DE102015112769A1

DE102015112769A1 - Vorrichtung und Verfahren zur optischen Probenuntersuchung

Info

Publication number: DE102015112769A1
Application number: DE102015112769.5A
Authority: DE
Inventors: Martin PESCHKA; Holger Münz
Original assignee: Carl Zeiss SMT GmbH; Carl Zeiss AG
Current assignee: Carl Zeiss SMT GmbH; Carl Zeiss AG
Priority date: 2015-08-04
Filing date: 2015-08-04
Publication date: 2017-02-09
Anticipated expiration: 2035-08-05
Also published as: DE102015112769B4

Abstract

Es werden Vorrichtungen und Verfahren bereitgestellt, bei welchen ein erster räumlicher Bereich von Licht von einem Objekt, beispielsweise einer zu untersuchenden Probe, zu einer ersten Auswerteeinrichtung und Licht von einem zweiten räumlichen Bereich zu einer zweiten Auswerteeinrichtung gelenkt wird. Dabei unterscheiden sich die Auswerteeinrichtungen hinsichtlich ihres Typs voneinander. Zudem können Masken eingesetzt werden, welche verschiedene Teilbereiche aufweisen, welche den ersten bzw. zweiten räumlichen Bereich zugeordnet sind.

Description

Die vorliegende Anmeldung betrifft Vorrichtungen und Verfahren zur optischen Untersuchung von Proben, insbesondere zur ortsaufgelösten Untersuchung. Beispielsweise betrifft die vorliegende Anmeldung konfokal-chromatische Multispotsensoren. Konfokal-chromatische Messeinrichtungen sind beispielsweise aus der FR 2950441 A1 oder der EP 2 667 151 bekannt. Bei der konfokal-chromatischen Abstandsmessung (manchmal auch als chromatisch-konfokale Abstandsmessung bezeichnet) wird z.B. die Dispersion von weißem Licht in einer oder mehreren Fokussierlinse(n) verwendet, um den Abstand einer reflektierenden Oberfläche zu einer Sensorvorrichtung zu bestimmen. Insbesondere wird dabei ausgenutzt, dass verschiedene spektrale Anteile des Lichts in unterschiedlichen Entfernungen fokussieren.
Bei einem konfokal-chromatischen Multispotsensor wird eine zu untersuchende Probe gleichzeitig an mehreren Punkten (Spots) beleuchtet, um simultan den Abstand an mehreren Punkten messen zu können, was beispielsweise eine Vermessung einer größeren Probe beschleunigen kann. Dabei kann es wünschenswert sein, unterschiedliche Probenbereiche unterschiedlich auswerten zu können. Auch bei anderen optischen Messverfahren kann eine unterschiedliche Behandlung verschiedener Probenbereiche wünschenswert sein.
Bei den eingangs erwähnten Druckschriften FR 2950441 A1 und EP 2 667 151 A1 erfolgt hingegen für jeden Messpunkt die gleiche Art der Auswertung. Aus der US 6,717,668 B2 ist diesbezüglich lediglich bekannt, einen Probenbereich gleichzeitig bildgebend abzubilden und spektroskopisch zu untersuchen.
Es ist daher eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, Vorrichtungen und Verfahren bereitzustellen, bei welchen verschiedene Bereiche einer Probe simultan auf verschiedene Weise optisch untersucht werden können.
Hierzu werden eine Vorrichtung nach Anspruch 1 sowie ein Verfahren nach Anspruch 18 bereitgestellt. Die Unteransprüche definieren weitere Ausführungsformen.
Gemäß einem ersten Aspekt wird eine Vorrichtung bereitgestellt, umfassend:
eine erste Auswerteeinrichtung,
eine zweite Auswerteeinrichtung, wobei sich ein Typ der ersten Auswerteeinrichtung von einem Typ der zweiten Auswerteeinrichtung unterscheidet, und
eine Trenneinrichtung, welche eingerichtet ist, einen ersten räumlichen Bereich von Licht von einem Objekt zu der ersten Auswerteeinrichtung zu lenken und einen zweiten räumlichen Bereich von Licht von dem Objekt zu der zweiten Auswerteeinrichtung zu lenken.
Durch eine derartige Trennung und die Bereitstellung zweier Auswerteeinrichtungen unterschiedlichen Typs können verschiedene Objektbereiche gleichzeitig auf verschiedene Weise untersucht werden.
Dabei kann die erste Auswerteeinrichtung ein erstes Spektrometer umfassen und die zweite Auswerteeinrichtung ein zweites Spektrometer umfassen, wobei sich Vergrößerung, Dispersion, Wellenlängenbereich und/oder Auflösung des ersten Spektrometers von Vergrößerung, Dispersion, Wellenlängenbereich und/oder Auflösung des zweiten Spektrometers unterscheidet.
Auf diese Weise kann beispielsweise ein kleinerer Bereich mit einer höheren Auflösung und zusätzlich ein größerer Bereich mit kleinerer Auflösung simultan ausgewertet werden.
Bei einer anderen Variante umfasst die erste Auswerteeinrichtung ein Spektrometer und die zweite Auswerteeinrichtung stellt eine im Wesentlichen dispersionsfreie Abbildung bereit.
Die erste Auswerteeinrichtung und die zweite Auswerteeinrichtung können mindestens eine gemeinsame Komponente aufweisen.
Die gemeinsame Komponente kann eine Kamera umfassen, wobei die Vorrichtung eingerichtet ist, Licht von der ersten Auswerteeinrichtung auf einen ersten Bereich eines Bildsensors der Kamera und Licht von der zweiten Auswerteeinrichtung auf einen zweiten Bereich des Bildsensors der Kamera abzubilden.
Die Vorrichtung kann weiter eine Abbildungsoptik zum Abbilden von Licht von dem Objekt in eine Feldebene umfassen, wobei der erste räumliche Bereich einem ersten Bereich der Feldebene entspricht und der zweite räumliche Bereich einem zweiten Bereich der Feldebene entspricht.
Dabei kann die Abbildungsoptik zur konfokalen Abbildung eingerichtet sein.
Die Vorrichtung kann weiter eine Maske mit einem ersten Teilbereich und einem zweiten Teilbereich umfassen, wobei die Maske derart angeordnet sein kann, dass Licht von der Probe auf die Maske trifft, wobei der erste Teilbereich dem ersten räumlichen Bereich zugeordnet ist und der zweite Teilbereich dem zweiten räumlichen Bereich zugeordnet ist.
