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Verschiedene Ausführungsbeispiele betreffen eine Messvorrichtung und ein Messverfahren zur Materialcharakterisierung.
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Ein übliches Dehnungsmessungsverfahren bei der Materialprüfung basiert auf einem hochauflösenden Feindehnungsaufnehmer und Extensometer bzw. einer Applikation von Dehnungsmessstreifen auf der zu untersuchenden Oberfläche. Dieses Verfahren ist mit einem hohen Aufwand bei der Kalibrierung und der Applikation der Dehnungsaufnehmer verbunden, insbesondere für komplexe Prüfaufgaben. Eine Automatisierung der Prüfung ist durch diese Messmethode ebenfalls erschwert. Bei dem Dehnungsmessungsverfahren werden in der Regel mechanische Dehnungsaufnehmer verwendet.
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Bekannte optische Messmethoden, die das Dehnungsmessungsverfahren vereinfachen könnten, werden zurzeit von unterschiedlichen Unternehmen vertrieben und entwickelt. Diese Messmethoden verwenden meist ein vorher auf die Proben aufzubringendes Kontrastmuster in Form von „Speckle“, beispielsweise einer Grauwertverteilung. Dieses Verfahren ist mit zusätzlichem Präparationsaufwand verbunden und das aufzubringende Kontrastmuster ist bezüglich seiner mechanischen und thermischen Stabilität oft fehleranfällig.
Verfahren, welche die optische Dehnungsmessung ohne Kontrastmuster durchführen, weisen einen zu geringen Kontrast auf der zu untersuchenden Oberfläche auf, beispielsweise bei spiegelnden polierten Oberflächen.
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Verschiedene Ausführungsformen beziehen sich auf eine Messvorrichtung aufweisend eine Haltevorrichtung zum Halten einer Probe; mindestens eine erste Lichtquelle und eine zweite Lichtquelle, die eingerichtet sind, eine Probe in der Haltevorrichtung in mindestens einem ersten Bereich und in einem zweiten Bereich zu beleuchten, wobei sich das Licht der ersten Lichtquelle von dem Licht der zweiten Lichtquelle in mindestens einer messbaren Eigenschaft unterscheidet und wobei der erste Bereich und der zweite Bereich voneinander beabstandete Bereiche auf der Probe sind, eine Erfassungseinheit, die eingerichtet ist, reflektiertes Licht der ersten Lichtquelle und reflektiertes Licht der zweiten Lichtquelle jeweils aus dem ersten Bereich und dem zweiten Bereich zu erfassen.
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Die Messvorrichtung kann die Messung von Verschiebungen und Dehnungen auf variierenden Oberflächen ermöglichen, beispielsweise auch auf polierten Oberflächen. Die Messvorrichtung weist eine feine bzw. detaillierte Auflösung der Oberflächenstruktur auf. Die Messvorrichtung kann die Dehnungsmessung in Versuchen zur Materialcharakterisierung vereinfachen. Die Messvorrichtung kann in Versuchen bei Verformungsmessungen an Bauteilen vereinfachen. Dadurch können Messkosten deutlich reduziert werden.
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Die Messvorrichtung kann ferner eine Auswerteeinheit aufweisen, die eingerichtet ist, eine räumliche Verteilung von erstem Licht in dem ersten Bereich und dem zweiten Bereich zu ermitteln, und eine räumliche Verteilung von zweitem Licht in dem ersten Bereich und dem zweiten Bereich zu ermitteln.
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Verschiedene Ausführungsbeispiele betreffen ein Messverfahren für eine Probe verwendend eine zuvor beschriebene Messvorrichtung. Das Verfahren aufweisend: Beleuchten des ersten Bereiches der Probe und des zweiten Bereiches der Probe mittels der ersten Lichtquelle und der zweiten Lichtquelle; und Erfassen, mittels der Erfassungseinheit, eines (ersten) Frames des ersten Bereichs der Probe und des zweiten Bereichs der Probe; und Ermitteln einer räumlichen Verteilung von erstem Licht in dem ersten Bereich und dem zweiten Bereich, und Ermitteln einer räumlichen Verteilung von zweitem Licht in dem ersten Bereich und dem zweiten Bereich.
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Es versteht sich, dass ein hierin beschriebenes Messverfahren entsprechend ein oder mehrere Verfahrensschritte aufweisen kann, die hierin mit Bezug auf Funktionen einer Messvorrichtung beschrieben sind und umgekehrt.
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Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Figuren dargestellt und werden im Folgenden näher erläutert.
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Es zeigen:
- 1 eine schematische Querschnittsansicht einer Messvorrichtung gemäß verschiedenen Ausführungsformen;
- 2 eine schematische Querschnittsansicht einer Messvorrichtung gemäß verschiedenen Ausführungsformen; und
- 3 ein Ablaufdiagramm eines Messverfahrens für eine Probe in einer Messvorrichtung gemäß 1 und 2.
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In der folgenden ausführlichen Beschreibung bezieht sich auf die beigefügten Zeichnungen Bezug genommen, in denen zur Veranschaulichung spezifische Details und Ausführungsformen gezeigt sind, in denen die Erfindung ausgeübt werden kann. Es versteht sich, dass andere Ausführungsformen benutzt und strukturelle oder logische Änderungen vorgenommen werden können, ohne von dem Schutzumfang der vorliegenden Erfindung abzuweichen. Es versteht sich, dass die Merkmale der hierin beschriebenen verschiedenen beispielhaften Ausführungsformen miteinander kombiniert werden können, sofern nicht spezifisch anders angegeben. Die folgende Beschreibung ist deshalb nicht in einschränkendem Sinne aufzufassen, und der Schutzumfang der vorliegenden Erfindung wird durch die angefügten Ansprüche definiert.
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1 veranschaulicht eine schematische Querschnittsansicht einer Messvorrichtung 100.
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Die Messvorrichtung 100 weist eine Haltevorrichtung 102 zum Halten einer Probe 104 auf.
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Die Probe 104 weist mindestens einen ersten Bereich 110 und einen zweiten Bereich 112 auf. Der erste Bereich 110 und der zweite Bereich 112 sind voneinander beabstandete Bereiche auf der Probe 104, beispielsweise auf einer Oberfläche der Probe 104. Die Haltevorrichtung 102 kann derart zur Dehnung der Probe 104 eingerichtet sein (in 1 mittels der Doppelpfeile 162 veranschaulicht), dass ein Abstand 120 zwischen dem ersten Bereich 110 und dem zweiten Bereich 112 veränderbar ist.
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Die Haltevorrichtung 102 kann eine Heizkomponente (nicht veranschaulicht) aufweisen, die eingerichtet ist, die Temperatur der Probe 104 einzustellen, beispielsweise die Probe 104 zu erwärmen oder abzukühlen. Die Probe 104 kann beispielsweise auf eine materialspezifische Erweichungstemperatur der Probe 104 erwärmt werden oder darüber hinaus.
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Die Messvorrichtung 100 weist mindestens eine erste Lichtquelle 106 und eine zweite Lichtquelle 108 auf. Die erste Lichtquelle 106 und die zweite Lichtquelle 108 sind eingerichtet eine Probe 104 in der Haltevorrichtung 102 in mindestens einem ersten Bereich 110 und in einem zweiten Bereich 112 zu beleuchten, wobei sich das Licht 114 der ersten Lichtquelle 106 von dem Licht 116 der zweiten Lichtquelle 108 in mindestens einer messbaren Eigenschaft unterscheidet.
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Die erste Lichtquelle 106 und die zweite Lichtquelle 108 können jeweils in einem Winkel zu dem ersten Bereich 110 und dem zweiten Bereich 112 angeordnet sein. Die erste Lichtquelle 106 und die zweite Lichtquelle 108 können derart eingerichtet sein, dass der Winkel veränderbar ist. Die erste Lichtquelle 106 und die zweite Lichtquelle 108 können als Lambert' sche Strahler eingerichtet sein. Die erste Lichtquelle 106 und die zweite Lichtquelle 108 können jeweils eingerichtet sein, monochromatisches Licht zu emittieren. Die erste Lichtquelle 106 und die zweite Lichtquelle 108 können derart eingerichtet sein, dass das Licht 114 der ersten Lichtquelle 106 eine andere Lichtfarbe aufweist als das Licht 116 der zweiten Lichtquelle 108. Die erste Lichtquelle 106 und die zweite Lichtquelle 108 können derart eingerichtet sein, dass das erste Licht 114 der ersten Lichtquelle 106 eine andere Polarisationsrichtung aufweist als das zweite Licht 116 der zweiten Lichtquelle 108. Die erste Lichtquelle 106 und die zweite Lichtquelle 108 können derart eingerichtet sein, dass das Licht 114 der ersten Lichtquelle 106 als eine erste Folge von Lichtpulsen emittiert wird und das Licht 116 der zweiten Lichtquelle 108 als eine zweite Folge von Lichtpulsen emittiert wird. Die erste Lichtquelle 106 und die zweite Lichtquelle 108 können jeweils eine oder mehrere Leuchtdioden aufweisen. Die messbaren Eigenschaft kann somit beispielsweise die Lichtfarbe, die Polarisationsrichtung und/oder Die Pulsfolge von Lichtpulsen sein.
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Die Messvorrichtung 100 weist eine Erfassungseinheit 118 auf, die eingerichtet ist, reflektiertes erstes Licht 114 der ersten Lichtquelle 106 und reflektiertes zweites Licht 116 der zweiten Lichtquelle 108 jeweils aus dem ersten Bereich 110 und dem zweiten Bereich 112 zu erfassen. Die Erfassungseinheit 118 kann einen Fotodetektor 170 aufweisen. Der Fotodetektor 170 kann zum Erfassen von Farblicht eingerichtet sein. Der Fotodetektor 170 kann beispielsweise eine CCD-Kamera sein.
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Alternativ oder zusätzlich kann der Fotodetektor 170 zum Erfassen von monochromatischem Licht eingerichtet sein, beispielsweise eine Fotodiode, ein Fotodioden-Array oder einen Farbfilter aufweisen.
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Die Erfassungseinheit 118 kann einen Strahlteiler 172 aufweisen, wobei ein erster optischer Eingang 130 des Strahlteilers auf den Bereich gerichtet ist, ein zweiter optischer Eingang 132 auf den zweiten Bereich 112 gerichtet ist, und ein optischer Ausgang 174 mit einem Fotodetektor 170 der Erfassungseinheit 118 gekoppelt ist. Die Erfassungseinheit 118 kann mindestens ein Objektiv 134 mit mindestens 2facher Vergrößerung sein oder aufweisen. Die Erfassungseinheit 118 kann mindestens ein telezentrisches Objektiv 134 aufweisen. Die Erfassungseinheit 118 kann eine dritte Lichtquelle 136 aufweisen. Die dritte Lichtquelle 136 kann die Probe 104 durch den ersten optischen Eingang 130 und den zweiten optischen Eingang 132 mit drittem Licht 138 beleuchtet.
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Die Messvorrichtung 100 kann eine Auswerteeinheit 140 aufweisen. Die Auswerteeinheit 140 kann eingerichtet sein, eine räumliche Verteilung von erstem Licht 114 in dem ersten Bereich 110 und dem zweiten Bereich 112 zu ermitteln, und eine räumliche Verteilung von zweitem Licht 116 in dem ersten Bereich 110 und dem zweiten Bereich 112 zu ermitteln.
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2 veranschaulicht eine schematische Querschnittsansicht einer Messvorrichtung 100. 2 veranschaulicht eine detaillierte Ansicht eines Beispiels der Messvorrichtung aus 1.
