DE3445751A1 - Einrichtung zum halten mehrerer lichtstrahlen in vorbestimmten relativen lagen - Google Patents

Einrichtung zum halten mehrerer lichtstrahlen in vorbestimmten relativen lagen

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Description

— Ο
Ι. Hitachi, Ltd., Tokyo 2. Hitachi Koki Co., Ltd., Tokyo Japan
Einrichtung zum Halten mehrerer Lichtstrahlen in vorbestimmten relativen Lagen
Die Erfindung bezieht sich auf eine Einrichtung zum Halten mehrerer Lichtstrahlen in vorbestimmten relativen Lagen. Diese Einrichtung ist vorteilhaft einsetzbar in einem System, das mehrere von einer Mehrzahl Lichtquellen ausgehende Lichtstrahlen nutzt, z. B. in einem optischen Plattenaufzeichnungssystem, einem Laserdrucker oder einem Laser-Telekopierer.
Beim Stand der Technik gibt es mehrere Möglichkeiten zur Erzielung einer hohen Lichtausgangsleistung unter Ausrichtung mehrerer Laserstrahlen in einer optischen Achse und Fokussierung derselben auf einen Punkt in einem Aufzeichnungsträger. Dabei sind folgende Möglichkeiten bekannt: die Anwendung eines Polarisationsprismas 3, das für p-polarisiertes Licht 1 durchlässig ist, während es s-polarisiertes Licht 2 reflektiert (Fig. 1), wobei die Polarisations-Charakteristiken eines Laserstrahls genutzt werden; die Anwendung eines Spiegelfilters 6, dessen mehrere Schichten so ausgelegt sind, daß ein Laserstrahl 4 von zwei verschiedene Wellenlängen aufweisenden Laserstrahlen
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durchgelassen und der andere Laserstrahl 5 reflektiert wird (Fig. 2); und schließlich die Anwendung eines Beugungsgitters 7 (Fig. 3) oder die Anwendung eines Hologramms 8 (Fig. 4). Bei jeder der vorgenannten Einrichtungen ist es jedoch schwierig, Lichtpunkte auf dem Aufzeichnungsträger in Deckung zu bringen, und externe Störungen wie Vibrationen oder Temperaturänderungen wirken sich aus, so daß selbst dann, wenn durch eine Justierung Deckungsgleichheit hergestellt werden könnte, die den Einrichtungen innewohnenden Nachteile in bezug auf Dekkungsgleichheit nur unbefriedigend überwunden werden könnten. Somit läßt sich sagen, daß die beim Stand der Technik vorhandenen Möglichkeiten in der praktischen Anwendung unzureichend sind.
Bei einer Einrichtung wie etwa einem Laserdrucker oder einem mit Lichtabtastung arbeitenden Telekopierer erfolgt die optische Abtastung durch Bewegen eines umlaufenden Polygonalspiegels oder Galvanometerspiegels mit hoher Geschwindigkeit. Um hohe Geschwindigkeit und hohe Auflösung zu erzielen, ist es erforderlich, den Vorgang sehr stark auf einen hohen Pegel zu beschleunigen, aber dieser Beschleunigung sind Grenzen gesetzt.
Um diese Beschränkungen zu umgehen, ist es üblich, die eigentlich notwendige hohe Betriebsgeschwindigkeit der optischen Ablenkvorrichtung eines umlaufenden Polygonalspiegels dadurch zu vermindern, daß mit Hilfe mehrerer Lichtpunkte, die von mehreren Lichtquellen erzeugt werden, gleichzeitige Abtastvorgänge durchgeführt werden.
Dabei gibt es im wesentlichen zwei Arten von Lichtquellen: (1) eine Halbleiterlaser- oder Leuchtdiodenanordnung und (2) mehrere Lichtquellenelemente.
Wenn diese Lichtquellenelemente verwendet werden, müssen sie in bezug aufeinander sehr genau positioniert sein. Es geschieht jedoch manchmal, daß benachbarte Lichtpunkte sich überlappen oder zu weit voneinander beabstandet sind, und in beiden Fällen sind die Ergebnisse unbefriedigend.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist die Bereitstellung einer Einrichtung zum genauen Halten mehrerer Lichtstrahlen in vorbestimmten Lagen zueinander, ferner die Bereitstellung einer Laserstrahl-Zusammensetzungseinrichtung, mit der mehrere Laserstrahlen auf einen gemeinsamen Punkt auf einem Aufzeichnungsträger in Deckung gebracht werden können, ohne daß sich äußere Störungen nachteilig auswirken, und ferner die Bereitstellung einer optischen Abtasteinrichtung, die auch bei Verwendung mehrerer Lichtquellen mit ausgezeichneten Abtastergebnissen arbeitet.
Die Einrichtung nach der Erfindung zum Halten mehrerer Lichtstrahlen in vorbestimmten relativen Lagen ist gekennzeichnet durch mehrere Laserdioden, eine der Anzahl Laserdioden entsprechende Anzahl Linsen, die die von den Laserdioden kommenden Lichtstrahlen fokussieren, mehrere Stelleinheiten, die entweder die Laserdioden oder die Linsen haltern, wenigstens einen Lichtdetektor, der Verschiebungen der von den Laserdioden ausgehenden und von den Linsen fokussierten Lichtstrahlen relativ zu einer vorbestimmten Lage optisch erfaßt, und eine Steuerschaltung, die die Stelleinheiten aufgrund eines Ausgangssignals des Lichtdetektors so steuert, daß die Verschiebung der Lichtstrahlen gegenüber der vorbestimmten Lage verringerbar ist.
Anhand der Zeichnung wird die Erfindung beispielsweise näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 bis
Fig. 4 konventionelle Beispiele von Einrichtungen zur Strahlzusammensetzung;
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Fig. 5 eine schematische Ansicht einer Antriebseinheit gemäß der Erfindung;
Fig. 6 eine schematische Ansicht einer Ausführungsform der Erfindung;
Fig. 7 in größerem Maßstab eine Referenzplatte und Lichtpunkte;
Fig. 8 in größerem Maßstab einen Lichtdetektor;
Fig. 9 eine schematische Ansicht einer weiteren Ausführungsform der Erfindung;
Fig. 10 bis
Fig. 12 schematische Ansichten von Anwendungsbeispielen der Erfindung;
Fig. 13 eine schematische Ansicht einer weiteren Ausführungsform der Erfindung;
Fig. 14 den Aufbau eines bei der Ausfuhrungsform nach Fig. 13 verwendeten Lichtdetektors; und
Fig. 15 ein weiteres Beispiel des bei der Erfindung verwendeten Lichtdetektors.
Nachstehend wird das Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 5 erläutert.
Die Strahlen von einem Halbleiterlaser bzw. einer Laserdiode 9, die so angeordnet ist, daß sie p-polarisiertes Licht auf ein Polarisationsprisma 3 projiziert, und von einer Laserdiode 10, die s-polarisiertes Licht auf das Polarisationsprisma 3 projiziert, werden von dem Polarisationsprisma 3 kombiniert und in bezug auf ihre optischen Achsen zu einem Strahl ausgerichtet. Dieser Strahl wird von einer Sammellinse 11 als Laserstrahl doppelter Stärke auf einen Aufzeichnungsträger 12 fokussiert.
Der Aufzeichnungsträger 12 kann dabei eine optische Platte oder eine fotoleitende Trommel eines Laserstrahldruckers sein.
Eine Kopplungslinse 13 oder 14 zur Fokussierung des Strahls von der Laserdiode 9 oder 10 ist an einer Stelleinheit 15 bzw. 16 gehaltert. Selbst wenn also die beiden Lichtpunkte auf dem
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Aufzeichnungsträger durch externe Störungen verschoben werden, wird doch die Kopplungslinse 13 oder 14 in einer zur optischen Achse senkrecht verlaufenden Ebene von der Stelleinheit 15 bzw. 16 bewegt, so daß die beiden Punkte justiert werden und eine genaue Aufzeichnung erfolgt. Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel sind natürlich die Kopplungslinsen festgelegt, wobei die Laserdioden von den Stelleinheiten gehaltert sind.
