgt und das andere (22) an den Endflächen (B) der Schrauben reflektiertes Licht zu den
Lichtempfängerelementen (24a, 24b) überträgt, wobei die Stirnflächen (20a) der beiden optischen
Faserbündel (21, 22) im Revolver (2) lagefest gehalten sind.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13007077A JPS5463768A (en) | 1977-10-29 | 1977-10-29 | Automatic changeover device of microscope lighting |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2846655A1 DE2846655A1 (de) | 1979-05-03 |
DE2846655C2 true DE2846655C2 (de) | 1982-11-04 |
Family
ID=15025271
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2846655A Expired DE2846655C2 (de) | 1977-10-29 | 1978-10-26 | Automatische Schalteinrichtung für ein Beleuchtungssystem eines Mikroskops |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4241251A (de) |
JP (1) | JPS5463768A (de) |
DE (1) | DE2846655C2 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3630632A1 (de) * | 1986-03-14 | 1987-09-24 | Zeiss Carl Fa | Objektivrevolver fuer mikroskope |
Families Citing this family (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2946927C2 (de) * | 1979-11-21 | 1983-07-07 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Automatische Durchlichtbeleuchtung für Mikroskope |
JPS575024A (en) * | 1980-06-13 | 1982-01-11 | Olympus Optical Co Ltd | Lighting changer for microscope |
JPS5811713U (ja) * | 1981-07-17 | 1983-01-25 | オリンパス光学工業株式会社 | 光学機械の対物レンズ種別検出機構 |
US4443076A (en) * | 1981-10-20 | 1984-04-17 | Mitutoyo Mfg. Co., Ltd. | Projecting apparatus |
JPS5888211U (ja) * | 1981-12-02 | 1983-06-15 | オリンパス光学工業株式会社 | 光学器械のための調光装置 |
DE3202461C1 (de) * | 1982-01-27 | 1983-06-09 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Befestigung von Mikroskopobjektiven |
GB2132378B (en) * | 1982-11-19 | 1986-05-21 | Gwyndann Group | Illumination of optical instruments |
US4555620A (en) * | 1983-01-11 | 1985-11-26 | Bausch & Lomb Incorporated | Automatic illumination control for multi-objective optical instruments such as microscopes |
DE3410201A1 (de) * | 1983-03-22 | 1984-10-04 | Olympus Optical Co., Ltd., Tokio/Tokyo | Mikroskop |
JPS59172617A (ja) * | 1983-03-22 | 1984-09-29 | Olympus Optical Co Ltd | 自動制御式照明光学系を備えた顕微鏡 |
EP0124241B1 (de) * | 1983-03-29 | 1988-11-02 | Olympus Optical Co., Ltd. | Mit einer automatischen Fokussiereinrichtung ausgestattetes Mikroskop |
US4579429A (en) * | 1984-09-24 | 1986-04-01 | Clegg John E | Concentrated-beam illumination |
US4751686A (en) * | 1985-05-14 | 1988-06-14 | Olympus Optical Co., Ltd. | Ultrasonic microscope |
JPH0516570Y2 (de) * | 1986-05-09 | 1993-04-30 | ||
US5831738A (en) * | 1994-01-11 | 1998-11-03 | Hine Design Inc. | Apparatus and methods for viewing identification marks on semiconductor wafers |
JP2001281554A (ja) * | 2000-03-29 | 2001-10-10 | Nikon Corp | 顕微鏡用デジタルカメラ及び該カメラを備える顕微鏡システム |
JP4693972B2 (ja) * | 2000-09-29 | 2011-06-01 | オリンパス株式会社 | レーザ顕微鏡 |
DE10055534B4 (de) * | 2000-11-09 | 2005-03-03 | Leica Microsystems Wetzlar Gmbh | Mikroskop |
DE10228985A1 (de) * | 2002-06-28 | 2004-01-15 | Leica Mikrosysteme Gmbh | Beleuchtungseinrichtung für Mikrotome bzw. Ultramikrotome |
DE102004048099B4 (de) * | 2004-09-30 | 2018-05-09 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Mikroskop-Konfigurationsbestimmung |
DE102017209696A1 (de) * | 2017-06-08 | 2018-12-13 | Trumpf Laser Gmbh | Schutzglas mit Transponder und Einbauhilfe sowie zugehöriges Laserwerkzeug |
