DE2750387C2 - Elektrochrome Anzeigevorrichtung - Google Patents

Elektrochrome Anzeigevorrichtung

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DE2750387C2 DE2750387A DE2750387A DE2750387C2 DE 2750387 C2 DE2750387 C2 DE 2750387C2 DE 2750387 A DE2750387 A DE 2750387A DE 2750387 A DE2750387 A DE 2750387A DE 2750387 C2 DE2750387 C2 DE 2750387C2
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Description

— die isolierende transparente Schutzschicht (38; 54; 68) sich auch auf die zum Anzeigemuster gehörigen Bereiche unter der elektrochromen Materialschicht (42; 60; 72) erstreckt und diese Bereiche bis auf kleine Offnungen (361; 56) vollständig bedeckt,
— über der Schutzschicht eine zweite, transparente, elektrisch leitfähige Schicht (40; 58; 70) aufgebracht ist,
— auf der zweiten elektrisch leitfähigen Schicht die elektrochrome Materialschicht (42; 60; 72) ausgebildet ist, wobei
— die zweite leitfähige Schicht (40; 58; 70) mit der elektrochromen Materialschicht (42; 60; 72) deckungsgleich ist und mit der leitfähigen Schicht (36; 50; 66) auf der Trägerplatte (34; 48; 64) durch die kleinen Öffnungen (361; 56) der Schutzschicht (38; 54; 68) in Kontakt steht to (Fig.6; 7;8).
2. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden leitfähigen Schichten (50, 58; 66, 70) durch eine Vielzahl mikrofeiner Öffnungen (56) in der dazwischenliegenden Schutzschicht (54; 68) durchkontaktiert sind (F i g. 7 und 8).
3. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß eine kleine Öffnung (361) derart ausgebildet ist, daß ein Endabschnitt der ersten transparenten leitfähigen Schicht (36) nicht durch die isolierende Schutzschicht (38) abgedeckt ist, und daß die zweite transparente leitfähige Schicht (40) direkt mit diesem unbedeckten Endabschnitt der ersten transparenten leitfähigen Schicht (36) verbunden ist (F i g. 6).
4. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die mikrofeinen Öffnungen (56) nadelfeine Löcher in der nur etwa 0,35 μπι dicken Schutzschicht (68) sind.
5. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die isolierende Schutzschicht (38; 54; 68) aus einem auch gegen chemische Einflüsse isolierenden Film besteht.
6. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 5, dadurch t>r> gekennzeichnet, daß die isolierende Schutzschicht aus einem Si(V oder einem AbOi-FiIm besteht.
7. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet daß die isolierende Schutzschicht aus SiO, SiO2, AlO3, MgF2, CaF2, TiO2, Si3N4 oder Y2O3 besteht
Gegenstand der Erfindung ist eine elektrochrome Anzeigevorrichtung gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1. Eine solche Anzeigevorrichtung ist durch die DE-AS 23 01 580 bekannt
Die Erfindung bezieht sich also auf den Aufbau der Anzeigeelektrode einer solchen elektrochromen Anzeige mit einem anorganischen festen Film (elektrochrome Materialschicht), der eine lichtdurchlässige leitende Schicht überdeckt durch die Farbvariationen durch Änderungen der Opazität hervorgerufen werden.
Bei dieser Art von elektrochromen Anzeigen bestimmt der anorganische feste Film beispielsweise aus WO3 mit einer Schichtstärke von etwa 1 μπι das Anzeigemuster. Auch die Kanten des anorganischen Films sollen stets in Berührungskontakt mit dem Elektrolyten stehen, um eine gleichmäßige Färbung (Kolorierung) oder Bleichung (Löschung der Anzeige) zu gewährleisten.
Der Erfindung liegt damit die Aufgabe zugrunde, eine für die Massenproduktion geeignete elektrochrome Anzeigevorrichtung zu schaffen, mit der sich eine einwandfreie, scharf begrenzte Kolorierung und ein sicheres Bleichen bei stabilen Betriebsbedingungen erreichen lassen.
Zur erfindungsgemäßen Lösung der gestellten Aufgabe wird auf den Patenthauptanspruch verwiesen. Vorteilhafte Ausgestaltungen des Erfindungsgedankens sind in den Unteransprüchen angegeben.
Die Verwendung von SiO, SiO2, MgF2 oder CaF2 zur Ausbildung der Schutzschicht ist bereits durch die DE-AS 23 01 580 bekannt.
