DE2834458A1 - Mundstueck zur ankopplung einer elektronenstrahlkanone an druckformoberflaechen - Google Patents
Mundstueck zur ankopplung einer elektronenstrahlkanone an druckformoberflaechenInfo
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- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
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Description
Dr.-Ing. Rudolf Hell GmbH Kiel, 31. Juli 1978
Grenzstraße 1-5 Ba/Hl
2300 Kiel 14 2834458
Patentanmeldung Nr. 78/487
Kennwort: Mundstück mit Vorabsaugung
Kennwort: Mundstück mit Vorabsaugung
Mundstück zur Ankopplung einer Elektronenstrahlkanone an Druckformoberflachen
Die Erfindung betrifft ein Mundstück zur Ankopplung einer
hochevakuierten Elektronenstrahlkanone an Druckformoberflächen, die während des Bearbeitungsvorgangs relativ zur Kanone bewegt
werden.
Die Aufgabe, Druckformen, z.B. Tiefdruckzylinder, mittels einer Elektronenstrahlkanone zu bearbeiten, kann dadurch gelöst werden,
daß die gesamte Druckform in einer evakuierten Kammer gelagert wird. Anordnungen dieser Art sind aus US-PS 3,402,278 bekannt,
jedoch haben sie den Nachteil langer Rüst- und Auspumpzeiten, insbesondere dann, wenn es sich um relativ große Tiefdruckzylinder
handelt.
Ist die evakuierte Elektronenstrahlkanone mittels eines Mundstücks
an die Druckform angelenkt, die sich an der freien Atmosphäre befindet, dann verwendet man vorteilhafterweise Mundstücke, die
auf der Druckformoberfläche gleiten, damit die Leckrate an der
Anlenkstelle klein bleibt. Mundstücke dieser Art haben im allgemeinen eine Austrittsöffnung, durch die der bearbeitende
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Elektronenstrahl hindurchtritt, und man ist bestrebt, in der
Umgebung des Wirkpunktes des bearbeitenden Elektronenstrahls stabile Vakuumverhältnisse zu schaffen. Druckformen, insbesondere
Tiefdruckzylinder, müssen z.B. durch den Elektronenstrahl mit einem feinen dichten Rasternetz versehen werden, das aus sehr
vielen unterschiedlich großen, durch Stege vollkommen voneinander getrennten Näpfchen in der Oberfläche besteht, wobei diese
Rasternäpfchen im allgemeinen in einem regulären geometrischen Muster durch den Elektronenstrahl in die ursprünglich ebene
Druckformoberfläche eingearbeitet werden. Man erkennt, daß bei der Bearbeitung, d.h. während sich die Druckformoberfläche
relativ zum Mundstück der Kanone bewegt, ständig die bereits hergestellten, mit Gas vom Außendruck gefüllten Näpfchen unter
die Öffnung des Mundstücks laufen und Gas in das Innere der Elektronenstrahlkanone fördern, selbst dann, wenn das Mundstück
durch geeignete Konstruktion gegen die ungravierte Oberfläche vollkommen
dichtet. Damit durch die Abtragung von Materieteilchen die Durchtrittsöffnung für den Elektronenstrahl nicht zuwächst,
muß die öffnung eine gewisse Größe haben. Es ist nicht zu vermeiden,
daß bei beispielsweise konzentrischer Anordnung immer die halbe Öffnung auf bereits gravierter Oberfläche läuft. Weil
die Näpfchen ein vom Druckmotiv abhängiges unterschiedliches Volumen haben, würde auch die durch die Näpfchen in das
Kanoneninnere beförderte Gasmenge motivabhängig schwanken, so daß auch die Vakuumverhältnisse in der Umgebung des Wirkpunktes
des bearbeitenden Elektronenstrahls motivabhängigen Änderungen unterliegen wurden. Konstante Vakuumverhältnisse am Wirkpunkt
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sind aber Voraussetzung für einen gezielten Bearbeitungseffekt.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe· zugrunde, die
aufgezeigten Nachteile zu vermeiden. Sie erreicht dies mit den in Anspruch 1 genannten Mitteln.
In die Gleitfläche des Mundstücks ist außer der Durchtrittsöffnung
für den Elektronenstrahl mindestens eine weitere öffnung eingearbeitet, die bezüglich ihrer Lage zur Durchtrittsöffnung
des Elektronenstrahls so angeordnet ist, daß bereits gravierte Druckelemente zuerst diese Öffnung passieren, bevor sie an die
Durchtrittsöffnung für den Elektronenstrahl gelangen. Im Inneren der Elektronenstrahlkanone führt zu dieser öffnung eine Leitung,
die dicht gegen das Vakuum im Kanoneninneren ist und nach vakuumdichter Durchführung durch die Wand der Elektronenstrahlkanone
an eine Vakuumpumpe angeschlossen ist. Die erfindungsgemäße Anordnung bewirkt, daß die unter das Mundstück gleitenden Näpfchen
vor Erreichen der Durchtrittsöffnung für den Elektronenstrahl so weit evakuiert werden, daß das in ihnen verbleibende Gas bei Entleerung
in das Kanoneninnere die Vakuumverhältnisse und damit den Bearbeitungsprozeß nicht mehr störend beeinflußt. Eine Vorevakuierung
der Näpfchen von Atmosphärendruck (entsprechend 1.000 mb) auf beispielsweise nur 1 mb, was praktisch ohne Schwierigkeiten
möglich ist, reduziert die durch die Näpfchen ins Kanoneninnere geförderte Gasmenge auf 1 /oo.
Fig. 1 und 2 zeigen schematisch eine Mundstückanordnung gemäß der Erfindung.
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Das Mundstück 2 der Elektronenstrahlkanone 1 liegt mit seiner Gleitfläche 6 dichtend an der Oberfläche der Druckform 3, hier
z.B. eines Tiefdruckzylinders an. Durch die Öffnung 4 tritt der Elektronenstrahl 11 zur Bearbeitung der Druckform hindurch. Durch
die Bewegung U der Druckform 3 relativ zur Elektronenstrahlkanone und die Vorschubbewegung V der Elektronenstrahlkanone Ϊ in
Achsrichtung des Druckzylinders 3 erfolgt die Bearbeitung durch den Elektronenstrahl 11 in Form einer engen Schraubenlinie, die die
öffnung 4 zum Teil bedeckt, wie bei 5 durch Schraffur dargestellt.
Die Schraubenlinie besteht dabei aus unterschiedlich großen Rasternäpfchen. Die Öffnung 7 ist gemäß der Erfindung in der
Gleitfläche 6 des Mundstücks 2 so angeordnet, daß bereits gravierte Druckelemente vor Erreichen der öffnung 4 die
Öffnung 7 zur.Vorevakuierung passieren. Die Vorevakuierung erfolgt
durch eine Leitung 8, die vakuumdicht durch das Innere der Elektronenstrahlkanone 1 führt, bei 9 vakuumdicht durch die
Wandlung der Elektronenstrahlkanone geführt ist und bei 10 an eine Vakuumpumpe angeschlossen ist.
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e e r s e
it
Claims (2)
- Dr.-Ing* Rudolf Hell GmbH Kiel, 31. Juli 1978Grenzstraße 1-5 - Ba/HlKiel 14Patentanmeldung Nr. 78/487 283ΛΛ58Kennwort: Mundstück mit Vorabsaugung fcOJHiJgPatentansprücheMundstück zur Ankoppelung einer evakuierten Elektronenstrahlkanone an mittels Elektronenstrahl zu gravierende Druckformoberflächen, insbesondere Tiefdruckzylinder, wobei die Frontfläche dee Mundstücks zum Durchtritt des Elektronenstrahls mit einer Öffnung versehen ist, im übrigen aber vakuumdicht auf der sich relativ zur Elektronenstrahlkanone bewegenden Druckformoberfläche gleitet, dadurch gekennzeichnet, daß das Mundstück im Bereich seiner gleitenden und dichtenden Frontfläche noch mindestens eine weitere öffnung hat, die in ihrer Lage zur Durchtrittsöffnung für den bearbeitenden Elektronenstrahl so angeordnet ist, daß bereits gravierte Druckelemente vor Erreichen der Durchtrittsöffnung für den Elektronenstrahl diese öffnung passieren und daß diese öffnung im Inneren der Elektronenkanone an ein Vakuum angeschlossen ist.
- 2. Anordnung anch Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die öffnung an eine Leitung angeschlossen ist, die zu einer Vakuumpumpe führt.030007/0A02ORIGINAL INSPECTED
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