Die Maske kann dabei in oder bei der Feldebene angeordnet sein.
Der erste Teilbereich kann ein erstes Lochmuster und der zweite Teilbereich kann ein zweites Lochmuster aufweisen, wobei sich eine Lochdichte des ersten Lochmusters von einer Lochdichte des zweiten Lochmusters unterscheiden kann.
Der zweite Teilbereich kann ein Lochmuster aufweisen, welches zu einem Lochmuster des ersten Teilbereichs versetzt ist.
Es kann auch der erste Teilbereich ein Lochmuster und der zweite Teilbereich ein Spaltmuster aufweisen.
Durch die Bereitstellung eines Spaltmusters und entsprechende Trennung der Lichtstrahlen ist beispielsweise gleichzeitig eine spektroskopische Auswertung eines Bildbereichs und eine Bildaufnahme in einem anderen Bildbereich möglich, wobei durch Relativbewegung der Probe zu der Vorrichtung auch die gesamte Probe flächendeckend sowohl spektroskopisch als auch durch Bildaufnahme untersucht werden kann.
Die Vorrichtung kann weiter eine Beleuchtungseinrichtung zum Beleuchten der Probe durch eine Beleuchtungsmaske umfassen, wobei die Beleuchtungsmaske entsprechend der Maske ausgestaltet ist.
Die Vorrichtung kann zur konfokal-chromatischen Multispotmessung eingerichtet sein.
Die Vorrichtung kann eingerichtet sein, simultan zur Multispotmessung eine Übersichtsaufnahme einer Probe zu erstellen.
Die Trenneinrichtung kann zum Trennen von Licht auf Basis der Polarisation eingerichtet sein.
Die Trenneinrichtung kann auch eine Mikrospiegelanordnung umfassen.
Gemäß einem zweiten Aspekt wird ein Verfahren bereitgestellt, umfassend:
Empfangen von Licht von einer Probe,
Lenken eines ersten räumlichen Bereichs des Lichts zu einer Auswerteeinrichtung eines ersten Typs, und
Lenken eines zweiten räumlichen Bereichs des Lichts zu einer Auswerteeinrichtung eines zweiten Typs, wobei sich der zweite Typ von dem ersten Typ unterscheidet.
Das Empfangen von Licht kann ein Empfangen von Licht durch eine Maske mit einem ersten Teilbereich und einem zweiten Teilbereich umfassen, wobei der erste Teilbereich dem ersten räumlichen Bereich und der zweite Teilbereich dem zweiten räumlichen Bereich zugeordnet ist.
Ein Muster im ersten Teilbereich kann sich von einem Muster im zweiten Teilbereich unterscheiden.
Das Verfahren kann weiter ein Beleuchten der Probe durch eine Beleuchtungsmaske umfassen, wobei die Beleuchtungsmaske der Maske entspricht.
Das Verfahren kann mittels einer der oben beschriebenen Vorrichtungen durchgeführt werden.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:
1 ein Blockdiagramm einer Vorrichtung gemäß einem Ausführungsbeispiel,
2 eine schematische Darstellung einer Vorrichtung gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel,
3 eine Abwandlung der Vorrichtung der 2,
4–7 verschiedene Masken und zugehörige Polarisationseinrichtungen gemäß verschiedenen Ausführungsbeispielen,
8 ein schematisches Diagramm einer Vorrichtung zur konfokal-chromatischen Probenuntersuchung gemäß einem Ausführungsbeispiel,
9 ein weiteres Ausführungsbeispiel einer Vorrichtung zur konfokal-chromatischen Probenuntersuchung,
10 eine schematische Darstellung eines Teils eines weiteren Ausführungsbeispiels, und
11 ein Flussdiagramm zur Veranschaulichung eines Verfahrens gemäß einem Ausführungsbeispiel.
Im Folgenden werden verschiedene Ausführungsbeispiele detailliert erläutert. Diese Ausführungsbeispiele dienen lediglich der Veranschaulichung und sind nicht als einschränkend auszulegen. Insbesondere ist eine Beschreibung eines Ausführungsbeispiels mit einer Vielzahl von Merkmalen oder Elementen nicht dahingehend auszulegen, dass alle diese Merkmale oder Elemente zur Implementierung von Ausführungsbeispielen notwendig sind. Vielmehr können andere Ausführungsbeispiele weniger Merkmale oder Elemente und/oder zu den gezeigten Merkmalen oder Elementen alternative Merkmale oder Elemente aufweisen. Zudem können auch weitere, nicht dargestellte, Merkmale oder Elemente bereitgestellt sein, beispielsweise herkömmlicherweise in optischen Vorrichtungen verwendete Komponenten.
Merkmale oder Elemente verschiedener Ausführungsbeispiele können miteinander kombiniert werden, sofern nichts anderes angegeben ist. Varianten und Abwandlungen, welche für eines der Ausführungsbeispiele beschrieben werden, können auch auf andere Ausführungsbeispiele anwendbar sein.
In 1 ist ein schematisches Blockdiagramm eines Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Vorrichtung dargestellt. Bei der Vorrichtung von 1 geht von einer Probe 10 Licht aus, wobei in der schematischen Darstellung der 1 das Licht durch Linien 12, 15 begrenzt ist. Das Licht kann von der Probe 10 beispielsweise in Reaktion auf eine Bestrahlung mit Beleuchtungslicht ausgehen (in 1 zur Vereinfachung nicht dargestellt), z.B. indem das Beleuchtungslicht ganz oder teilweise reflektiert wird oder das Beleuchtungslicht die Probe zur Lichtemission anregt. Das von der Probe ausgehende Licht 10 kann in einen ersten Teilbereich, im Folgenden als Lichtbereich 11 bezeichnet, zwischen der Linie 12 und einer Linie 13 und einen zweiten Bereich, im Folgenden als zweiter Lichtbereich 14 bezeichnet, zwischen der Linie 13 und der Linie 15, unterteilt werden. Die Lichtbereiche 11 und 14 gehen dabei von verschiedenen Bereichen der Probe 10 aus.