CN117310925B (zh) * | 2023-11-28 | 2024-02-23 | 武汉中导光电设备有限公司 | 一种塔轮式物镜切换器及塔轮式物镜 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
AT324015B (de) * | 1971-05-13 | 1975-08-11 | Reichert Optische Werke Ag | Einrichtung zur selbsttätigen anpassung der beleuchtung an mikroskopen |
DE2301597A1 (de) * | 1973-01-13 | 1974-07-18 | Leitz Ernst Gmbh | Auflicht-beleuchtungseinrichtung |
-
1977
- 1977-10-29 JP JP13007077A patent/JPS5463768A/ja active Pending
-
1978
- 1978-10-25 US US05/954,591 patent/US4241251A/en not_active Expired - Lifetime
- 1978-10-26 DE DE2846655A patent/DE2846655C2/de not_active Expired
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3630632A1 (de) * | 1986-03-14 | 1987-09-24 | Zeiss Carl Fa | Objektivrevolver fuer mikroskope |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE2846655A1 (de) | 1979-05-03 |
US4241251A (en) | 1980-12-23 |
JPS5463768A (en) | 1979-05-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2846655C2 (de) | Automatische Schalteinrichtung für ein Beleuchtungssystem eines Mikroskops | |
DE2843282C2 (de) | ||
DE2643990C2 (de) | Vorrichtung zum optischen Lesen einer Aufzeichnung | |
DE19903486C2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur optischen Untersuchung von strukturierten Oberflächen von Objekten | |
DE3219503C2 (de) | Vorrichtung zum selbsttätigen Fokussieren auf in optischen Geräten zu betrachtende Objekte | |
EP0279191B1 (de) | Gerät zur berührungslosen Remissionsmessung | |
EP0264404B1 (de) | Vorrichtung zum selbsttaetigen fokussieren eines auflichtmikroskopes | |
EP0311014A2 (de) | Optische Oberflächen-Inspektionsvorrichtung | |
EP0249799A2 (de) | Vorrichtung zum Prüfen von Bauteilen aud transparentem Material auf Oberflächenfehler und Einschlüsse | |
DE2854474C2 (de) | Gerät zum optischen Aufzeichnen von Signalen auf einem Aufzeichnungsträger | |
DE2802286C2 (de) | ||
EP1877842A2 (de) | Einrichtung und verfahren zur reproduzierbaren einstellung der pinholeöffnung und pinholelage in laserscanmikroskopen | |
EP0144732B1 (de) | Einrichtung zum automatischen Fokussieren von optischen Geräten | |
DE102017107343A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Betreiben eines optischen Abstandssensors | |
DE651889T1 (de) | Beleuchtungsvorrichtung und verfahren für hochauflösendes mikroskop. | |
DE60007308T2 (de) | Innentrommel-aufzeichnungsgerät mit mehreren strahlen mit mehreren wellenlängen | |
DE2456566A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum pruefen von objektiven | |
DE3122538C2 (de) | Beleuchtungsoptik-Wählvorrichtung für ein Mikroskop | |
DE19731545C1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zum optischen Erfassen der Verformung einer Fläche | |
LU93022B1 (de) | Verfahren und Mikroskop zum Untersuchen einer Probe | |
DE2630209C3 (de) | Elektro-optische Tastvorrichtung | |
DE3507445C2 (de) | ||
DE102015112769A1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur optischen Probenuntersuchung | |
DE602004004882T2 (de) | Optisches konfokales gerät mit austauschbarem strahlteiler | |
EP1136787B1 (de) | Objektabbildung mit Abstandskompensation ( Grösse, Farbe ) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OAP | Request for examination filed | ||
OD | Request for examination | ||
D2 | Grant after examination | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |