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Gegenstand der
Erfindung
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Die Erfindung bezieht sich auf ein
Innentrommel-Aufzeichnungsgerät.
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Hintergrund
der Erfindung
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Trommel-Imagesetter umfassen im Allgemeinen
eine Trommel, auf die ein fotosensitives Aufzeichnungsmedium aufgebracht
ist, und ein Mittel zum Erzeugen eines Strahls, das in der Lage
ist, ein Bild auf das Medium aufzuzeichnen. Das aufgezeichnete Medium
wird dann im Druckprozess der vorher aufgezeichneten Bilder verwendet.
Bei Außentrommel-
Imagesettern ist das fotosensitive Medium auf der äußeren Oberfläche der
Trommel aufgebracht. Demgegenüber
ist bei Innentrommel-Imagesettern, mit denen sich die vorliegende
Erfindung befasst, das Medium auf der inneren Oberfläche der
Trommel aufgebracht.
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1 stellt
schematisch eine herkömmliche Konfiguration
eines Innentrommel-Aufzeichnungsgeräts dar.
Es beinhaltet hauptsächlich
die Trommel 1, die das Aufzeichnungsmaterial 2 trägt, einen
Träger 3,
auf dem ein Schlitten 4 bewegbar ist. Der Schlitten 4 trägt ein drehbares
Ablenkelement 5, das in der Figur als würfelförmiger Reflektor gezeigt ist,
obwohl andere Elemente, wie zum Beispiel ein Pentaprisma oder ein
Spiegel ebenfalls möglich
sind. Er trägt
zudem eine Fokussierlinse 6. Die Lichtquellenanordnung 7 ist
an die Trommel 1 oder den Träger 3 angebracht und
emittiert einen kollimierten Strahl 8 in Richtung auf den
Schlitten 4 zu.
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Es ist bekannt, dass die Richtung
des kollimierten Strahls festlegt, inwieweit die abgebildete Linie
eine gerade Linie ist.
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Beim Versuch, einen Mehrstrahl-Innentrommel-Scanner
zu betreiben, werden sich zwei Strahlen, die zwei Linien aufzeichnen
sollen, dann, wenn sie dicht beieinander liegen und von zwei nicht
parallelen kollimierten Strahlen erzeugt wurden, schnei den, wenn
die Nichtparallelität
zu groß ist.
Dieses Problem ist schematisch in 2 gezeigt,
wo die beiden Strahlen aus der Quelle durch 8 und 8' und die resultierenden
Strahlen, die auf das fotosensitive Material schreiben, als 9 und 9' bezeichnet
sind, die die Bildzeilen 100 und 100' abbilden. Auf
jeden Fall wird die geringste Abweichung von der Parallelität bei den kollimierten
Strahlen zu nicht parallel abgebildeten Linien führen.
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Innentrommel-Imagesetter, die mit
einem einzelnen Schreibstrahl arbeiten, tendieren dazu, im Durchsatz
aufgrund mechanischer Einschränkungen begrenzt
zu sein. Da die zur Verfügung
stehende Datenrate mit der zunehmenden Leistungsfähigkeit
des Rasterprozessors zunimmt, ist die einzige Möglichkeit, aus dieser Situation,
wenn ein einzelner Schreibstrahl in einer Innentrommel-Anordnung
verwendet wird, einen Vorteil zu ziehen, die Drehgeschwindigkeit
des drehbaren Ablenkelements zu erhöhen, welches das Licht auf
das lichtsensitive Material leitet. Eine Erhöhung der Drehgeschwindigkeit
ist jedoch durch die verfügbare
Technologie begrenzt.
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Es sind verschiedene Bauformen von
Innentrommel-Imagesettern bekannt geworden, die mit mehr als einem
simultan aufzeichnenden Strahl betrieben werden. Einige basieren
auf der Verwendung eines drehbaren Elements, das parallel zur Drehachse
verlaufenden Spiegeln äquivalent
ist (
US 5,579,115 ).
Andere verwenden ein Derotationselement, das mit der halben Geschwindigkeit
synchron zum ablenkenden Element rotiert, wie in der
US 5,214,528 beschrieben ist. Andere
benutzen zwei Strahlen verschiedener Polarisation (
EP 0 483 827 ). Ein anderer Ansatz,
um dieses Problem zu lösen,
ist in der
US 5,764,381 beschrieben,
in der die Lichtquellen innerhalb der Trommel rotieren.
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Alle Versuche, die im Stand der Technik
gemacht wurden, um dieses Problem von Innentrommel-Aufzeichnungsgeräten zu lösen, haben
deutliche Nachteile. Sie beinhalten im Allgemeinen komplexe Lösungen und
haben ihre Grenzen. So führt
beispielsweise das Vorsehen eines Spiegels parallel zur Trommelachse
zu einer Vorrichtung, die im Scanwinkel begrenzt ist. Eine Vorrichtung,
die auf der Derotation beruht, erfordert extrem präzise und
stabile mechanische Justierung. Eine Vorrichtung, die eine doppelte
Polarisation verwendet, ist auf zwei Strahlen begrenzt. Eine Vorrichtung,
die rotierende Quellen verwendet, benötigt einen Datentransfer zu
den rotierenden Quellen, was kompliziert und teuer ist.
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Es ist entsprechend bislang nicht
gelungen, eine einfache und effizienten Lösung der oben erwähnten Probleme
bereitzustellen.
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Es ist daher eine Aufgabe der Erfindung, eine
Vorrichtung vorzuschlagen, die die oben erwähnten Nachteile des Standes
der Technik überwindet
und die es erlaubt, hohe Durchsätze
für ein
Innentrommel-Aufzeichnungsgerät
zur Verfügung
zu stellen. Eine weitere Aufgabe der Erfindung ist es, eine Vorrichtung
bereitzustellen, die auf der traditionellen Innentrommel-Bauform
beruht.
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Eine weitere Aufgabe der Erfindung
ist es, eine Vorrichtung zur Verfügung zu stellen, die eine Aufrüstung von
einem Einzel- zu einem Mehrfach-Strahlbetrieb bei geringfügigen Modifikationen eines
bestehenden Systems erlaubt.
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Weitere Aufgaben und Vorteile der
Erfindung werden bei der folgenden Beschreibung offensichtlich werden.
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Zusammenfassung
der Erfindung
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Die Erfindung stellt ein dispersives
Prisma zur Verfügung
zum Gebrauch als Ablenkelement in einem Mehrstrahl-Mehrwellenlängen-Innentrommel-Aufzeichnungsgerät, mit zwei
gekoppelten, transparenten optischen Elementen zwischen denen eine
reflektive Oberfläche
vorgesehen ist, die um ungefähr
45° gegen
den einfallenden Strahl geneigt ist, wobei die Einfall- und/oder
Ausfallflächen
des Prismas in Bezug auf die optische Achse geneigt sind, dadurch
gekennzeichnet, dass die reflektive Oberfläche einen Reflexionskoeffizienten
dicht bei 1 hat.
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Das Ablenkelement hat folglich dispersive Eigenschaften,
so dass Strahlen verschiedener Wellenlänge es unter leicht unterschiedlichen
Winkeln verlassen.
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In einer bevorzugten Ausführungsform
der Erfindung werden Strahlen verschiedener Wellenlängen durch
Laserdioden erzeugt. Bevorzugterweise – aber nicht notwendigerweise – sind die
Laserdioden durchstimmbare Laserdioden.
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Die Vorrichtung der Erfindung umfasst
bevorzugterweise einen Strahlvereiniger, um die Strahlen, die durch
Lichtquellen erzeugt wurden, zu vereinigen. Entsprechend einer bevorzugten
Ausführungsform
der Erfindung ist der Strahlvereiniger ein Strahlteiler. Gemäß einer
anderen bevorzugten Ausführungsform
der Erfindung ist der Strahlvereiniger ein dichroitischer Strahlvereiniger.
Gemäß einer
weiteren bevorzugten Ausführungsform
der Erfindung umfasst der Strahlvereiniger einen Lichtleiterkuppler.
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Entsprechend einer bevorzugten Ausführungsform
der Erfindung hat die Einfall- oder Ausfallfläche des Prismas eine zylindrische
Gestalt.
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Vorzugsweise ist das Prisma, dessen
Einfallfläche
eine zylindrische Gestalt hat, an eine Linse gekoppelt, die einen
Brechungsindex aufweist, der von dem des brechenden Prismas verschieden
ist. Alternativ kann das Prisma an ein keilförmiges Prisma angekoppelt sein.
Der Darstellung dienende und nicht einschränkende Beispiele von geeigneten
Linsen beinhalten eine zylindrische Linse und eine keilförmige zylindrische
Linse.
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Nachstehend wird eine Methode beschrieben,
die nicht in Übereinstimmung
mit der Erfindung ist.
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Nachstehend wird ein Verfahren zum
Betrieb eines Innentrommel-Aufzeichnungsgeräts mit hohem Durchsatz beschrieben,
das erfindungsgemäß ein drehbares
Ablenkelement aufweist und das zwei oder mehr simultan ansprechbare
Strahlen verschiedener Wellenlänge
zur Verfügung
zu stellen in der Lage ist und das die zwei oder mehr Strahlen auf
einen gemeinsamen optischen Pfad bringt, bevor diese das drehbare
Ablenkelement erreichen.
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Kurze Beschreibung
der Zeichnungen
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In den Zeichnungen ist
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1 eine
schematische Darstellung eines Innentrommel-Aufzeichnungsgeräts gemäß dem Stand
der Technik und
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2 eine
schematische Darstellung einer Innentrommel- Anordnung, die mit
zwei Strahlen arbeitet und sich schneidende Linien erzeugt.
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3 zeigt
eine Strahlvereinigungsoptik, die auf optischen Standard- Elementen
beruht.
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4 zeigt
eine Strahlvereinigungsoptik, die auf Lichtleiterelementen beruht,
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5 ist
ein Plan eines optischen Systems, der das Brechschema entsprechend
einer bevorzugten Ausführungsform
der Erfindung zeigt,
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6(A–D)zeigt die Details von zwei
dispergierenden Prismenkonstruktionen und zwei Prismenanordnungen
entsprechend verschiedenen bevorzugten Ausführungsformen der Erfindung,
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7 ist
eine schematische Zeichnung einer Innentrommel und ist eine Konfiguration
entsprechend einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung,
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8A stellt
eine Ausrichtmaskenanordnung dar,
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8B zeigt
die Ausrichtung, die durch die Ausrichtmaskenanordnung nach 8A erhalten wird;
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9 ist
ein Flussdiagram eines Wellenlängeneinstellschemas
und
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10 ist
ein Blockdiagram eines Systems nach einer Ausführungsform der Erfindung.
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Detaillierte
Beschreibung der Erfindung
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Die Erfindung wird nun mit Bezug
auf der Darstellung dienende und den Schutzbereich nicht einschränkende bevorzugte
Ausführungsformen
beschrieben. Verschiedene Quellen, die bei verschiedenen Wellenlängen betrieben
werden, werden verwendet, um einen vereinigten Strahl zu erzeugen,
der auf das drehbare Ablenkelement (5 in 1) geführt ist. Die Zentralwellenlänge der
Quellen wird mit λ1, λ2, ..., λn bezeichnet. Die folgende Beschreibung bezieht sich
jedoch aus Gründen
der Einfachheit auf lediglich zwei Quellen, obwohl es für den Durchschnittsfachmann
offensichtlich ist, dass die Erfindung keinesfalls auf lediglich
zwei Quellen beschränkt
ist und eine Vieizahl von Quellen vorgesehen sein kann, die mit Überlegungen
hinsichtlich von Bauraum und Kosten verträglich sind.
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3 und 4 stellen schematisch das
Verfahren für
die Überlagerung
der Multiwellenlängenstrahlen
entsprechend bevorzugter Ausführungsformen der
Erfindung dar.
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Bei einer Methode werden optische
Standard-Elemente verwendet, wie in 3 gezeigt
ist. Zwei Laserquellen, die durch die Bezugszeichen 10 und 11 bezeichnet
sind, werden verwendet. Diese beiden Quellen haben wie oben erwähnt, verschiedene
Wellenlängen.
Das von diesen Quellen emittierte Licht wird unter entsprechender
Verwendung der Kollimationslinsen 12 und 13 kollimiert
und dann in einen Strahlvereiniger 14 eingeleitet, um zu
erreichen, dass die kombinierten Strahlen 24 und 25 parallel
zueinander verlaufen. Dieser Strahlvereiniger kann beispielsweise
ein 50%/50% Strahlteiler sein, wobei in diesem Fall 50% der Lichtleistung
beider Strahlen verloren wird. Ein dichroitischer Strahlvereiniger
kann in dem Fall ebenfalls verwendet werden, wenn die Wellenlängen so
voneinander verschieden sind, dass sie durch eine dichroitische
Beschichtung auflösbar
sind. In solchen Fällen
erreicht mehr als 80% der Lichtleistung jeder Quelle den vereinigten
Strahl.
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Ein bevorzugter (aber keineswegs
der einzige) Weg, einen vereinigten Strahl herzustellen, ist, Lichtleiterkomponenten
zu verwenden, wie in 4 gezeigt
ist. Das von den Lichtquellen 15 und 16 emittierte
Licht unterschiedlicher Wellenlängen
wird durch Einkoppellinsen 20 und 21 in die Eingangsenden 17 und 18 eines
Lichtleiterkupplers 19 eingekoppelt. Wie oben werden dann,
wenn ein Standard- 50%/50 Fiberoptikkuppler verwendet wird, 50%
der Lichtleistung am Ausgangsende 22 des Kopplers verloren.
Wird jedoch en WDM (Wavelength Division Multiplexer)-Koppler verwendet,
erreichen mehr als 80% der Leistung jedes Strahls, die in das Eingangsende
des Kupplers eingekoppelt werden, das Ausgangsende.
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Die Konfiguration nach 4 ist bevorzugt, da die
Strahlen am Ausgang des Kopplers perfekt superponiert sind. Aufgrund
dieser Tatsache werden durch die Kollimationslinse 23 zwei
kollimierte Strahlen geformt, die perfekt parallel sind. Im Fall
von 3 kann es nach einiger
Zeit zu mechanischen Lageabweichungen kommen, und die Strahlen 24 und 25 bleiben
nicht parallel zueinander.
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5 zeigt
schematisch, wie die Strahlen durch das drehbare Ablenkelement getrennt
werden. Die kollimierten Strahlen 24 und 25 werden
durch die Lichtquellen anordnung 26, die wie oben erklärt aufgebaut
ist, emittiert. Das Licht wird dann durch eine Fokussierlinse 27 fokussiert,
die in dieser bevorzugten Ausführungsform
der Erfindung vor dem drehbaren Ablenkelement 28 positioniert
ist. In einer anderen bevorzugten Ausführungsform der Erfindung kann
die Fokussierlinse 27 hinter dem Ablenkelement 28 positioniert
sein und sich mit ihm drehen.
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Das Ablenkelement 28 ist
entsprechend einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung aus einem
dispersiven Prisma aufgebaut. Dessen Einfallfacette ist im Wesentlichen
senkrecht zu der Achse des Strahls, der die Fokussierlinse 27 verlässt, wohingegen
die Ausfallfacette mit dieser Achse einen Winkel bildet.