Bei der Erfindung ist die Anzeigeelektrode der elektrochromen Anzeigezelle im wesentlichen aus vier Schichten aufgebaut, um den Vorteil zu erzielen, die Kanten des Anzeigemusters exakt zu umgrenzen und gleichzeitig die Zuleitungselektroden gegen die Einflüsse des Elektrolyten zu schützen, wobei die Justiergenauigkeit bei der Erzeugung der einzelnen Schichten nicht hoch zu sein braucht und die Herstellung daher für die Massenproduktion gut geeignet ist.
Bei der Herstellung wird im einzelnen so vorgegangen, daß zunächst ein erster lichtdurchlässiger leitender Film auf einem Glassubstrat aufgebracht wird, der seinerseits durch einen isolierenden Schutzfilm überdeckt wird, um den leitenden Film elektrisch und chemisch gegen den in der Zelle enthaltenen Elektrolyten zu schützen. Über diesem schützenden Film wird sodann eine zweite lichtdurchlässige leitende Schicht aufgebracht, die die tatsächliche Anzeigeelektrode bestimmt und ihrerseits durch eine anorganische feste Filmschicht (elektrochrome Materialschicht) beispielsweise aus WOj in einer Schichtdicke von 1 μιη überdeckt wird. Der zweite lichtdurchlässige leitende Film ist elektrisch mit der ersten leitenden Filmschicht direkt verbunden, und zwar durch eine oder mehrere kleine Öffnungen in der isolierenden Schutzschicht.
Beispielsweise Ausführungsformen der Erfindung werden nachfolgend unter Bezug auf die Zeichnung erläutert, fs zeigt
Fig. 1 die Prinzipschnittansicht des grundsätzlichen Aufbaus einer elektrochromen Anzeigezelle;
Fig.2 die Schnittansicht des Bereichs einer Anzeigeelektrode, wie sie bei einer herkömmlichen elektrochromen Anzeigezelle verwendet wird;
F i g. 3 bis 5 Schnittdarstellungen zur Verdeutlichung von Ausführungsformen einer Anzeigei:lektrode, mit der sich die oben aufgeführten Nachteile der bekannten Anzeigeelektrode nach F i g. 2 vermindern lassen sollen;
F i g. 6(A) bis 6(E) Schnittdarstellungen zur Verdeutlichung der einzelnen Stufen im Herstellungsverfahren der Anzeigeelektrode einer elektrochromen Anzeige ι ο mit erfindi'ngsgemäßen Merkmalen;
F i g. 7(A) bis 7(E) Schnittdarstellungen der einzelnen Stufen des Herstellungsprozesses der Anzeigeelektrode bei einer anderen Ausführungsform einer erfindungsgemäßen elektrochromen Anzeige und
F i g. 8(A) bis S(D) die einzelnen Stufen im Herstellungsprozeß für die Anzeigeelektrode bei einer weiteren Ausführungsform der Erfindung.
Um den Erfindungsgegenstand verständlicher zu machen, sei zunächst der grundsätzliche Aufbau einer elektrochromen AnzeigezelJe unter Bezug auf die F i g. 1 erläutert Diese Anzeigezelle enthält einen anorganischen festen Film, durch den Farbänderungen bei Zuführen eines geeigneten gesteuerten elektrischen Stroms hervorgerufen werden.
Diese bekannte elektrochrome Anzeigezelle umfaßt als wesentliche Bauelemente ein transparentes Glassubstrat 10, eine Transparentelektrode 12, einen anorganischen festen Film (elektrochrome Materialschicht) 14, an dem das elektrochrome Phänomen auftritt und der die Transparentelektrode 12 überdeckt. Die Transparentelektrode 12 besteht aus Indiumoxid. Die Anzeigezelle umfaßt weiterhin ein Glassubstrat 16 als Träger für eine Transparentelektrode 18 aus Indiumoxid, ein Abstandsstück 20 und enthält einen Elektrolyten 22, der zwischen die beiden Glassubstrate 10 und 16 eingebracht ist.
