DE2747186C2 - Modulare Getter-Pumpe - Google Patents

Modulare Getter-Pumpe

Info

Publication number
DE2747186C2
DE2747186C2 DE2747186A DE2747186A DE2747186C2 DE 2747186 C2 DE2747186 C2 DE 2747186C2 DE 2747186 A DE2747186 A DE 2747186A DE 2747186 A DE2747186 A DE 2747186A DE 2747186 C2 DE2747186 C2 DE 2747186C2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
modular
getter pump
getter
pump according
sections
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE2747186A
Other languages
English (en)
Other versions
DE2747186A1 (de
Inventor
Paolo Fagiana Carimate Della Porta
Bruno Rescaldina Ferrario
Livio Mailand/Milano Rosai
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SAES Getters SpA
Original Assignee
SAES Getters SpA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from IT2900476A external-priority patent/IT1083971B/it
Priority claimed from IT2107577A external-priority patent/IT1115267B/it
Application filed by SAES Getters SpA filed Critical SAES Getters SpA
Publication of DE2747186A1 publication Critical patent/DE2747186A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2747186C2 publication Critical patent/DE2747186C2/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B37/00Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
    • F04B37/02Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by absorption or adsorption
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J7/00Details not provided for in the preceding groups and common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
    • H01J7/14Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
    • H01J7/18Means for absorbing or adsorbing gas, e.g. by gettering

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
  • Electron Tubes For Measurement (AREA)
  • Particle Accelerators (AREA)

