DE2034633C3 - Kartusche für eine Getterpumpe - Google Patents
Kartusche für eine GetterpumpeInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine Kartusche für eine Getterpumpe, bestehend aus wenigstens einem Kartuschenelement
mit wenigstens einem hin- und hergefalteten Trägerstreifen, auf dem ein nicht verdampfendes
Gettermetall aufgebracht ist
Geiterpumpen sind in der Vakuumtechnik bekannt
und dienen zur Entfernung von Restgasen aus geschlossenen Gefäßen, wie etwa Elektronenröhren, um
in diesen Gefäßen ein hohes Vakuum zu erzeugen und aufrechtzuerhalten. In Getterpumpen benutzt man ein
fein verteiltes, nicht verdampfendes Gettermetall auf einer Unterlage. Im Betrieb absorbieren die Oberflächen
der Gettermetallpartikel im Gefäß vorhandene Gase und verringern so die Menge an vorhandenen
Gasen, so daß ein hohes Vakuum erzielt wird. Die Oberfläche des Gettermetalls absorbiert die Gase so
lange, bis sie mit absorbierten Gasen and Reaktionsprodukten von absorbierten Gasen mit dem Gettermetall
gesättigt ist. Wenn dieser Zustand erreicht ist, erhitzt man die Gettermetallpartikel, um die absorbierten
Gase und Reaktionsprodukte zum Zentrum der Gettermetallpartikel zu treiben, so daß die Außenseite
der Gettermetallpartikel zu treiben, so daß die Außenseite der Gettermetallpartikel wieder zur
Absorption von Gas fähig wird. Diesen Vorgang kann man so iange wiederholen, bis die Gettermetallpartikel
vollkomnic.i mit absorbiertem Gas und Reaktionsprodukten
gesättigt sind; dann muß man die Gettermetallpartikel ersetzen. Zur Erleichterung dieses Ersatzes der
Gettermetallpartikel ist es üblich, eine auswechselbare Kartusche mit einem hin- und hergefalteten Streifen zu
benutzen, der aus einem Substrat besteht, auf dem nicht verdampfendes Gettermetall angelagert ist.
Eine Kartusche der eingangs genannten Gattung mit einem hin- und hergefalteten Trägerstreifen wurde
bereits vorgeschlagen (DE-PS 19 40 137). Diese Kartusche erfordert äußerst wenig Raum zur Unterbringung
einer bestimmten Menge an Gettermetall. Durch die zickzackförmige Hin- und Herfaltung bilden benachbarte
Flächenteile des Trägerstreifens einen Winkel miteinander, der im folgenden mit »alpha« bezeichnet
wirrt. Wie sich in der Praxis herausstellt, muß dieser Winkal innerhalb eines bestimmten Winkelbereichs mit
großer Präzision eingehalten werden und konstant bleiben. Es ist zwar möglich, den Winkel bei der
Herstellung der Kartusche einzuhalten, doch ändert sich dieser Winkel zwischen den einzelnen benachbarten
Flächenteilen durch mechanische Verformung sehr leicht, so daß die Pump!eist»ng der Getterpumpe in
unerwünschter Weise verändert, insbesondere verringert wird.
Aus der US-PS 29 84 314 ist bereits eine Gettervorrichtung beschrieben, die eine gefaltete, mit Gettermaterial versehene Kartusche aufweist.
Aus der US-PS 29 84 314 ist bereits eine Gettervorrichtung beschrieben, die eine gefaltete, mit Gettermaterial versehene Kartusche aufweist.
Es sind auch bereits Filter für Gase bekanntgeworden (US-PS 29 68 361), die eine normale Filterkartusche aus
im Zickzack gefalteten Streifen aufweist, wobei benachbarte Flächenteile des Streifens durch Abstandshalter
zwischen diesen Flächenteilen in einem bestimmten Abstand zueinander gehalten werden.
Die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe besteht darin, eine Kartusche der eingangs genannten Gattung
zu schaffen, die bei einfacher Herstellung eine optimale Pumpwirkung ohne Beeinflussung durch mechanische
Verformung aufweist
Gemäß der Erfindung wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß benachbarte Flächenteile des Trägerstreifens
durch Abstandshalter zwischen diesen Flächenteilen unter einem bestimmten Winkel zueinander
gehalten sind.