Der anorganische Film 14 besteht meistens aus WO3 und weist eine Schichtstärke von etwa 1 μιη auf. Der Elektrolyt 22 ist ein Gemisch aus Schwefelsäure, einem organischen Alkohol, etwa Glyzerin, sowie einem feinen weißen Pulver, etwa TiO2. Der Alkoholzusatz dient zur Verdünnung der Säure, und das Pigment bildet einen weißen, reflektierenden Hintergrund zur besseren Sichtbarmachung des Färbungsphänomens. Die Schichtdicke der Flüssigkeit liegt üblicherweise bei etwa 1 mm.
Der amorphe \VO3-Film verfärbt sich blau, wenn die Transparentelektrode 12 in bezug auf die Gegenelektrode 18 mit einem negativen Potential beaufschlagt wird. Die anzulegende Spannung beträgt mehrere Volt. Die blaue Färbung verschwindet, wenn die Spannungspolarität umgekehrt wird. Dieser Vorgang wird üblicherweise als »Bleichen« bezeichnet.
Soweit bekannt, tritt die Kolorierung des Fi'ms durch w Injektion von Elektronen und Protonen in den WO3-FiIm auf. Das Bleichen entsteht durch die Rückkehr der Elektronen bzw. Protonen zu den Plätzen ihrer jeweiligen Ausgangselektronen, wenn die Polarität umgekehrt wird, ho
Nach dem Abklemmen der Färbungsspannung bleibt der kolorierte Zustand während mehrerer Tage aufrechterhalten, solange keine Bleichspannung zugeführt wird (Speichereffekt).
Obgleich die wichtigsten Betriebsabläufc bei FCDs b, (Electrochromic Displays) oben kurz erläutert wurden, sei noch ergänzend auf die folgenden charakteristischen Eigenschaften hingewiesen:
1. Der Sicht- oder Abstrahlwinkel ist extrem weit;
2. bei einem einzigen Färbungs-/Bleichzyklus liegt die aufzuwendende Verlustleistung bei einigen bis zu einigen zehn mj/cm2, während die gesamte Verlustleistung proportional zur Anzahl der sich wiederholenden Zyklen ist;
3. es lassen sich Speichereffekte erreichen, durch die der kolorierte Zustand für mehrere Stunden bis zu mehreren Tagen nach dem Abtrennen der Färbungsspannung aufrechterhalten bleibt, solange die ECDs in elektrisch offenem Zustand gehalten werden. Zur Aufrechterhaltung der Speichereffekte wird keine von außen zuzuführende Leistung benötigt.
Die F i g. 2 zeigt den Aufbau einer Anzeigeelektrode bei einer herkömmlichen elektrochromen Anzeigezelle, wie sie beispielsweise in RCA Review 36, 177 (1975) durch B. W. Faughnan et al beschrieben wurde.
Bei dieser Anzeigezelle ist auf einem lichtdurchlässigen Substrat 26 eine TransparenteJektrode 24 ausgebildet, die durch einen anorganischen festen Film 28 überdeckt ist, um ein Anzeigemuster einzugrenzen. Die Herstellungsstufen für diese bekannte Anzeigeelektrode sind wie folgt:
Die Transparentelektrode 24 wird als Indiumoxidfilm mit einer geringen SnO2-Verunreinigung auf einem Glas- oder Kunststoffsubstrat mittels Vakuumverdampfungstechnik aufgebracht. Alternativ dazu kann die Transparentelekirode 24 auch aus SnO2 mit Sb2O3-Verunreinigungen bestehen, also ein sogenannter NESA-FiIm sein, der auf ein Glassubstrat durch Aufsprühen aufgebracht ist. Das gewünschte Elektrodenmuster wird durch Ätzen in Kombination mit bekannten Photoresist-Techniken oder Siebdruckverfahren erzeugt.
Über der Transparentelektrode 24 ist ein anorganischer fester Film 28 beispielsweise aus WOj mittels Verdampfungstechnik oder durch ein Zerstäubungsverfahren aufgebracht; die gewünschte Konfiguration wird durch ein Ätzverfahren ebenfalls in Verbindung mit bekannten Photoresist- oder Siebdruckverfahren erzeugt.
Wird der anorganische feste Film vor dem Ätzen der Transpare.itelektrode aufgebracht, so können beide unter Verwendung der gleichen Maske (eine Photoresist- oder Epoxyharzschicht) geätzt werden, wenn die Abschnitte der Elektrodenzuleitung zuvor durch Entfernen von Teilbereichen des anorganischen Films hergestellt werden, beispielsweise mittels eines Maskenverdampfungs- oder Ätzverfahrens. Es ergeben sich saubere Kanten an der Anzeigeelektrode.