Über eine Optik 16 wird das von der Probe 10 ausgehende Licht zu einer Trenneinrichtung 17 hin abgebildet. Die Optik 16 kann dabei herkömmliche optische Elemente wie beispielsweise Linsen, Spiegel oder diffraktive Elemente umfassen. Die Trenneinrichtung 17 ist eingerichtet, den ersten Lichtbereich 11 von dem zweiten Lichtbereich 15 zu trennen. Wie später erläutert werden wird, kann bei manchen Ausführungsbeispielen hierzu die Optik 16 das von der Probe 10 ausgehende Licht in eine Feldebene abbilden, und in der Feldebene kann das Licht so manipuliert werden, dass eine Trennung ermöglicht wird.
Die Trenneinrichtung 17 lenkt insbesondere den ersten Teillichtstrahl 11 zu einer ersten Auswerteeinrichtung 18 und den zweiten Teillichtstrahl 14 zu einer zweiten Auswerteeinrichtung 19. Dabei unterscheidet sich die erste Auswerteeinrichtung 18 vom Typ her von der zweiten Auswerteeinrichtung 19, d.h. die Auswerteeinrichtungen 18, 19 unterscheiden sich hinsichtlich ihrer Funktionalität. Beispielsweise können die Auswerteeinrichtungen 18, 19 beides Spektrometer sein oder Spektrometer umfassen, wobei die Spektrometer verschiedene Auflösungen aufweisen und/oder für verschiedene Wellenlängenbereiche eingerichtet sein können. Bei anderen Ausführungsbeispielen kann auch nur eine der Auswerteeinrichtungen 18, 19 ein Spektrometer umfassen und somit eine Spektralanalyse durchführen, während die andere Auswerteeinrichtung zur Aufnahme eines Kamerabildes des entsprechenden Teils der Probe, dem der jeweils zugeführte Lichtbereich entspricht, eingerichtet ist.
Auf diese Weise können mit der Vorrichtung der 1 simultan verschiedene Bereiche der Probe 10 durch verschiedene Auswertungen des jeweils ausgehenden Lichtes untersucht werden.
Die Trennung mittels der Trenneinrichtung 17 kann, wie später erläutert werden wird, beispielsweise polarisationsbasiert oder durch eine Mikrospiegelanordnung erfolgen. Entsprechende Ausführungsbeispiele werden nunmehr näher erläutert.
2 zeigt ein Ausführungsbeispiel einer Vorrichtung, welche eine Aufteilung verschiedener Bereiche mithilfe verschiedener Polarisationen ermöglicht.
Bei dem Ausführungsbeispiel der 2 empfängt die dargestellte Vorrichtung Licht 212 von einem Objekt, beispielsweise einer zu untersuchenden Probe wie der Probe 10 der 1. Eine optische Anordnung 20 bildet das von dem Objekt ausgehende Licht 212 auf eine Feldebene, welche mit 21 angedeutet ist, ab. Verschiedene Bereiche in der Feldebene entsprechen dabei beispielsweise verschiedenen Bereichen des Objekts. Bei dem Ausführungsbeispiel der 2 wird das Licht in der Feldebene dann durch eine Anordnung 25 polarisiert. Hierfür kann beispielsweise ein linearer Polarisator 22 zunächst das gesamte Licht linear polarisieren. Bei einem ersten Bereich der Feldebene, auch mit A bezeichnet, ist dann beispielsweise eine λ/2-Platte 23 angeordnet, welche die Polarisation des Lichtes in dem Bereich A um 90° dreht. In dem Bereich B ist demgegenüber beispielsweise eine Platte 24 angeordnet, welche die Polarisation nicht beeinflusst (oder auch kein Element angeordnet). Somit werden durch die Anordnung 25 Licht in den Bereichen A und B, d.h. verschiedenen Feldbereichen, verschieden polarisiert. Wie bereits erläutert entsprechen diese verschiedenen Feldbereiche beispielsweise verschiedenen Bereichen auf dem Objekt. Zu bemerken ist, dass der lineare Polarisator 22 auch weggelassen werden kann, wenn das Licht 212, welches von dem Objekt kommt, bereits entsprechend polarisiert ist. Zudem können anstelle der Kombination von linearem Polarisator 22 und den Platten 23 (λ/2-Platte) und 24 (keine Beeinflussung der Polarisation) auch zwei lineare Polarisatoren verwendet werden, einer für den Bereich A mit einer linearen Polarisation und einer für den Bereich B mit einer dazu orthogonalen linearen Polarisation.
Das so polarisierte Licht wird dann einem polarisationsoptischen Element 26, beispielsweise einem Polarisationsteilerwürfel, zur polarisationsabhängigen Strahlteilung zugeführt. Das polarisationsoptische Element kann dabei in beliebiger herkömmlicher Weise ausgestaltet sein. Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel lenkt das polarisationsoptische Element 26 das Licht entsprechend dem Feldbereich A zu einem ersten Spektrometer 28, während Licht entsprechend dem zweiten Feldbereich B zu einem zweiten Spektrometer 210 gelenkt wird. Das erste Spektrometer 28 und das zweite Spektrometer 210 kann beispielsweise jeweils ein Prismen- oder ein Gitterspektrometer sein. Das erste Spektrometer 28 und das zweite Spektrometer 210 können sich dabei beispielsweise hinsichtlich der Vergrößerung und/oder der Dispersion unterscheiden, sodass die Spektrometer 28, 210 beispielsweise verschiedene Auflösungen bereitstellen können. Bei anderen Ausführungsbeispielen können die Spektrometer 28, 210 zusätzlich oder alternativ auch für verschiedene Wellenlängenbereiche ausgelegt sein oder sich auf andere Weise unterscheiden. Die Spektrometer 28, 210 können beispielsweise abbildende Spektrometer sein Bei dem Ausführungsbeispiel der 10 ist eine erste Kamera 29 mit dem ersten Spektrometer 28 gekoppelt, und eine zweite Kamera 211 ist mit dem zweiten Spektrometer 210 gekoppelt. Die Kameras 29, 211 können beispielsweise herkömmliche Bildsensoren wie CCD-Bildsensoren oder CMOS-Bildsensoren umfassen. Mit der ersten Kamera 29 und der zweiten Kamera 211 können die jeweiligen durch die Spektrometer 28, 210 erzeugten Spektren aufgenommen und dann digital ausgewertet werden.