Durch diese erfindungsgemäßa Ausbildung wird erreicht, daß selbst bei einer mechanischen Verformung
der Kartusche die Winkel zwischen benachbarten Flächenteilen des Trägerstreifens konstant gehalten
werden. Dadurch erreicht man, daß außerhalb des Sättigungsbereichs des Gettermetalls eine Verringerung
der PumpwirkuEg der Kartusche unterbleibt und optimale Eigenschaften konstant beibehalten werden.
Besonders bevorzugte Ausführungsformen und Weiterbildungen der erfindungsgemäßen Kartusche
sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Zeichnungen dargestellt und werden im folgenden
näher beschrieben. Es zeigen
F i g. la und Ib gemeinsam eine auseinandergezogene
Darstellung einer Getterpumpe, wobei Fig. la die Kartusche dieser Getterpumpe darstellt,
F i g. 2 eine Draufsicht auf die in F i g. 1 a dargestellte
Kartusche,
F i g. 3 in einem Diagramm die Kurven der Ptimpleistung
für drei normalerweise gepumpte Gase, bezogen auf die Größe des Winkels alpha, wobei auf der
Ordinate die Pumpleistung und auf der Abszisse der Winkel alpha aufgetragen ist,
Fig.4 eine Ansicht eines Streifens zum Herstellen
einer solchen Kartusche,
F i g. 5 einen Schnitt nach der Linie 5-5 in F i g. 4,
F i g. 6 in vergrößerter Darstellung einen Schnitt mich
der Linie 6-6 in F i g. 4,
F i g. 7 in vergrößerter Darstellung einen Schnitt nach der Linie 7-7 in F i g. 4,
Fig.8 in einer der Fig.7 entsprechenden Darstellung
eine andere Ausführungsform eines Teils des Streifens,
F i g. 9 in einer der F i g. 7 entsprechenden Darstellung eine weitere Ausführungsform eines Teils des
Streifens und
Fig. 10 in einer schematischen Darstellung die Art der Faltung eines Streifens gemäß F i g. 4 zur Herstellung
eines Kartuschenelements zur Verwendung in der Kartusche.
In F i g. la ist eine Kartusche 10 für eine Getterpumpe
dargestellt. Die Kartusche 10 weist einen oberen Ring 11 und einen unteren Ring 12 auf, zwischen denen ein
zylindrischer Gitterschirm 13 angeordnet ist. Innerhalb des Gitterschirms 13 sind mehrere Kartuschenelemente
angeordnet, von denen durch den ausgebrochenen Teil des O'ttprqrhirms 13 in Fig. la nur die Elemente 14 und
15 zu sehen sind. Auf dem Subst "at dieser Kai iubchenelemente
ist ein nicht verdampfendes Gettermetall 16 angelagert Der übrige Aufbau dieser Elemente wird
weiter unten noch vollständig beschrieben.
Die in Fig. la dargestellte Kartusche 10 und der in F i g. Ib dargestellte übrige Teil der Getterpumpe bilden
zusammen eine vollständige Getterpumpe. Fig. Ib
zeigt einen Flansch 20 mit einem Stützring 21 zur Aufnahme des unteren Rings 12 der Kartusche 10. Der
Flansch 20 trägt ferner ein stabförmiges Heizelement 22, das aus einem vom Flansch 20 getragenen
Isoliermaterialstab 23 besteht, um den ein elektrischer Hebdraht 24 gewickelt ist Um die Getterpumpe in
Betrieb zu setzen, wird die Kartusche nach unten bewegt, bis der Ring 12 im Stützring 21 sitzt Diese Teile
ι ο werden dann durch nicht dargestellte Mittel zusammengehalten.
Die ganze Getterpumpe wird dann in ein zu evakuierendes Gefäß eingesetzt und mit dem Flansch 20
gasdicht an diesem befestigt Durch den Heizdraht 24 wird ein Strom geleitet, so daß dieser Heizdraht Wärme
auf das Gettermetall 16 abstrahlt und folglich das Gettermetall erhitzt und aktiviert wird, so daß das
Gettermetall zur Gasabsorption fähig wird.
In F i g. 2 ist der bereits beschriebene Winkel alpha
ersichtlich. Fig.3 zeigt die Kurven der Pumpleistung
für drei verschiedene Gase in Abhängigkeit vom Winkel alpha. Die Kurve 31 zeigt die Pumpleistung für
Stickstoff und man erkennt, daß die maximale Pumpleistung bei einem Winkel alpha von etwa 3°
auftritt Die Kurve 32 zeigt die Pumpleistung für Wasserstoff und man erkennt, daß die Pumpleistung am
größten ist wenn der Winkel alpha etwa 4° beträgt Die Kurve 33 stellt die Pumpleistung für Kohlenmonoxyd
dar und zeigt, daß diese Pumpleistung bei einem Winkel alpha von etwa 6° am größten ist Aus den Kurven 31,32
und 33 erkennt man, daß die optimale Pumpleistung im allgemeinen bei einem Winkel alpha von 1° bis 15° und
vorzugsweise von 2° bis 10° auftritt Wenn der Winkel alpha größer oder kleiner als diese Werte ist, nimmt die
Pumpleistung ganz erheblich ab.