Es stellt sich nunmehr das Problem, eine Möglichkeit zur Erfassung einer Verschiebung anzugeben. Fig. 6 zeigt ein Beispiel dafür.
Nach Fig. 6 wird ein zusammengesetzter Strahl, der von einer Einheit ähnlich derjenigen nach Fig. 5 kommt, durch ein halbdurchlässiges Prisma (oder einen solchen Spiegel) 17 mit einem Durchlässigkeitsvermögen von 50 % oder höher durchgelassen, so daß der durchgelassene Strahl als hochintensiver Strahl durch die Sammellinse 11 auf den Aufzeichnungsträger 12 fokussiert wird. Der von dem Prisma 17 reflektierte Strahl erreicht eine Referenzplatte 21 durch ein optisches Element 18 wie etwa ein Beugungsgitter, ein halbdurchlässiges Prisma 19 und eine Sammellinse 20. Die Referenzplatte 21 weist Nuten auf mit einer Längs- und Quertiefe von λ/4 (wobei λ. die Laserstrahl-Wellenlänge bezeichnet). Wie Fig. 7 zeigt, müssen von dem optischen Element 18 wenigstens vier seitliche Punkte auf die Referenzplatte 21 fokussiert werden. Als optisches Element 18 kann ein Element verwendet werden, das in der zweidimensionalen Konfiguration von Gittern ausgebildet ist, d. h. etwa als Längs- und Quergitter.
Der von der Referenzplatte 21 reflektierte Strahl wird durch den halbdurchlässigen Spiegel 19 gemäß Fig. 6 weiter reflektiert und von einem Polarisationsprisma 22 einer p-s-Trennung unterworfen, bis die geteilten Strahlen durch Linsen 23 und 23' Lichtdetektoren 24 und 24" erreichen. Der Lichtdetektor 24
bzw. 24' ist in Segmente unterteilt, und zwar gemäß Fig. 8 in vier Segmente, auf die die Punkte auf der Referenzplatte fokussiert werden.
Wenn die Laserdiode 9 aus der Lage in der Zeichnung durch externe Störungen geringfügig verschoben werden sollte, werden die Punkte 25 und 26 auf der Referenzplatte verschoben. Nach Maßgabe dieser Verschiebung fällt einer der Punkte auf eine Nut. Der Teil des Punkts, der die Nut erreicht, wird einer Phasenmodulation von A/2 unterworfen, so daß der zur Linse 23 nach Reflexion zurückkehrende Strahlanteil verringert ist.
Infolgedessen ergibt sich ein Ungleichgewicht hinsichtlich der Quantität des auf den Lichtdetektor auftreffenden Strahls, so daß zwischen den Ausgangs-Fotoströmen der gegenüberliegenden Segmente eine Differenz gebildet wird. Diese Differenz wird erfaßt in Form eines Punktverschiebungs-Erfassungssignals und wird zur Stelleinheit 15 durch eine Steuerschaltung 31 rückgekoppelt, so daß die Stelleinheit 15 so steuerbar ist, daß sie zu jeder Zeit den mittleren Punkt auf einen Kreuzungspunkt in der Referenzplatte fokussieren kann. Wenn diese Vorrichtung mit den beiden Laserdioden 9 und 10 angewandt wird, sind die beiden Punkte auf der Referenzplatte 21 kombiniert.
Nun sind die die Lichtquellen darstellenden Laserdioden 9 und 10 sowie die Bildpunkte auf der Referenzplatte 21 zueinander konjugiert. Die Lichtquellen 9 und 10 sind ebenfalls zu den Bildpunkten auf dem Aufzeichnungsträger 12 konjugiert. Infolgedessen sind die Punkte auf der Referenzplatte 21 und die Punkte auf dem Aufzeichnungsträger 12 zueinander konjugiert, und die Punkte auf der Referenzplatte 21 sind durch die Stelleinheiten unbeweglich gemacht, so daß die Punkte auf dem Aufzeichnungsträger 12 ebenfalls unbeweglich sind.