Bei anderen Ausführungsbeispielen kann eine gemeinsame Kamera bereitgestellt sein. Hierzu zeigt 3 eine Abwandlung des Ausführungsbeispiels der 2, bei welchem nur eine einzige Kamera verwendet wird. Elemente der 3, welche Elemente der 2 entsprechen, tragen die gleichen Bezugszeichen und werden nicht nochmals detailliert erläutert.
Bei dem Ausführungsbeispiel der 3 weist das erste Spektrometer 28 auf einer dem polarisationsoptischen Element 26 abgewandten Seite eine reflektierende Fläche 30 auf, und das zweite Spektrometer 210 weist auf einer dem polarisationsoptischen Element 26 abgewandten Seite eine reflektierende Fläche 31 auf. Durch die reflektierenden Flächen 30, 31 wird das durch das jeweilige Spektrometer 28, 210 spektral aufgelöste Licht reflektiert und dann durch das polarisationsoptische Element 26 wie dargestellt zu einer einzigen Kamera 32 hin gelenkt. In den Spektrometern 28, 210 befinden sich also in dem Ausführungsbeispiel der 3 die reflektierenden Flächen 30, 31 zur Rückführung des einfallenden Lichtes. Außerdem können die Spektrometer 28, 210 Vorrichtungen (beispielsweise je eine λ/4-Platte) aufweisen, so dass die Polarisationsrichtung von aus den Spektrometern 28, 210 austretendem Licht jeweils um 90° gegenüber der Polarisation des jeweils einfallenden Lichtes verdreht ist. Somit wird Licht, welches vom polarisationsoptischen Element 26 auf dem Hinweg in Transmission zum Spektrometer 210 geführt wurde, auf dem Rückweg in Reflexion zur Kamera 32 geführt. Ebenso wird Licht, welches vom polarisationsoptischen Element 26 auf dem Hinweg in Reflexion zum Spektrometer 28 geführt wurde, auf dem Rückweg in Transmission zur Kamera 32 geführt.
Wie dargestellt kann dabei die Vorrichtung derart eingerichtet sein, dass das Licht aus den verschiedenen Feldbereichen A, B letztendlich auf verschiedene Stellen eines Bildsensors der Kamera 32 trifft, sodass die jeweiligen Spektren simultan erfasst werden können. Auf diese Weise ist ein Aufbau mit nur einer Kamera möglich.
Bei manchen Ausführungsbeispielen kann eine auf einem Punktraster oder anderem Raster basierende Abbildung verwendet werden, beispielsweise für einen konfokal-chromatischen Multispotsensor. Dabei kann eine entsprechende Maske in einer Feldebene, beispielsweise der Feldebene 21 der 2 oder 3, angeordnet sein, wobei sich ein Muster der Maske für die Feldbereiche A und B unterscheiden kann. Eine entsprechende Maske kann bei manchen Ausführungsbeispielen zusätzlich zur Beleuchtung verwendet werden.
Durch eine derartige unterschiedliche Ausbildung der Muster in den Feldbereichen können beispielsweise verschiedene Punktraster für verschiedene Messbereiche verwendet werden, oder es kann gleichzeitig eine spektrale Vermessung und eine nicht spektral aufgelöste Abbildung vorgenommen werden. Beispiele für derartige Masken und dazugehörige Polarisationseinrichtungen, insbesondere Bereiche der Platten 23, 24 der 2 und 3, werden nunmehr unter Bezugnahme auf die 4–7 erläutert.
Die 4A zeigt eine Lochmaske gemäß einem Ausführungsbeispiel. Die Lochmaske 40 des Ausführungsbeispiels der 4A weist in einem inneren Bereich 42 eine höhere Lochdichte mit kleineren Löchern auf als in einem äußeren Bereich 41. Eine derartige Lochmaske kann dann beispielsweise in der Feldebene 21 der Vorrichtungen der 2 und 3 bereitgestellt werden.
Bei einer konfokalen Abbildung beispielsweise für einen konfokal-chromatischen Multispotsensor kann zusätzlich eine Lochblende wie in 4A dargestellt als Beleuchtungsblende dienen.
In der 4A ist ein zu der Lochmaske der 4A zugehöriges polarisierendes Element 43 dargestellt. Dabei erzeugt das polarisierende Element 43 in einem zentralen Bereich 45, welcher dem Bereich 42 der Lochmaske 40 entspricht, eine andere Polarisation als in einem Bereich 44, welcher dem Bereich 41 der Lochmaske entspricht. Bei den Ausführungsbeispielen der 2 und 3 kann beispielsweise der Bereich 45 die λ/2-Platte 23 enthalten, während der Bereich 44 die Platte 24, welche die Polarisation nicht verändert, enthält.
Zu bemerken ist, dass die Wirkung der Bereiche 44, 45 der 4B auch umgekehrt sein kann, d.h. im Bereich 44 beispielsweise eine λ/2-Platte und im Bereich 45 keine Veränderung der Polarisation. Gleiches gilt auch für die nachfolgenden 5B–7B, solange das Licht in den verschiedenen Bereichen derart unterschiedlich manipuliert (insbesondere polarisiert) wird, dass eine Trennung und Aufteilung auf verschiedene Analysevorrichtungen wie Spektrometer möglich ist.
Die 4C zeigt zur Veranschaulichung eine überlagerte Darstellung der 4A und 4B, aus der ersichtlich wird, dass Licht in dem Bereich 42 der Lochmaske 40 durch den Bereich 45 des polarisierenden Elements 43 anders polarisiert wird als Licht in dem Bereich 41 der Lochmaske.
Somit kann Licht aus den Bereichen 41, 42 unterschiedlich analysiert werden, beispielsweise im Fall der 2 und 3 unterschiedlichen Spektrometern zugeführt werden. So kann beispielsweise der Bereich 41 mit einer anderen Vergrößerung und Dispersion analysiert werden als der Bereich 42.
Ein weiteres Beispiel ist in den 5A–5C dargestellt. Die 5A zeigt eine Lochmaske 50, welche wie für die Lochmaske 40 der 4A erläutert verwendet werden kann, insbesondere in einer Feldebene angeordnet werden und ggf. zusätzlich als Beleuchtungsblende verwendet werden kann. Löcher 51 der Lochmaske 50 sind entsprechend zwei zueinander versetzten quadratischen Gittern angeordnet, sodass in 5A jede zweite Zeile von Löchern 51 zu einem anderen quadratischen Gitter gehört als die übrigen Zeilen.
