DE2838188A1 - Lager- und transporteinrichtung fuer gehaeuselose, scheibenfoermige leistungshalbleiterbauelemente - Google Patents
Lager- und transporteinrichtung fuer gehaeuselose, scheibenfoermige leistungshalbleiterbauelementeInfo
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Description
BROWN, BOTERI & CIE AKTIENGESELLS CHAFT
Mannheim 29. August 1978
Mp.-Nr. 628/78 ZFE/P3-Pp/dr
lager- und Transporteinrichtung für gehäuselose, scheibenförmige Leistungshalbleiterbauelemente
Die Erfindung bezieht sich auf eine Lager- und Transporteinrichtung
für gehäuselose, scheibenförmige Leistungshalbleiterbauelemente. Sie kann Anwendung finden zur
Lagerung von bereits diffundierten, nichtgekapselten Leistungshalbleiterelementen im Herstellungsbetrieb selbst
oder zum Transport in einen weiterverarbeitenden Betrieb, in dem die Leistungshalbleiterelemente einzeln in Gehäuse
eingebaut werden oder, z.B. jeweils zwei, in einen Modul integriert werden.
Es ist allgemein bekannt, Halbleiterelemente zum Schutz vor mechanischen Beschädigungen und atmosphärischen Einflüssen
in hermetisch verschließbare Metall-, Keramik,-
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oder Glaskapseln einzusetzen, die mit elektrischen Durchführungen
versehen sind. Für Leistungs-Halbleiterbauelemente werden neben Gehäusen mit Schraubsoekeln ab einer
bestimmten Leistung ebenfalls abgedichtete Scheibengehäuse verwendet, für die unterschiedliche innere und
äußere Kontaktierungstechniken bekannt sind. Der grundsätzliche Aufbau einer druckkontaktierten Thyristorscheibenzelle
ist in der VDI-Zeitschrift 107 (1965) Nr.34, Seite 1656, dargestellt. Häufig Hegt jedoch zwischen der
Herstellung der Leistungshalbleiterbauelemente und ihrer Kapselung eine Zeitspanne, in der trotz des Schutzes des
Halbleiterkristalls durch eine Oberflächenpassivierung eine Beeinflussung der elektrischen Eigenschaften zu befürchten
ist. Außer einer Vergrößerung der Exemplarstreuung wird unter Umständen die Zuverlässigkeit der
Bauelemente beeinflußt. Weiterhin werden die Leistungshalbleiterbauelemente oft nicht im gleichen Betrieb gekapselt,
in dem sie diffundiert und gegebenenfalls randseitig mit einer Passivierungsschicht versehen werden.
Aufgabe der Erfindung ist es daher, eine Lager- und Transporteinrichtung für gehäuselose Leistungshalbleiterelemente
zu schaffen, in der dieselben in einer konstanten und definierten Atmosphäre gehalten werden können und
vor unzulässig hohen mechanischen Beanspruchungen, die durch den Transport mit Straßen- und Schienenfahrzeugen,
Schiffen und Flugzeugen auftreten können, geschützt wer- den. Die Lager- und Transporteinrichtung soll in ihren
wesentlichen Teilen wiederverwendbar sein.
Die Lösung dieser Aufgabe besteht darin, daß erfindungsgemäß ein gasdichtes Rohr vorgesehen ist, in dem die
Leistungshalbleiterelemente unter Zwischenlegen von Distanzscheiben und durch eine Druckfeder belastet
stapelbar sind, daß eine Verschlußeinrichtung mit einem
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Deckel die offene Rohrseite dicht abschließt und daß der Deckel eine verschließbare Öffnung zur Einstellung einer
Atmosphäre aufweist, wie sie bei hermetischer Kapselung eines einzelnen Halbleiterelementes mit eigenem Gehäuse
erforderlich ist.
Vorteilhaft können die nichtgekapselten Leistungshalbleiterelemente
mittels der Distanzscheiben in dem Rohr gestapelt und durch Federdruck rüttelfest in ihrer Lage
festgehalten werden. Als Verschlußeinrichtung dient eine
an sich aus der Vakuumtechnik bekannte, jedoch an vorliegenden Anwendungszweck angepaßte Eleinflanschverbindung«
Die gewünschte Atmosphäre im Rohr wird über ein in die Öffnung des Deckels eingesetztes Röhr-chen eingestellt,
das zwecks Verschluß im heißen Zustand abgequetscht wird.