In F i g. 4 ist als Rohling ein beliebig langer, flacher
Streifen 40 dargestellt, der hin- und herfaltbar und zu einem Kartuschenelement 14 ringförmig biegbar ist.
Der Streifen 40 besteht aus rechteckigen Flächenteilen 41, 42, 43 und 44. Jeder dieser Flächenteile weist ein
Substrat 45 auf, das allen Flächenteilen gemeinsam ist. Der Mittelteil jedes Flächenteils 41 -44 ist mit Partikeln
46, 47, 48 und 49 aus einem nicht verdampfenden Gettermetall beschichtet. Die Flächenteile 41-44
weisen einen ersten, nicht mit Gettermetall beschichteten Randstreifen 50 und einen zweiten, desgleichen
nicht mit Gettermetall beschichteten Randstreifen 51 auf, die beide über alle Flächenteile hinweg durchlaufen.
Die Randstreifen 50, 51 liegen an den Längskanten des Streifens 40. Die Flächenteile 41-44 sind mit den
so beiden ihnen jeweils benachbarten Flächenteilen durch faltbare Anschlüsse verbunden. So ist der Flächenteil 42
mit dem Flächenteil 41 durch Anschlüsse 52 und 53 und mit dem Flächenteil 43 durch Anschlüsse 54 und 55
verbunden. Die Anschlüsse 52,53,54 und 55 werden von
Schlitzen 56 und 57 gebildet, die sich quer über den Streifen 40 und bis in die nicht mit Gettermetall
beschichteten freien Randstreifen 50 und 51 ersi recken. Auf diese Weise weist jeder der Anschlüsse 52 - 55 eine
Schwächungslinie auf, um die die benachbarten Flächenteile 41 und 43 ganz leicht gefaltet werden
können. Jeder Flächenteil mit ungerader Nummer ist mit zwei Erhebungen versehen. So weist der Flächenteil
4i zwei Erh?b'">g<*n 58 und 59 und der Flächenteil 43
zwei Erhebungen 60 und 61 auf. Sämtliche Erhebungen 58—61 ragen in die gleiche Richtung, d.h. beim
dargestellten Ausführungsbeispiel von der Unterlage 45 nach oben. Aus Fig.5 ist erkennbar, daß alle
Erhebungen die gleiche Höhe Λ haben, d. h.
Λι = Ih = hn- Außerdem haben die Erhebungen 58 — 61
alle den gleichen Abstand von der nächstliegenden Schwächungslinie, d. h. /ι = /2 = In- Die mit geraden
Zahlen benannten Flächenteile können zwar auch mit Erhebungen versehen sein, bei der dargestellten,
bevorzugten Ausführungsform weisen diese mit geraden Zahlen benannten Flächenteile 42 und 44 jedoch
keine Erhebungen auf, damit nicht die Notwendigkeit besteht, sorgfältig für die genaue Ausrichtung dieser
Erhebungen aufeinander zu sorgen.
Die Fig.6 und 7 zeigen eine bevorzugte Ausbildung
der Erhebungen auf der Unterlage 45. Gemäß der Darstellung besteht die Erhebung 59 aus einer
Verformung der Metallunterlage 45 im Bereich des von Gettermetaii freien Randstreifens 51 des Fiächenteils
41. Die Ausbildung gemäß Fig.6 kann man sehr leicht dadurch erreichen, daß man die Unterlage 45 in eine
nicht dargestellte Preßform hineintreibt, deren Tiefe gleich Λι ist Die Erhebung 59 ist vorzugsweise in dem
von Gettermetall freien Randstreifen angeordnet, damit bei dem Pressen oder Tiefziehen der Erhebung keine
Gettermetallpartikel abgelöst werden. Gemäß der Darstellung in F i g. 7 besteht die Erhebung 59 aus einem
nach oben ansteigenden Abschnitt 62, einem waagerecht verlaufenden Abschnitt 63 mit einer waagerechten
Oberseite 64 und einem nach unten ragenden Abschnitt 65. Die ebene Oberseite 64 liegt parallel zur Ebene der
Unterlage 45 und liefert eine verhältnismäßig große Berührungsfläche zwischen dieser Oberseite 64 und der
Rückseite des benachbarten Flächenteils 42, wenn der Streifen 40 hin- und hergefaltet wird.