5B zeigt ein entsprechendes polarisierendes Element, wobei hier Bereiche 53 und 54, welche unterschiedliche Polarisationen erzeugen, alternierend angeordnet sind. Die Bereiche 53 können beispielsweise einem Bereich der die Polarisation nicht verändernden Platte 24 der 2 und 3 entsprechen, während die Bereiche 54 der Position einer λ/2-Platte wie der Platte 23 der 2 und 3 entspricht.
5C zeigt wiederum eine Überlagerung der 5A und 5B, aus der deutlich wird, dass die beiden quadratischen Lochgitter der Lochmaske 50 unterschiedlich polarisiert werden. Somit kann Licht durch die Löcher der verschiedenen Lochgitter verschieden ausgewertet werden, beispielsweise mit unterschiedlicher Dispersion oder für unterschiedliche Wellenlängenbereiche. Dies kann beispielsweise bei verfahrenden oder rastenden Multispotverfahren, bei welchen ein zu untersuchendes Objekt relativ zu der optischen Vorrichtung (beispielsweise derjenigen der 2 oder der 3) bewegt wird, zu einer Zeitersparnis führen.
Bei den Masken der 4A und 5A werden zwei Lochraster verwendet, welche beispielsweise jeweils Licht zur spektroskopischen Untersuchung aus verschiedenen Feldbereichen liefern können. Bei anderen Ausführungsbeispielen wird neben einer spektroskopischen Untersuchung auch ein optisches Referenzbild (was im Wesentlichen einer Aufnahme mit Dispersion 0 entspricht) erwünscht. Die 6 und 7 zeigen Beispiele für entsprechende Masken und polarisierende Elemente.
Als Beispiel zeigt 6A eine Maske 60, welche in einem Bereich 62 ein Lochraster aufweist, welches beispielsweise zu spektroskopischen Aufnahmen verwendet werden kann. Zudem weist die Maske 60 in einem in 6A oberen Bereich Schlitze 61 auf, welche eine Spaltabbildung zur Aufnahme eines optischen Referenzbildes ermöglichen. Unterschiedlich orientierte Spalten 61 ermöglichen eine Aufnahme bei einer Relativbewegung des Objekts relativ zu der Vorrichtung in verschiedenen Richtungen. Als Beispiel sind die Spalten 61 in 6A schräg dargestellt, während eine Verfahrrichtung in diesem Fall senkrecht oder waagerecht wäre. Zu bemerken ist, dass derartige Richtungsangaben zur einfachen Referenzierung verschiedener Teile der Figuren dienen und nicht dahingehend auszulegen sind, dass die dargestellten Masken in der dargestellten Orientierung bereitgestellt werden müssen.
Die 6B zeigt wiederum ein entsprechendes polarisierendes Element 63. Ein Bereich 64 entspricht dabei beispielsweise einem Bereich der λ/2-Platte 23 der 2 und 3, und ein Bereich 65 entspricht einem Bereich der Platte 24, welche die Polarisation nicht verändert. Auch hier können auch andere Anordnungen verwendet werden, um die Bereiche 64 und 65 verschieden zu polarisieren, um eine anschließende Trennung zu ermöglichen. Die 6C zeigt eine Überlagerung der 6A und 6B.
Licht von den Spalten 61 kann dann beispielsweise einer Kamera ohne Spektrometer (d.h. im Wesentlichen mit Dispersion 0) zugeführt werden, während der Bereich 65 mit dem Lochraster 62 für eine spektroskopische Untersuchung, beispielsweise für eine konfokal-chromatische Tiefenmessung, verwendet werden kann. Durch entsprechendes Verfahren eines zu untersuchenden Objekts relativ zu der Vorrichtung kann dann eine gesamte Probe sowohl spektroskopisch untersucht als auch als Übersichtsbild abgebildet werden. Eine entsprechende Vorrichtung wird später noch unter Bezugnahme auf die 8 und 9 erläutert.
Dadurch, dass in den 6A und 7B verschiedene Spaltrichtungen des Spaltes 71 verwendet werden, kann eine Relativbewegung nicht nur in Längsrichtung des Spaltes stattfinden, was die Aufnahme eines flächigen Bildes unabhängig von der jeweils gewählten Bewegungsrichtung ermöglicht. Bei anderen Ausführungsbeispielen kann aber auch ein Spalt nur in eine Richtung verlaufend bereitgestellt sein, beispielsweise wenn sichergestellt ist, dass eine Bewegung senkrecht zur Längsrichtung des Spaltes stattfindet.
Die Anordnung des Spaltes in der Beleuchtungsmaske des chromatisch konfokalen Sensoers ermöglicht auch für die Inspektionsabbildung die Nutzung der vollen Apertur des chromatisch konfikalen Sensors über dessen Tiefenmessbereich, was insbesondere für eine Inspektion bei Anwendungen wie eine Tiefenmessung mittels konfokal-chromatischer Multispotmessung vorteilhaft ist, um alle Tiefenbereiche auch im Inspektionsbild im Wesentlichen mit guter Auflösung erfassen zu können.
Eine weitere mögliche Maske 70, welche gleichzeitig eine Multispotuntersuchung mit einem Lochraster sowie eine Aufnahme eines Übersichtsbildes ermöglicht, ist in 7A dargestellt.
Die Maske 70 der 7A weist ein quadratisches Lochraster 72 über den größten Bereich der Maske 70 auf. Licht von diesen Löchern kann spektroskopisch untersucht werden, beispielsweise bei einem rasternden Multispot-Verfahren, wobei jedes Loch einem Spot entspricht. Zudem ist am oberen und rechten Rand in der Darstellung der 7A ein Schlitz 71 bereitgestellt, welcher wie der Schlitz 61 der 6A zur Aufnahme eines optischen Referenzbildes verwendet werden kann, insbesondere bei rasternden oder verfahrenden Messungen, bei denen sich der Schlitz 71 durch Relativbewegung über die Probe bewegt.
Die 7B zeigt ein entsprechendes polarisierendes Element, wobei beispielsweise in einem Bereich 74 eine λ/2-Platte entsprechend der λ/2-Platte 23 der 2 und 3 und in einem Bereich 75 eine die Polarisation nicht verändernde Platte angeordnet sein kann. Die 7C zeigt eine Überlagerung der 7A und 7B.