Description

gnetischer Träger erforderlich ist
Die modulare Getter-Pumpe gemäß der Erfindung erlaubt die Verwendung jedes nicht verdampfbaren Getter-Materials, wie beispielsweise Titan, Zirkonium, Tantal, Niobium, sowie Legierungen und/oder Mischun- s gen von zwei oder mehreren der obenstehenden Materialien oder mit anderen Metallen, die nicht wesentlich die Absorptionskapazität verringern. Ein Beispiel einer solchen Legierung ist Zr2WL Die Metalle der seltenen Erden und Yttrium können ebenfalls verwendt-t werden, ι ο Ein bevorzugtes nicht verdampfbares Getter-Material ist eine Legierung aus 5 bis 30 Gew.-% Aluminium, wobei der Rest Zirkonium ist Eine ebenfalls bevorzugte Legierung besteht aus 16Gew.-% Aluminium, wobei der Rest Zirkonium ist
Die erfindungsgemäße modulare Getter-Pumpe kann einzeln verwendet werden. Es können jedoch auch mehrere derartige Pumpenmodule nebeneinander angeordnet werden, um beispielsweise die Innenwand eines Vakuumgefäßes zu bedecken. Sie können in Abhängigkeit von den elektrischen Strom- und Spannungsbedingungen, die im Vakuumgefäß zugelassen werden können, parallel oder in Serie geschaltet sein. Wenn ein elektrischer Strom durch die Träger mit hohem elektrischen Widerstand hindurchgeführt wird, so erhitzt der Durchgang des Stromes das im Träger enthaltene Getter-Material auf die gewünschte Temperatur, um dieses anfangs zu aktivieren und um dieses auf der Betriebstemperatur zu halten.
Besondere Ausführungsformen der Erfindung sollen in der folgenden Beschreibung unter Bezugnahme auf die Figuren der Zeichnung erläutert werden. Es zeigt
F i g. 1 eine perspektivische Ansicht eines streifenförmigen Trägers, der in einer modularen Getter-Pumpe verwendet wird, wobei dieser Streifen in mehrere flache parallele Abschnitte gefaltet ist,
F i g. 2 eine Seitenansicht einer Ausffihrungsform einer modularen Getter-Pumpe, bei der ein gefalteter Träger, wie er in Fi g. 1 gezeigt ist verwendet wird,
Fig.3 eine Schnittansicht der modularen Getter-Pumpe, genommen längs der Linie 3-3 der F i g. 2,
F i g. 4 eine perspektivische Ansicht einer alternativen Ausführungsform einer modularen Getter-Fumpe,
Fig.5 eine Schnittansicht der modularen Getterpumpe, genommen längs der Linie 5-5 der F i g. 4,
F i g. 6 eine perspektivische Ansicht einer Tafel, die mehrere modulare Getter-Pumpen der in F i g. 4 gezeigten Art trägt,
F i g. 7 eine perspektivische Ansicht eines Vaküumgefäßes, welches mehrere der in F i g. 6 dargestellten Ta- fein aufweist und
Fig.8 eine grafische Darstellung der Wasserstoffpumpgeschwindigkeit pro Einheit der exponierten Oberfläche einer Getter-Pumpe als Funktion des d/w-Verhältnisses bei unterschiedlichen Aktivierungszeiten.
Eine modulare Getter-Pumpe als Ausführungsform der Erfindung weist einen Streifen 10 aus einem hochohmigen Widerstandsmaterial auf. Der Streifen 10 weist eine Länge / auf, die wesentlich größer ist als dessen Breite w und hat eine sehr geringe Dicke f. Der Streifen 10 enthält ein nicht verdampfbares Getter-Material 12, welches wenigstens teilweise in einer oder in beiden Oberflächen des Streifens 10 eingebettet ist Der Streifen 10 ist in mehrere flache, parallele Abschnitte 14 gefaltet, die alle gleichen Abstand (/voneinander haben. Zwei Sätze von Stejjbereichen 16 und 18 verbinden die parallelen Abschnitte 14 miteinander, um einen kontinuierlichen Streifen 10 zu bilden. Das Getter-Metall 12 kann über die ganze Länge des Streifens aufgebracht sein, oder auch selektiv, wie es in F i g. 1 gezeigt wird, und zwar derart, daß der gefaltete Streifen an jeder Faltlinie frei von Getter-Metall ist
Bei einer ersten Ausführungsform der Erfindung, die in den F i g. 2 und 3 dargestellt ist weist eine modulare Getter-Pumpe 20 eine erste Tragelektrode 22 und eine zweite Tragelektrode 24 auf. Ein gefalteter Träger 26 aus einem hochohmigen Widerstandsmaterial, wie er im Vorstehenden beschrieben worden ist ist an den Tragelektroden 22 und 24 befestigt Die erste Elektrode 22 trägt einen ersten Satz von Stegabschnitten 23 des gefalteten Streifens 10, während die zweite Elektrode 24 einen zweiten Satz von Stegabschnitten 25 trägt der dem ersten Satz gegenüberliegt Ein Stab 28 ist derart angeordnet daß dessen Achse 29 senkrecht zur Breite w des gefalteten Streifens verläuft um die Trennung zwischen benachbarten parallelen Abschnitten aufrechtzuerhalten. Der Stab 28 weist eine isolierte Stange 30 auf, die an ihren Enden mit den Tragelektroden 22 und 24 verbunden ist Es ist eine Vorspar.öingseinrichtung 32 vorgesehen, um die flachen parallelen .Abschnitte unter Spannung zu halten. Wie Fig.3 zeigt weist die Vorspannungseinrichtung 32 eine Feder 34 auf, die an der Tragelektrode 24 befestigt ist Der Träger 26 kann mit Entspjuinungsbohrungen 36 ausgerüstet sein, weiche eine gleichmäßige Ausdehnung des Trägers 26 bei einer Erhitzung sicherstellen und mechanisch den elektrischen Widerstand des Trägers erhöhen.
Der in Fig.2 dargestellte Stab 28 bildet einen Rahmen 38, der zwei Tragarme 40 und 42 hat an denen die Tragelektroden 22 und 24 befestigt sind. Die Vorspannungseinrichtung 32 hält den Träger 26 auch dann gespannt wenn der Träger sich während der Erhitzung ausdehnt Die Erhitzung erfolgt durch den Durchgang eines elektrischen Stromes durch den Träger. Der Stab hält die benachbarten parallelen Abschnitte voneinander getrennt und dadurch liegen diese Abschnitte im Gasvolumen, welches gepumpt werden soil, frei.
Im Betrieb wird eine modulare Getter-Pumpe oder werden mehrere modulare Getter-Pumpen 20 im Innere;/ eines Gefäßes befestigt welches durch geeignete Einrichtungen evakuiert werden soll. Das Gefäß wird dann durch eine übliche Vakuumpumpe, wie beispielsweise eine mechanische Pumpe, evakuiert Die Elektroden 22 und 24 werden mit einer Wechselstromquelle oder einer Gleichstromquelle verbunden, so daß Strom durch den ebenen Träger 26 hindurchfließt, der Wärme im Träger erzeugt wodurch das Gettermaterial, welches in den Träger eingebettet ist, aktiviert wird, so daß es Gase absorbieren kann. Der Strom wird durch den ebenen Träger 26 derart hindurchgeleitet, daß die Temperatur des Gettermaterials 12 zwischen 5 Minuten und einigen Stunden zwischen 6000C und 9000C, vorzugsweise zwischen 7000C und 800° C, gehalten wird, ura das Gettermaterial zu aktivieren. Wenn die Aktii-ierung einmal durchgeführt ist, ist das Getter-Material 12 bei Zimmertemperatur gasabsorbierend, jedoch kann die Gasabsorptionsrate und die Absorptionskapazität dadurch erhöht werden, daß das Getter-Material 12, wie oben beschrieben, auf Temperaturen zwischen 200° C und 4000C erhitzt wird, um eine ausreichend hohe Wasserstoff absorptionsgesch windigkeit und einen ausreichend niedrigen Gleichgewichtsdruck zu erhalten.
Beispielsweise wirde ein feingemahlenes, nicht verdampfbares Zr-AI-Getter-Material, welches durch ein Sieb hindurchging, das eine Maschenweite von 140 Maschsn pro Zoll aufwies, und welches von einem Sieb
Al 4/ lob