Die vorstehende Beschreibung ist zwar auf die Zusammensetzung der beiden Lichtquellen gerichtet, wie Fig. 9 zeigt, können aber z. B. auch vier Lichtquellen zusammengesetzt werden.
Insbesondere können vier Strahlen zu einem Strahl mit etwa vierfacher Lichtstärke zusammengesetzt werden durch zwei Polarisationsprismen 3 und 31 und den Filterspiegel 6, der einen Strahl mit einer Wellenlänge ^ durchläßt und einen Strahl mit einer Wellenlänge Λ.« reflektiert.
Wie vorstehend beschrieben wurde, kann die Mehrzahl Laserstrahlen zu einem Strahl zusammengesetzt bzw. kombiniert werden unter Bildung eines mehrfach verstärkten Laserlichtpunkts, was bisher nach dem Stand der Technik nicht möglich war. Ferner wird der zusammengesetzte Lichtstrahl weder durch Vibrationen noch durch Temperaturschwankungen gestreut.
Ein solches Hochleistungs-Lasermodul 27 kann z. B. als Lichtquelle für eine optische Scheibe eines direkten Schreib-Lese-Systems gemäß Fig. 10 eingesetzt werden, so daß das System entweder beschleunigt werden oder ein Aufzeichnungsmaterial verwenden kann, das ungeachtet geringer Lichtempfindlichkeit eine hohe Lagerstabilität hat.
Wenn ferner das Modul 27 in der Optik eines Laserdruckers gemäß Fig. 11 eingesetzt wird, kann eine amorphe lichtleitende Siliziumtrommel 29 verwendet werden, die sehr gute Eigenschaften wie Beständigkeit und Sicherheit ungeachtet geringer Empfindlichkeit aufweist. Es ist ersichtlich, daß die Schreibgeschwindigkeit gesteigert werden kann.
Wie Fig. 12 zeigt, kann ein solches Hochleistungs-Lichtquellenmodul 27 an einem künstlichen Satelliten 30 angebracht werden, so daß es für die optische Informationsübertragung entweder Satellit/Erde oder Erde/Satellit verwendbar ist.
Fig. 13 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel.
Dabei sind die Polarisationsrichtungen von zwei linear polarisierten Lichtquellen 4 1 und 42 unter einem rechten Winkel orientiert (d. h. die Lichtquellen sind p- und s-polarisiert).
Ein Polarisationsprisma 43 läßt den p-polarisierten Strahl durch und reflektiert den s-polarisierten Strahl rechtwinklig dazu. Die aus den jeweiligen Lichtquellen austretenden Lichtstrahlen werden nach Durchsetzen des Polarisationsprismas 43 in genau dieselbe Richtung abgestrahlt, und die beiden Strahlen werden gleichzeitig von einem Lichtumlenkelement 44 umgelenkt. Diese Strahlen werden als Lichtpunkte 46 und 47 von einer Abtastlinse 45 auf eine Abtastebene fokussiert. Somit erfolgt eine gleichzeitige Abtastung mit den beiden Lichtpunkten 46 und 47. Pfeile 48 und 49 bezeichnen die Abtastzeile bzw. die Abtastrichtung durch die Punkte 46 bzw. 47. Es ist jedoch erforderlich, die Durchmesser der Lichtpunkte und die Abstände zwischen ihnen auf der Abtastebene in eine geeignete Beziehung zu bringen.
Ein vier Segmente aufweisender Lichtdetektor 50 besteht aus den Segmenten 61, 62, 63 und 64 (Fig. 14). Diese Segmente sind so angeordnet, daß der p-polarisierte Lichtpunkt auf die Segmente
61 und 62 auftrifft, wogegen der s-polarisierte Lichtpunkt auf die Segmente 63 und 64 auftrifft. Nachdem der Lichtstrahl das Polarisationsprisma 43 durchsetzt hat, wird er von einem Halbspiegel 51 durch eine Linse 52 zum Teil auf den Lichtdetektor 50 gerichtet.