Bei einer ersten Variante weist die Verschlußeinrichtung zweckmäßig einen zweiteiligen Spannring mit einem in der
Ausnehmung auf seiner Außenseite liegenden Spannband sowie einen die Außenseite des Rohres umfassenden, mit der
Stirnseite des Rohres zusammen an der Unterseite des Deckels anliegenden elastischen Flansch auf, wobei zwischen
der Stirnseite und der Deckelunterseite ein Runddichtring eingelegt ist. Der zweiteilige Spannring umspannt
randseitig den Deckel und den elastischen Flansch und sorgt dabei für den notwendigen Anpreßdruck.
In einer zweiten Ausführungsvariante ist das Rohr zusätzlieh
selbst mit einem Flansch versehen, der von dem elastischen Flansch hintergriffen wird. Im weiteren entspricht
diese Verschlußeinrichtung er erstgenannten
Variante.
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Zweckmäßig besitzt der Deckel eine Ausnehmung in der die
Druckfeder unverlierbar gehalten ist und die von einem mit dem Deckel einstückigen Hohlzylinderstück begrenzt
ist, das in das Rohr ragt. Das Hohlzylinderstück dient
somit nicht nur der Befestigung der Druckfeder, sondern sorgt auch für eine Zentrierung der Druckfeder bezüglich
des Stapels aus Leistungshalbleiterelementen und Distanzscheiben.
Vorzugsweise besteht das Rohr aus Glas. Zum einen ist Glas gasdicht, zum anderen ist es somit möglich, den Inhalt
des Rohres zu erkennen.
Die Erfindung wird anhand der in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiele nachfolgend näher erläutert.
Es | zeigen: | |
Fig | . 1 | |
20 | ||
Fig | . 2 | |
25 |
eine erste Variante der mit gehäuselosen, scheibenförmigen leistungshalbleiterelementen
gefüllten lager- und Transporteinrichtung,
einen Deckel für die Lager- und Transporteinrichtung nach Fig. 1,
Fig. 3 ein Bodenstück für die Lager- und Transporteinrichtung nach Fig. 3,
Fig. 4 eine zweite Variante der Lager- und Transporteinrichtung,
Fig. 5 einen elastischen Flanschring für die Lagerund Transporteinrichtung nach Fig. 4,
Fig. 6 ein Schnittbild eines zweiteiligen Spannringes
für die Lager- und Transporteinrichtung nach Fig. 1 oder Fig, 4 und
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Fig. 7 eine Draufsicht auf den Spannring gemäß Fig. 6.
Die Lager- und Transporteinrichtung besteht aus einem bodenseitig abgeschlossenen Rohr 1, vorzugsweise einem
durchsichtigen Glasrohr, das gasdicht ist und aus zolltechnischen Gründen sinnvoll ist. Weiterhin aus einer
Verschlußeinrichtung mit einem Deckel 2, einem zweiteiligen Spannring 3, vorzugsweise aus Aluminium, mit einem
in einer Ausnehmung 4 auf seiner Außenseite lie genden Spannband 5 sowie mit einem die Außenseite des Rohres 1
umfassenden, mit der Stirnseite 6 desselben zusammen an der Unterseite des Deckels 2 anliegenden elastischen
Flansch 7» wobei zwischen der Stirnseite 6 und der Deckelunterseite
ein Runddichtring 8 eingelegt ist.
Im Rohr 1 befindet sich ein in Fig. 3 im Schnitt gezeigtes
Bodenstück 9, auf den wechselweise Distanzscheiben und Lexstungshalbleiterelemente 11 gestapelt sind. Die
Distanzscheiben 10 haben einen größeren Durchmesser als die Leistungshalbleiterelemente 11. Es können von Rohr 1
zu Rohr 1 Lexstungshalbleiterelemente 11 verschiedenen Durchmessers eingesetzt werden. Vorzugsweise ist die
Lager- und Transporteinrichtung für Leistungshalbleiterelemente bestimmt, die später in die eingangs erwähnten
Scheibengehäuse eingesetzt werden. Der Stapel ist insgesamt rüttelsicher durch eine Druckfeder 12 gehalten, die
sich auf ihrer anderen Seite an der Unterseite des Deckels
2 abstützt. Die Druckfeder 12 ist in einer Ausnehmung 13
des Deckels 2 unverlierbar gehalten. Die Ausnehmung 13
wird von einem mit dem Deckel 2 einstückigen Hohlzylinderstück 14 begrenzt (Fig. 2), das in das Rohr 1 hineinragt
(Fig. 1).