Während bei der Erläuterung der 4B–7B zur Veranschaulichung jeweils auf die Platten 23, 24 der 2 und 3 Bezug genommen wurde, sind auch andere Möglichkeiten zur Erzeugung verschiedener Polarisationen, beispielsweise zwei verschieden ausgerichtete lineare Polarisatoren, möglich.
In den 8 und 9 sind Ausführungsbeispiele von Vorrichtungen dargestellt, welche beispielsweise die Masken aus den 6A und 6B sowie die entsprechenden polarisierenden Elemente der 6B und 7B verwenden können, um gleichzeitig eine konfokal-chromatische Abbildung beispielsweise zur Ermittlung von Tiefeninformationen und eine Aufnahme eines Übersichtsbildes durchgeführt werden kann. Bei dem Ausführungsbeispiel der 8 wird eine Probe mittels einer Lichtquelle 86 durch eine Maske 87 beleuchtet. Als Lichtquelle 86 kann dabei jede für die jeweils gewünschte Untersuchung geeignete Lichtquelle, insbesondere eine breitbandige Lichtquelle bei einer konfokal-chromatischen Tiefenmessung, verwendet werden. Die Maske 87 kann beispielsweise wie in 6A oder wie in 7A dargestellt ausgestaltet sein. Für die Darstellung der 8 wird als Beispiel die Maske der 7A verwendet. Das durch die Maske 87 erzeugte Beleuchtungslicht wird über eine konfokale Abbildung 84 auf eine Probe abgebildet, wodurch in einem ersten Messbereich 80 Spots 82 zur Multispotmessung und in einem zweiten Messbereich 81 ein spaltförmiger Bereich 83 zur Bildaufnahme ausgebildet wird. Von der Probe ausgehendes Licht wird wiederum über die konfokale Abbildung 84 zu der Vorrichtung gelenkt. Eine Trennung zwischen Beleuchtungslicht und von der Probe ausgehendem Licht wird bei dem Ausführungsbeispiel der 8 durch einen polarisationsoptischen Strahlteiler 85 ermöglicht. Hierzu kann beispielsweise das Beleuchtungslicht polarisiert sein.
In einer Feldebene der Abbildung ist dann eine Maske 88 angeordnet, welche der Maske 87 entspricht. Als Beispiel wird also wiederum die Maske 70 der 7A verwendet, auch wenn auch andere Masken möglich sind. Zudem ist in dem Bereich des Spaltes der Maske (entsprechend dem Messbereich 81) ein polarisationsänderndes Element 89, beispielsweise eine λ/2-Platte umfassen kann, angeordnet. Da das Licht der Beleuchtung bereits polarisiert ist, kann bei manchen Ausführungsbeispielen auf einen zusätzlichen Polarisator wie den Polarisator 22 der 2 und 3 verzichtet werden. Bei anderen Ausführungsbeispielen kann ein derartiger Polarisator beispielsweise zur Unterdrückung von Streulicht zudem vorhanden sein.
Somit ist nach der λ/2-Platte 89 oder einem anderen entsprechenden polarisationsändernden Element Licht aus dem ersten Messbereich 81 anders polarisiert als Licht aus dem zweiten Messbereich 80, insbesondere orthogonal zu diesem polarisiert.
Durch einen polarisationsoptischen Strahlteiler 810 wird dann das Licht von dem ersten Messbereich 80 von dem Licht aus dem zweiten Messbereich 81 getrennt. Das Licht aus dem zweiten Messbereich 81 wird zu einem Rückflächenspiegel 811 hin geleitet und so dispersionsfrei auf eine Kamera 815 abgebildet. Das Licht aus dem ersten Messbereich 80 wird zu einem Spektrometer gelenkt, welches in 8 schematisch mit Linsen 812, 813 und einer Prismenanordnung 814 dargestellt ist und welches einen Rückflächenspiegel aufweist, über den das Licht schlussendlich dann ebenfalls auf die Kamera 815 abgebildet wird. Dabei können wie unter Bezugnahme auf 3 erläutert zusätzliche Elemente wie λ/4-Platten in dem Spektrometer bzw. in dem Lichtweg von dem Rückflächenspiegel 811 angeordnet sein, um eine Führung des Lichts über den Strahlteiler 810 zur Kamera 815 hin bereitzustellen. Dies ergibt ein Bild wie in 8 unterhalb der Kamera dargestellt, bei welchem in einem Bereich 816 eine dispersionsfreie Aufnahme der Probe und in einem Bereich 817 eine Aufnahme von Spektren für die verschiedenen Messpunkte 82 erfolgt. Mit einer Anordnung wie in 8 kann also z.B. der erste Messbereich 80 zur Ermittlung von Tiefeninformationen benutzt werden, während der zweite Messbereich 81 benutzt werden kann, um ein optisches Referenzbild der Probe mit voller Apertur der konfokalen Abbildung und mit hohem Tiefenschärfenbereich entsprechend dem Tiefenbereich der chromatisch-konfokalen Abbildung für die Inspektion zu erzeugen.
Die 9 zeigt ein genauer dargestelltes Implementierungsbeispiel der Vorrichtung der 8. Als eine Lichtquelle 95 entsprechend der Lichtquelle 86 kann beispielsweise eine Leuchtdiodenanordnung oder eine Weißlichtleuchtdiode dienen. Über eine Asphäre 96 (d.h. eine asphärische Linse) und eine zusätzliche Linsenanordnung, welche für einen Punktgitterbereich und einen Spaltbereich einer Maske unterschiedlich sein können, wird das Beleuchtungslicht zu einer konfokalen Beleuchtungsblende gelenkt, welche beispielsweise entsprechend der Maske 60 der 6A oder entsprechend der Maske 70 der 7A ausgestaltet sein kann. Das Licht wird über einen polarisationsoptischen Strahlteiler 99 (entsprechend dem polarisationsoptischen Strahlteiler 85 der 8) und eine Linsenanordnung zur chromatisch-konfokalen Abbildung sowie einen Spiegel 91 zu einem Messbereich 90 auf einer Probe gelenkt. Die Linsenanordnung umfasst dabei Linsen 92, 94 sowie ein Objektiv 93 zur chromatisch-konfokalen Abbildung. Die dargestellte Linsenanordnung dient dabei nur als Beispiel und auch andere Konfigurationen sind möglich. Zur Vereinfachung sind in dem Messbereich 90 nur drei Messpunkte dargestellt. Es kann aber jede mittels einer entsprechenden Maske realisierbare Anzahl von Messpunkten verwendet werden.
Von der Probe ausgehendes Licht wird dann wiederum über den Spiegel 91, die Abbildungsoptik 92, 93, 94 und den polarisationsoptischen Strahlteiler 98 zu einer konfokalen Filterblende 99 entsprechend der Maske 88 der 8 gelenkt. Die konfokale Filterblende 99 kann entsprechend der Beleuchtungsblende 97, insbesondere wiederum wie in den 6A oder 7A gezeigt, ausgestaltet sein. Zudem wird ein Bereich wie unter Bezugnahme auf 8 (Element 89) erläutert hinsichtlich der Polarisation verändert.
Die verschiedenen Feldbereiche werden dann durch einen weiteren polarisationsoptischen Strahlteiler 916 (entsprechend dem Strahlteiler 810 der 8) aufgeteilt. Ein Teil, welcher einem Bereich eines Spaltes der Beleuchtungs- bzw. Feldblende entspricht, wird über eine Optik 910 und einen Spiegel 911 im Wesentlichen dispersionsfrei auf einen Teil eines Kamerachips 913 abgebildet. Ein Teil, welcher einem Punktraster der Beleuchtungsblende bzw. Lochblende entspricht, wird über ein Spektrometer 914 mit einem rückseitigen Spiegel 915 mit entsprechender Dispersion auf einen anderen Teil des Kamerachips 913 abgebildet. Durch Relativbewegung der Probe zu der dargestellten Anordnung kann dann die gesamte Probe sowohl spektroskopisch vermessen werden (beispielsweise zur Bestimmung eines Tiefenprofils) als auch zur Erstellung eines Übersichtsbildes abgerastert werden.
Bei den Ausführungsbeispielen der 2–9 wird eine Trennung verschiedener Bereiche über die Polarisation erreicht. Die vorliegende Erfindung ist jedoch nicht auf eine Trennung auf Basis der Polarisation beschränkt, sondern es können auch andere Herangehensweisen verwendet werden. Als Beispiel wird nunmehr unter Bezugnahme auf die 10 eine Trennung verschiedener Feldbereiche auf Basis einer Mikrospiegelanordnung verwendet. Diese Mikrospiegelanordnung kann im Wesentlichen in den vorherigen Ausführungsbeispielen die Trennung auf Basis der Polarisation ersetzen. Insbesondere kann eine Trennung mittels einer Mikrospiegelanordnung auch zusammen mit den bereits diskutierten Masken der 4–7 verwendet werden.
In der 10 ist als Beispiel für eine Möglichkeit der Auftrennung von Eingangsstrahlen 104 nach verschiedenen Bereichen (beispielsweise verschiedenen Bereichen einer Feldblende) eine Mikrospiegelanordnung 100 (DMD, vom Englischen „digital micromirror device“) dargestellt. Zur Veranschaulichung sind weiter vier Spiegel 101A–101D der Mikrospiegelanordnung 100 dargestellt. In der Praxis kann eine derartige Mikrospiegelanordnung mehrere 100 oder mehrere 1000 Mikrospiegel aufweisen.
Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel können die Mikrospiegel entweder in eine erste Position oder in eine zweite Position gebracht werden. Die Mikrospiegel 101A, 101B und 101C sind dabei in dem dargestellten Beispiel in der ersten Position, in der einfallende Lichtstrahlen zu einer ersten Auswerteeinrichtung 102, beispielsweise einem ersten Spektrometer, hin gelenkt werden. Der Spiegel 101D ist in der zweiten Position, in der einfallende Lichtstrahlen zu einer zweiten Auswerteeinrichtung 103, beispielsweise einem zweiten Spektrometer, hin gelenkt werden.
Die Mikrospiegelanordnung 100 kann beispielsweise in oder bei einer Feldebene einer konfokalen Abbildung angeordnet sein, und kann somit verschiedene Feldbereiche voneinander separieren, um eine getrennte Analyse zu ermöglichen. Somit ist mittels der Mikrospiegelanordnung 100 eine ähnliche Funktionalität wie durch die Trennung auf Basis der Polarisation, welche oben beschrieben wurde, möglich. Dabei wird bei manchen Ausführungsbeispielen mit Mikrospiegelanordnung mehr Platz benötigt. Auf der anderen Seite kann die Feldaufteilung durch entsprechende Ansteuerung der Mikrospiegel flexibel geändert werden, sodass die Verwendung verschiedener Masken ohne Austausch einer Polarisationseinrichtung ermöglicht wird.
Die verschiedenen Varianten, welche unter Bezugnahme auf die 2–9 erläutert wurden (z.B. zwei verschiedene Spektrometer, Spektrometer und Bildaufnahme etc., eine oder zwei Kameras) sind auch mittels einer Mikrospiegelanordnung wie in 10 gezeigt realisierbar.
In 11 ist ein Flussdiagramm zur Veranschaulichung eines Verfahrens gemäß einem Ausführungsbeispiel dargestellt. Das Verfahren der 11 kann insbesondere mittels der unter Bezugnahme auf die 1–10 diskutierten Vorrichtungen implementiert sein. Während das Verfahren als Abfolge von Schritten 110–112 dargestellt ist, können manche dieser Schritte auch im Wesentlichen gleichzeitig durchgeführt werden, beispielsweise mittels der oben diskutierten Vorrichtungen.
In Schritt 110 wird Licht von einer Probe empfangen, beispielsweise als Antwort auf eine Beleuchtung mit Beleuchtungslicht. Bei 111 wird Licht aus einem ersten räumlichen Bereich der Probe, beispielsweise entsprechend einem ersten räumlichen Bereich einer Feldebene einer Abbildung des Lichtes von der Probe, zu einer ersten Art von Auswerteeinrichtung gelenkt. Bei 112 wird Licht aus einem zweiten räumlichen Bereich der Probe, beispielsweise entsprechend einem zweiten räumlichen Bereich der Feldebene, zu einer zweiten Art von Auswerteeinrichtung gelenkt. Wie bereits erläutert können die erste Art und die zweite Art verschiedene Arten von Spektrometern, beispielsweise mit verschiedenen Auflösungen sein. Die erste Art kann auch ein Spektrometer beinhalten, während die zweite Art eine im Wesentlichen dispersionsfreie Abbildung beinhalten kann. Die erste Art von Auswerteeinrichtung und die zweite Art von Auswerteeinrichtung können auch manche Komponenten, beispielsweise eine Kamera, gemeinsam benutzen. Zum Beleuchten der Probe und beim Empfangen des Lichtes können zudem wie beschrieben Masken, beispielsweise die unter Bezugnahme auf die 4–7 beschriebenen Masken, verwendet werden, wobei der erste und der zweite räumliche Bereich verschieden ausgestalteten Bereichen der Masken entsprechen können.