zurückgehalten wurde, welches eine Maschenweite von 600 Maschen pro Zoll aufwies, wenigstens teilweise in einen Constantan-Träger eingebettet, der eine Dicke t von etwa 0,2 mm hatte, wobei ein in der US-PS 36 52 317 beschriebenes Verfahren verwendet wurde. Dieser Träger wurde dann verwendet, um eine Getterpumpe herzustellen, wie sie in den F i g. 1 bis 3 dargestellt ist. Diese modulare Getter-Pumpe hatte eine Höhe a von 50 cm und eine Breite w von 5 cm. Der parallele Abstand tf zwischen jedem der ebenen Trägerabschnitte 26 betrug 0,5 cm.
Zehn modulare Getter-Pumpen, wie sie im Vorstehenden beschrieben wurden, wurden im äußeren Vakuumgehäuse einer torusförmigen Fusionsmaschine eingesetzt die bis auf weniger als 10-« Pa durch mechani- sehe Pumpen abgepumpt wurde. Strom wurde durch die Träger geleitet, um das Getter-Material 15 Minuten lang auf 75O°C zu erhitzen. Dann wurde der Strom herabgesetzt, bis auf die Temperatur der Träger 2000C erreicht hat. Das Vakuum wurde auf weniger als ΙΟ-4 Pa durch die Getter-Pumpe aufrechterhalten. Die Getter Pumpenmodule können in erfolgreicher Weise cryogene Pumpeinrichtungen im Pumpsystem des Torus der experimentellen Fusionsmaschine ersetzen. Bei einem anderen Versuch wurde eine Anordnung von modularerii Getter-Pumpen, wie sie in den Fig.2 und 3 dargestellt sind, an der inneren freien Oberfläche eines Neutralstrahlinjektors einer experimentellen Fusionsmaschine montiert. Diese Pumpenmodule erzielten eine große Pumpwirkung und ermöglichten die Aufrechterhaltung eines hohen Neutralteüchendurchsatzes in dem Torus, wobei der Injektordruckgradient innerhalb der Arbeitsgrenzen gehalten wurde.
Eine zweite bevorzugte Ausführungsform einer modularen Getter-Pumpe ist in den Fig.4 und 5 darge- stellt. Bei dieser modularen Getter-Pumpe 44 wird ein Paar von Streifen 46 und 48 verwendet, wobei jeder Streifen so ausgebildet ist, wie es in F i g. i dargesteiii ist. Die Träger der Streifen 46 und 48 bestehen im allgemeinen aus einem Material, welches einen spezifischen Widerstand von 100 bis 200 und vorzugsweise von 5 bis 150 Mikroohm-cm bei 20° C hat In die Streifen 46 und 48 der Träger wurde wenigstens teilweise ein nicht verdampfbares Getter-Metall eingebettet, und dann wurden die Streifen zu mehreren im wesentlichen parallelen Abschnitten 50 gefaltet, die gleichförmig voneinander um eine Strecke d getrennt sind, wodurch die gesamte lineare Abmessung h der Getter-Pumpe vermindert wird. Stiibe 52 sind senkrecht gegenüber der Breite w des gefalteten Streifens angeordnet, um den Abstand d zwischen benachbarten parallelen Abschnitten 50 aufrechtzuerhalten. Die Stäbe 52 umfassen ein Paar isolierte Stangen 54, die an ihren Enden an Tragelektroden 56 und 58 befestigt sind. Die isolierten Stangen 54 erstrekken sich senkrecht durch die flachen parallelen Ab- schnitte 50 hindurch. Wie F i g. 5 zeigt, weisen die Stäbe 52 mehrere ringförmige Isolationsdistanzstücke 60 auf, die zwischen benachbarten parallelen Abschnitten 50 sitzen und vollständig die Stangen 54 umgeben.
Es wurde gefunden, daß die in den F i g. 4 und 5 dargestellte modulare Getter-Pumpe zusätzliche Vorteile gegenüber der in den F i g. 2 und 3 dargestellten aufweist Durch eine thermische Entspannung von möglichen Spannungen, die in den Träger während der Beschichtung mit dem Getter-Material eingeführt werden kön- ner, oder durch nicht gleichförmige Spannungen, die durch ein nicht gleichförmiges Einspannen an den Enden der Getter-Pumpen eingeführt werden können, können sich die langgestreckten Träger 26 nach der Erhitzung etwas verformen, so daß in gewissen Fällen ihre Abschnitte nicht mehr richtig parallel zueinander verlaufen. Obwohl es möglich ist, diesen Fehler weitgehend dadurch zu korrigieren, daß die Stärke der Spannungsvorrichtung 32 erhöht