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6A stellt
Details der Konstruktion des dispersiven Prismas entsprechend einer
besonders bevorzugten Ausführungsform
der Erfindung dar. Dieses Prisma ist im Wesentlichen ein würfelförmiger Reflektor,
bei dem die Ausgangsfacette OF relativ zur optischen Achse geneigt
ist. Der Ablenker ist aus Glas gefertigt und umfasst zwei Teile,
zwischen denen sich eine reflektierende Oberfläche RS befindet. Diese Oberfläche ist
um 45° gegen
den einfallenden Strahl geneigt. Der ausfallende Strahl trifft auf
die Ausfallfacette, die unter einem Winkel von 90° + θ gegen die
optische Achse geneigt ist. Dieser Winkel θ ist so gewählt, dass die gewünschte Punkttrennung in
der Bildebene als Funktion der Wellenlängendifferenz zwischen den
Quellen, den Dispersionseigenschaften des Glases, das zur Herstellung
des sich drehenden Prismas verwendet wird, und des Radius der Trommel
erreicht wird. Die Einfall- oder Ausfallflächen, oder beide, sind in Bezug
auf die optische Achse geneigt.
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Das Prisma kann, wie es dem Durchschnittsfachmann
bekannt ist, auf verschiedene Arten und Weisen hergestellt werden.
Um die Herstellung des Prismas mit zylindrischer Fläche und
die den daraus resultierenden Aufbau darzustellen, können die
folgenden Parameter verwendet werden:
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- Material des Prismas: Schottglas F2;
- Winkel θ =
15°;
- Abstand der Zentralwellenlängen
der Dioden: 4 nm;
- Abstimmbereich der Dioden: ± 2 nm;
- Innerer Trommeldurchmesser: 400 mm.
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Unter diesen Bedingungen können Linienabstände zwischen
6 und 16 um erreicht werden, was entsprechend einer Bildauflösung von
140 bis 60 Linien pro Millimeter entspricht.
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In einigen Fällen, abhängig von der Konvergenz des
Strahls, der in das dispersive Prisma eintritt, können die
optischen Aberrationen, die durch das dispersive Prisma erzeugt
werden, nicht mit der gewünschten
Bildqualität
vereinbar sein. Es können verschiedene
Wege beschritten werden, um diese Aberration zu kompensieren. Zunächst erhält, wie
in 6B gezeigt, die Einfallfläche 120 des
dispersiven Prismas eine zylindrische Gestalt. Die optische Aberration
wird zusätzlich
reduziert, wenn eine zylindrische Linse 122 dem dispersiven
Prisma hinzugefügt wird,
wie in der 6C gezeigt
ist, wobei die Linse 122 einen Brechungsindex hat, der
sich von dem des dispersiven Prismas unterscheidet.
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Die optische Aberration wird weiter
reduziert, wenn eine keilförmige
zylindrische Linse 124 (oder ein keilförmiges zylindrisches Prisma,
das hier nicht gezeigt ist) dem dispersiven Prisma hinzugefügt wird, wie
in 6D gezeigt ist, wobei
die Linse 124 (oder das keilförmige Prisma) wiederum einen
Brechungsindex hat, der sich von dem des dispersiven Prismas unterscheidet.
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Der Radius der Krümmung der zylindrischen Oberfläche hängt von
der Konvergenz des Lichtstrahls und den Charakteristika des verwendeten Glases
ab. Der optimale Radius, der die Aberrationen minimiert, kann durch
Verwendung von bekannter optischer Simulationssoftware bestimmt
werden.
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In allen oben stehenden Beispielen
sind die Zylinderoberflächen
auf der Einfallfläche
des ablenkenden Prismas gezeigt. Auf eine äquivalente Art und Weise können die
Zylinderoberflächen
auch auf der Ausfallfläche
des ablenkenden Prismas sein.
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Entsprechend der vorliegenden Erfindung wird
die Winkeltrennung der Strahlen durch das rotierende Element erzeugt.
Als Folge bilden, wie in 7 zu
sehen ist, die separierten Strahlen 29 und 30 parallele
Linien ab, die einander nicht schneiden. Werden insbesondere optische
Lichtleiterelemente verwendet, befinden sich die Strahlen in perfekter
Superposition, so dass der Abstand zwischen den beiden abgebildeten
Linien während
der Drehung des Ablenkelements 5 konstant bleibt.
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Im Normalfall wird es notwendig sein,
den Abstand zwischen den separaten Punkten und entsprechen den Abstand
zwischen den abgebildeten Linien entsprechend der gewünschten
Bildauflösung zu
justieren. Das kann durch ein Durchstimmen der Wellenlänge der
Lichtquelle leicht erreicht werden.