Wenn die Lagen der Lichtquellen 41 und 42 oder der Kopplungslinsen 53 und 54 durch eine Servoeinheit so geregelt werden, daß sowohl die Ausgangsdifferenz zwischen den Segmenten 61 und
62 als auch die Ausgangsdifferenz zwischen den Segmenten 63 und 64 auf Null reduziert werden kann, wird die Lagebeziehung der jeweiligen Lichtpunkte auf der Abtastebene ebenfalls aufrechterhalten.
Bei diesem Ausführungsbeispiel sind die Kopplungslinsen 53 und 54 von Stelleinheiten 55 bzw. 56 gehaltert. Die Differenz zwischen dem Ausgang des Segments 61 und demjenigen des Segments 62 wird zur Stelleinheit 55 von einer Steuerschaltung 57 rückgekoppelt, und die Stelleinheit 55 wird so gesteuert, daß
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die Differenz zwischen diesen Ausgängen Null sein kann. Andererseits wird die Differenz zwischen den Ausgängen der Segmente 63 und 64 von einer Steuerschaltung 58 zur Stelleinheit 56 rückgekoppelt, und die Stelleinheit 56 wird so gesteuert, daß die Differenz zwischen diesen Ausgängen Null sein kann.
Der Abstand zwischen den Lichtpunkten kann willkürlich eingestellt werden durch willkürliche Wahl des Abstands d zwischen den Segmenten 62 und 63.
Fig. 15 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel, d. h. ein weiteres Beispiel für den Aufbau des Lichtdetektors.
Die Lage eines Lichtpunkts wird durch einen Lichtdetektor, der aus vier Segmenten 71, 72, 73 und 74 besteht, erfaßt und geregelt, wogegen die Lage des zweiten Lichtpunkts durch einen weiteren Lichtdetektor, der aus vier Segmenten 75, 76, 77 und 78 besteht, erfaßt und geregelt wird. Die vier Segmente 71, 72, 73 und 74 sind so angeordnet, daß sie in zwei benachbarten Zeilen und in zwei benachbarten Reihen liegen. Die übrigen vier Segmente 75, 76, 77 und 78 sind in gleicher Weise angeordnet. Wenn die Ausgänge der jeweiligen Segmente mit D(71), D(72), D(73), ... bzw. D(78) bezeichnet werden, ist der Abtastabstand durch die folgenden Gleichungen bestimmt:
D(71) + D(73) - {D(72) + D(74)}; und D(75) + D(77) - {D(76) + D(78)}; und
der Abstand zwischen den beiden Lichtpunkten in Abtastrichtung ist durch die folgenden Gleichungen bestimmt:
D(71) + D(72) - fD(7 3) + D(74)]; und D(75) + D(76) - {D(77) + D(78)$.
_ 15 _ 3A45751
Für diese Regelvorgänge können die Linsen 53 und 54 oder die
Lichtquellen 41 und 42 an Stelleinheiten gehaltert sein, die
von den Ausgängen der vorgenannten Segmente so steuerbar sind, daß sie zweidimensional bewegt werden können.
Wie vorstehend erläutert wurde, können durch Vorsehen der Mittel zum Einstellen des Abstands zwischen der Mehrzahl Lichtquellen sehr gute Abtastergebnisse auch dann erzielt werden, wenn eine Mehrzahl Lichtquellen verwendet wird. Da der Abstand zwischen den Lichtquellen automatisch elektrisch justiert wird, wird für die Anordnung der jeweiligen Lichtquellen keine hohe Präzision verlangt, und ein optisches Abtastsystem mit mehreren Lichtquellen ist mit sehr gutem Wirkungsgrad realisierbar.