Die bekannte Anzeigeelektrode nach F i g. 2 läßt sich vergleichsweise einfach herstellen. Schwierigkeiten entstehen jedoch dadurch, daß die Transparentelektrode 24 im Bereich des Elektrodenzuleitungsabschnitts in Kontakt mit dem Elektrolyten gelangt, wodurch die Transparentelektrode 24 während des Betriebs leicht zerstört werden kann. Außerdem tritt häufig der Fall ein, daß der Elektrodenzuleitungsabschnitt selbst während des Betriebs der Zelle verfärbt wird.
Um die genannten Schwierigkeiten einzugrenzen, sind bereits drei Vorschläge gemacht worden, die nachfolgend kurz unter Bezug auf die Fig. 3 bis 5 erläutert werden (DE-OS 27 41 440 und DE-OS 26_>8 491). Die der Ausführungsform nach F i g. 2 entsprechenden Teile sind mit den gleichen Bezugshinweisen gekennzeichnet:
Bei der F i g. 3 ist die Transparentelektrode 24 im
Bereich der Elektrodenzuleitungsabschnitte durch eine isolierende Schutzschicht 30 überdeckt. Diese Schutzschicht 30 isoliert die Transparentelektrode 24 in diesem Bereich elektrisch und chemisch gegen den Elektrolyten. Jedoch ist die genaue Ausrichtung des anorganischen festen Films 28 und der isolierenden Schutzschicht 30 herstellungstechnisch äußerst schwierig, weshalb sich diese Lösung nicht für eine Massenproduktion eignet.
Bei der Fig.4 ist die Transparentelektrode 24 ebenfalls durch eine isolierende Schutzschicht 30 so abgedeckt, daß auch ein Bereich 280 des anorganischen festen Films 28 durch die Schutzschicht 30 überdeckt ist. Die isolierende Schutzschicht 30 kann beispielsweise aus einem durch ein Maskenverdampfungsverfahren aufgebrachten SiO^-Film (X = 1 bis 2) oder einem Epoxyharz- oder Siliconharzfilm bestehen, die durch ein Siebdruckverfahren aufgebracht werden. Die Herstellung der Anzeigeelektrode nach F i g. 4 ist vergleichsweise einfach. Bei der im Oberbegriff des Anspruchs 1 vorausgesetzten Anzeigevorrichtung gemäß DE-AS 23 01 580 sind alle Kanten des Films 28 durch die Schutzschicht 30 überdeckt. In der Praxis zeigen sich jedoch folgende Nachteile, wie eingangs erwähnt:
Der Abschnitt 280 des anorganischen Films 80 verfärbt sich zunächst nicht, da positive Ionen in diesen Bereich nicht injiziert werden. Der Abschnitt 280 verfärbt sich jedoch allmählich aufgrund der Verteilung der speziellen Färbung im anorganischen Film 28. Dies wäre unter Umständen bei geeigneter Gestaltung der Elektrode noch hinnehmbar. Leider läßt sich jedoch die nachträglich entstandene Färbung des Abschnitts 280 beim Löschen oder Bleichen der Anzeige nicht entfernen. Die typische Ausbreitungsgeschwindigkeit dieser später einsetzenden Verfärbung liegt bei etwa 1 mm/h, wenn die Kolorierung unter den folgenden Bedingungen erfolgt:
Transparentelektrode: ImCh. aufgebracht durch
verdampfung im Vakuum; Anorganischer fester Film: WO3 mit einer Stärke von
0,5 μπί;
isolierende Schicht: Epoxyharz;
Elektrolyt: Mischung von 1,0 Mol/l Li
thiumchlorid und 2-Äthoxyacetylacetat;
Kolorierungsstrom: 10 mC/cm2 (erzielter Kon
trast 1 :10).
Bei der F i g. 5 bedeckt der anorganische feste Film 28 die Transparentelektrode 24 in einem Bereich 300. In diesem Fall wird zunächst die Transparentelektrode 24 in gewünschter Konfiguration auf dem Glassubstrat 26 erzeugt. Sodann wird der isolierende Film 30 aus SiOx (X = 1 bis 2) oder AI2O3 auf der Transparentelektrode mittels Maskenverdampfungsverfahren im Vakuum hergestellt Schließlich wird der anorganische feste Film 28 auf der Transparentelektrode 24 und der isolierenden Schutzschicht 30 mittels eines Verdampfungsverfahrens und anschließendem Ätzen erzeugt
Die Herstellung der Anzeigeelektrode gem. F i g. 5 ist sehr kompliziert, da die Form des anorganischen festen Films 28 äußerst genau auf den Kantenbereich der Transparentelektrode 24 ausgerichtet sein muß. Außerdem läßt sich auch in diesem Fall der durch die anorganische Fflmschicht 28 überdeckte Bereich 300 des isolierenden Schutzfilms 30 nach einmal vorhandener Färbung sehr schlecht wieder bleichen.
Die Fig.6(A) bis 6(E) dienen zur Erläuterung der Herstellungsstufen einer Anzeigeelektrode bei einer elektrochromen Anzeige gemäß der Erfindung:
Zunächst wird in einem Verdampfungsverfahren ein transparenter leitender Film 32 aus Indiumoxid auf einem transparenten Glassubstrat 34 erzeugt (F i g. 6A). Durch Abdecken des leitenden Films 32 mit einem Photoresist-Lack od. dgl. und anschließendem Ätzen mit Salzsäure erhält man ein gewünschtes Anzeigemuster. Der so in die gewünschte Anzeigeform gebrachte leitende Film 36 dient vor allem als Zuleitungselektrode (vgl. Fig. 6B).
Auf der Zuleitungselektrode 36 wird sodann in einem Verdampfungsverfahren mit Maskenabdeckung eine isolierende Schutzschicht 38 aus SiO.* (X = 1 bis 2) oder AI2O3 aufgebracht; die Enden 361 der Zuleitungselektroden 36 bleiben etwa wie dargestellt frei (vgl, F i g, 6C).
Auf dem freigelegten Bereich des Glassubstrats 34 werden sodann ein lichtdurchlässiger leitender Film 40 aus Indiumoxid und ein anorganischer fester Film 42 aus WO3 übereinander aufgebracht. Der leitende Film 40 steht in Verbindung mit den freien Enden des leitenden Films 36.
Ein gewünschtes Elektrodenmuster wird durch Abdeckung mit einem Photoresist-Lack od. dgl. und
-*> Ätzen des \VO3-Films 42 und des Indiumoxidfilms 40 mit einer Lauge bzw. Salzsäure erhalten; es ergeben sich die Anzeigeelektroden 44 (vgl. F i g. 6E).
Die isolierende Schutzschicht 38 kann aus MgF2, Ca F2, TiO2, Si jN« oder Y2O3 bestehen.
Unter Bezug auf die F i g. 7(A) bis 7(E) werden nachfolgend die einzelnen Stufen zur Herstellung einer Anzeigeelektrode für elektrochrome Anzeigen gem. einer anderen Ausführungsform der Erfindung erläutert:
Auf einem transparenten Glassubstrat 48 wird zunächst mittels Verdampfungstechnik ein lichtdurchlässiger leitender Film 46 aus Indiumoxid aufgebracht (vgl. Fig. 7A).
Mittels Photoresist-Lackabdeckung und Ätzen mit Salzsäure ergibt sich ein gewünschtes Muster des leitenden Indiumoxidfilms 46. Die Fig. 7(B) läßt den so geformten leitenden Film 50 erkennen, der einerseits die Zuleitungselektroden und andererseits die Unterlage der Anzeigeelektroden bildet.
Auf den leitenden Film 50 wird sodann ein Glasfaserpulver 52 an jenen Stellen über eine geeignete Maske aufgebracht, die der oder den späteren Anzeigeelektroden entsprechen. Die Glasfasern 52 in Pulverform weisen eine Länge von 20 bis 50 μπί und einen Durchmesser von ca. 6 μπί auf. Dieses Glasfaserpulver wird in einer Dichte von etwa 10 Teilchen pro 500 μΐη D aufgebracht Sodann wird über der gesamten Oberfläche des Glassubstrats eine isolierende Schutzschicht 54 aus SiOx (X = 1 bis 2) oder Al2O3 mittels Verdampfungstechnik in einer Schichtdicke von etwa 035 μπί aufgebracht (vgL F i g. 7C).
Das Glasfaserpulver 52 wird anschließend wiederum dadurch entfernt, daß das Glassubstrat 48 einer Vibration ausgesetzt wird, wodurch in der isolierenden
Schutzschicht 54 mikrofeine Öffnungen 56 im Bereich der Anzeigeabschnitte der Anzeigeelektrode entstehen (vgL F ig. 7D).
Durch Verdampfungstechnik unter Verwendung einer Maske wird sodann im Bereich der Anzeigeabschnitte der Anzeigeelektrode ein transparenter leitender Indiumoxidfilm 58 sowie darüber ein anorganischer Film 60 aus WO3 oder Molybdänoxid aufgebracht (vgL F i g. 7E). Der Indiumoxidfilrn 58 gelangt dabei über die
mikrofeinen öffnungen 56 in der isolierenden Schicht 54 in elektrischen Kontakt mit dem leitenden Film 50.
Zur Erzeugung der mikrofeinen Öffnungen 56 kann anstelle von Glasfaserpulver auch pulverisiertes AI2O3, MgO, Fe2O3, BaO, TiO2 und/oder BaSO4 verwendet ■> werden.
Anhand der Fig.8(A) bis 8(D) werden nachfolgend die einzelnen Schritte des Herstellungsverfahrens der Anzeigeelektrode für eine andere erfindungsgemäße elektrochrome Anzeigezelle erläutert:
Mittels Verdampfungstechnik wird auf der gesamten Oberfläche eines transparenten Glassubstrats 64 ein leitender Indiumoxidfilm 62 erzeugt (vgl. F i g. 8A).
Auf den Indiumoxidfilm 62 wird sodann das gewünschte Negativmuster eines Photoresist-Lacks aufgebracht; anschließend wird mittels Salzsäure geätzt, um eine gewünschte Konfiguration zu erhalten. Der so erzeugte leitende Film 66 ist in Zuleitungselektroden- und Anzeigeelektrodenabschnitte unterteilt (vgl. F ig. 8B). 2(i
Über der gesamten Oberfläche des Glassubstrats 64
wird sodann eine isolierende Schutzschicht 68 aus SiO.v (X = 1 bis 2), AI2O3, MgF2, CaF2, TiO2, Si3N4 oder Y2O3 in einer Schichtstärke von 0,35 μπι durch Anwendung eines Vakuumverdampfungsverfahrens aufgebracht (vgl. F ig. 8C).
Anschließend werden im Bereich der Anzeigeelektrodenabschnitte durch Verdampfungstechnik unter Verwendung der gleichen Maske aufeinanderfolgend ein lichtdurchlässiger leitender Indiumoxidfilm 70 sowie ein anorganischer fester Film 72 aus WO3 oder Molybdänoxid aufgebracht (vgl. F i g. 8D).
Da die isolierende Schulzschicht 68 äußerst dünn und nicht sehr dicht ist, entstehen in der isolierenden Schutzschicht 68 unvermeidbarerweise kleinste Risse und Löcher. Außerdem entstehen weitere nadelfeine Löcher durch die sogenannte Schattenbildung, hervorgerufen durch die Strahlwinkel beim Verdampfen. Der leitende Film 70 steht also über die nadelfeinen Löcher und Risse in der isolierenden Schutzschicht 68 in elektrischem Kontakt mit dem leitenden Film 66.
Hierzu 5 Blatt Zeichnungen

Claims (1)

1
Patentansprüche:
ί. Elektrochrome Anzeigevorrichtung, deren Lichtabsorptionseigenschaften sich bei Zuführen eines Stroms reversibel ändern lassen, mit einer
— zur Wiedergabe bestimmter Anzeigemuster entsprechend geformten elektrochromen Materialschicht, die zwischen zwei auf Abstand gehaltenen, mit elektrisch leitfähigen Schichten versehenen Trägerplatten eingebracht ist, von denen wenigstens eine zusammen mit ihrer leitfähigen Schicht lichtdurchlässig ist und die mit der leitfähigen Schicht in Berührungskontakt befindliche elektrochrome Materialschicht iä trägt, und mit einer isolierenden transparenten Schutzschicht auf den Bereichen der leitfähigen lichtdurchlässigen Schicht, die nicht zum Anzeigemuster gehörig sind,
20
dadurch gekennzeichnet, daß
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DE3046746A1 (de) * 1979-12-18 1981-08-27 Ebauches S.A., 2001 Neuchâtel Verfahren zur herstellung des substrats einer elektrochromischen anzeigezelle und nach diesem verfahren hergestelltes substrat

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