DE2800017C2 - Verfahren zur Herstellung von Organoalkoxysilanen - Google Patents
Verfahren zur Herstellung von OrganoalkoxysilanenInfo
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Classifications
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Description
H1RaSiCl4-,_*
in der R für einen Organorest steht, und a = 0 oder
1,6=1 oder 2 und a + b maximal 3 ist, umsetzt,
wobei man in der letzten Veresterungsstufe soviel Wärme zuführt, daß das Reaktionssystem im Laufe
dieser Stufe auf Siedetemperatur gebracht und auf dieser so lange gehalten wird, bis der in der letzten
Veresterungsstufe entstandene Chlorwasserstoff in an sich bekannter Weise ausgetrieben ist
25
Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist ein Verfahren zur vollständigen Veresterung von Chlorsilanen, bei dem der Alkohol ohne Berührung mit der
Gasphase in vorgelegtes Chlorsilan eingeleitet wird, die Veresterung stufenweise durchgeführt wird und vor der
letiien Veresterungsstufe der bis dahin entstandene Chlorwasserstoff ausgetrieben wird.
Die Veresterung von Chlorsilanen stößt auf eine Reihe von Schwierigkeiten, die die Reinheit und
Ausbeuten der gewünschten Ester und der erhaltenen Nebenprodukte sowie die Reproduzierbarkeit der
Veresterung negativ beeinflussen. So bildet Chlorwasserstoff in der wesentlichsten Nebenreaktion beim
Zusammentreffen mit Alkoholen neben Alkylchloriden und Wasser auch die Alkyläther. Diese organischen
Verbindungen verunreinigen zusammen mit aus der Gasphase mitgerissenen Alkoholen den zurückzugewinnenden Chlorwasserstoff und machen diesen unbrauchbar für die Herstellung von hochreinem Trichlorsilan für
Transistorzwecke, weil die als Verunreinigungen enthaltenen organischen Verbindungen unter den Bedingun-
gen derTrichlorsilansynthese Methyldichlorsilan bilden,
welches nicht sauber von Trichlorsilan abgetrennt werden kann und Ursache für die Entstehung von
minderwertigem Transistorsilizium ist.
Weiterhin greift das bei der obengenannten Nebenreaktion entstehende Wasser hydrolisiercnd in die
Veresterungsreaktion der Organochlorsilane ein und ist Anlaß für die Entstehung von aus oligomeren und
polymeren Organosiloxanen bestehenden Nebenprodukten und Rückständen, die wegen meist Undefinierter &o
Zusammensetzung nicht verwertbar sind.
Die genannten Beiprodukte bedeuten erhebliche Materialverluste und Ausbeuteminderungen. Außerdem
wird die Lenkbarkeit der Veresterungsreaktionen zu Reinprodukten problematisch, weil polymere und
oligomere Organosiloxane oft hartnäckige Retention an Siliziumchlorid-Bindungen zeigen, so daß die Alkoholdosierung und die isolierende Aufarbeitung reiner
Bei der Veresterung von Organokieselsäureester mit
einer Sauerstoffbrückenbindung im Alkyl- oder Alkoxyrest zeigt sich ein weiterer Nachteil der bisher
bekannten Verfahren;
Der entstehende Chlorwasserstoff wirkt hier ätherspaltend und führt unter anderem zu einem unerwünschten
Gehalt an organisch gebundenem Chlor im Produkt Die dabei gebildeten Nebenprodukte können dann beispielsweise 0-ChIoräthoxigruppen enthalten, die hochtoxische Eigenschaften tragen können, wie aus der
Lost-Chemie bekannt ist
Bei der Veresterung von Trichlorsilan lassen sich gemäß dem Verfahren der DE-OS 24 09 731 die
genannten Schwierigkeiten dadurch umgehen, daß man die Veresterung stufenweise bei Temperaturen unter
1000C durchführt und den Alkohol ohne Berührung mit der Gasphase in vorgelegtes Trichlorsilan einleitet und
den entstehenden Chlorwasserstoff vor ;"lt letzten Veresterungsstufe aus dem Reaktionsraum entfernt.
Wichtig bei dieser Arbeitsweise ist jedoch die Einhaltung von einer Reaktionstemperatur unter 1000C.
Wird zum Beispiel die vollständige Veresterung mit Methanol bei der Siedetemperatur des Reaktionsgemisches durchgeführt, dann enthält das entstandene
Reaktionsgemisch so viele unerwünschte Nebenprodukte, daß eine destillative Reingewinnung des entstandenen Trimethoxysilans nicht möglich ist
Eine Übertragung des Verfahrens der DE-OS 24 09 731 auf die Veresterung von Organochlorsilanen
stößt auf die Schwierigkeit daß dabei die gewünschten Ester nur in Ausbeuten von etwa 50% erhalten werden
können und der entweichende Chlorwasserstoff Verunreinigungen an Methanol und Methylchlorid enthält
Es bestand deshalb die Aufgabe, ein Verfahren zur vollständigen Veresterung von Chlorsilanen zu finden,
bei dem die obengenannten Nebenreaktionen nicht oder nur im untergeordneten Maße auftreten, so daß
man hohe Ausbeuten an reinen Organosilanestern erhält, und bei dem praktisch keine gasförmigen
Nebenprodukte entstehen, die den sich bildenden Chlorwasserstoff verunreinigen könnten.
In Erfüllung dieser Aufgabe wurde nun ein Verfahren zur vollständigen Veresterung von Chlorsilanen durch
Einleiten von Alkohol ohne Berührung mit der Gasphase in vorgelegtes Chlorsilan, stufenweiser
Veresterung des Chlorsilans und Austreiben des bis zur letzten Veresterungsstufe entstandenen Chlorwasserstoffs spätestens vor der letzten Veresterungsstufe
gefunden, das dadurch gekennzeichnet ist, daß man beim Einsatz von Organochlorsilanen tier Formel
in der R für einen Organorest steht, und a — Q oder 1,
b = 1 oder 2 und a + b maximal = 3 ist, in der letzten Veresterungsstufe soviel Wärme zuführt, daß das
Reaktionssystem im Laufe dieser Stufe auf Siedetemperatur gebracht und auf dieser so lange gehalten wird, bis
der in der letzten Veresterungsstufe entstandene Chlorwasserstoff in an sich bekannter Weise ausgetrieben ist.