ο e r s e ί t

Claims (10)

Patentansprüche
1. Einrichtung zum Halten mehrerer Lichtstrahlen in vorbestimmten relativen Lagen,
gekennzeichnet durch
- mehrere Laserdioden (9, 10; 41, 42);
- eine der Anzahl Laserdioden entsprechende Anzahl Linsen (13, 14; 53, 54), die die von den Laserdioden kommenden Lichtstrahlen fokussieren;
mehrere Stelleinheiten (15, 16; 55, 56), die entweder die Laserdioden oder die Linsen haltern; wenigstens einen Lichtdetektor (24, 24'; 50), der Verschiebungen der von den Laserdioden (9, 10; 41, 42) ausgehenden und von den Linsen (13, 14; 53, 54) fokussierten Lichtstrahlen relativ zu einer vorbestimmten Lage optisch erfaßt; und
eine Steuerschaltung (31, 31'; 57, 58), die die Stelleinheiten (15, 16; 55, 56) aufgrund eines Ausgangssignals des Lichtdetektors (24, 24'; 50) so steuert, daß die Verschiebung der Lichtstrahlen gegenüber der vorbestimmten Lage verringerbar ist.
680-318302191 DE1-Schö
_ 2 _ 3UB751
2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Lichtdetektor für jeden Lichtstrahl zwei Segmente (61, 62, 63, 64) umfaßt, so daß die Differenz zwischen den Ausgängen der beiden Segmente als Signal zur Steuerung der Lagen der Lichtstrahlen nutzbar ist.
3. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Lichtdetektor vier Segmente (71-74, 75-78) aufweist, die jeweils in zwei benachbarten Zeilen und zwei benachbarten Spalten angeordnet sind, so daß die Differenz zwischen der Summe der Ausgänge der beiden Segmente (71, 73; 75, 77) in einer der beiden Zeilen und der Summe der Ausgänge der beiden Segmente (72, 74; 76, 78) in der anderen Zeile als Signal zur Steuerung der Lage der Lichtstrahlen in einer den Spalten entsprechenden Richtung und die Differenz zwischen der Summe der Ausgänge der beiden Segmente (71, 72; 75, 76) in einer der beiden Spalten und der Summe der Ausgänge der beiden Segmente (73, 74; 77, 78) in der anderen Spalte als Signal zur Steuerung der Lagen der Lichtstrahlen in einer den Zeilen entsprechenden Richtung nutzbar ist.
4. Einrichtung zum Zusammensetzen mehrerer Lichtstrahlen zu einem einzigen Lichtstrahl, gekennzeichnet durch mehrere Laserdioden (9, 10); mehrere Linsen (13, 14) entsprechend den Laserdioden, die die von den Laserdioden ausgehenden Lichtstrahlen fokussieren;
mehrere Stelleinheiten (15, 16), die entweder die Laserdioden oder die Linsen haltern; mehrere Lichtdetektoren (24, 24'), die Verschiebungen der mehreren von den Laserdioden (9, 10) ausgehenden und von den Linsen (13, 14) fokussierten Lichtstrahlen relativ zu einer vorbestimmten Lage erfassen; und
eine Steuerschaltung (31, 31')i die die Stelleinheiten (15, 16) aufgrund eines Ausgangssignals des Lichtdetektors (24, 24') so steuert, daß die Verschiebung der Lichtstrahlen relativ zu der vorbestimmten Lage reduzierbar ist.
5. Einrichtung zum gleichzeitigen Abtasten einer Mehrzahl Abtastzeilen mit mehreren Lichtstrahlen, gekennzeichnet durch mehrere Laserdioden (9, 10; 41, 42); eine der Anzahl Laserdioden entsprechende Anzahl Linsen (13, 14; 53, 54), die die von den Laserdioden kommenden Lichtstrahlen fokussieren;
- mehrere Stelleinheiten (15, 16; 55, 56), die entweder die Laserdioden oder die Linsen haltern; wenigstens einen Lichtdetektor (24, 24'; 50), der Verschiebungen der von den Laserdioden (9, 10; 41, 42) ausgehenden und von den Linsen (13, 14; 53, 54) fokussierten Lichtstrahlen relativ zu einer vorbestimmten Lage optisch erfaßt; und
eine Steuerschaltung (31, 31'; 57, 58), die die Stelleinheiten (15, 16; 55, 56) aufgrund eines Ausgangssignals des Lichtdetektors (24, 24'; 50) so steuert, daß die Verschiebung der Lichtstrahlen aus der vorbestimmten Lage verringerbar ist.