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Auf die gleiche Art und Weise kann
der Abstand zwischen den abgebildeten Linien entsprechend den verschiedenen
Bildauflösungen
variiert werden.
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Aus praktischen Gesichtspunkten können durchstimmbare
Laserdiodensysteme als durchstimmbare Quellen verwendet werden,
obwohl andere Quellen, wie dem Durchschnittsfachmann bekannt ist,
verwendet werden können.
Derartige durchstimmbare Laserdioden sind kommerziell zum Beispiel
von SDL (USA) und New Focus (USA) erhältlich.
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Die Vorrichtung wird durch ein Durchstimmen
der Quellenwellenlänge
zur Justage der Separation der abgebildeten Linien verwendet. Die
Vorrichtung beruht auf einer Anordnung von Lichtdetektoren und Ausrichtungsmasken,
wie in 8A gezeigt ist.
Jeweils eine derartige Anordnung wird für jede Auflösung benötigt. Die Maske 31 besteht
aus einem Glassubstrat, auf dem eine reflektive Schicht vorhanden
ist. Die reflektive Schicht ist in zwei parallelen linienartigen
Segmenten 32 und 32' entfernt,
die hintereinander liegen, jedoch um einen Abstand versetzt. Diese
Linien haben eine Breite, die schmal ist gegenüber der Größe des optischen Punkts, der
bei der entsprechenden Wellenlänge
verwendet wird. Da der Laserpunkt eine gaußkurvenförmige Verteilung hat, ist eine
Linienbreite in der Größenordnung
der Halbwertsbreite (FWHM, Full Width of Half Maximum) der Punktgröße akzeptabel.
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Der Versatz der Linien ist gewählt als
der Abstand zweier benachbarter Linien bei der spezifischen Auflösung. Die
Maske wird durch fotolithografische Techniken hergestellt, die eine
Submikrometergenauigkeit erreichen. Das ist angemessen, da die Auflösung von
Abbildungsvorrichtungen dieses Typs in der Größenordnung von 100 Linien pro
Millimeter sind, was einem notwendigen Versatz von 10 μm entspricht.
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Ein Lichtdetektor, dessen Elektronik 34 in
der Lage ist, Peaksignale zu detektieren, ist schematisch in der
Figur gezeichnet und durch das Bezugszeichen 33 bezeichnet.
Die Maske und der Detektor sind in einem gemeinsamen Gehäuse montiert,
das drehbar justiert werden kann, so dass die Maske an seiner Stelle
rotiert.
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Diese Anordnung ist in einer Position
so an der Trommel (1 in 7)
montiert, dass sie dem Lichtstrahl zugänglich ist, und so, dass die
Maske sich in der Bildebene befindet, d. h., tangential zu der inneren
Oberfläche
der Trommel.
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Die beschriebene Methode ist sehr
empfindlich und kann daher auch bei relativ kleinen Unterschieden
in der Wellenlänge
verwendet werden. Typischerweise können Wellenlängen, die
eine Differenz von Δλ = 4 nm aufweisen,
angewendet werden, eine beispielhafte und nicht beschränkende Wellenlänge ist
in der Größenordnung
von 633 nm.
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Die Prozedur des Durchstimmens wird
wie folgt durchgeführt.
Als erster Schritt wird die Maskenanordnung zum Strahlpfad ausgerichtet
(Schritt 1 im Flussdiagramm in 9). Das wird dadurch durchgeführt, dass
das vom Detektor gesehene Signal auf einem Oszilloskop beobachtet
wird, wie in 8B dargestellt
ist. Eine der Quellen wird kontinuierlich betrieben, während das
drehbare Element 5 sich dreht und der Schlitten 4 bewegt
wird, bis der Lichtstrahl die Linie 32 kreuzt, wobei zu
diesem Zeitpunkt der Schlitten angehalten wird. Wenn die Linie 32 einen Winkel
mit dem Strahlpfad bildet, der durch den Lichtpunkt 35 beschrieben
wird, der sich in Pfeilrichtung bewegt, so sieht man ein Signal,
das kürzer
ist als das, wenn die Ausrichtung erreicht ist, und hat zudem weniger
steile ansteigende und abfallende Flanken (Signal (2) in 8B). Wenn die Linie 32 mit
dem Strahlpfad fluchet, wie es durch den Lichtpunkt 35 dargestellt
ist, der sich in Pfeilrichtung bewegt, sieht man ein quasi rechteckiges
Signal (Signal (1) in 8B).