Der Deckel 2 besitzt eine Öffnung 15, in der ein Röhrchen 16 steckt. Das Röhrchen 16 ist mit dem Deckel 2
weich verlötet - 16a.
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Die Leistungshalbleiterelemente 11 werden mittels der
Distanzscheiben 10, die bei zylindrischer Ausführung des Rohres 1 auf den Innendurchmesser desselben abgestimmt
sind, gestapelt und nach Aufsetzen des Deckels 2 durch Federdruck in ihrer lage festgehalten. Das
Rohr 1 ist bis auf die Zuführung über das Röhrchen 16 durch den Deckel mit in eine Nut 18 desselben eingelegtem
Runddichtring 8 hermetisch abgeschlossen. Zur zusätzlichen Sicherung ist der Flansch 7 vorgesehen,
der eine Schrägfläche 19 aufweist. Der Deckel 2 besitzt ebenfalls eine Schrägfläche 20. Mit diesen beiden Schrägflächen
19 und 20 steht der zweiteilige Spannring in Eingriff. Zwischen den beiden Hälften des Spannrings 3
ist ein vorbestimmter Abstand vorgesehen, so daß die
beiden Hälften des Spannringes 3 durch das Spannband 5 zusammengezogen werden können und somit über die Schrägflächen
19 und 20 den Deckel 2 und den Flansch 7 zusammenziehen, wobei gleichzeitig der Flansch 7 gegen
die Außenseite des Rohres 1 gedrückt wird und von diesem von Hand nicht mehr abziehbar ist.
Über das Röhrchen 16 kann dann im Innenraum des Rohres eine definierte Atmosphäre eingestellt werden, vorzugsweise
wird das Rohr 1 weitgehend evakuiert. Abschließend wird das Röhrchen 16 im heißen Zustand abgequetschtund
dabei verschlossen.
Die Ausführungsform nach Fig. 4 unterscheidet sich von derjenigen, nach Fig. 1 lediglich dadurch , daß das Rohr
selbst einen Flansch 17 besitzt, mit dem der Runddichtring 8 in Eingriff steht. Dieser Flansch 17 w±d durch
einen elastischen Flansch 18 erweitert, der etwas anders
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geformt ist als der Flansch 7 gemäß Fig. 1. Er besitzt einen Absatz 18 bzw. einen Teil mit kleinerem Innendurchmesser d1 und einen Teil mit einem größeren Durchmesser
d2, so daß er mit seinem Teil mit dem kleineren Innendurchmesser dl den Flansch 17 des Rohres 1 hintergreifen kann. Diese Flanschverbindung erlaubt eine
festere Verbindung mit dem Rohr 1, als sie durch die
Flanschverbindung gemäß Fig. 1 gegeben ist. Im weiteren
besteht die lager- und Transporteinrichtung nach Fig. 4 aus den gleichen Teilen wie diejenige nach den Fig. 1
bis 3 und hat die gleiche vorbeschriebene Wirkungsweise.
In Fig. 6 ist der Spannring 3 gesondert dargestellt.
Beidseitig seiner Ausnehmung 4 schließen sich Schrägflächen 21, im Innern besitzt der Spannring 3 zu den im
Zusammenhang mit Fig. 1 erläuterten Schrägflächen 19
und 20 korrespondier /sehrägflachen 22 und 23. Bezüglich
einer zur mathematischen Rohrachse 25 senkrechten Horizontalen 26 verlaufen diese Schrägflächen in einem
Winkel von o& 1, der kleiner ist als ein Winkel o<£ 2,
den die äußeren Schrägflächen 21 miteinander einschließen.
Der Winkel <M1 beträgt vorzugsweise 15°, der
Winkel oL 2 vorzugsweise 30°. Der Spannring besteht
vorzugsweise aus Aluminium, der Deckel 2 ebenfalls, der Flansch 7 bzw. der Flansch 18 vorzugsweise aus Silikon-Kautschuk,
so daß bejmEinspannen über das Spannband 5 aufgrund des angegebenen Winkels von oo\ = 15° ein Zusammenziehen
bzw. Gleiten auf den Schrägflächen 19 und
20 möglich ist.