wird, wurde gefunden, daß ein noch geringeres Verwerfen durch thermische Entspannung dadurch erzielt wird, daß der in den F i g. 4 und 5 dargestellte Aufbau verwendet wird. Damit Heizstrom durch den gefalteten Träger hindurchgeleitet werden kann, müssen die Stangen 54 elektrisch gegenüber den Elektroden 56 und 58 isoliert sein, falls die Stangen 54 aus einem leitenden Material bestehen. Ein erster und letzter Abschnitt der parallelen Abschnitte 50 der gefalteten Streifen 46 und 48 sind elektrisch mit der ersten und zweiten Tragelektrode 56 und 58 verbunden.
Eine modulare Getter-Pumpe, wie sie in den F i g. 4 und 5 dargestellt ist kann einzeln verwendet werden, oder es können mehrere gleiche Module verwendet werden, die beispielsweise nebeneinander angeordnet werden, um beispielsweise die Innenwandungen eines Vakuumgefäßes zu bedecken.
Wenn modulare Getter-Pumpen dieser Art zu Wänden oder Tafeln gruppiert werden, kann die elektrische Verbindung zwischen ihnen eine Parallelschaltung oder eine Serienschaltung sein, und zwar entsprechend der elektrischen Spannung, die im Vakuumgefäß zugelassen werden ks>nn.
F i g. 6 teigt eine Tafel 62, die eine Vielzahl von modularen Getter-Pumpen 44 aufweist deren Spannungszuführung über eine einzelne Stromeinlaßelektrode 64 erfolgt Während des Betriebes ist eine «ier sind mehrere modulare Getter-Pumpen 44 zusammen mit einer oder mehreren Tafeln 62 je nach den Spannungsverhältnissen über Leitungsschienen 66 und 68, die in der Wand 70 der Tafel 62 angeordnet sind, parallel oder in Serie geschaltet Das Gefäß, welches die modularen Getter-Pumpen enthält kann durch übliche Vakuumpumpen, wie beispielsweise eine mechanische Pumpe, evakuiert werden. Zwei Leitungsschienen 66 und 68 werden dann mit einer Wechselstromquelle oder einer Gleichstromquelle verbunden, so daß der Strom durch die Streifen 46 und 48 jeder Pumpe 44 fließen kann, wodurch infolge des elektrischen Widerstandes Wärme erzeugt wird und das Getter-Material wie vorstehend beschrieben, aktiviert wird.
F i g. 7 zeigt einen Vakuumbehälter 72, der mehrere Tafeln 62 enthält die in geeigneter Weise angeordnet sind, so daß die Leitungsschienen durch Verbindungsstücke 74 miteinander verbunden werden können, wonach dann die Tafeln mit den elektrischen Eingangse.detroden 76 verbunden werden.
Wichtig ist das Verhältnis des Abstandes d zwischen parallelen Abschnitten des Trägers und deren Breite w, nämlich das Verhältnis d/w. Im Falle der in den F i g. 4 und 5 dargestellten Ausführungsform, bei der ein Paar Streifen 46 und 48 in Breitenrichtung nebeneinander angeordnet ist kann angenommen werden, daß der Parameter w gleich der gesamten Breite der beiden Streifen ist einschließlich des Spaltes 47, wenn dieser nicht mehr als 10% der Gesamtbreite ausmacht
Es sei nunmehr auf F i g. 8 Bezug genommen. Die Figur zeigt verschiedene Werte der Pumpgeschwindigkeit in Liter pro Sekunde für Wasserstoff pro Quadratzentimeter exponierter Oberfläche der modularen Getterpumpe, wenn lediglich eine Seite des Getter-Moduls exponiert war, und zwar als Funktion des Verhältnisses d/w. Die Experimente wurden unter Verwendune einer
Substratlänge von etwa zwanzig Abschnitten der in F i g. 4 und 5 dargestellten Pumpe durchgeführt, wobei diese, wie F i g. 6 zeigt, mit anderen zu einer Tafel zusammengesetzt war.
Aus der grafischen Darstellung ist zu erkennen, daß die größten Pumpgeschwindigkeiten erreicht werden, wenn das Verhältnis <//w zwischen 1/60 und 1/6 liegt und vorzugsweise zwischen 1/30 und 1/10.
Hierzu 3 Blatt Zeichnungen ι ο
15
20
25
30
35
45
50
55