Gegenüber den bekannten Verfahren, die gemäß dein
Stand der Technik insbesondere nicht bei erhöhter Temperatur bzw. bei Siedetemperatur arbeiten, bietet
das erfindungsgemäße Verfahren überraschende Vorteile hinsichtlich Stoffeinsatzmengen, Steuerbarkeit der
Reaktion auf Reinheit der Ester, das Fehlen von Nebenprodukten und Abfällen, nahezu quantitative
Reinausbeuten, und das für die umweltfreundliche
Wiederverwendung des anfallenden Chlorwasserstoffs besonders wichtige Kriterium der Freiheit von Alkoholen, Alkylchloriden und Dialkyläthern,
Erfindungsgemäß verläuft die durch spontane Umset- s
zung des Alkohols mit dem OrganochlorsjJan in der
Regel endotherme Esterbildung überraschend einheitlich, ohne daß die oben beschriebenen Nebenreaktionen
auftreten, obwohl im System gemäß der stöchiometrischen Reaktion Chlorwasserstoff in teilweise erhebli-
chen Mengen gebildet wird und anwesend ist, ehe er in die Gasphase entweicht Der aus dem System
austretende Chlorwasserstoff enthält keine störenden Verunreinigungen und kann zum Beispiel direkt zur
Chlorierung von Ferrosilizium und der Herstellung von Chlorsilanen eingesetzt werden, die wiederum zur
Herstellung von Transistorsilizium verwendet werden.
Das erfindungsgemäße Verfahren hat weiterhin den Vorteil, daß es ohne Anwendung von säurebindenden
Mitteln, die bei bekannten Veresterungsverfahren oft notwendig sind, durchgeführt werden kann. Damit
entfallen die bei dieixnn bekannten Verfahren notwendigen zusätzlichen Aufarbeitungsschritte zur Abtrennung
der dabei anfallenden Salze.
Das Verfahrensprinzip, die alkoholische Komponente ohne Berührung mit der Gasphase der flüssigen
Reaktionsmischung direkt in das vorgelegte flüssige Chlorsilan einzuleiten, ist an sich bekannt; es wird in
einfacher Weise technisch z. B. dadurch realisiert, indem
man die alkoholische Komponente flüssig und unter Rühren der Reaktionsmischung durch ein Bodenventil
oder ein Eintauchen des Zuführungsrohres einleitet. Dabei verhindert man ein Eindringen der Reaktionsmischung in die Zuführung entweder dur-üi eine geeignete
Kalibrierung der Zuführleitung, d'.e von der Zuführungsmenge und der Zuführungsgeschwind'jkeit abhängt,
oder durch Anwendung geringen Überdrucks, der mindestens den Gegendruck der Flüssigkeitssäule der
Reaktionsmischung entspricht.
Die Reaktionstemperaturen werden nicht fest vorgegeben, sondern stellen sich während der Reaktion ein.
Die Starttemperaturen können beliebig gewählt werden. Sie liegen normalerweise jedoch zwischen + 40 und
+ 2000C und gegebenenfalls bei der Siedetemperatur der Organosilan-Komponente. Wenn mehrere Äquivalente Chlor (bei a + b = 1 oder 2) verestert werden,
dann können die ersten Reaktionsstufen ebenfalls auch unterhalb der Siedetemperatur ausgeführt werden,
solange die Reaktion noch nicht bis zum letzten Äquivalent fortgeschritten ist. Dabei soll jedoch, je nach
der Endothermic der ablaufenden Reaktion, mindestens soviel Wärme hinzugefügt werden, daß die Reaktionstemperatur nicht absinkt. Bevor das letzte Veresterungsäquivalent zur Reaktion gebracht wird, ist das
System zwecks möglichst vollständigem Austreiben des in ihm vorhandenen Chlorwasserstoffs auszuheizen; die
anschließende Veresterung des letzten Chloräquivalents erfolgt unter Zufuhr von soviel Wärme, daß mindestens
gegen Ende der Umsetzung das System auf Siedetemperatur gehalten wird. Die Wärmezufuhr soll auch in
dieser Reaktionsstufe mindestens so groß sein, daß die Reäktiönstemperatur aufgrund der jeweiligen Reaktions-Endothermie nicht absinkt. Die jeweilige Reaktionstemperatur in dieser Stufe liegt im allgemeinen
zwischen 60°C und dem Siedepunkt des Systems. Nach der vollständigen Veresterung ist wiederum der
entstandene Chlorwasserstoff in an sich bekannter Weise auszutreiben.
Die Zugabegeschwindigkeit des Alkohols und damit die Kalibrierung der Zuführungsleitung kann in weitem
Bereich nahezu beliebig gewählt werden. Sie hängt im wesentlichen von der Belastbarkeit und Leistungsfähigkeit des Rückflußkühlers ab, der die Aufgabe hat, den
entweichenden Chlorwasserstoff tiefzukühlen, um ein Mitreißen des synthetisierten Esters zu vermeiden.
Der Dosierungsdruck der alkoholischen Komponente richtet sich zum einen nach dem auf der Zuführungsöffnung lastenden Gegendruck der Reaktionsmischung,
der in jeder Phase der Reaktion ausgeglichen sein muß. Als zusätzlicher Oberdruck reichen mehr als 0 bis
Pa aus; er kann jedoch auch höher gewählt werden. Der erforderliche Druck wird in einfacher Weise
beispielsweise durch entsprechende Überhöhung der Alkohol-Vorlage und gegebenenfalls durch die Benutzung eines Dosierventils hergestellt Auch Dosierpumpen sind hierzu verwendbar.
Die Veresterung kann auch in Gegenwart von Lösungsmitteln durchgeführt werden, wobei diese in
beliebiger Konzentration, vorzugsweise zwischen 0% und 25% Volumenanteile, eingesetzt werden. Als
Lösungsmittel sind besonders solche Verbindungen geeignet, die den Siedepunkt des Rohprodukts herabsetzen. Dies sind Kohlenwasserstoffe, wie beispielsweise Hexan, Heptan, Isooctan, Benzo! oder Toluol, und
Chlorkohlenwasserstoffe, wie beispielsweise trans-Dichloräthylen, Trichlorethylen, Perchloräthylen oder
ChlorbenzoL
Gegebenenfalls kann die Siedetemperatur auch durch Anwendung von Vakuum gesenkt werden.
Ausgangsstoffe vom Typ Organochlorsilan sind beispielsweise
n- und iso-Butyltrichlorsilan,
n-Octyltrichlorsilan,
2-Äthylhexyltrichlorsilan,
n-Dodecyltrichlorsilan,
n-Octadecyltrichlorsilan,
2-CycIohexenyläthyltrichlorsilan,
3-Allyloxypropyltrichlorsilan,
2-PhenyläthyItrichlorsilan,
2-Chloräthyltrichlorsilan,
2-Chlorltbyifneihyldichlorsi!sn,
S-Chlorpropyltrichlorsilan,
S-Chlorpropylmethyldichlorsilan, 3-BrompropyltrichlorsiIan,
3-JodpropyItrichlorsilan,
3-FIuorpropyltrichlorsilan,
a^-Trichlorpropyltnchlorsilan, 3r3^-TrichIoφΓopylmethyldichIoΓsilan, 33,3-TrifluoφropyItrichlorsilan, 4'-IsopΓopylphenoximethyImethyldichloΓsilaπ, Pentabrombenzyltrichlorsilan,
S-Pentachlorphenoxipropyltrichlorsilan, ΟϊΙ1Ηϊ1ϊΛΐΪ^
S-Chlorpropylmethyldichlorsilan, 3-BrompropyltrichlorsiIan,
3-JodpropyItrichlorsilan,
3-FIuorpropyltrichlorsilan,
a^-Trichlorpropyltnchlorsilan, 3r3^-TrichIoφΓopylmethyldichIoΓsilan, 33,3-TrifluoφropyItrichlorsilan, 4'-IsopΓopylphenoximethyImethyldichloΓsilaπ, Pentabrombenzyltrichlorsilan,
S-Pentachlorphenoxipropyltrichlorsilan, ΟϊΙ1Ηϊ1ϊΛΐΪ^
3-p-Nitrophenoxipropyltrichlorsilan,
3-o-Methoxipher.oxipropyltrichlorsiian.
Die alkoholischen Ausgangsstoffe umfassen primäre aliphatische Alkohole mit 1 bis 20 C-Atomen, wie
Methanol, Äthanol, n-PropanoI, die primären Butanole, Pentanole, Hexanole, Heptanole, Octanole, Nonanole,
Decanole oder Undecanole, außerdem insbesondere die zum Teil als Cellosolve bekannten Monoäther Verschiedener
Glykole, wie z. B. 2-MethoxiätharoI, 2-Athoxiäthanol,
2-Butoxiäthanol, Diäthylenglykolmonomethyläther, Diäthylenglykolmonobutyläther oder Tetraäthylenglykolmonomethyläther.
Produkte, die vorteilhaft nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellt werden, sind die aus
Chlorsilanen nach bekannten Verfahren sonst nur in sehr schlechten Ausbeuten zugänglichen Methylester,
beispielsweise
Methyltrimethoxisilan,
Dimethyldimethoxisilan,
Hydrogenmethyldimethoxisilan, Hydrogendimethylmethoxisilan, Propyltrimethoxisilan,
iso-Butyltrimethoxisilan,
n-Octyltrimethoxisilan,
n-Octadecyltrimethoxisilan,
Vinyltrimethoxisilan,
Vinylmethyldimethoxisilan,
Phenyltrimethoxisilan,
Chlormethyldimethylmethoxisilan, Chlormethyltrimethoxisilan,
3-Chlorpropyltrimethoxisilan,
usw., die Äthylester, wie beispielsveise Methyltriäthoxisilan,
Dimethyldiäthoxisilan,
Hydrogenmethyldiäthoxisilan,
n-Propyltriäthoxbilan,
Amyltriäthoxisilan,
n-Octyltriäthoxisilcn,
n-Octadecyltriäthoxisilan,
Dimethyldimethoxisilan,
Hydrogenmethyldimethoxisilan, Hydrogendimethylmethoxisilan, Propyltrimethoxisilan,
iso-Butyltrimethoxisilan,
n-Octyltrimethoxisilan,
n-Octadecyltrimethoxisilan,
Vinyltrimethoxisilan,
Vinylmethyldimethoxisilan,
Phenyltrimethoxisilan,
Chlormethyldimethylmethoxisilan, Chlormethyltrimethoxisilan,
3-Chlorpropyltrimethoxisilan,
usw., die Äthylester, wie beispielsveise Methyltriäthoxisilan,
Dimethyldiäthoxisilan,
Hydrogenmethyldiäthoxisilan,
n-Propyltriäthoxbilan,
Amyltriäthoxisilan,
n-Octyltriäthoxisilcn,
n-Octadecyltriäthoxisilan,
Vinyltriäthoxisilan, ■
Vinylmethyldiäthoxisilan,
Vinyldimethyläthoxisilan,
Benzyltriäthoxisilan,
4'-lsopropylphenoximethyl(methyl)di-
Vinyldimethyläthoxisilan,
Benzyltriäthoxisilan,
4'-lsopropylphenoximethyl(methyl)di-
methoxisilan, *
S-'i'-lsopropylphenoxipropyltriäthoxisilan,
Phenyltriäthoxisilan,
Chlormethyldimethyläthoxisilan, Chlormethyltriäthoxisilan,
Brommethyltriäthoxisilan,
2-Chloräthyltriäthoxisilan,
2-Chloräthylmethyldiäthoxisilan, 3-Chlorpropyltrii thoxisilan.
Chlormethyldimethyläthoxisilan, Chlormethyltriäthoxisilan,
Brommethyltriäthoxisilan,
2-Chloräthyltriäthoxisilan,
2-Chloräthylmethyldiäthoxisilan, 3-Chlorpropyltrii thoxisilan.
3-Brompropyltriäthoxisilan,
3-Jodpropyltri&thoxjsilan,
3,3,3-TrichIorpropyItriäthoxisilan,
3,3,3-TrifluorpropyItriäthoxisiIanoder
) Pentabrombenzyltriäthoxisilan.
3-Jodpropyltri&thoxjsilan,
3,3,3-TrichIorpropyItriäthoxisilan,
3,3,3-TrifluorpropyItriäthoxisiIanoder
) Pentabrombenzyltriäthoxisilan.
Erhaltbare Ester mit längeren Alkoxigruppen sind z.B.
in Allyltri-n-butoxisilan,
Vinyltri-2-äthylheoxisilan,
Vinyl-2-methoxiäthoxisilan oder
ChIormethyldimethyl-2-äthoxiäthoxisüan.
Vinyl-2-methoxiäthoxisilan oder
ChIormethyldimethyl-2-äthoxiäthoxisüan.
π Die erhaltenen Produkte können beispielsweise entweder direkt als Komponenten in antikorrosiven
Anstrichen auf Silanesterbasis oder als Bautenschutzmittel oder als Modifizierungsmittel für anorganischoxydische
Materialien oder zur Glasimprägnierung eingesetzt werden; viele der herstellbaren Verbindungen,
z. B. die Chloralkylverbindungen, dienen als
Zwischenprodukte zur Herstellung von haftvermittelnden Silanen.
Herstellung von Methyldimethoxisilan aus
ίο Methyldichlorsilan und Methanol nach dem
ίο Methyldichlorsilan und Methanol nach dem
erfindungsgemäßen Verfahren
In einem 10-Liter-Mehrhalskolben mit Rührer, durch
Thermostaten heiz- und kühlbarem Doppelmantel, bei -82°C arbeitendem Rückflußkühler (0,5 m2) mit Rücklauftrichter
für Kondensat und mit Abgasleitung für Chlorwasserstoff, je einem in der Gasphase und in der
Flüssigphase messenden Thermometer und einem 2-Liter-Tropftrichter als Alkoholvorlage, dessen Auslaufrohr
von 2 mm lichtem Durchmesser 2 cm über dem Boden des Reaktionskolbens als Tauchrohr unter der
Flüssigkeitsoberfläche ausmündet, werden 5,75 kg (50 Mol) Methyldichlorsilan vorgelegt und zum Sieden
(40° C) erwärmt.
Innerhalb von 80 Minuten werden durch das Tauchrohr mit gleichmäßiger Geschwindigkeit von ca. 20 g
pro Minute 1600 g (50 Mol) wasserfreies Methanol in die ständig siedende Mischung eingerührt, wobei wieder
Chlorwasserstoff entweicht. Danach wird bei ca. 62° C ca. 15 Minuten am Rückfluß gekocht und das ausgeheizte
Rohprodukt aber eine Kolonne mit ca. 20 Böden destilliert.
Die gaschromatographische Analyse des Rohprodukts
zeigt einen Anteil von ca. 92% Methyldimethoxisilan neben ca. 3% Methylmethoxichlorsilan, ei- 4,7%
Methyltrimethoxisilan und ca. 0,2% Meihyldimethoxichlorsilan.
Die laufende gaschromatographische Überwachung des abgehende" Chlorwasserstoffs zeigt in keiner Phase
der Reaktion Gehalte an Methylchlorid, Dimethyläther oder Methanol an. Der Anteil an verdampftem Produkt
liegt bei 0,1%.
Die Destillation liefert 4,78 kg (ca. 90,2%) Methyldimethoxisilan nach 89 g Methylmethoxichlorsilan-haltigem
Vorlauf. D;r Siedepunkt des Produkts liegt bei 62"C; D ■ γ = 0,8609. Die Restacidität liegt bei 18 ppm
hydrolysierbarem Chlorid.
Vergleichsversuch 1
Veresteiung von Trichlorsilan mit Methanol
analog Beispiel 1
analog Beispiel 1
In der im Beispiel I beschriebenen Apparatur werden 5400 g (40 Mol) Trichlorsilan vorgelegt und zum Sieden
(31,60C) erwärmt. Innerhalb von 95 Minuten werden
durch das Tauchrohr in die ständig am Sieden gehaltene Mischung 2560 g (80 Mol) wasserfreies Methanol
eingerührt, wobei unter sehr heftiger Reaktion Chlorwasserstoff entweicht. Es wird anschließend 15 Minuten
lang am Rückfluß gekocht, dann innerhalb 30 Minuten weiteres Methanol (1280 g = 40 Mol) in die ständig
siedende Mischung eingerührt, wobei wieder Chlorwasserstoff entweicht. Danach wird bei ca. 103"C ca.
15 Minuten am Rückfluß gekocht und das ausgeheizte Rohprodukt versuchsweise über eine 6-Boden-Kolonne
destilliert. Es wird keine Reinfraktion erhalten, sondern das Rohprodukt geht nach Austreibung einer vorwiegend
aus CliiuidiiiiciiiuxiMiaii, Tririiethoxisiian, Chiortrimethoxisilan
und Tetramethoxisilan bestehenden kleinen Mischfraktion ohne feste Siedepunkte ab ca.
120'C Blasentemperatur unter Ausscheidung von
Dimethyläther in ein zunehmend zähflüssiges chlorsilanhaltiges Kondensat über, das sich nicht mehr
destillieren läßt.
Die gaschromatographische Analyse des Rohprodukts zeigt Anteile von ca. 14% Chlormethoxisilan, 3%
Trimethoxisilan, 71% Chlortrimethoxisilan und 12%
Tetramethoxisilap.
Die laufende gaschromatographische Überwachung des abgehenden Chlorwasserstoffs zeigt in keiner Phase
der Reaktion Gehalte an Methylchlorid. Dimethyläther oder Methanol an, enthält jedoch Wasserstoff. Der
Anteil an verdampftem Produkt liegt bei <C.1%.
Vergleichsversuch 2
Veresterung von Methyldichlorsilan mit
Methanol ohne Tauchrohr in einer Reaktionsstufe
unterhalb Siedetemperatur
In einem 4-Liter-Mehrhalskolben mit Innenthermometer
Rückflußkühler (0,2 m2; -82°C) mit Ableitung für
Chlorwasserstoff, normalem Tropftrichter mit einem in die Gasphase des Kolbens ragenden Auslauf. Rührer
und thermostatisierbaren Doppelmantel werden 1150g
(10 Mol) Methylaichlorsilan vorgelegt. Innerhalb von
60 Minuten wird ohne Wärmezufuhr wasserfreies Methanoi (64Og = 20 Mol) eingerührt, wobei sich
Chlorwasserstoff entwickelt. Dabei stellt sich in der flüssigen Phase eine Innentemperatur von 42'C ein.
Nach Beendigung de. Zugabe des Methanols wird innerhalb von 30 Minuten zum Sieden auf 960C erhitzt
und das ausgekochte Rohprodukt einem Destillationsversuch unterworfen. Es wird keine Reinfraktion
erhalten, sondern das Rohprodukt geht nach Austreibung einer vorwiegend aus Methyldimethoxichlorsilan
bestehenden kleinen Mischfraktion ohne festen Siedepunkt ab ca. 1061C Blasentemperatur unter Abspaltung
von Dimethyläther in ein zunehmend zähflüssiges, chlorsilanhaltiges Kondensat über, das sich nicht mehr
destillieren läßt
Die gaschromatographische Analyse des Rohprodukts zeigt Anteile von ca. 6% Methylmethoxichlorsilan
und 32% Methyldimethoxichlorsilan neben mehreren höhersiedenden, kondensierten Verbindungen.
Die laufende gaschromatographische Überwachung des aus der Reaktion entweichenden Chlorwasserstoffs
zeigt Anwesenheit erheblicher Anteile an Methylchlorid, Methanol und Wasserstoff.
Vergleichsversuch 3
Veresterung von Methyldichlorsilan mit
Methanol ohne Tauchrohr in zwei Reaktionsstufen
unterhalb Siedetemperatur
In einer Versuchsanordnung wie im Vergleichsversuch 2 beschrieben werden 1150 g (10 Mol) Methyldichlorsilan
vorgelegt. Innerhalb von 30 Minuten wird ohne Wärmezufuhi wasserfreies Methanol
(32Og = 10 Mol) eingerührt, wobei sich Chlorwasserstoff
entwickelt. Dabei stellt sich in der flüssigen Phase eine Innentemperatur von 350C ein. Anschließend wird
innerhalb von 15 Minuten durch Erhitzen zum Sieden gelöster Chlorwasserstoff ausgeheizt, wieder auf 26°C
gekühlt und innerhalb von weiteren 30 Minuten weiteres Methanol (320g — iöfvioi) eingerührt. Es
entwickelt sich wiederum Chlorwasserstoff, während die Innentemperatur auf 38°C ansteigt. Nach Beendigung
der Zugabe des Methanols wird innerhalb von 20 Minuten zum Sieden auf 89°C erhitzt und das
ausgekochte Rohprodukt einem Destillationsversuch unterworfen.
Wie im Vergleichsbeispiel 2 wird wiederum keine Reinfraktion erhalten, sondern das Rohprodukt geht
nach Austreibung einer vorwiegend aus Methyldimethoxichlorsilan bestehenden kleinen Mischfraktion ohne
festen Siedepunkt ebenfalls unter Abspaltung von Dimethyläther in ein nicht mehr destilherbares Kondensat
über.
Vergleichsversuch 4
Veresterung von Methyldichlorsilan mit
Methanol unter Verwendung eines Tauchrohres in
zwei Reaktionsstufen unterhalb Siedetemperatur
Methanol unter Verwendung eines Tauchrohres in
zwei Reaktionsstufen unterhalb Siedetemperatur
"· Analog Beispiel 1 werden 5750 g (50 MoI) Methyldichlorsilan vorgelegt bei 19°C. Innerhalb von 80 Minuten
werden durch das Tauchrohr 1600 g (50 Mol) wasserfreies Methanol eingerührt, wobei Chlorwasserstoff
entweicht und die Innentemperatur auf +11°C
; absinkt. Nach Beendigung der Zugabe wird innerhalb
25 Minuten durch Erhitzen zum Sieden gelöster Chlorwasserstoff ausgeheizt. Nach Abkühlung auf 35°C
werden innerhalb 80 Minuten weitere 1600 g (50 Mol) Methanol ohne Wärmezufuhr eingerührt. Es entwickelt
sich langsam Chlorwasserstoff und die Innentemperatur steigt dabei auf 410C. Anschließend wird während
40 Minuten zum Sieden erhitzt, wobei eine Endtemperatur von 74°C erreicht wird.
Die Destillation liefert 672 g Methyimethoxichlorsi-
Die Destillation liefert 672 g Methyimethoxichlorsi-
>"' lan und 2544 g Methyldimethoxisilan (48%) neben 112 g
Methyldimethoxichlorsilan und 384 g Methyltrimethoxisilan
als Hauptprodukte. Die gaschromatographische Untersuchung des Chlorwasserstoffs zeigt Gehalte an
ca. 2% Methanol und wenig Methylchlorid an. Der
hf) Anteil an verdampftem Produkt liegt bei
< 0,04%.
Herstellung von Methyldiäthoxisilan aus
Methyldichlorsilan und Äthanol nach dem
erfindungsgemäSen Verfahren
Analog Beispiel 1 werden 4600 g (40 Mol) Methyl-
28 OO
ίο
dichlorsilan vorgelegt und zum Sieden erwärmt. Innerhalb von 90 Minuten werden 1840 g (40 Mol)
wasserfreies Äthanol und nach 20 Minuten Rückflußtemperatur (ca. 72°C) weitere 1840 g Äthanol (40 Mol)
innerhalb 90 Minuten eingerührt. Anschließend wird 20 Minuten am Rückfluß gekocht und das ausgeheizte
siedende Rohproduk» in die BIpsp einer 6-Boden-Kolonne
abgelassen und sofort destilliert.
D-:stiIlativ werden 4940 g (92,4%) Methyldiäthoxisilan
(Kp. 97°C; DV: 0,8456) nach 112 g Methyläthoxichlorsilan-haltigen
Vorlauf erhalten. Der Destillationsrückstand von ca. 220 g enthält überwiegend Methyltriäthoxisilan.
Die laufende gaschromatographische Überwachung des abgehenden Chlorwasserstoffs zeigt in keiner Phase
der Reaktion Gehalte an Äthylchlorid, Diäthyläther oder Äthanol an. Der Anteil an verdampftem Produkt
liegt bei <0,04%.
20 Beispiel 3
Herstellung von Methyltriäthoxisilan aus
Methyltrichlorsilan und Äthanol nach dem
erfindungsgemäßen Verfahren
Analog Beispiel 1 werden 4485 g (30 Mol) Methyltrichlorsilan vorgelegt und zum leichten Sieden
erwärmt. Innerhalb 70 Minuten werden 1380 g (30 Mol) wasserfreies Äthanol eingerührt, wobei sich Chlorwasserstoff
entwickelt Anschließend wird 20 Minuten am jo Rückfluß gekocht und danach eine weitere Menge von
13*0g (30MoI) Äthanol innerhalb 70 Minuten in den
ständig siedenden Reaktionsansatz eingerührt, wobei sich wiederum Chlorwasserstoff entwickelt. Es wird
wiederum 20 Minuten am Rückfluß gekocht und j5 schließlich eine dritte Menge von 1380 g (30 Mol)
Äthanol innerhalb von 100 Minuten in den ständig am Sieden gehaltenen Ansatz eingerührt Danach wird
wiederum 30 Minuten lang ausgeheizt und das siedende Rohrprodukt in die Blase einer 6-Boden-Kolonne
abgelassen und sofort destilliert.
Das Gaschromatogramm des Rohprodukts zeigt einen Anteil von 97,1% Methyltriäthoxisilan neben
1,8% Methyldiäthoxichlorsilan und ca. 1% an Höhersiedern.
Destillativ werden 5110 g (95,7%) Methyltriäthoxisilan
(Kp. 143°C; no20:0,8925) gewonnen nach 144g
Methyldiäthoxichlorsilan-haltigem Vorlauf.
Die laufende gaschromatographische Überwachung des abgehenden Chlorwasserstoffs zeigt in keiner Phase
der Reaktion Gehalte an Äthylchlorid, Diäthyläther oder Äthanol an. Der Anteil an verdampftem Produkt
liegt bei <0,02%.
Vergleichsversuch 5
Veresterung von Methyltrichlorsilan mit
Äthanol unter Verwendung eines Tauchrohres
in einer Reaktionsstufe bei Siedetemperatur
55
60
Analog Beispiel 3 werden 4485 g (30 Mol) Methyltrichlorsilan vorgelegt und bei ständigem leichten
Sieden des Ansatzes innerhalb 240 Minuten 4140 g (90MoI) wasserfreies Äthanol eingerührt, wobei sich
Chlorwasserstoff entwickelt Anschließend wird das Rohprodukt durch 40 Minuten langes Kochen am
Rückfluß ausgeheizt und sofort destilliert
Das Gaschromatogramm des Rohproduktes zeigt einen Anteil von ca. 11% Methyldiäthoxichlorsilan, ca.
68% Methyltriäthoxisilan und ca. 20% Höhersieder.
Destillativ werden 504 g Methyldiäthoxichlorsilan und 3245 g (60,8%) Methyltriäthoxisilan erhalten.
Während der Destillation wird eine ständig zunehmende Abspaltung von Diäthyläther beobachtet.
Die laufende gaschromatographische Überwachung des abgehenden Chlorwasserstoffs zeigt Anteile an
Äthanol und Äthylchlorid. Der Anteil an verdampftem Produkt liegt bei < 0,02%.
Herstellung von Isobutyltrimethoxisilan aus
Isobutyltrichlorsilan und Methanol
Isobutyltrichlorsilan und Methanol
In einem emaillierten 2-m3-Kessel mit Rührwerk,
heiz- und kühlbarem Doppelmantel, bei -490C
arbeitendem Rückflußkühler (40 m2) mit Rücklauftrichter für Kondensat und Abgasleitung für Chlorwasserstoff
(zur Wiederverwendung), je einem in der Gasphase und in der Flüssigphase messenden Thermometer
und einer Alkohol-Vorlage von 2000 Liter Füllvolumen mit Dosierventil, die mit 34 cm über dem
unteren Klöpperboden des Reaktors mündendem Auslaufrohr von 15 mm lichtem Durchmesser ausgerüstet
ist und deren Zulaufleitung eine Gefällhöhe von ca. 4,50 m über der Mündung des Auslaufrohres hat,
werden 1147 (6 kMol) Isobutyltrichlorsilan vorgelegt
Bei einer Starttemperatur von 40° C werden durch das Tauchrohr innerhalb ca. 130 Minuten 384 kg
(12 kMol) Methanol (wasserfrei) in gleichmäßiger Geschwindigkeit von ca. 3 kg/Minute eingerührt Die
Temperaturen sinken anfangs um wenige Grad und werden mittels Heizung zwischen 43° C und 48° C
gehalten. Nach Beendigung der Zugabe wird durch Erwärmen auf ca. 140° C ausgeheizt und anschließend
unter ständigem Heizen bei langsam ansteigender Siedetemperatur eine weitere Menge von 192 kg
(6 kMol) Methanol (wasserfrei) in gleichmäßiger Gr
schwindigkeit von ca. 3 kg (Minute) eingerührt. Die Temperatur steigt daher bis auf 155° C an. Das siedende Rohprodukt wird anschließend in die Blase einer 12-Boden-Kolonne, die als Füllkörper 25-mm-Pallringe enthält zur Destillation abgelassen.
schwindigkeit von ca. 3 kg (Minute) eingerührt. Die Temperatur steigt daher bis auf 155° C an. Das siedende Rohprodukt wird anschließend in die Blase einer 12-Boden-Kolonne, die als Füllkörper 25-mm-Pallringe enthält zur Destillation abgelassen.
Die gaschromatographische Analyse des Rohproduktes zeigt einen Anteil von 983% Isobutyltrimethoxisilan
neben ca. 1 % Isobutyldimethoxichlorsilan und ca. 0,6%
Diisobutyltetramethoxidisiloxan.