6. Einrichtung nach Anspruch 4,
dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtdetektoren zwei Segmente (61, 62, 63, 64) aufweisen, so daß die Differenz zwischen den Ausgängen der beiden Segmente als Signal zur Steuerung der Lagen der Lichtstrahlen nutzbar ist.
7. Einrichtung nach Anspruch 4,
dadurch gekennzeichnet, daß der Lichtdetektor vier Segmente (71-74, 75-78) aufweist, die jeweils in zwei benachbarten Zeilen und zwei benachbarten Spalten angeordnet sind, so daß
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die Differenz zwischen der Summe der Ausgänge der beiden Segmente (71, 73; 75, 77) in einer der beiden Zeilen und der Summe der Ausgänge der beiden Segmente (72, 74; 76, 78) in der anderen Zeile als Signal zur Steuerung der Lage der Lichtstrahlen in einer den Spalten entsprechenden Richtung und die Differenz zwischen der Summe der Ausgänge der beiden Segmente (71, 72; 75, 76) in einer der beiden Spalten und der Summe der Ausgänge der beiden Segmente (73, 74; 77, 78) in der anderen Spalte als Signal zur Steuerung der Lagen der Lichtstrahlen in einer den Zeilen entsprechenden Richtung nutzbar ist.
8. Einrichtung nach Anspruch 5,
dadurch gekennzeichnet, daß der Detektor zwei Segmente (61, 62, 63, 64) für jeden Lichtstrahl aufweist, so daß die Differenz zwischen den Ausgängen der jeweils zwei Segmente als Signal zur Steuerung der Lagen der Lichtstrahlen nutzbar ist.
9. Einrichtung nach Anspruch 5,
dadurch gekennzeichnet, daß der Detektor vier Segmente (71,74; 75,78) aufweist, die jeweils in zwei benachbarten Zeilen und in zwei benachbarten Spalten so angeordnet sind, daß
die Differenz zwischen der Summe der Ausgänge der beiden Segmente (71, 73; 75, 77) in einer der beiden Zeilen und der Summe der Ausgänge der beiden Segmente (72, 74; 76, 78) in der anderen Zeile als Signal zur Steuerung der Lagen der Lichtstrahlen senkrecht zur Abtastrichtung und die Differenz zwischen der Summe der Ausgänge der beiden Segmente (71, 72; 75, 76) in einer der beiden Spalten und der Summe der Ausgänge der beiden Segmente (73, 74; 77, 78) in der anderen Spalte als Signal zur Steuerung der Lagen der Lichtstrahlen in Abtastrichtung nutzbar ist.
10. Einrichtung nach Anspruch 3, Anspruch 7 und Anspruch 9, gekennzeichnet durch eine Einheit (17), die von einem Lichtstrahl einen weiteren Lichtstrahl abtrennt zur Erfassung der Lageverschiebung des erstgenannten Lichtstrahls;
optische Elemente (18), die wenigstens vier Seitenstrahlen um den von der Abtrenneinheit (17) abgetrennten Erfassungslichtstrahl erzeugen, so daß wenigstens vier seitliche Lichtpunkte um den Lichtpunkt des Erfassungslichtstrahls erzeugt werden; und
eine Referenzplatte (21), deren Oberfläche durch zwei zueinander senkrechte Nuten in vier Segmente unterteilt ist, wobei die Tiefe der Nuten einer viertel Wellenlänge des Lichtstrahls entspricht und die Referenzplatte eine lichtreflektierende Oberfläche besitzt, auf der jeder der vier seitlichen Lichtpunkte jeweils auf eines der vier Segmente fokussiert ist, und wobei jedes der vier Segmente des Detektors einen der vier seitlichen Lichtpunkte, die von der Oberfläche der Referenzplatte (21) reflektiert werden, empfängt.
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