Claims (9)

1 2 (Fig. 1 bzw. 4). Patentansprüche: 10. Modulare Getter-Pumpe nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß das Verhältnis zwischen
1. Modulare Getter-Pumpe mit einer ersten und 1/10 und 1/30 liegt
einer zweiten Elektrode und wenigstens einem Strei- 5 11. Modulare Getter-Pumpe nach Anspruch 1, da-
fen aus einem hochohmigen Widerstandsmaterial, durch gekennzeichnet, daß der gefaltete Streifen an
der mit der ersten und zweiten Elektrode verbunden jeder Faltlinie frei von Getter-Material ist
ist, eine Länge hat die viel größer als seine Breite ist, 12. Modulare Getter-Pumpe nach Anspruch 1, da-
eine geringe Dicke aufweist gleichmäßig in flache durch gekennzeichnet, daß der gefaltete Streifen ei-
Abschnitte gefaltet ist und einen Träger bildet, auf io nen spezifischen Widerstand von 5 bis 150 Mikro-
den ein nicht-verdampfbares Gettermaterial aufge- ohm - cm bei 200C hat
bracht ist, dadurch gekennzeichnet, daß 13. Modulare Getter-Pumpe nach Anspruch l.da-
die Elektroden (22,24; 56,58) den Streifen (10; 46, durch gekennzeichnet, daß das nicht verdampfbare
48) tragen, daß die flachen Abschnitte (14; 50) des Getter-Material eine Legierung auf 5 bis 30 Gew.-%
Streifens parallel und in gleichem Abstand (d) von- 15 Aluminium mit dem Rest Zirkonium ist
einander angeordnet sind und daß ein Stab (28; 52)
senkrecht zur Breite (w) des gefalteten Streifens an-
geordnet und an den Elektroden (22,24; 56,58) befestigt ist um den Abstand zwischen den Abschnitten
(14; 50) aufrecht zu erhalten. 20 Die Erfindung betrifft eine modulare Getter-Pumpe
2. Modulate Getter-Pumpe nach Anspruch 1, da- gemäß Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
durch gekennzeichnet, daß der Stab (28) eine isolier- Eine moduiare Getter-Pumpe dieser Art ist aus der
te Stange (30) aufweist, die an ihren Enden an den US-PS 36 09 064 bekannt Bei dieser Pumpe ist die ge-
Tragelektroden (22,24) befestigt ist, wobei eine Vor- faltete Struktur in eine Kreisgestalt gebracht Wird nun
spannungseinrichtung (32) die flachen parallelen Ab- 25 eine große Fläche mit einer Vielzahl solcher kreisförmi-
schnitte (14) unter Spannung hält (F i g. 2). gen Einrichtungen bedeckt, so bedeutet dies einen ganz
3. Modulare Getter-Pumpe nach Anspruch 2, da- beachtlichen Platzbedarf. Gleichzeitig wäre es wündurch gekennzeichnet daß die erste Elektrode (22) sehenswert, für die Gassorption ein optimales Verhälteinen ersten Satz von Stegabschnitten (23) des gefal- nis vom Abstand der flachen Abschnitte zu ihrer Breite teten Streifens trägt, die zwischen benachbarten 30 einzustellen. Hier gibt es bei dieser runden ringförmigen Paaren paralleler Abschnitte (14) angeordnet sind Konstruktion erhebliche Schwierigkeiten.
und die zweite Elektrode (24) einen zweiten Satz von Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine mo-
Stegabschnitten (25) des gefalteten Streifens trägt, dulare Getter-Pumpe der eingangs genannten Art so
die dem ersten Satz gegenüberliegen (F i g. 3). auszubilden, daß bei guter Platzausnutzung definierte
4. Modulare Getter-Pumpe nach Anspruch 2, da- 35 Verhältnisse hinsichtlich der Gasabsorption geschaffen durch gekennzeichnet daß die Vorspannungsein- werden.
richtung (32) eine Expansionsfeder (34) aufweist, die Diese Aufgabe wird crfindüngsgemäS durch die im
an einer der Tragelektroden (24) befestigt ist kennzeichnenden Teil des Anspruchs 1 angegebenen
(Fig.3). Merkmale gelöst Besondere Ausführungsformen sind
5. Modulare Getter-Pumpe nach Anspruch 2, da* 40 Gegenstand der Unteransprüche,
durch gkennzeichnet, daß der gefaltete Streifen Ent- Die Erfindung bietet folgende Vorteile:
Spannungsöffnungen (36) aufweist (F i g. 2). Die Rechteckgestalt der modularen Getterpumpe be-
6. Modulare Getter-Pumpe nach Anspruch 1, da- deutet, daß diese Pumpen seitlich nebeneinander angedurch gekennzeichnet, daß der Stab (52) eine isolier- ordnet werden können, ohne daß Toträume entstehen, te Stange (54) aufweist, die mit ihren Enden an den 45 Eine Getter-Bindung über die gesamte Fläche wird also Tragelektroden (56, 58) befestigt ist und sich senk- sichergestellt und nicht nur über einen Teil dieser Flärecht durch die flachen parallelen Abschnitte (50) ehe.
des gefalteten Streifens (46, 48) hindurch erstreckt Dies hat zur Folge, daß dann, wenn eine Vielzahl der
(Fig.4und5). modularen Getter-Pumpen auf eine Trägerfläche ge-
7. Modulare Getter-Pumpe nach Anspruch 6, da- 50 setzt werden, die Hauptgasrichtiing (parallel zu den durch gekennzeichnet, daß ein erster und letzter der Faltflächen) zu einem konstanten Wert des Verhältnisflachen parallelen Abschnitte (50) des gefalteten ses von Abstand der parallelen Abschnitte zu ihrer Brei-Streifens (48) elektrisch mit der ersten und zweiten te (U. h. d/w) führt, d. h. es kann ein Optimalwert für eine Tragelektrode (56 bzw. 58) verbunden ist (F i g. 5). maximale Gassorptionsgeschwindigkeit festgelegt wer-
8. Modulare Getter-Pumpe nach Anspruch 6, da- 55 den.
durch gekennzeichnet, daß die Stange (54) ringför- Bei der modularen Getter-Pumpe nach der Erfindung
mige Isolierdistanzstücke (60) aufweist, die zwischen ist es nicht notwendig, zum Abpumpen unerwünschter
den parallelen Abschnitten (50) vorgesehen sind und Gase diese an Wandungen zu kondensieren, die auf
unter Anlage die Stange umgeben (F i g. 5). cryogenen Temperaturen gehalten werden.
9. Modulare Getter-Pumpe nach Anspruch 1, da- 60 Eine sehr gute Leistung der modularen Getter-Pumdurch gekennzeichnet, daß das Verhältnis des Ab- pe kann erzielt werden, wenn ein Träger verwendet Standes (d) zwischen benachbarten flachen paralle- wird, der einen spezifischen Widerstand zwischen 5 und len Abschnitten (14; 50) zur Streifenbreite (w) zwi- 150 Mikroohm/cm bei 200C hat Ein Beispiel eines gesehen 1/6 und 1/60 liegt, wobei die Breite derart eigneten Trägermaterials ist rostfreier Stahl, der 18% gemessen ist, daß irgend ein Spalt (47) zwischen in 65 Chrom und 8% Nickel enthält, wobei der Rest im we-Breitenrichtung nebeneinander angeordneten Strei- sentlichen aus Eisen besteht. Es handelt sich hierbei um fen (46,48) eingeschlossen ist, wenn dieser Spalt we- ein Material mit hohem Widerstand. Constantan oder niger als 10% der gemessenen Breite ausmacht Titan können verwendet werden, wenn ein nicht-ma-
DE2747186A 1976-11-03 1977-10-20 Modulare Getter-Pumpe Expired DE2747186C2 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
IT2900476A IT1083971B (it) 1976-11-03 1976-11-03 Pompa getter di tipo modulare
IT2107577A IT1115267B (it) 1977-03-09 1977-03-09 Pompa getter perfezionata di tipo modulare