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In 2 weist die Messvorrichtung 100 zur detaillierten Darstellung der Oberfläche einer Probe 104, beispielsweise Objektive mit einer optischen Vergrößerung von mindestens 3x auf. Dies ermöglichst es auch auf polierten Oberflächen topographische Details/Oberflächenmarken (OM) 202 darzustellen, beispielsweise Schleifriefen, Drehmarken, Kratzer etc. - in 2 als topografische Struktur 202 veranschaulicht. Um die OM 202 im Kontrast zu verstärken, kann mittels schmalbandiger farbiger Leuchtdioden als Lichtquellen 106, 108 die Probe 104 aus unterschiedlichen Richtungen beleuchtet werden. Wie in 2 veranschaulicht ist, können OM 202 den Reflexionsgrad von Licht 114 einer der Lichtquellen aus der ersten Richtung reduzieren (in 2 als reflektiertes erstes Licht 114r - der OM 202 kann hier zu einer Abschattung führen) und/oder können den Reflexionsgrad von Licht 116 der anderen Lichtquelle aus einer zweiten Richtung verstärken (in 2 als reflektiertes zweites Licht 116r - der OM 202 kann hier zu einem Einfallswinkel mit höherer Reflektivität führen).
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Die Messvorrichtung 100 weist einen optischen Sensor 170 als Fotodetektor 170 auf, der eingerichtet ist, das mindestens ein erstes Licht 114, das von einer ersten Lichtquelle 106 emittiert wird, und ein zweites Licht 116, das von einer zweiten Lichtquelle 108 emittiert wird, zu erfassen. Das erste Licht 114 unterscheidet sich von dem zweiten Licht 116.
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Beispielsweise weist das erste Licht 114 eine andere Farbe, beispielsweise Peak-Wellenlänge, auf als das zweite Licht 116. Alternativ oder zusätzlich weist das erste Licht 114 eine andere Polarisationsrichtung auf als das zweite Licht 116. Beispielsweise weisen das erste Licht 114 und das zweite Licht 116 eine zueinander orthogonale Polarisation auf. Dadurch kann das von dem optischen Sensor 170 erfasste Licht unterscheidbar der ersten Lichtquelle 114 und der zweiten Lichtquelle 116 zugeordnet werden. Die erste Lichtquelle 106 und die zweite Lichtquelle 108 können beispielweise monochromatische Lichtquellen sein, beispielsweise Leuchtdioden oder Laserdioden.
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Die erste Lichtquelle 106 und die zweite Lichtquelle 108 können zueinander versetzt angeordnet sein, beispielsweise in einem Winkel zueinander. Dadurch können unterschiedliche Bereich 110, 112 der zu untersuchenden Probe 104 ausgeleuchtet werden.
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Mit einem Farbsensor 170 als optischer Sensor 170 können Lichtquellen 106, 108 mit unterschiedlicher Lichtfarbe verwendet werden. Bei einem Farbsensor 170 kann eine hohe Ortsauflösung durch ein vergrößerndes Objektiv ermöglicht werden.
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Das Objektiv ermöglicht unterschiedliche OM 202 auf der Oberfläche der Probe 104 abzubilden. Der Informationsgehalt aufgenommener Frames der Bereiche 110, 112 der Probe 104 kann dadurch vergrößert werden. Die OM 202 können durch die Vergrößerung über einen großen Pixelbereich abgebildet. Die OM 202 können durch die unterschiedlichen Beleuchtungsrichtungen der ersten Lichtquelle 106 und der zweiten Lichtquelle 108 mit unterscheidbarem Licht, beispielsweise unterschiedlichen Farben, beleuchtet werden. Dadurch kann optisch ein charakteristisches Muster auf der Oberfläche der Probe 104 erzeugt werden. Das Muster lässt sich leichter als aktuelle Muster unter Translation und Deformation der Probe 104 auf der Probe 104 wiederfinden.
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Die Messvorrichtung 100 ermöglicht eine Verbesserung der Genauigkeit der Dehnungsmessung. Die Genauigkeit kann ferner gesteigert werden, indem voneinander beabstandete Bereiche 110, 112 vermessen werden. Die beabstandeten Bereiche 110, 112 können beispielsweise mittels eines Strahlteilers 172, beispielsweise einem Spiegelsystem, erfasst werden. In anderen Worten: der Strahlteiler 172 in 1 kann optional sein und es kann lediglich ein Bereich untersucht werden. Durch Untersuchung von zwei oder mehr Bereichen 110, 112 kann die Genauigkeit bei Dehnungsmessungen verbessert werden.
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Die Genauigkeit des Messverfahrens kann dadurch gesteigert werden, dass der gleiche Bereich 110, 112 entweder kostengünstig über ein weiteres Spiegelsystem aus zwei Winkeln auf einen Fotodetektor übertragen wird oder mindestens zwei Fotodetektoren verwendet werden. Die Korrelation der beiden Bildbereiche 110, 112 der Probe 104 zueinander kann über eine Beleuchtung der Oberfläche der Probe 104 mit einem einfarbigen Muster erfolgen, beispielsweise mittels der dritten Lichtquelle 136. Dabei kann einer der Farbesensoren des Fotodetektors 170 rein für die Mustererkennung und damit die Korrelation der unterschiedlich aufgenommenen gleichen Bildbereiche verwendet werden.
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Zusätzlich lässt können über eine Mikropositionierung der Spiegel der Bereiche 110, 112 der Probe 104 variabel einstellen. Bei Verwendung des optischen Musters mittels der dritten Lichtquelle 136 kann ohne erneute Kalibrierung der Bereiche 110, 112 gearbeitet werden.
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Anschaulich kann die Messvorrichtung 100 eine verbesserte Genauigkeit aufweisen durch die Verwendung vergrößernder Objektive und beispielsweise eine Farbkamera. Alternativ oder zusätzlich kann die Beleuchtung mittels zwei oder drei schmalbandigen Leuchtdioden, beispielsweise eine blaue Leuchtdiode, eine grüne Leuchtdiode, eine rote Leuchtdiode aus drei Raumrichtungen ermöglicht eine Erhöhung des Informationsgehaltes in den erfassten Frames der Bildbereiche durch unterschiedliche Reflektion der Oberfläche. Die Genauigkeit der Messung kann durch Separierung in den ersten Bereich 110 und den zweiten Bereich 112, d.h. in voneinander entfernt liegende Aufnahmebereiche, in Kombination mit dem vergrößernden Objektiv vergrößert werden. Dadurch kann eine hohe Auflösung und ein großes Dehnungssignal durch den Abstand der Bereiche 110, 112 der Probe 104 zueinander, die einzeln wiederum sehr exakt erfasst werden.
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Die Genauigkeit kann durch ein zusätzlich erfasstes Frame desselben Bildbereiches über ein weiteres Spiegelsystem aus unterschiedlichen Winkeln mit der effizienten Korrelation über ein optisches Muster auf der Probe erhöht werden.
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3 veranschaulicht ein Ablaufdiagramm eines Messverfahrens für eine Probe verwendend eine Messvorrichtung gemäß 1 und 2.
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Das Messverfahren 300 weist auf: Beleuchten 302 des ersten Bereiches der Probe und des zweiten Bereiches der Probe mittels der ersten Lichtquelle und der zweiten Lichtquelle, Erfassen 304, mittels der Erfassungseinheit, eines (ersten) Frames des ersten Bereichs der Probe und des zweiten Bereichs der Probe. Das Verfahren 300 weist ferner auf: Ermitteln 306 einer räumlichen Verteilung von erstem Licht in dem ersten Bereich und dem zweiten Bereich, und Ermitteln einer räumlichen Verteilung von zweitem Licht in dem ersten Bereich und dem zweiten Bereich.
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Das Verfahren 300 kann ferner ein Dehnen der Probe derart aufweisen, dass der Abstand zwischen dem ersten Bereich und dem zweiten Bereich und dem zweiten Bereich verändert wird. Die zuvor beschriebene Messung kann für unterschiedliche Dehnungen/Abstände durchgeführt werden. Das Messverfahren 300 kann ferner ein Ändern der Temperatur der Probe 104 aufweisen. Die zuvor beschriebene Messung kann für unterschiedliche Temperaturen der Probe durchgeführt werden.
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Die Messvorrichtung 100 ermöglicht eine weitgehende Automatisierung der Messverfahren von Proben 104, wodurch sich große Kostenersparnisse erzielen lassen.
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Das Messverfahren verwendend die Messvorrichtung 100 ist nichttaktil und beeinflusst dadurch die Probe 104 nicht.
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Im Folgenden werden einige Beispiele beschrieben, die sich auf das hierin Beschriebene und in den Figuren Dargestellte beziehen.
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Beispiel 1a ist eine Messvorrichtung, aufweisend: eine Haltevorrichtung zum Halten einer Probe; mindestens eine erste Lichtquelle und eine zweite Lichtquelle, die eingerichtet sind, eine Probe in der Haltevorrichtung zu beleuchten, wobei sich das Licht der ersten Lichtquelle von dem Licht der zweiten Lichtquelle in mindestens einer messbaren Eigenschaft unterscheidet, und eine Erfassungseinheit, die eingerichtet ist, reflektiertes Licht der ersten Lichtquelle und reflektiertes Licht der zweiten Lichtquelle jeweils von der Probe zu ermitteln.
Beispiel 1b ist eine Messvorrichtung, aufweisend: eine Haltevorrichtung zum Halten einer Probe; mindestens eine erste Lichtquelle und eine zweite Lichtquelle, die eingerichtet sind, eine Probe in der Haltevorrichtung in mindestens einem ersten Bereich und in einem zweiten Bereich zu beleuchten, wobei sich das Licht der ersten Lichtquelle von dem Licht der zweiten Lichtquelle in mindestens einer messbaren Eigenschaft unterscheidet und wobei der erste Bereich und der zweite Bereich voneinander beabstandete Bereiche auf der Probe sind, eine Erfassungseinheit, die eingerichtet ist, reflektiertes Licht der ersten Lichtquelle und reflektiertes Licht der zweiten Lichtquelle jeweils aus dem ersten Bereich und dem zweiten Bereich zu ermitteln.
In Beispiel 2 kann der Gegenstand von Beispiel 1a optional aufweisen, dass die Haltevorrichtung derart zur Dehnung der Probe eingerichtet ist, dass ein Abstand zwischen dem ersten Bereich und dem zweiten Bereich veränderbar ist.
In Beispiel 3 kann der Gegenstand von Beispiel 1a oder 2 optional aufweisen, dass die Haltevorrichtung eine Heizkomponente aufweist, die eingerichtet ist, die Temperatur der Probe einzustellen.
In Beispiel 4 kann der Gegenstand von einem der Beispiele 1b bis 3 optional aufweisen, dass die erste Lichtquelle und die zweite Lichtquelle jeweils in einem Winkel zu dem ersten Bereich und dem zweiten Bereich angeordnet sind.
In Beispiel 5 kann der Gegenstand von einem der Beispiele 1a bis 4 optional aufweisen, dass die erste Lichtquelle und die zweite Lichtquelle als Lambert'sche Strahler eingerichtet sind.
In Beispiel 6 kann der Gegenstand von einem der Beispiele 1a bis 5 optional aufweisen, dass die erste Lichtquelle und die zweite Lichtquelle jeweils monochromatisches Licht emittieren.
In Beispiel 7 kann der Gegenstand von Beispiel 6 optional aufweisen, dass die erste Lichtquelle und die zweite Lichtquelle derart eingerichtet sind, dass das Licht der ersten Lichtquelle eine andere Lichtfarbe aufweist als das Licht der zweiten Lichtquelle.
In Beispiel 8 kann der Gegenstand von Beispiel 6 oder 7 optional aufweisen, dass wobei die erste Lichtquelle und die zweite Lichtquelle derart eingerichtet sind, dass das Licht der ersten Lichtquelle eine andere Polarisationsrichtung aufweist als das Licht der zweiten Lichtquelle.
In Beispiel 9 kann der Gegenstand von einem der Beispiel 6 bis 8 optional aufweisen, dass die erste Lichtquelle und die zweite Lichtquelle derart eingerichtet sind, dass das Licht der ersten Lichtquelle als eine erste Folge von Lichtpulsen emittiert wird und das Licht der zweiten Lichtquelle als eine zweite Folge von Lichtpulsen emittiert wird.