Die Maskenanordnung wird schrittweise justiert, um das breiteste
Signal und die steilsten Flanken zu erhalten. Dieser Schritt ist
Teil der Maschinenkalibrierung und wird einmal beim Zusammenbau
und dem finalen Test der Maschine durchgeführt.
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Die nächste Sequenz wird immer dann, wenn
es notwendig ist, eingesetzt, um aktiv den Abstand zwischen den
abgebildeten Linien einzustellen. Die Beschreibung der Elemente
wird durchgeführt mit
Bezug auf 7. Das drehbare
Element 5 wird be tätigt
(Schritt 2, 9)
und die erste Lichtquelle, die in der kombinierten Lichtquellenanordnung 7' angeordnet
ist, wird betätigt
(Schritt 3, Figur 9). Der Schlitten 4 wird dann
betätigt,
während
das Signal am Detektor überwacht
wird. Der Schlitten 4 wird in einer Folge vor- und zurückbewegt
(Schritt 4, 9) um
so das maximale Peaksignal in der ersten Maskenlinie 32 in 8A am Detektor zu detektieren (Schritt 5, 9). Da der Laser eine gaußkurvenförmige Verteilung
hat, wird das maximale Peaksignal dann beobachtet, wenn der Lichtstrahl
in der ersten Maskenlinie zentriert ist. Ob die Linie durch die
Linie 32 oder 32' verläuft ist
beispielsweise dadurch bekannt, dass der Schlitten in einer Richtung
von einer Seite der Linie 32 kommend so bewegt wird, dass das
erste detektierte Signal der Linie 32 entspricht.
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Die erste Lichtquelle wird ausgeschaltet
und die zweite wird eingeschaltet (Schritt 6, 9).
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Der Abstimmbereich der zweiten Quelle
wird durchfahren (Schritt 7, 9),
um das maximale Peaksignal im Detektor bei der zweiten Linie 32' zu detektieren
(Schritt 8, 9).
Es ist bekannt, dass der Strahl durch die Linie 32' tritt, indem
der Punkt den Abstimmbereich von einer Seite der Linie 32' aus durchfährt, so
dass das erste Signal, das detektiert wird, zur Linie 32' gehört. Das
komplettiert die die Prozedur des Durchstimmens.
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Das drehbare Element 5 und
die Quellen 7' werden
dann entsprechend der Bildsequenz betätigt.
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10 zeigt
die Betriebsweise des Systems schematisch auf dem Niveau eines Blockdiagramms. Der
Hauptregler setzt die Wellenlängen
der Quellen entsprechend der Anforderungen an die Auflösung der
Bilder. Dies geschieht durch den Wellenlängendurchstimmregler, der die
Wellenlängen
der Quellen 1 und 2 unter Überwachung der Maskenanordnung durchstimmt.
Ist diese Prozedur einmal durchlaufen, werden die mechanischen Bewegungen
des Schlittens und der drehbaren Elemente durch den Bewegungsregler
durchgeführt.
Die Bilddaten werden synchronisiert durch den Datenflussregler gesendet,
der die Belichtungsinformationen an Quelle 1 und Quelle 2 durch
den Rasterprozessor und ein seriell-zu-parallel-Interface sendet.
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Während
Ausführungsformen
der Erfindung durch Darstellungen beschrieben wurden, ist selbstverständlich,
dass die Erfindung auch in etlichen Modifikationen, Variationen
und Adaptionen von Durchschnittsfachleuten ausgeführt werden
kann, ohne dass der Schutzbereich der Ansprüche verlassen wird.