Andere Variationen und Abwandlungen, welche unter Bezugnahme auf die Vorrichtungen der 1–10 diskutiert wurden, sind auch auf das Verfahren der 11 anwendbar. Beispielsweise können der erste räumliche Bereich und der zweite räumliche Bereich auf Basis einer Polarisation oder mittels einer Mikrospiegelanordnung voneinander getrennt werden.
Die vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispiele dienen lediglich der Veranschaulichung und sind nicht als einschränkend auszulegen.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

FR 2950441 A1 [0001, 0003]
EP 2667151 [0001]
EP 2667151 A1 [0003]
US 6717668 B2 [0003]

Claims

Vorrichtung, umfassend: eine erste Auswerteeinrichtung, eine zweite Auswerteeinrichtung, wobei sich ein Typ der ersten Auswerteeinrichtung von einem Typ der zweiten Auswerteeinrichtung unterscheidet, und eine Trenneinrichtung, welche eingerichtet ist, einen ersten räumlichen Bereich von Licht von einem Objekt zu der ersten Auswerteeinrichtung zu lenken und einen zweiten räumlichen Bereich von Licht von dem Objekt zu der zweiten Auswerteeinrichtung zu lenken.
Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei die erste Auswerteeinrichtung ein erstes Spektrometer umfasst und die zweite Auswerteeinrichtung ein zweites Spektrometer umfasst, wobei sich Vergrößerung, Dispersion, Wellenlängenbereich und/oder Auflösung des ersten Spektrometers von Vergrößerung, Dispersion, Wellenlängenbereich und/oder Auflösung des zweiten Spektrometers unterscheidet.
Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei die erste Auswerteeinrichtung ein Spektrometer umfasst und die zweite Auswerteeinrichtung eine im Wesentlichen dispersionsfreie Abbildung bereitstellt.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1–3, wobei die erste Auswerteeinrichtung und die zweite Auswerteeinrichtung mindestens eine gemeinsame Komponente aufweisen.
Vorrichtung nach Anspruch 4, wobei die gemeinsame Komponente eine Kamera umfasst, wobei die Vorrichtung eingerichtet ist, Licht von der ersten Auswerteeinrichtung auf einen ersten Bereich eines Bildsensors der Kamera und Licht von der zweiten Auswerteeinrichtung auf einen zweiten Bereich des Bildsensors der Kamera abzubilden.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1–5, wobei die Vorrichtung weiter eine Abbildungsoptik zum Abbilden von Licht von dem Objekt in eine Feldebene umfasst, wobei der erste räumliche Bereich einem ersten Bereich der Feldebene entspricht und der zweite räumliche Bereich einem zweiten Bereich der Feldebene entspricht.
Vorrichtung nach Anspruch 6, wobei die Abbildungsoptik zur konfokalen Abbildung eingerichtet ist.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1–7, weiter umfassend eine Maske mit einem ersten Teilbereich und einem zweiten Teilbereich, wobei die Maske derart angeordnet ist, dass Licht von der Probe auf die Maske trifft, wobei der erste Teilbereich dem ersten räumlichen Bereich zugeordnet ist und der zweite Teilbereich dem zweiten räumlichen Bereich zugeordnet ist.
Vorrichtung nach Anspruch 7 und nach Anspruch 8, wobei die Maske in der Feldebene angeordnet ist.
Vorrichtung nach Anspruch 8 oder 9, wobei der erste Teilbereich ein erstes Lochmuster und der zweite Teilbereich ein zweites Lochmuster aufweist, wobei eine Lochdichte des ersten Lochmusters sich von einer Lochdichte des zweiten Lochmusters unterscheidet.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 8 bis 10, wobei der zweite Teilbereich ein Lochmuster aufweist, welches zu einem Lochmuster des ersten Teilbereichs versetzt ist.
Vorrichtung nach Anspruch 8 oder 9, wobei der erste Teilbereich ein Lochmuster und der zweite Teilbereich ein Spaltmuster aufweist.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 8–12, weiter umfassend eine Beleuchtungseinrichtung zum Beleuchten der Probe durch eine Beleuchtungsmaske, wobei die Beleuchtungsmaske entsprechend der Maske ausgestaltet ist.
Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Vorrichtung zur konfokal-chromatischen Multispotmessung eingerichtet ist.
Vorrichtung nach Anspruch 14, wobei die Vorrichtung eingerichtet ist, simultan zur Multispotmessung eine Übersichtsaufnahme einer Probe zu erstellen.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1–15, wobei die Trenneinrichtung zum Trennen von Licht auf Basis der Polarisation eingerichtet ist.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1–15, wobei die Trenneinrichtung eine Mikrospiegelanordnung umfasst.
Verfahren, umfassend: Empfangen von Licht von einer Probe, Lenken eines ersten räumlichen Bereichs des Lichts zu einer Auswerteeinrichtung eines ersten Typs, und Lenken eines zweiten räumlichen Bereichs des Lichts zu einer Auswerteeinrichtung eines zweiten Typs, wobei sich der zweite Typ von dem ersten Typ unterscheidet.
Verfahren nach Anspruch 18, wobei das Empfangen von Licht ein Empfangen von Licht durch eine Maske mit einem ersten Teilbereich und einem zweiten Teilbereich umfasst, wobei der erste Teilbereich dem ersten räumlichen Bereich und der zweite Teilbereich dem zweiten räumlichen Bereich zugeordnet ist.
Verfahren nach Anspruch 18, wobei sich ein Muster im ersten Teilbereich von einem Muster im zweiten Teilbereich unterscheidet.
Verfahren nach einem der Ansprüche 18–19, weiter umfassend Beleuchten der Probe durch eine Beleuchtungsmaske, wobei die Beleuchtungsmaske der Maske entspricht.
Verfahren nach einem Ansprüche 18–21, wobei das Verfahren mittels einer Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1–16 durchgeführt wird.