In Beispiel 10 kann der Gegenstand von einem der Beispiele 6 bis 9 optional aufweisen, dass die erste Lichtquelle und die zweite Lichtquelle jeweils eine oder mehrere Leuchtdioden aufweisen.
In Beispiel 11 kann der Gegenstand von einem der Beispiele 1a bis 10 optional aufweisen, dass die Erfassungseinheit einen Fotodetektor aufweist, wobei der Fotodetektor zum Erfassen von Farblicht eingerichtet ist.
In Beispiel 12 kann der Gegenstand von einem der Beispiele 1a bis 10 optional aufweisen, dass die Erfassungseinheit einen Fotodetektor aufweist, wobei der Fotodetektor zum Erfassen von monochromatischem Licht eingerichtet ist.
In Beispiel 13 kann der Gegenstand von einem der Beispiele 1a bis 12 optional aufweisen, dass die Erfassungseinheit einen Strahlteiler aufweist, wobei ein erster optischer Eingang des Strahlteilers auf den Bereich gerichtet ist, ein zweiter optischer Eingang auf den zweiten Bereich gerichtet ist, und ein optischer Ausgang mit einem Fotodetektor der Erfassungseinheit gekoppelt ist.
In Beispiel 14 kann der Gegenstand von einem der Beispiele 1a bis 13 optional aufweisen, dass die Erfassungseinheit mindestens ein Objektiv mit mindestens 2facher Vergrößerung aufweist.
In Beispiel 15 kann der Gegenstand von einem der Beispiele 1a bis 14 optional aufweisen, dass die Erfassungseinheit mindestens ein telezentrisches Objektiv aufweist.
In Beispiel 16 kann der Gegenstand von einem der Beispiele 13 bis 15 optional aufweisen, dass die Erfassungseinheit eine dritte Lichtquelle derart aufweist, dass die dritte Lichtquelle die Probe durch den ersten optischen Eingang und den zweiten optischen Eingang mit drittem Licht beleuchtet.
In Beispiel 17 kann der Gegenstand von einem der Beispiele 1a bis 16 optional eine Auswerteeinheit aufweisen, die eingerichtet ist, eine räumliche Verteilung von erstem Licht in dem ersten Bereich und dem zweiten Bereich zu ermitteln, und eine räumliche Verteilung von zweitem Licht in dem ersten Bereich und dem zweiten Bereich zu ermitteln.
Beispiel 18 ist ein Messverfahren für eine Probe verwendend eine Messvorrichtung gemäß Beispiel 17. Das Verfahren weist auf: Beleuchten des ersten Bereiches der Probe und des zweiten Bereiches der Probe mittels der ersten Lichtquelle und der zweiten Lichtquelle; und Erfassen, mittels der Erfassungseinheit, eines ersten Frames des ersten Bereichs der Probe und des zweiten Bereichs der Probe. Das Verfahren weist ferner auf: Ermitteln einer räumlichen Verteilung von erstem Licht in dem ersten Bereich und dem zweiten Bereich, und Ermitteln einer räumlichen Verteilung von zweitem Licht in dem ersten Bereich und dem zweiten Bereich zu ermitteln.
In Beispiel 19 kann der Gegenstand von Beispiel 18 optional ferner ein Dehnen der Probe derart aufweisen, dass ein Abstand zwischen dem ersten Bereich und dem zweiten Bereich verändert wird; und Wiederholen der Verfahrensschritte von Beispiel 18 aufweisend ein Ermitteln eines zweiten Frames, und Vergleichen der Änderung zwischen dem ersten Frame und dem zweiten Frame.
In Beispiel 20 kann der Gegenstand von Beispiel 18 oder 19 optional ferner ein Ändern der Temperatur der Probe aufweisen; und ein Wiederholen der Verfahrensschritte von Beispiel 18 aufweisend ein Ermitteln eines zweiten Frames, und Vergleichen der Änderung zwischen dem ersten Frame und dem zweiten Frame.
In Beispiel 21 kann der Gegenstand von Beispiel 18 bis 20 optional ferner ein Beleuchten der Probe mit einem vorgegeben Beleuchtungsmuster aufweisen.