Die Fig.8 und 9 zeigen andere bevorzugte Formen
der Erhebungen. Diese Figuren entsprechen der Darstellung in Fig. 7. Die in Fig. 8 dargestellte
Erhebung 67 weist eine abgerundete Oberseite 68 auf. Die ir F i g. 9 dargestellte Erhebung 69 ist derart
ausgebildet, daß sie die Rückseite des benachbarten Flächenteils mit ihrer Kante 70 berührt Die am meisten
bevorzugte Ausführungsform der Erhebung ist die in den F i g. 6 und 7 dargestellte Erhebung 59; an zweiter
Stelle folgt die in F i g. 8 dargestellte Erhebung 67 und an letzter Stelle die in F i g. 9 dargestellte Erhebung 69.
Fig. 10 zeigt, wie der Streifen 40 hin- und hergefaltet
und zur Bildung eines Kartuschenelements 14 kreisringförmig gebogen wird. Man erkennt, daß die die
Flächenteile verbindenden Anschlüsse, beispielsweise die Anschlüsse 53 und 55, abwechselnd in entgegengesetzter
Richtung umgefaltet werden, um den Streifen 40 hin- und herzufalten, so daß die Erhebungen 59 und 61
den von Gettermetall freien Randstreifen 51 des nächsibcnachbarten, mit einer geraden Zahl benannten
Flächenteils 42 bzw. 44 berühren. Der Winkel alpha ist bestimmt durch die Höhe h der Erhebung und deren
Abstand-/von der benachbarten Faltkante, wobei y im
wesentlichen gleich dem Tangens von alpha ist. Bei der bevorzugten Ausführungsform ist der Anschluß 53
scharfkantig, so daß j genau gleich dem Tangens von
alpha ist. In anderen Fällen, wo der Anschluß 53 einen bestimmten Krümmungsradius hat, weicht der Wert
j etwas von dem Tangens von alpha ab. Der Fachmann ist ohne weiteres in der Lage, die Werte von h und /
derart zu bestimmen, daß der Krümmungsradius im Anschluß 53 berücksichtigt wird, so daß der Wert alpha
innerhalb der oben angegebenen Grenzen bleibt. Nachdem der Streifen 40 hin- und hergefaltet worden
ist, wird er entlang den Kreisen 73 und 74 zu einem Kreisring gebogen, so daß ein Kartuschenelement 14
entblehi, das in der in F i g. 2 dargestellten Kartusche
verwendbar ist. Der in Fig. 10 dargestellte, zur Innenseite des Kartuschenelements sich öffnende
Winkel beta ist nicht kritisch und kann irgendeinen Wert von Null aufwärts haben.
Im Rahmen der beschriebenen Ausführungen ist irgendein nicht verdampfendes Gettermetall verwendbar.
Als nicht verdampfendes Gettermetall bezeichnet man Metalle, die Gase absorbieren und deren Gasdruck
bei 10000C geringer als 10~8 Torr ist. Beispiele für
geeignete Gettermetalle sind unter anderem Niob, Tantal, Vanadium, Zirkon, Titan, Gemische und
Legierungen dieser Metalle und mit anderen Metallen, wie etwa Aluminium, die die Absorptionsfähigkeit
dieser Metalle nicht wesentlich verringern. Das bevorzugte Gettermetall ist eine Legierung aus 1 bis 40
Gew.-%, vorzugsweise 13 bis 18 Gew.-°/o Aluminium, Rest Zirkon. Eine im Handel erhältliche bevorzugte
spezifische Legierung besteht aus 16% Aluminium und 84% Zirkon. Das fein zerteilte Gettermetall kann sehr
unterschiedliche Partikelgrößen haben, so daß es durch ein Standardsieb mit etwa 4 Maschen pro cm und
vorzugsweise durch ein Sieb mit etwa 40 Maschen pro cm durchgehl und auf einem Sieb mit etwa 240 Maschen
pro cm festgehalten wird.
Das Substrat 45 kann aus irgeneinem Metall bestehen, vorzugsweise besteht es jedoch aus einem Metall, das
weicher ist als das Gettermetall. Geeignete Metalle für das Substrat sind unter anderem Eisen und rostfreier
Stahl.
Die Kartuschen kann man in Getterpumpen mit oder ohne Hitzeschirmen benutzen. Gemäß einer anderen
Ausführungsform kann das Heizelement 22 entfallen und statt dessen eine Unterlage 45 mit hohem
elektrischem Widerstand benutzt werden.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen
Claims (15)
1. Kartusche für eine Getterpumpe, bestehend aus wenigstens einem Kartuschenelement mit wenigstens
einem hin- und hergefalteten Trägerstreifen, auf dem ein nicht verdampfendes Gettermetall
aufgebracht ist, dadurch gekennzeichnet,
daß benachbarte Flächenteile (41-44) des Trägerstreifens (40) durch Abstandshalter (58-61) zwischen
diesen Flächenteilen unter einem bestimmten Winkel (alpha) zueinander gehalten sind.
2. Kartusche nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Winkel (alpha) zwischen zur
Kartuschenaußenseite sich öffnenden Flächenteilen (41-44) durch die Abstandshalter (58-61) auf
einem konstanten Wert gehalten ist
3. Kartusche nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Winke! (alpha) 1° bis 15°
und vorzugsweise 2° bis 10° beträgt
4. Kartusche nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Abstandshalter
(58—61) aus wenigstens einer an einem der Flächenteile (41 — 44) angebrachten Erhebung bestehen.
5. Kartusche nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Abstandshalter
(58—61) in einem von Gettermetall freien Randstreifen (50,51) des Trägerstreifens (40)
angeordnet sind.
6. Kartusche nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß in jedem zweiten Flächenteil (41, 43)
des Trägerstreifens (40) in beiden längsverlaufenden Randstreifen (50, 51) je ein Abstandshalter (58-61)
angeordnet ist.
7. Kartusche nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Abstandshalter
(58-61) aus dem Trägerstreifen (40) einstückig ausgeformt sind.
8. Kartusche nach einem der vorangehenden
gekennzeichnet, daß die des Trägerstreifens (40)
Ansprüche, dadurch
Flächenteile (41-44)
rechteckig sind.
Flächenteile (41-44)
rechteckig sind.
9. Kartusche nach
Ansprüche, dadurch
Flächenteile (41-44)
Ansprüche, dadurch
Flächenteile (41-44)
einem der vorangehenden gekennzeichnet, daß die des Trägerstreifens (40)
entlang einer Faltlinie mit geschwächtem Querschnitt miteinander verbunden sind.
10. Kartusche nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Höhe
(h) der als Erhebungen ausgebildeten Abstandshalter (58-61) dividiert durch den Abstand (I) der
Erhebungen von der jeweils benachbarten Faltlinie des Trägerstreifens (40) gleich dem Tangens des
bestimmten Winkels (alpha) ist.
11. Kartusche nach Anspruch 10, dadurch
gekennzeichnet, daß die Höhen (h) der als Erhebungen ausgebildeten Abstandshalter (58 — 61)
und die Abstände (I) gleich sind.
12. Kartusche nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der
Trägerstreifen (40) aus einem metallischen Substrat (45) besteht und daß das Gettermetall (46-49) in
Form von Partikeln aufgebracht ist.
13. Kartusche nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat (45) aus einem
Material mit hohem elektrischem Widerstand besteht.
14. Kartusche nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet daß das
Gettermetall (46—49) aus einer Legierung von 13% bis 18% Aluminium in Zirkon besteht
15. Kartusche nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet daß der hin-
und hergefaltete Trägerstreifen (40) zu einem Ring gebogen ist
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
IT2004869 | 1969-07-24 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2034633A1 DE2034633A1 (de) | 1971-02-04 |
DE2034633B2 DE2034633B2 (de) | 1979-02-22 |
DE2034633C3 true DE2034633C3 (de) | 1979-10-25 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2034633A Expired DE2034633C3 (de) | 1969-07-24 | 1970-07-13 | Kartusche für eine Getterpumpe |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3662522A (de) |
JP (1) | JPS5027603B1 (de) |
DE (1) | DE2034633C3 (de) |
FR (1) | FR2055487A5 (de) |
GB (1) | GB1323888A (de) |
NL (1) | NL172499C (de) |
Families Citing this family (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
IT998681B (it) * | 1973-10-01 | 1976-02-20 | Getters Spa | Pompa getter |
US4050914A (en) * | 1976-07-26 | 1977-09-27 | S.A.E.S. Getters S.P.A. | Accelerator for charged particles |
US4137012A (en) * | 1976-11-03 | 1979-01-30 | S.A.E.S. Getters S.P.A. | Modular getter pumps |
DE3332647A1 (de) * | 1983-09-09 | 1985-03-28 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Getter-sorptionspumpe mit waermespeicher fuer hochvakuum- und gasentladungsanlagen |
DE3332606A1 (de) * | 1983-09-09 | 1985-03-28 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Getter-sorptionspumpe mit waermespeicher fuer hochvakuum- und gasentladungsanlagen |
US4874339A (en) * | 1985-08-09 | 1989-10-17 | Saes Getters S.P.A. | Pumping tubulation getter |
US4938667A (en) * | 1988-09-30 | 1990-07-03 | Saes Getters Spa | Method for the manufacture of a vacuum insulating structure and an insulating structure so produced |
US5161955A (en) * | 1991-08-20 | 1992-11-10 | Danielson Associates, Inc. | High vacuum pump using bulk getter material |
US5154582A (en) * | 1991-08-20 | 1992-10-13 | Danielson Associates, Inc. | Rough vacuum pump using bulk getter material |
IT1255438B (it) * | 1992-07-17 | 1995-10-31 | Getters Spa | Pompa getter non evaporabile |
US6109880A (en) * | 1994-10-31 | 2000-08-29 | Saes Pure Gas, Inc. | Getter pump module and system including focus shields |
US5685963A (en) * | 1994-10-31 | 1997-11-11 | Saes Pure Gas, Inc. | In situ getter pump system and method |
US5972183A (en) * | 1994-10-31 | 1999-10-26 | Saes Getter S.P.A | Getter pump module and system |
US5911560A (en) * | 1994-10-31 | 1999-06-15 | Saes Pure Gas, Inc. | Getter pump module and system |
US6142742A (en) * | 1994-10-31 | 2000-11-07 | Saes Pure Gas, Inc. | Getter pump module and system |
IT237018Y1 (it) * | 1995-07-10 | 2000-08-31 | Getters Spa | Pompa getter perfezionata in particolare per uno strumento dianalisi chimiche portatile |
IT1292175B1 (it) * | 1997-06-17 | 1999-01-25 | Getters Spa | Pompa getter particolarmente adatta per l'uso a monte,in prossimita' e coassialmente ad una pompa turbomolecolare |
US8197222B2 (en) * | 2006-07-05 | 2012-06-12 | Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh | Getter pump and vacuum coating installation comprising a getter pump |
US8211988B2 (en) * | 2008-04-30 | 2012-07-03 | Chevron Phillips Chemical Company Lp | Methods of preparing a polymerization catalyst |
ITMI20121732A1 (it) | 2012-10-15 | 2014-04-16 | Getters Spa | Pompa getter |
TWI660125B (zh) * | 2014-04-03 | 2019-05-21 | 義大利商沙斯格特斯公司 | 吸氣泵 |
US9685308B2 (en) * | 2014-06-26 | 2017-06-20 | Saes Getters S.P.A. | Getter pumping system |
JP6133821B2 (ja) | 2014-08-08 | 2017-05-24 | 有限会社真空実験室 | 非蒸発型ゲッター及び非蒸発型ゲッターポンプ |
US11508564B2 (en) * | 2014-11-19 | 2022-11-22 | Hamilton Sundstrand Corporation | Ion pumps and ion pump elements |
WO2024028240A1 (en) | 2022-08-01 | 2024-02-08 | Saes Getters S.P.A. | Snap-on getter pump assembly and its use |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2154131A (en) * | 1937-10-30 | 1939-04-11 | Rca Corp | Getter |
US2831549A (en) * | 1954-08-31 | 1958-04-22 | Westinghouse Electric Corp | Isolation trap |
US2984314A (en) * | 1957-11-22 | 1961-05-16 | New York Air Brake Co | Trapping device |
GB875676A (en) * | 1958-05-12 | 1961-08-23 | Gen Motors Ltd | Improvements in or relating to filters for gases |
US3144200A (en) * | 1962-10-17 | 1964-08-11 | Clyde E Taylor | Process and device for cryogenic adsorption pumping |
US3309844A (en) * | 1963-11-29 | 1967-03-21 | Union Carbide Corp | Process for adsorbing gases |
US3490211A (en) * | 1967-07-31 | 1970-01-20 | Keystone Filter Media Co | High efficiency particulate air filter |
-
1970
- 1970-07-13 DE DE2034633A patent/DE2034633C3/de not_active Expired
- 1970-07-15 US US55029A patent/US3662522A/en not_active Expired - Lifetime
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