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE2747186A1 DE2747186A1 (de) 1978-05-18
DE2747186C2 true DE2747186C2 (de) 1986-09-11

Family

ID=26327768

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2747186A Expired DE2747186C2 (de) 1976-11-03 1977-10-20 Modulare Getter-Pumpe

Country Status (6)

Country Link
US (1) US4137012A (de)
JP (1) JPS5920875B2 (de)
DE (1) DE2747186C2 (de)
FR (1) FR2370357A1 (de)
GB (1) GB1586676A (de)
NL (1) NL182521C (de)

Families Citing this family (35)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3332608A1 (de) * 1983-09-09 1985-03-28 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Getter-pumpe fuer hochvakuum- und gasentladungsanlagen
DE3332606A1 (de) * 1983-09-09 1985-03-28 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Getter-sorptionspumpe mit waermespeicher fuer hochvakuum- und gasentladungsanlagen
USH984H (en) 1983-12-21 1991-11-05 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Self-pumping impurity control
JPH02226700A (ja) * 1989-02-27 1990-09-10 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 真空容器におけるnegストリップの取付構造
JP2694665B2 (ja) * 1989-03-23 1997-12-24 株式会社日立製作所 粒子加速器のビームダクト組込みポンプ
GB9007327D0 (en) * 1990-03-31 1990-05-30 Smiths Industries Plc Gas discharge electrodes
US5161955A (en) * 1991-08-20 1992-11-10 Danielson Associates, Inc. High vacuum pump using bulk getter material
US5154582A (en) * 1991-08-20 1992-10-13 Danielson Associates, Inc. Rough vacuum pump using bulk getter material
IT1255438B (it) * 1992-07-17 1995-10-31 Getters Spa Pompa getter non evaporabile
IT1255439B (it) * 1992-07-17 1995-10-31 Getters Spa Pompa getter non evaporabile
US6361618B1 (en) 1994-07-20 2002-03-26 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for forming and maintaining high vacuum environments
US5685963A (en) * 1994-10-31 1997-11-11 Saes Pure Gas, Inc. In situ getter pump system and method
US6142742A (en) * 1994-10-31 2000-11-07 Saes Pure Gas, Inc. Getter pump module and system
US5972183A (en) * 1994-10-31 1999-10-26 Saes Getter S.P.A Getter pump module and system
US6109880A (en) * 1994-10-31 2000-08-29 Saes Pure Gas, Inc. Getter pump module and system including focus shields
US5911560A (en) * 1994-10-31 1999-06-15 Saes Pure Gas, Inc. Getter pump module and system
US5610438A (en) * 1995-03-08 1997-03-11 Texas Instruments Incorporated Micro-mechanical device with non-evaporable getter
IT1274478B (it) * 1995-05-11 1997-07-17 Getters Spa Insieme di riscaldamento per pompe getter e purificatori di gas
IT237018Y1 (it) * 1995-07-10 2000-08-31 Getters Spa Pompa getter perfezionata in particolare per uno strumento dianalisi chimiche portatile
US5935395A (en) * 1995-11-08 1999-08-10 Mitel Corporation Substrate processing apparatus with non-evaporable getter pump
IT1290548B1 (it) 1997-02-24 1998-12-10 Getters Spa Pompa getter con armatura di sostegno in unico pezzo di una molteplicita' di elementi getter non evaporabili tra loro paralleli
KR20010006278A (ko) * 1997-04-18 2001-01-26 사이스 푸어 가스 인코포레이티드 인시튜 게터펌프시스템 및 방법
IT1292175B1 (it) * 1997-06-17 1999-01-25 Getters Spa Pompa getter particolarmente adatta per l'uso a monte,in prossimita' e coassialmente ad una pompa turbomolecolare
IT1295340B1 (it) * 1997-10-15 1999-05-12 Getters Spa Pompa getter ad elevata velocita' di assorbimento di gas
IT1297013B1 (it) * 1997-12-23 1999-08-03 Getters Spa Sistema getter per la purificazione dell'atmosfera di lavoro nei processi di deposizione fisica da vapore
US6077404A (en) * 1998-02-17 2000-06-20 Applied Material, Inc. Reflow chamber and process
AU2001283301A1 (en) * 2000-08-10 2002-02-25 Indigo Energy, Inc. Long-life vacuum system for energy storage flywheels
GB0319171D0 (en) * 2003-08-15 2003-09-17 Boc Group Plc Purifier/getter for vacuum and uhp gas applications
RU2494484C2 (ru) 2008-05-02 2013-09-27 Шайн Медикал Текнолоджис, Инк. Устройство и способ производства медицинских изотопов
WO2012003009A2 (en) 2010-01-28 2012-01-05 Shine Medical Technologies, Inc. Segmented reaction chamber for radioisotope production
US10734126B2 (en) 2011-04-28 2020-08-04 SHINE Medical Technologies, LLC Methods of separating medical isotopes from uranium solutions
US9057362B2 (en) 2011-09-28 2015-06-16 The Boeing Company Sublimation pump and method
KR102172861B1 (ko) 2012-04-05 2020-11-02 샤인 메디컬 테크놀로지스, 인크. 수성 집합체 및 제어 방법
ITMI20121732A1 (it) 2012-10-15 2014-04-16 Getters Spa Pompa getter
TWI660125B (zh) * 2014-04-03 2019-05-21 義大利商沙斯格特斯公司 吸氣泵

