DE4220993A1 - Optisches abtastsystem mit selbstaetiger fokussierung - Google Patents
Optisches abtastsystem mit selbstaetiger fokussierungInfo
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Description
Die Erfindung basiert auf den japanischen
Patentanmeldungen HEI 3-2 52 686 vom 26.06.1991 und HEI
4-1 01 384 vom 21.04.1992, deren Offenbarung hiermit durch
Bezugnahme eingeschlossen wird, und sie beansprucht die
Priorität dieser Anmeldungen.
Die Erfindung betrifft ein optisches Abtastsystem wie
einen Laserplotter, der ein Bild durch Abtastung mittels
Laserlicht zeichnet. Insbesondere betrifft die Erfindung
ein optisches Abtastsystem, das eine selbstätige
Fokussierung auf die Bildebene vornehmen kann.
Die bekannten Laserplotter sind darauf abgestellt, Bilder
von vergleichsweise geringer Genauigkeit zu zeichnen und
der Punktdurchmesser, der die Detailgröße (minimale
Linienbreite) bestimmt, betrug etwa 30µm. Um Bilder
größerer Genauigkeit und geringerer Detailgröße zu
zeichnen, muß der Punkt auf der Bildebene weiter
verkleinert werden. Da der Punktdurchmesser der
Blendenzahl des optischen Systems proportional ist, kann
er durch Verkleinerung desselben verringert werden.
Jedoch ist die Schärfentiefe des optischen Systems
proportional dem Quadrat seiner Blendenzahl, womit, falls
letztere verringert wird, um die Genauigkeit der
Musterbildung oder Bilds zu verbessern, es sehr
wahrscheinlich ist, daß die Bildebene außerhalb der
Schärfentiefe liegt, bedingt durch verschiedene Faktoren
wie beispielsweise die Welligkeit und die Verschwenkung
der Ebene.
Die Erfindung wurde unter diesen Umständen realisiert und
es liegt ihr die Aufgabe zugrunde, ein optisches
Abtastsystem mit selbstätiger Fokussierung zu schaffen,
das hinsichtlich der Bildebene ordnungsgemäß derart
korrigiert werden kann, daß diese nicht außerhalb der
Schärfentiefe liegt, bedingt durch deren Welligkeit,
Neigung und anderen Erscheinungen, selbst wenn die
Blendenzahl des Systems verkleinert wird.
Diese Aufgabenstellung sowie weitere der Erfindung
zugrunde liegende Aufgabenstellungen werden durch ein
optisches Abtastsystem, das gekennzeichnet ist durch eine
Schreibstrahlquelle, die Schreibstrahlen abgibt; eine
Ablenkvorrichtung, die die Lichtstrahlen aus dem
Schreibstrahl ablenkt und zur Abtastung verschwenkt; eine
Abtastlinse, mittels welcher die von der Ablenkvorrichtung
abgelenkten Lichtstrahlen fokussiert werden, um auf einer
Bildebene ein Bild zu erzeugen; eine Vorrichtung zur
Erfassung der Scharfeinstellung, die das von der Bildebene
reflektierte Licht über die Abtastlinse erhält, um den
Fokussierungszustand seitens der Abtastlinse auf der
Schreibebene zu erfassen; und eine
Fokussierungseinstellvorrichtung, die es ermöglicht, daß
die Abtastlinse auf der Bildebene auf der Grundlage des
Ausgangssignals der Vorrichtung zur Erfassung der
Fokussierung ordnungsgemäß fokussiert wird.
In den Zeichnungen zeigt
Fig. 1 eine Darstellung des optischen Abtastsystems des
Beispiels 1 der Erfindung,
Fig. 2 eine Darstellung des optischen Abtastsystems
gemäß Beispiel 2 der Erfindung,
Fig. 3 eine Darstellung des optischen Abtastsystems
gemäß Beispiel 3 der Erfindung,
Fig. 4 eine Darstellung der spezifischen
Ausführungsformen des Einstellbereichs im System
nach Anspruch 3, und
Fig. 5 und 6 ein Beispiel 4 der Erfindung.
Der Erfindung wird nachstehend anhand bevorzugter
Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die anliegenden
Zeichnungen beschrieben.
Fig. 1 zeigt das Beispiel 1 des erfindungsgemäßen
optischen Abtastsystems. Ein Gaslaser 10, der ein
Schreibstrahl-Licht darstellt, sendet Schreibstrahlen des
musterbildenden Lichts aus, die durch eine Sammellinse 11
konvergent gemacht werden, die durch einen A/O Modulator
12 modelliert und mittels einer Kollimatorlinse 13
parallel gemacht werden. Der kollimierte Schreibstrahl
wird durch einen Polygonalspiegel 20 reflektiert und
abgelenkt und zwecks Formung eines Bildes auf einer
Bildebene 30 mittels einer telezentrischen Abtastlinse 40
fokussiert.
Der Polygonalspiegel 20 dreht sich gemäß Fig. 1 in
Richtung eines Pfeils R, während ein Strahlpunkt auf der
Bildebene 30 in der Hauptabtastrichtung P verschwenkt wird.
Eine Vorrichtung 50 zur Erfassung der Scharfeinstellung
sendet Lichtstrahlen mit einer Wellenlänge aus, die von
jener der Schreibstrahlquelle verschieden ist und die
ausgesandten Strahlen werden auf die Schreibstrahlen
überlagert, zwecks Abtastung über die Bildebene 30. Das
von der Bildebene reflektierte Licht wird durch die
Vorrichtung 50 aufgenommen, die den Zustand der
Scharfeinstellung durch die Abtastlinse 40 auf der
Bildebene 30 erfaßt.
Ein Halbleiterlaser 51 gibt als Lichtquelle zur Erfassung
der Scharfeinstellung linear polarisierte divergente
Lichtstrahlen ab, die durch eine Kollimatorlinse 52
parallel gemacht werden, durch einen Strahlungsteiler 53
für den polarisierten Strahl hindurchtreten und die durch
eine Lambda-Viertel-Plättchen 54 zirkular polarisiert
werden. Ein dichroitischer Spiegel 55 hat die Eigenschaft,
daß er die Wellenlänge des Schreibstrahls hindurchläßt,
während er die Wellenlänge des Lichtstrahls für die
Erfassung der Scharfeinstellung reflektiert und die beiden
Strahlen werden überlagert, bevor sie auf den
Polygonalspiegel 20 auftreffen.
Der Lichtstrahl zur Erfassung der Scharfeinstellung, der
durch den Polygonalspiegel 20 zusammen mit dem
Schreibstrahl reflektiert und abgelenkt wurde, wird durch
die Abtastlinse 40 fokussiert, um auf der Bildebene 30 ein
Bild zu liefern, und von da reflektiert, damit die
Zirkularpolarisation in einer Richtung gedreht wird, die
entgegengesetzt zur Drehung beim Auftreffen des Strahls
auf der Bildebene war.
Da die Abtastlinse 40 auf der Seite der Bildebene
telezentrisch ist, sind die auf der Bildebene 30
auftreffenden Lichtstrahlen normal zu dieser. Somit kehrt
der Lichtstrahl zur Erfassung der Scharfeinstellung der
von der Bildebene 30 reflektiert wird, zur Lichtquelle
zurück, indem er im gleichen Strahlengang umkehrt, in
welchem er auf die Bildebene aufgetroffen ist. Der
rückkehrende Strahl wird durch den dichroitischen Spiegel
55 reflektiert.
Der durch den dichroitischen Spiegel 55 reflektierte
Lichtstrahl tritt durch das Lambda-Viertel-Plättchen 54
hindurch und wird linear polarisiert in einer Richtung,
die um 90° gegenüber dem Fall verschoben ist, bei dem das
Licht aus dem Halbleiterlaser 51 austrat. Der linear
polarisierte Strahl wird durch den Strahlungsteiler 53 für
den polarisierten Strahl reflektiert und tritt durch eine
anamorphotische Kondensorlinse 56 hindurch, um auf einem
Lichtempfängerelement 57 konzentriert zu werden.
Das Prinzip der Erfassung der Scharfeinstellung, das
erfindungsgemäß eingesetzt wird, ist das gleiche, das
durch ein optisches Scheibensystem zur Erfassung von
Scharfeinstellungsfehlern verwendet wird. Genauer
ausgedrückt, wird die Scharfeinstellung auf der Grundlage
des Umstands erfaßt, daß Form und Größe eines
Strahlpunkts am Lichtempfängerelement abhängig von der
Abbildungsbedingung auf der Bildebene des Schreibstrahls
geändert werden, d. h. die Fokussierungsbedingung der
Abtastung. Ein Scharfeinstellungssignal wie es durch das
Lichtempfängerelement 57 erfaßt wird, wird einer
Fokussierungseinstellvorrichtung 60 zugeführt. Bei dem
infragestehenden Fall stellt die
Fokussierungseinstellvorrichtung 60 die Scharfeinstellung
durch Steuerung der Abtastlinse 40 längs der optischen
Achse ein. Die Abtastlinse 40 kann in ihrer Gesamtheit
angetrieben werden; falls sie jedoch aus mehr als einer
Linsengruppe besteht, kann ein Teil von ihr durch die
Einstellvorrichtung 60 angetrieben werden.
Gemäß dem System des Beispiels 1 wird die Wellenlänge des
Lichts zur Erfassung der Scharfeinstellung derart
eingestellt, daß sie außerhalb des spektralen (oder
Belichtungs-) Empfindlichkeitsbereich der Bildebene liegt,
so daß der Zustand der Scharfeinstellung auf dieser Ebene
erfaßt werden kann, ohne die Qualität des geformten Bilds
zu beeinträchtigen. Als weiterer Vorteil ist die Erfassung
der Scharfeinstellung möglich, selbst wenn der
Schreibstrahl nicht zur Lichtaussendung aktiviert wird.
Fig. 2 zeigt ein Beispiel 2 des erfindungsgemäßen
optischen Abtastsystems. Das System gemäß Beispiel 2
verwendet einen direkt abstimmbaren Halbleiterlaser 14 als
Schreibstrahl und der reflektierte Schreibstrahl wird für
die Erfassung der Scharfeinstellung verwendet.
Der Schreibstrahl, der aus dem Halbleiterlaser 14
austritt, wird durch eine Kollimatorlinse 13 geschickt,
einen Strahlungsteiler 58 für den polarisierten Strahl,
und ein Lambda-Viertel-Plättchen 54, um in einen zirkular
polarisierten Strahl umgesetzt zu werden, der dann durch
einen Polygonalspiegel 20 reflektiert und abgelenkt wird.
Der abgelenkte Strahl tritt durch eine Abtastlinse 40 und
wird auf einer Bildebene 30 fokussiert.
Der von der Bildebene 30 reflektierte Lichtstrahl kehrt im
gleichen optischen Strahlengang zurück, in dem er auf die
Bildebene aufgetroffen ist und er wird dann in das
Lambda-Viertel-Plättchen 54 eingegeben, so daß er linear
in eine Richtung polarisiert wird, die senkrecht gegenüber
dem Fall beim Auftreffen auf die Bildebene liegt. Der
linear polarisierte Strahl wird durch den Strahlenteiler
58 für das polarisierte Licht reflektiert und tritt durch
eine Kondensorlinse 56, um auf einem Lichtempfängerelement
57 konzentriert zu werden.
Ein Signal aus dem Lichtempfängerelement 57 wird einer
Fokussierungseinstellvorrichtung 60 zugeführt. Im
betrachteten Fall steuert die
Fokussierungseinstellvorrichtung 60 die Bildebene 30 längs
der optischen Achse, wodurch der Scharfeinstellungszustand
auf der Bildebene 30 durch die Abtastlinse 40 eingestellt
wird.
Das System gemäß Beispiel 2 hat den Vorteil, daß es in der
Lage ist, den Zustand der Scharfeinstellung mit einem
einfachen Aufbau ohne Verwendung einer getrennten
Lichtquelle zusätzlich zur Schreibstrahlquelle zu erfassen.
Die Fig. 3 und 4 zeigen das Beispiel 3 des
erfindungsgemäßen optischen Abtastsystems. Das System
gemäß Beispiel 3 verwendet Halbleiterlaser 14 und 51,
wovon einer als Schreibstrahl und der andere als eine
Lichtquelle zur Erfassung einer Scharfeinstellung
verwendet wird; das System sieht einen Strahlungsteiler 58
für den polarisierten Lichtstrahl vor, damit das Licht aus
dem Halbleiterlaser 14 auf dem Licht aus dem anderen
Halbleiterlaser 51 überlagert wird.
Die abbildenden Lichtstrahlen, die aus dem Halbleiterlaser
14 austreten, werden über eine Kollimatorlinse 13 und
einen Strahlungsteiler 58 für den polarisierten Strahl
übertragen, hinsichtlich ihres parallelen Verlaufs durch
einen Einstellbereich 70 eingestellt, und mittels eines
Polygonalspiegels 20 reflektiert und abgelenkt. Der
abgelenkte Strahl tritt durch eine Abtastlinse 40 hindurch
und wird auf einer Bildebene 30 fokussiert.
Die Lichtstrahlen zur Erfassung der Scharfeinstellung, die
aus dem anderen Halbleiterlaser 51 austreten, werden durch
eine Kollimatorlinse 52 und einen ersten Strahlenteiler 53
für den polarisierten Strahl übertragen und mittels eines
Lambda-Viertel-Plättchens 54 zirkular polarisiert. Ein
Teil des zirkular polarisierten Lichtstrahls zur Erfassung
der Scharfeinstellung wird durch einen zweiten
Strahlenteiler 58 für den polarisierten Strahl reflektiert
und auf dem abbildenden Lichtstrahl überlagert.
Der von der Bildebene 30 reflektierte Lichtstrahl zur
Erfassung der Scharfeinstellung kehrt zu den Lichtquellen
im gleichen optischen Strahlengang zurück, in dem er auf
die Bildebene aufgetroffen ist und ein Teil dieses Strahls
wird weiter durch den zweiten Strahlenteiler 58 für den
polarisierten Strahl reflektiert. Der auf die Bildebene 30
auftreffende abbildende Lichtstrahl bleibt linear
polarisiert, so daß er, selbst wenn er von der Bildebene
reflektiert wird, gerade durch den zweiten
Strahlungsteiler für den polarisierten Strahl
hindurchtritt, ohne in die Vorrichtung 50 zur Erfassung
der Scharfeinstellung einzutreten. Der Lichtstrahl zur
Erfassung der Scharfeinstellung, der durch den zweiten
Strahlungsteiler 58 für den polarisierten Strahl
reflektiert wird, tritt durch das Lambda-Viertel Plättchen 54
hindurch, und wird linear polarisiert, in einer
Richtung senkrecht gegenüber dem Fall des Auftreffens des
Strahls auf die Bildebene 30. Der linear polarisierte
Lichtstrahl wird durch den ersten Strahlungsteiler 53 für
das polarisierte Licht reflektiert und tritt durch die
Kondensorlinse 56, um auf einem Lichtempfängerelement 57
konzentriert zu werden.
Der Einstellbereich 70 besteht aus einem Strahlungsdehner
verschiedener Bauart gemäß Fig. 4. Die linke Seite der
Fig. 4 ist den Lichtquellen benachbart und die rechte
Seite dem polygonalen Spiegel. Fig. 4A zeigt einen
Galileischen Strahlungsdehner, der eine Zerstreuungslinse
und eine Sammelinse in dieser Reihenfolge umfaßt; und Fig.
40 zeigt einen Keplerschen Strahlungsdehner, der zwei
Sammellinsenelemente umfaßt. Welche Bauart eines
Strahlungsdehners auch verwendet wird, die Parallelität
eines Lichtstrahls kann eingestellt werden, indem eine der
beiden Linsenelemente längs der optischen Achse bewegt
wird. Ferner erfolgt im Beispiel 3 die
Fokussierungseinstellung der Abtastlinse durch die
Fokussierungseinstellvorrichtung 60, bei welcher der
Einstellbereich 70 abhängig vom Ausgangssignal des
Lichtempfängerelements 57 bewegt wird.
Das System gemäß Beispiel 3 hat den Vorteil, daß es eine
Erfassung der Scharfeinstellung durchführen kann, selbst
wenn die Quelle des abbildenden Lichts nicht zur
Lichtabgabe aktiviert wird. Es ist jedoch anzumerken, daß
falls zwei Lichtstrahlen mit im wesentlichen der gleichen
Wellenlänge für die Abbildung und die Erfassung der
Scharfeinstellung verwendet werden, Sorge dafür getragen
werden muß, daß die Energie des einfallenden Lichtstrahls
für die Erfassung der Scharfeinstellung ausreichend
unterdrückt werden muß, so daß sie die Qualität des
geformten Bildes nicht nachteilig beeinträchtigt.
Die Fig. 5 und 6 stellen das Beispiel 4 des
erfindungsgemäßen optischen Abtastsystems dar. Bei diesem
Beispiel ist zwischen einem Polygonalspiegel 20 und einer
Abtastlinse 40 ein polarisierender Strahlungsteiler 59
vorgesehen, um einen Bereich des Lichtstroms aufzunehmen,
der vom Polygonalspiegel 20 abgelenkt wird. Der aus dem
Halbleiterlaser 51 ausgesandte Lichtstrahl zur Erfassung
des Scharfeinstellungszustands wird durch eine
Kollimatorlinse 52, einen polarisierenden Strahlungsteiler
53 und ein Lambda-Viertel-Plättchen 54 dem polarisierenden
Strahlungsteiler 59 zugeführt. Ein Teil des Strahls wird
reflektiert und auf einem Lichtempfängerelement 57 über
eine Kondensorlinse 56 fokussiert.
Ein Einfallswinkel des abbildenden Strahls wird relativ
zum polarisierenden Strahlungsteiler 59 und der
Abtastlinse 40 während der Drehung des Polygonalspiegels
geändert, während die Abtastung auf der Bildebene 30
erfolgt. Im Gegensatz hierzu fällt der Steuerstrahl immer
unter einem konstanten Winkel auf der Abtastlinse 40 ein
und wird in einem zentralen Abschnitt des
Hauptabtastbereichs der musterbildenden Bildfläche
konvergent gemacht. Somit ist es möglich, die
Scharfeinstellung der Abtastlinse 40 gegenüber dem
zentralen Abschnitt des Hauptabtastbereichs der Bildebene
zu erfassen.
Eine Fokussierungseinstellvorrichtung 60 veranlaßt die
Abtastlinse 40, sich in Richtung der optischen Achse
entsprechend einem Fokussierungszustand zu bewegen, um
dadurch die Scharfeinstellung im Einklang mit der
Bildebene einzustellen.
Bei den vier vorstehend beschriebenen Ausführungsformen
werden unterschiedliche Erfassungsvorrichtungen für die
Scharfeinstellung mit verschiedenen
Fokussierungseinstellvorrichtungen kombiniert. Es ist
jedoch anzumerken, daß die Kombinationen dieser
Vorrichtungen in keiner Weise festliegen und daß beliebige
Arten von Erfassungsvorrichtungen für die
Scharfeinstellungen mit irgendeiner Bauart von
Fokussierungseinstellvorrichtungen kombiniert werden
können. Es ist ferner möglich, die nicht-telezentrische
Linse als Abtastlinse zu verwenden, obgleich die
telezentrische Linse auf der Bildseite verwendet wird.
Ferner kann die Abtastlinse aus einem einzigen
Linsenelement bestehen, oder aus einer Anzahl
Linsenelemente, die eine Kunststofflinse enthalten können.
Wie vorausgehend beschrieben wurde, nimmt das
erfindungsgemäße optische Abtastsystem eine Rückkopplung
auf der Grundlage der Erfassung des
Scharfeinstellungszustands auf der Bildebene mittels eines
Strahlpunkts vor, der die Bildebene überstreicht. Da dies
gewährleistet, daß jederzeit scharf eingestellte Bilder
gezeichnet werden, kann verhindert werden, daß der
Strahlpunkt infolge einer Welligkeit, eines Verschwenkens
oder anderen Erscheinungen der Bildebene den
Scharfeinstellungsbereich verläßt, selbst wenn die
Tiefenschärfe des optischen Systems gering ist.
Claims (16)
1. Optisches Abtastsystem mit selbständiger Fokussierung,
gekennzeichnet durch:
eine Schreibstrahlquelle (10; 14), die einen Schreibstrahl abgibt;
eine Ablenkvorrichtung, die die Lichtstrahlen der Schreibstrahlquelle ablenkt und zur Abtastung verschwenkt;
eine Abtastlinse (40), mittels welcher die von der Ablenkvorrichtung abgelenkten Lichtstrahlen fokussiert werden, um auf einer Bildebene (30) ein Bild zu erzeugen;
eine Vorrichtung (50) zur Erfassung der Scharfeinstellung, die das von der Bildebene (30) reflektierte Licht über die Abtastlinse erhält, um den Fokussierungszustand der Abtastlinse auf der Bildebene (30) zu erfassen; und
eine Fokussierungseinstellvorrichtung (60), die es ermöglicht, daß die Abtastlinse auf der Bildebene (30) auf der Grundlage des Ausgangssignals der Vorrichtung (50) zur Erfassung der Fokussierung ordnungsgemäß fokussiert wird.
eine Schreibstrahlquelle (10; 14), die einen Schreibstrahl abgibt;
eine Ablenkvorrichtung, die die Lichtstrahlen der Schreibstrahlquelle ablenkt und zur Abtastung verschwenkt;
eine Abtastlinse (40), mittels welcher die von der Ablenkvorrichtung abgelenkten Lichtstrahlen fokussiert werden, um auf einer Bildebene (30) ein Bild zu erzeugen;
eine Vorrichtung (50) zur Erfassung der Scharfeinstellung, die das von der Bildebene (30) reflektierte Licht über die Abtastlinse erhält, um den Fokussierungszustand der Abtastlinse auf der Bildebene (30) zu erfassen; und
eine Fokussierungseinstellvorrichtung (60), die es ermöglicht, daß die Abtastlinse auf der Bildebene (30) auf der Grundlage des Ausgangssignals der Vorrichtung (50) zur Erfassung der Fokussierung ordnungsgemäß fokussiert wird.
2. Optisches Abtastsystem nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß die
Abtastlinse eine telezentrische Linse umfaßt.
3. Optisches Abtastsystem nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Abtastlinse ein Kunststofflinsenelement enthält.
4. Optisches Abtastsystem nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Abtastlinse ein Kunststofflinsenelement enthält.
5. Optisches Abtastsystem nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Vorrichtung (50) zur Erfassung der
Scharfeinstellung Lichtstrahlen verwendet, die aus der
Schreibstrahlquelle (10) austreten, und die durch die
Bildebene (30) reflektiert werden.
6. Optisches Abtastsystem nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Vorrichtung (50) zur Erfassung der
Scharfeinstellung Lichtstrahlen verwendet, die aus der
Schreibstrahlquelle (10) austreten, und die durch die
Bildebene (30) reflektiert werden.
7. Optisches Abtastsystem nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Vorrichtung (50) zur Erfassung der
Scharfeinstellung Lichtstrahlen verwendet, die aus
einer Lichtquelle zur Erfassung der Scharfeinstellung
austreten, die von der Schreibstrahlquelle (10)
verschieden ist und daß sie von der Bildebene (30)
reflektiert werden.
8. Optisches Abtastsystem nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Vorrichtung (50) zur Erfassung der
Scharfeinstellung Lichtstrahlen verwendet, die aus
einer Lichtquelle zur Erfassung der Scharfeinstellung
austreten, und die von der Schreibstrahlquelle (10)
verschieden ist, und die durch die Bildebene (30)
reflektiert werden.
9. Optisches Abtastsystem nach Anspruch 7,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Lichtquelle für die Erfassung der
Scharfeinstellung Licht einer anderen Wellenlänge wie
die Schreibstrahlquelle aussendet.
10. Optisches Abtastsystem nach Anspruch 9,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Lichtquelle für die Erfassung der
Scharfeinstellung Licht einer Wellenlänge aussendet,
das außerhalb des spektralen Empfindlichkeitsbereichs
der Bildebene (10) ist.
11. Optisches Abtastsystem nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Fokussierungseinstellvorrichtung (60) es
gestattet, mindestens einen Teil der Abtastlinse (40)
längs der optischen Achse zu bewegen.
12. Optisches Abtastsystem nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Fokussierungseinstellvorrichtung (60) es
gestattet, mindestens einen Teil der Abtastlinse (40)
längs der optischen Achse zu bewegen.
13. Optisches Abtastsystem nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Fokussierungseinstellvorrichtung (60) die
Bildebene (30) längs der optischen Achse verschiebt.
14. Optisches Abtastsystem nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Fokussierungseinstellvorrichtung (60) die
Musterbildungsebene (30) längs der optischen Achse
verschiebt.
15. Optisches Abtastsystem nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Fokussierungseinstellvorrichtung (60) zwischen der
Schreibstrahlquelle und der Ablenkvorrichtung (20)
vorgesehen ist, um die Parallelität der Lichtstrahlen
aus der Lichtquelle einzustellen.
16. Optisches Abtastsystem nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Fokussierungseinstellvorrichtung (60) zwischen der
Schreibstrahlquelle und der Ablenkvorrichtung (20)
vorgesehen ist, um die Parallelität der Lichtstrahlen
aus der Lichtquelle einzustellen.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25268691 | 1991-06-26 | ||
| JP4101384A JPH05173087A (ja) | 1991-06-26 | 1992-04-21 | 自動焦点走査式光学装置 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE4220993A1 true DE4220993A1 (de) | 1993-01-07 |
Family
ID=26442268
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE4220993A Withdrawn DE4220993A1 (de) | 1991-06-26 | 1992-06-26 | Optisches abtastsystem mit selbstaetiger fokussierung |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5220450A (de) |
| JP (1) | JPH05173087A (de) |
| DE (1) | DE4220993A1 (de) |
| GB (1) | GB2257863B (de) |
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- 1992-06-25 GB GB9213494A patent/GB2257863B/en not_active Expired - Fee Related
- 1992-06-25 US US07/904,143 patent/US5220450A/en not_active Expired - Lifetime
- 1992-06-26 DE DE4220993A patent/DE4220993A1/de not_active Withdrawn
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05173087A (ja) | 1993-07-13 |
| GB9213494D0 (en) | 1992-08-12 |
| GB2257863B (en) | 1995-08-30 |
| US5220450A (en) | 1993-06-15 |
| GB2257863A (en) | 1993-01-20 |
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| 8128 | New person/name/address of the agent |
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|
| 8127 | New person/name/address of the applicant |
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|
| 8130 | Withdrawal |