Die laufende gaschromatographische Überwachung des abgehenden Chlorwasserstoffs zeigt in keiner Phase
der Reaktion Gehalte an Methylchlorid oder Dimethylätheran.
Die Destillation liefert 1020 kg (ca. 95,7%) Isobutyltrimethoxisilan
nach ca. 32 kg Isobutyldimethoxichlorsilan-haltigem
Vorlauf. Der Siedepunkt liegt bei 155° C. Die Restacidität liegt bei 20 ppm hydrolysierbarem
Chlorid.
Insgesamt werden ca. 400 Nm3 Chlorwasserstoff als
Nebenprodukt gewonnen. Ein Teilstrom davon wird bei 320° C in einem Wirbelschichtreaktor in bekannter
Weise mit Ferrosilizium zu Trichlorsilan umgesetzt Im
so gewonnenen Trichlorsilan ist kein Methyldichlorsilan nachweisbar. Daraus durch Reduktion im Wasserstoffstrom
bei hoher Temperatur und Epitaxie gewonnenes Halbleitersiliznnn enthält
< 1 ppm Kohlenstoff.
Herstellung aus Vinyltriäthoxisilan aus
Vinyltrichlorsilan und Äthanol
Vinyltrichlorsilan und Äthanol
In einer wie im Beispiel 4 beschriebenen Anlage werden 1292 kg (8 kMol) Vinyltrichlorsilan vorgelegt.
Bei einer Starttemperatur von 52°C werden durch das Tauchrohr innerhalb von ca. 120 Minuten 736 kg
(16 kMol) Äthanol (wasserfrei) mit gleichmäßiger Geschwindigkeit van ca. 6 kg/Minuten eingerührt.
Die Temperaturen sowohl der flüssigen Phase als auch der Gasphase sinken innerhalb weniger Minuten
und werden während der Äthanolzugabe mit Hilfe der Heizung bei 50—60°C gehalten. Anschließend wird
innerhalb ca. 110 Minuten zum Sieden erhitzt bis auf
145°C, wobei gelöster Chlorwasserstoff entweicht, und
in den siedenden Reaktionsansatz eine weitere Menge von 368 kg (8 kMol) Äthanol (wasserfrei) mit gleichmäßiger
Geschwindigkeit von ca. 3 kg/Minuten einge-ührt. Der Siedepunkt steigt dabei auf 164°C. Danach wird das
Produkt analog Beispiel 4 destilliert.
Die gaschromatographische Analyse des Rohproduktes zeigt einen Anteil von 97,6% Vinyltriäthoxisilan
neben ca. 1% Divinyltetraäthoxidisiloxan und ca. 1% Vinyldiäthoxichlorsilan.
Die laufende gaschromatographische Überwachung des abgehenden Chlorwasserstoffs zeigt in keiner Phase
der Reaktion Gehalte an Äthylchlorid, Äthanol oder Diäthyläther an. Der Anteil an verdampftem Produkt
liegt bei < 0,01%.
Die Destillation liefert 1477 kg (97%) Vinyltriäthoxisilan nach ca. 20 kg Vinyldiäthoxichlorsilan-haltigem
Vorlauf. Der Siedepunkt liegt bei 164° C. Die Restacidität
liegt bei 20 ppm hydrolysierbarem Chlorid.
Insgesamt werden ca. 535 Nm3 Chlorwasserstoff als Nebenprodukt gewonnen. In analog Beispiel 4 daraus
hergestelltem Trichlorsilan ist kein Methyldichlorsilan nachweisbar. Daraus durch Reduktion im Wasserstoffstrom
bei hoher Temperatur und Exitaxie gewonnenes Halbleitersilizium enthält < 1 ppm Kohlenstoff. A0
Herstellung von Vinyl-tri-2-methoxiäthoxisiIan aus
Vinyltrichlorsilan und 2-Methoxiäthanol
Vinyltrichlorsilan und 2-Methoxiäthanol
45
In einer wie im Beispiel 4 beschriebenen Anlage, die zusätzlich mit einer Busch-Vakuumpumpe ausgerüstet
ist, werden 626 kg (4 kMol) Vinyltrichlorsilan vorgelegt. Bei 60—80° C Reaktionstemperatur werden innerhalb
von 160 Minuten 304 kg (4 kMol) 2-Methoxiäthanol eingerührt, dann wird der Reaktionsansatz 20 Minuten
lang bei 80 Torr ausgeheizL Anschließend werden ebenfalls bei 60—80° C innerhalb weiterer 160 Minuten
wiederum 304 kg (4 kMol) 2-Methoxiäthanol eingerührt, dann wird der Ansatz abermals (bei 50 Torr)
ausgeheizt
Dann wird ein Siedepunkt von 120" C mit Hilfe des
Vakuums eingestellt und gehalten, während innerhalb weiterer 160 Minuten wiederum 304 kg (4 kMol) 2-Meth- M
oxiäthanol eingerührt werden. Schließlich wird bei 2 Torr 30 Minuten lang ausgeheizt und das Rohprodukt
über eine Kloss-Kolonne destilliert
Das Gaschromatogramm des Rohprodukts zeigt 95,8%VinyI-tri-2-methoxiäthoxisiIan an.
Die gaschromatographische Überwachung des abgehenden Chlorwasserstoffs zeigt keine organischen
Beimischungen an.
Die Destillation liefert 1037 kg (93,6%) Vinyl-tri-2-methoxiäthoxisilan
nachca.32 kg Vinyl-di-2-methoxiäthoxichlorsilan-haltige;."!
Vorlauf. Der Siedepunkt des ProduktsIiegtbeill3°C(133,3Pa);D· 2° : 1,04.
Die Restacidität liegt bei 42 ppm an hydrolysierbarem
Chlorid. Es werden 212 ppm Gesamt-Chlor gefunden.
Herstellung von S^'-Isopropylphenoxipropyltrimethoxisilan
aus S^'-Isopropylphenoxipropyl-
trichlorsilan und Methanol
In einem 4-Liter-Mehrhalskolben mit Rührer, Innenthermometer,
durch Thermostaten temperierbaren Doppelmantel, bei —80°C arbeitendem Rückflußkühler
mit Rücklauftrichter für Kondensat und Abgasleitung und einem Tropftrichter als Alkohol-Vorlage, dessen
Auslaufrohr von 1 mm lichtem Durchmesser 2 cm über dem Boden des Reaktionskolbens unter der Flüssigkeitsoberfläche
ausmündet, werden 2492 g (8 Mol) 3-4'-IsopropylphenoxipropyltrichIorsilan zusammen mit
400 ml Trichloräthylen vorgelegt und auf 60°C erwärmt.
Innerhalb von 40 Minuten werden durch das Tauchrohr mit gleichmäßiger Geschwindigkeit von ca. 13 g
pro Minute 512 g (16 Mol) wasserfreies Methanol eingerührt, wobei die Temperatur von 60—70°C mit
Hilfe der Heizung gehalten wird. Danach wird 30 Minuten lang durch Kochen am Rückfluß ausgeheizt
und innerhalb von weiteren 20 Minuten eine Menge von 256 g (8 Mol) Methanol zudosiert. Anschließend wird
wiederum ausgeheizt, indem 20 Minuten am Rückfluß gekocht wird und schließlich destillativ aufgearbeitet.
Die Destillation liefert 2074 g (87% Ausbeute) an 3-4'-Isopropylphenoxipropyltrimethoxisilan mit dem
Siedepunkt 124°C (13,33 Pa); D ■ ? : 1,031.
Elementaranalyse:
berechnet für Ci5H26O4Si: C 60,4, H 8,7, Si 9,3%;
gefunden: C 60,3, H 8,9, Si 9,2%.
Herstellung von Chlormethyldimethyläthoxisilan aus Chlormethyldimethylchlorsilan und Äthanol
In einem 6-Liter-Mehrhalskolben mit Rührer, durch
Thermostaten heiz- und kühlbarem Doppelmantel, bei -48°C arbeitendem Rückflußkühler (0,2 m2) mit Rücklauftrichter
für Kondensat und mit Abgasleitung für Chlorwasserstoff, je einem in der Gasphase und in der
Flüssigphase messenden Thermometer und einem Tropftrichter als Alkohol-Vorlage, dessen Auslaufrohr
von 1 mm lichtem Durchmesser 2 cm über dem Boden des Reaktionskolbens unter der Flüssigkeitsoberfläche
ausmündet, werden 2860 g (20 MoI) Chlormethyldimethylchlorsilan vorgelegt und auf 90° C erwärmt
Innerhalb ca. 60 Minuten werden durch das Tauchrohr mit gleicher Geschwindigkeit von ca. 10 g pro
Minute 644 g (14 Mol) wasserfreies Äthanol eingerührt, wobei sich Chlorwasserstoff entwickelt Dabei wird mit
Hilfe der Heizung die Innentemperatur von 90° C gehalten. Danach wird der Ansatz ausgeheizt durch
Steigerung der Innentemperatur auf ca. 122° C innerhalb
ca. 30 Minuten. Nach zehnminütigem Kochen unter Rückfluß werden innerhalb ca. 30 Minuten weitere 276 g
(6MoI) wasserfreies Äthanol eingerührt, wobei das Reaktionsgemisch mittels Heizung stets am leichten
Sieden gehalten wird. Währenddessen steiet die
lnnentempe-itur bis auf ca. 135°C. Nach weiteren
10 Minuten bei Rückflußtemperatur wird das Rohproduktdestilliert.
Die Destillation liefert 2980 g (97,7% Ausbeute) Chlormetliyldimethyläthoxisilan, Kp. 134,6°C;
D ΐ 0,951.
Herstellung von 2-Chloräthyltriäthoxisilan aus
2-Chloräthyltrichlorsilan und Äthanol
2-Chloräthyltrichlorsilan und Äthanol
Analog Beispiel 4 werden 1188 kg (6 kMol) 2-Chloräthyltrichlorsilan
vorgelegt und mit 200 Liter Trichloräthylen vermischt.
Bei 600C werden innerhalb ca. 150 Minuten 276 kg
(6 kMol) wasserfreies Äthanol eingerührt. Danach wird ausgeheizt (Kp. ca. 900C), auf 70°C eingestellt und eine
weitere Menge von 276 kg (6 kMol) Äthanol in gleicher Weise hinzugefügt. Nach nochmaligem Ausheizen wird
das Reaktionsgemisch am leichten Sieden gehalten und
die Reaktion unter Zugabe von weiteren 276 kg (6 kMol) Äthanol innerhalb ca. 120 Minuten zu Eide
geführt.
Vakuumdestillation analog Beispiel 6 ergibt 1302 kg (95,8°/; Ausbeute) 2 Chlo;äth>!triäthoxisilan, Kp. 59°C,
(133,3Ha)D- 7 : 1,012.
Beispiel 10
Herstellung von 3-Chlorpropyltrimethoxisilan aus
3-Chlorpropyltrichlorsilan und Methanol
3-Chlorpropyltrichlorsilan und Methanol
Analog Beispiel 4 werden 1696 kg (8MoI) 3-Chlorpropyltrichlorsilan
in zwei Veresterungsstufen bei 500C mit 512 kg (16 kMol) Methanol und anschließend bei
langsam steigender Siedetemperatur mit 256 kg (8 kMol) Methanol verestert und im Vakuum destilliert.
Die Vakuumdestillation ergibt 1513 kg (95,2% Au-.beute) 3-Chlorpropyltrimethoxisilan, Kp. 82°C (3999 Pa)
D ■ 7 : 1,08.
Claims (1)
- Patentanspruch:Verfahren zur vollständigen Veresterung von Chlorsilanen durch Einleiten von Alkohol ohne Berührung mit der Gasphase in vorgelegtes Chlorsilan, stufenweise Veresterung des Chlorsilans und Austreiben des bis zu der letzten Veresterungsstufe entstandenen Chlorwasserstoffs spätestens vor der letzten Veresterungsstufe, dadurch ge-10 kennzeichnet, daß man Organochlorsilane der allgemeinen Formel
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