Beim Trennen des Spannringes 3 in zwei Hälften wird soviel Material abgetragen, daß bei Umfassen des Deckels
und des Flansches 7 bzw. 18 ein Abstand a verbleibt, um
dieses vorbeschrieben Zusammenziehen zu ermöglichen.
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Vorstehend sind die bevorzugten Ausführungsformen für die Verschlußeinrichtung beschrieben. Es ist jedoch
auch möglich, das Rohr 1 über ein Glasgewinde und einen entsprechenden Deckel oder über Schränklappen bzw. gepreßte
Blechformteile dicht abzuschließen. Solche Ver-
selbst
schlüsse/sind im allgemeinen jedoch nur einmalig verwendbar.
Die Lager- und Transporteinrichtung wird zusammen mit weiteren in geeignete Styropor-Formbehälter gesteckt.
Die Gesamtverpackung ist wiederholt verwendbar. Sie unterscheidet sich darin und in ihrer Bestimmung für
für den Einsatz in ihre Gehäuse fertige Leistungshalbleiterbauelemente
grundsätzlich von bekannten Einweg-Verpackungen in Form von gasdichten Schutzfolienbeuteln,
die für noch nicht diffundierte Halbleiterscheiben benutzt werden (DE-OS 27 02 464).
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Claims (7)
- 628/78 29. 8. 1978ZFE/P3-Pp/drAnsprücheI 1. !Lager- und Transporteinrichtung für gehäuselose, sch©*Oenförmige Leistungshalbleiterelemente (11), dadurch gekennzeichnet, daß ein gasdichtes Rohr (1) vorgesehen ist, in dem die Leistungshalbleiterelemente (11) unter Zwischenlegen von Distanzscheiben (10) und durch eine Druckfeder (12) belastet stapelbar sind, daß eine Verschlußeinrichtung mit einem Deckel (2) die offene Rohrseite direkt abschließt und daß der Deckel (2) eine verschließbare Öffnung (15) zur Einstellung einer Atmospähre aufweist, wie sie bei hermetischer Kapselung eines einzelnen Leistungshalbleiterelementes mit eigenem Gehäuse erforderlich ist.
- 2. Lager- und Transporteinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in der Öffnung (15) ein. im heißen Zustand zwecks Verschluß abquetschbares Röhrchen (16) steckt.
- 3. Lager- und Transporteinrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Verschlußeinrichtung einen mehrteiligen, vorzugsweise zweiteiligen Spannring (3) mit einem vorzugsweise in einer Ausnehmung (4) auf seiner Außenseite liegenden Spannband(5) sowie einen die Außenseite des Rohres (1) umfassenden,030011/0329283813829. 8. 78 - 2 - 628/78mit der Stirnseite (6) des Rohres (1) zusammen an der Unterseite des Deckels (2) anliegenden elastischen Flansch (7) aufweist, wobei zwischen der Stirnseite (6) und der Deckelunterseite ein Runddichtring (8) eingelegt ist.
- 4. lager- und Transporteinrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Rohr (1) zusätzlich selbst mit einem Flansch (17) versehen ist, der von dem elastischen Flansch (18) hintergriffen wird.
- 5. Lager- und Transporteinrichtung nach Anspruch 1 oder folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß der Deckel(2) eine Ausnehmung (13) besitzt, in der ein Teil der Druckfeder (12) sitzt und die von einem mit dem Deckel (2) einstückigen Hohlzylinderstück (14) begrenzt ist, das in das Rohr (1) ragt.
- 6. lager- und Transporteinrichtung nach Anspruch 1 oder folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß das Rohr (1) aus Glas besteht.
- 7. Lager- und Transporteinrichtung nach Anspruch 1 oder folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß das Rohr (1) aus einem gasdichten Kunststoff besteht.030011/0329
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US5366079A (en) * | 1993-08-19 | 1994-11-22 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company | Integrated circuit wafer and retainer element combination |
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KR100241794B1 (ko) * | 1994-07-08 | 2000-02-01 | 와다 다다시 | 반도체결정 수납장치 |
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- 1978-09-01 DE DE19782838188 patent/DE2838188A1/de not_active Withdrawn
-
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- 1979-07-25 FR FR7919178A patent/FR2434766A1/fr active Pending
- 1979-08-31 BR BR7905618A patent/BR7905618A/pt unknown
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