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR1293781A (fr) * 1961-02-04 1962-05-18 E S S P A Sa Produit dégazeur à base d'alliage de zirconium et d'aluminium
FR1413662A (fr) * 1963-11-08 1965-10-08 Philips Nv Pompe ionique
NL163054C (nl) * 1968-08-10 1980-07-15 Getters Spa Niet-verdampende getterinrichting.
DE1947413A1 (de) * 1968-10-28 1970-04-30 Getters Spa Getterpumpe zur Erzeugung und Aufrechterhaltung eines Vakuums in geschlossenen Gefaessen
GB1274909A (en) * 1968-11-20 1972-05-17 Getters Spa Improvements in or relating to getter pumps
DE2034633C3 (de) * 1969-07-24 1979-10-25 S.A.E.S. Getters S.P.A., Mailand (Italien) Kartusche für eine Getterpumpe
US3652317A (en) * 1970-05-01 1972-03-28 Getters Spa Method of producing substrate having a particulate metallic coating
US3620645A (en) * 1970-05-01 1971-11-16 Getters Spa Getter device
IT998681B (it) * 1973-10-01 1976-02-20 Getters Spa Pompa getter
US4050914A (en) * 1976-07-26 1977-09-27 S.A.E.S. Getters S.P.A. Accelerator for charged particles

Also Published As

Publication number Publication date
FR2370357B1 (de) 1983-02-18
NL7712025A (nl) 1978-05-08
JPS5357516A (en) 1978-05-24
NL182521C (nl) 1988-03-16
US4137012A (en) 1979-01-30
DE2747186A1 (de) 1978-05-18
FR2370357A1 (fr) 1978-06-02
JPS5920875B2 (ja) 1984-05-16
NL182521B (nl) 1987-10-16
GB1586676A (en) 1981-03-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2747186C2 (de) Modulare Getter-Pumpe
DE3587852T2 (de) Kurzpulslaservorrichtung vom Entladungsanregungstyp.
DE2034633C3 (de) Kartusche für eine Getterpumpe
DE3204231A1 (de) Laminataufbau aus matrix-faser-verbundschichten und einer metallschicht
DE1589773B2 (de) Kathodenstrahlröhre mit einem elektronendurchlässigen Fenster
DE2262173C3 (de)
DE2029076A1 (de) Supraleiter und Verfahren zu deren Herstellung
WO1994015384A1 (de) Slab- oder bandleiterlaser
DE3149236C2 (de) Schweißwerkzeug
DE3638857A1 (de) Hochdruckentladungslampe
EP1597786A2 (de) Herstellung eines hochtemperatur-brennstoffzellenstapels
DE1765917C3 (de) Bandförmiger, aus Supraleitermaterial und elektrisch normalleitendem Metall bestehender Leiter
EP0520995B1 (de) Elektrodenanordnung für elektrolytische zwecke
DE2427891B2 (de) Anode für elektrolytische Zellen
DE2160626B2 (de) Elektrisches Widerstandsheizelement
DE2532038A1 (de) Elektronenroehre
DE3401630A1 (de) Abstandshalter fuer die brennstaebe eines kernreaktor-brennelements
DE2407619C3 (de) Sandwichartiger Infrarotemitter
DE69617922T2 (de) Elektrische Heizanordnung und ihr Herstellungsverfahren
DE2432407A1 (de) Plattenfoermiges kernbrennstoffelement und verfahren zur herstellung desselben
DE2145509C3 (de) Abstandshaltergitter fur Brennstäbe von Kernreaktoren
DE2114231A1 (de) Zusammengesetzte Wand fuer MHD-Vorrichtungen
DE3115309A1 (de) Evakuierbarer solarkollektor
AT151759B (de) Verfahren zur Herstellung großflächiger Elektrodensysteme.
CH650102A5 (de) Elektronenroehre mit einer anode und einer elektronenquellenbaugruppe.

Legal Events

Date Code Title Description
8110 Request for examination paragraph 44
D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition