DE2034633A1 - Kartusche und Streifen zur Bildung eines Kartuschenelementes fur eine Getter - Google Patents
Kartusche und Streifen zur Bildung eines Kartuschenelementes fur eine GetterInfo
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Description
S.Ä.E.S. Getters S.p.A.
Via Gallarate 215, 20151 Milano, Italien
Bezeichnung: Kartusche und Streifen zur Bildung eines
Rartuschenelementes für eine Getterpumpe
Die Erfindung betrifft eine Rartusche für eine Getterpumpe,
bestehend aus wenigstens einem Kartuschenelement mit wenigstens einem hin- und hergefalteten Trägerstreifen, auf dem
ein nicht verdampfendes Gettermetall angeordnet ist. Gegenstand der Erfindung ist ferner ein flacher, fortlaufender
Streifen zur Bildung eines Kartuschenelementes für eine Getterpumpe
sowie eine Getterpumpe.
In dieser Beschreibung wird auf folgende ältere Patentanmeldungen Bezug genommen:
a) deutsche Patentanmeldung P 19 40 137.7 vom 7. August 1969 "Getterpumpe";
b) deutsche Patentanmeldung P 19 47 413.6
vom 19. September 1969 "Getterpumpe zur Erzeugung und Aufrechterhaltung «Ines Vakuum· in geschlossenen Gefäßen}
009836/1602
c) USA-Patentanmeldung Serial No. 866*335
vom 14. Oktober 1969;
d) USA-Patentanmeldung Serial No, 878,812
vom 21. November 1969.
Getter pumpen sind in der Vakuumtechnik bekannt und dienen zur
Entfernung von Restgasen aus geschlossenen Gefäßen, wie etwa Elektronenröhren, um in diesen Gefäßen ein hohes Vakuum ssu erzeugen
und aufrechtzuerhalten. In Getterpunpen benutzt man ein
fein verteiltes, nicht verdampfendes Gettermetall auf einer Unterlage. Im Betrieb absorbieren die Oberflächen der Getter«
metallpartlkel im Gefäß vorhandene Gase und verringern so die
Menge an vorhandenen Gasen, so daß ein hohes Vakuum erzielt wird. Die Oberfläche des Gettermetalls absorbiert die. Gase so
lange, bis sie mit absorbierten Gasen und Reaktionsprodukten von absorbierten Gasen mit dem Gettermetall gesättigt ist.
Wenn dieser Zustand erreicht ist, erhitzt man die Getteraetall* partikel, um die absorbierten Gase und Reaktionsprodukte zum
Zentrum der Gettermetallpartikel zu treiben, so daß die Außenseite
der Gettermetallpartikel wieder zur Absorption von Gas
fähig wird. Diesen Vorgang kann man so lange wiederholen, bis
die Gettermetallpartikel vollkommen mit absorbiertem Gas und
Reaktionsprodukten gesättigt sind; daan muß man die Gettermetallpartikel
ersetzen. Zur Erleichterung diese® Ersatzes der Gettermetallpartikel ist es üblich, eine auswechselbare Kartusche
alt einem hin- und her ge f al te ten. Streifen zu benutzen, der aus einer Unterlage besteht, auf der nicht verdampfendes
Getteraetall angelagert ist. Ein solcher hin- und hergefalteter Streifen, wie er in der oben unter a) angeführten Patentanmeldung
beschrieben ist, erfordert äußerst weitig Raum zur
Unterbringung einer bestlanten Menge an Gettern«tall. Durch
dl« Hin- und Htrfaltung bilden benachbart* Fl&chenteile des
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Streifens einen Winkel miteinander, der la folgenden mit alpha bezeichnet wird.
Es wurde nun gefunden, daß dieser Winkel alpha im allgemeinen
zwischen 1° und 15° und vorzugsweise zwischen 2° und 10 liegen
soll. Bei der Hersteilung der bisherigen Getterpumpen, wie sie etwa in der oben unter a) genannten Patentanmeldung beschrieben
sind, kann man zwar diesen Winkelwert alpha bei der Herstellung einhalten, durch mechanische Verformung ändert sich der Winkel
zwischen den einzelnen, benachbarten Flächentellen jedoch sehr leicht, so daß die Pumpgeschwindigkeit der Getterpumpe in unerwünschter
Welse verringert wird.
Die vorliegende Erfindung soll daher eine verbesserte Kartusche
für eine Getterpumpe sowie einen verbesserten Streifen zum Herstellen
derartiger Kartuschen schaffen, bei denen die obigen
Nachteile vermieden sind, so daß eine Kartusche für eine Getterpumpe
entsteht, die nicht leicht verformbar ist. Vielmehr soll der Winkel alpha bei der Kartusche gemäß der Erfindung
konstant sein und bleiben. Auf diese Weise soll die Erfindung
eine Kartusche für eine Getterpumpe schaffen, die bei einer gegebenen Gettermetallmenge einen maximalen Pumpeffekt hat.
Diese und weitere, sich aus der folgenden Beschreibung ergebende oder für den Fachmann auf der Hand liegende Aufgaben werden
bei einer Kartusche für eine Getterpumpe mit wenigstens einem hin- und hergefalteten Trägerstrelfen, auf dem ein nicht verdampfendes
Gettermetall angeordnet ist, dadurch gelöst, daß benachbarte Flächenteile des Trägerstreifens durch Abstandshalter
zwischen diesen Flächenteilen unter einem bestimmten Winkel zueinander gehalten sind. Getterpumpen mit derartigen
Kartuschen haben einen maximalen Pumpeffekt. Gegenstand der
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Erfindung ist ferner ein flacher, fortlaufender Streifen, der zur Bildung eines Kartuschenelementes für eine Getterpumpe
hin- und herfaltbar und zu einem Ring biegbar ist und der erfindungsgenäß aus Flächenteilen besteht, die von einer ein
nicht verdampfendes Gettenneta11 tragenden Unterlage gebildet
werden, wobei die benachbarten Flächenteile durch faltbare Anschlüsse miteinander verbunden sind und auf den Flächenteilen
Erhebungen als Abstandshalter angeordnet sind,, um die Flächenteile
bei hin- und hergefaltetem Streifen in gleichem Winkelabstand zu halten.
Weitere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der folgenden Beschreibung einiger Ausführungsbeispiele,
wobei auf die beiliegenden Zeichnungen Bezug genommen wird. In den Zeichnungen zeigt:
gemäß der Erfindung, wobei Fig. la die Kartusche dieser Getterpumpe darstellt,
kartusche,
für drei normalerweise gepumpte Gase, bezogen ' auf die Größe des Winkels alpha, wobei auf der
Ordinate die Pumpieistung und auf der Abszisse
der Winkel alpha aufgetragen ist,
zum Herstellen einer solchen Kartusche,
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der Linie 6-6 in Fig. 4,
der Linie 7-7 in Fig. 4,
eine andere Ausführungsform eines Teiles des Streifens,
eine weitere Ausführungsform eines Teiles des Streifens und
Faltung eines Streifens gemäß Fig. 4 zur Herstellung
eines Kartuschenelementes zur Verwendung in der Kartusche gemäß der Erfindung.
Die vorliegende Erfindung schafft eine verbesserte Kartusche
für eine Getterpumpe, bei der benachbarte Flächenteile eines Staifens durch Abstandshalter zwischen den benachbarten Flächenteilen
in einem bestimmten Winkel zueinander gehalten werden. Grundsätzlich können im Rahmen der vorliegenden Erfindung
die Abstandshalter an irgend einem Teil der Getterpumpe befestigt sein. Vorzugsweise werden diese Abstandshalter jedoch
von einem Flächenteil des Streifens getragen und sind besonders vorzugsweise derart angeordnet, daß der Winkel alpha zwischen
benachbarten, zur Kartuschenaußenseite geöffneten Flächentei-
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len auf einem konstanten Wert gehalten wird.
In Fig. la ist eine Getterpumpenkartusche 10 gemäß der Erfindung dargestellt. Die Kartusche 10 weist einen oberen Ring 11
und einen unteren Ring 12 auf, zwischen denen ein zylindrischer Siebschirm 13 angeordnet ist. Innerhalb des Siebschirmes 13
sind mehrere Kartuschenelenente angeordnet, von denen durch den
ausgebrochenen Teil des Siebschirmes 13 in Fig. la nur die Elemente
14 und 15 zu sehen sind. Auf der Unterlage dieser Elemente ist ein nicht verdampfendes Gettennetall 16 angelagert. Der
übrige Aufbau dieser Elemente wird weiter unten noch vollständig
beschrieben.
Die in Fig. la dargestellte Getterpumpenkartusche 10 und der in Fig. Ib dargestellte übrige Teil der Getterpumpe bilden zusammen
eine vollständige Getterpumpe. Fig. Ib zeigt einen Flansch 20 mit einem Stützring 21 zur Aufnahme des unteren
Ringes 12 der Kartusche 10. Der Flansch 20 trägt ferner ein
Heizelement 22, das aus einem vom Flansch 20 getragenen Isoliermaterial
stab 23 besteht, um den ein elektrischer Heizwiderstanddraht 24 gewickelt ist. Um die Getterpumpe in Betrieb zu
setzen, wird die Kartusche nach unten bewegt, bis der Ring 12 im Stützring 21 sitzt. Diese Teile werden dann durch nicht dargestellte
Mittel zusammengehalten. Die ganze Getterpumpe wird dann in ein zu evakuierendes Gefäß eingesetzt und mit dem
Flansch 20 gasdicht an diesem befestigt. Durch den Widerstandsdraht 24 wird ein Strom geleitet, so daß dieser Widerstandsdraht Hitze auf das Gettermetall 16 abstrahlt und folglich das
Gettermetall erhitzt und aktiviert wird, so daß das Gettermetall zur Gasabsorption fähig wird.
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lieh. Fig. 3 zeigt die Kurven der Pumpleistung für drei verschiedene
Gase in Abhängigkeit von Winkel alpha. Die Kurve 31 zeigt die PumpIeistung für Stickstoff und man erkennt, daß die
maximale Pumpleistung bei einem Winkel alpha von etwa 3 auftritt. Die Kurve 32 zeigt die Pimpleistung für Wasserstoff und
man erkennt, daß die PumpIeistung am größten ist, wenn der Winkel
alpha etwa 4° beträgt. Die Kurve 33 stellt die Pumpleistung
für Kohlenmonoxyd dar und zeigt, daß diese Pumpleistung bei
einem Winkel alpha von etwa 6° am größten ist. Aus den Kurven 31, 32 und 33 erkennt man, daß die optimale Pumpleistung im
allgemeinen bei einem Winkel alpha von 1 bis 15 und vorzugsweise von 2° bis 10° auftritt. Wenn der Winkel alpha größer
oder kleiner als diese Werte ist, nimmt die Pumpleistung ganz erheblich ab.
In Fig. 4 1st ein beliebig langer, flacher Streifen 40 dargestellt,
der hin- und herfaltbar und zu einem Kartuschenelement 14 gemäß der Erfindung ringförmig biegbar ist. Der Streifen 40
besteht aus rechteckigen Flächenteilen 41, 42, 43 und 44. Jeder dieser Flächenteile weist eine Unterlage 45 auf, die allen Flächenteilen
gemeinsam ist. Der Mittelteil jedes Flächenteiles 41-44 ist mit Partikeln 46, 47, 48 und 49 aus einem nicht verdampfenden
Gettermetail beschichtet. Die Flächenteile 41-44 weisen einen ersten, nicht mit Gettermetail beschichteten Randstreifen
50 und einen zweiten, desgleichen nicht mit Gettermetail beschichteten Randstreifen 51 auf, die beide über alle
Flächenteile hinweg durchlaufen. Die Randstreifen 50, 51 liegen
an den Längskanten des Streifens 40. Die Flächenteile 41-44 sind mit den beiden ihnen jeweils benachbarten Flächenteilen
durch faltbare Anschlüsse verbunden. So 1st der Flächenteil 42 mit dem Flächenteil 41 durch Anschlüsse 52 und 53 und mit dem
Flächenteil 43 durch Anschlüsse 54 und 55 verbunden. Die An-
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Schlüsse 52, 53, 54 und 55 werden von Schlitzen 56 und 57 gebildet,
die sich quer über den Streifen 40 und bis in die nicht mit Gettermetall beschichteten freien Randstreifen 50
und 51 erstrecken. Auf diese Weise weist jeder der Anschlüsse 52-55 eine Verschwächungslinie auf, um die die benachbarten
Flachenteile 41 und 43 ganz leicht gefaltet werden können. Jeder Flächenteil Alt ungerader Nummer ist mit zwei Erhebungen
versehen. So weist der Flächenteil 41 zwei Erhebungen 58 und 59
und der Flächenteil 43 zwei Erhebungen 60 und 61 auf. Sämtliche Erhebungen 58-61 ragen in die gleiche Richtung, d.h. beim dargestellten
Ausführungsbeispiel von der Unterlage 45 nach oben. Aus Fig. 5 ist erkennbar, daß alle Erhebungen die gleiche Höhe
h haben, d.h. h^ - h« " h . Außerdem haben die Erhebungen 58-61
alle den gleichen Abstand von der nächstilegenden Verschwächungslinie,
d.h. 1, - 1- » 1 . Die mit geraden Zahlen benannten Flächentelle können zwar auch mit Erhebungen versehen sein,
bei der dargestellten, bevorzugten Ausführungsform weisen diese
mit geraden Zahlen benannten Flächenteile 42 und 44 jedoch keine
Erhebungen auf, damit nicht die Notwendigkeit besteht, sorgfältig für die genaue Ausrichtung dieser Erhebungen aufeinander
zu sorgen.
Die Figuren 6 und 7 zeigen eine bevorzugte Ausbildung der Erhebungen
auf der unterlage 45. Gemäß der Darstellung besteht die Erhebung 59 aus einer Verformung der Metallunterlage 45 im
Bereich des von Gettermetall freien Randstreifens 51 des Flächenteiles
41. Die Ausbildung gemäß Flg. 6 kann man sehr leicht dadurch erreichen, daß man die Unterlage 45 in eine nicht dargestellte
Preßform hineintreibt, deren Tiefe gleich fej 1st. Die
Erhebung 59 ist vorzugsweise in dem von Gettermetall freien landstreifen angeordnet, damit bei dem Pressen oder Tiefziehen
der Erhebung keine Cettermetallpartlkel abgelöst werden. Gemäß
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der Darstellung in Fig. 7 besteht die Erhebung 59 aus einem
nach oben ansteigenden Abschnitt 62, einem waagerecht verlaufenden
Abschnitt 63 mit einer waagerechten Oberseite 64 und einem nach unten ragenden Abschnitt 65. Die ebene Oberseite 64
liegt parallel zur Ebene der Unterlage 45 und liefert eine verhältnismäßig große Berührungsfläche zwischen dieser Oberseite
64 und der Rückseite des benachbarten Flächenteils 42, wenn der Streifen 40 hin- und hergefaltet wird.
Die Figuren 8 und 9 zeigen andere, im Rahmen der Erfindung |
auch anwendbare Formen der Erhebungen. Diese Figuren entsprechen der Darstellung in Fig. 7. Die in Fig. 8 dargestellte Erhebung 67 weist eine abgerundete Oberseite 68 auf. Die in Fig.9
dargestellte Erhebung 69 ist derart ausgebildet, daß sie die Rückseite des benachbarten Flächenteils mit ihrer Kante 70 berührt. Die am meisten bevorzugte Ausführungsform der Erhebung
ist die in den Figuren 6 und 7 dargestellte Erhebung 59; an
zweiter Stelle folgt die in Fig. 8 dargestellte Erhebung 67 und an letzter Stelle die in Fig. 9 dargestellte Erhebung 69.
Fig. 10 zeigt, wie der Streifen 40 hin- und hergefaltet und zur ^
Bildung eines Kartuschenelementes 14 gemäß der Erfindung kreisringförmig geojbgen wird. Man erkennt, daß die die Flächenteile
verbindenden Anschlüsse, beispielsweise die Anschlüsse 53 und 55, abwechselnd in entgegengesetzter Richtung !»gefaltet werden,
um den Streifen 40 hin-und herzufalten, so daß die Erhebungen 59 und 61 den von Gettermetall freien Randstreifen 51 des
nächstbenachbarten, mit einer geraden Zahl benannten Flächenteils 42 bzw. 44 berühren. Der Winkel alpha ist bestimmt durch
die Höhe h der Erhebung und deren Abstand 1 von der benachbarten
Faltkante, wobei γ im wesentlichen gleich den Tangens von alpha ist. Bei der bevorzugten Ausführungsform der Erfindung
!HSFEcTEO 009886/150 2
ist der Anschluß 53 scharfkantig, so daß γ genau gleich dem
Tangens von alpha ist. In anderen Fällen, wo der Anschluß 53 einen bestimmten Krümmungsradius hat, weicht der Wert γ etwas
von den Tangens von alpha ab. Der Fachmann ist ohne weiteres in der Lage, die Werte von h und !.derart zu bestimmen, daß
der Krümmungsradius im Anschluß 53 berücksichtigt wird, so daß der Wert alpha innerhalb der oben angegebenen Grenzen bleibt.
Nachdem der Streifen 40 hin- und hergefaltet worden ist, wird er entlang den Kreisen 73 und 74 zu einem Kreisring gebogen,
so daß ein Kartuschenelement 14 entsteht, das in der in Fig. dargestellten Kartusche gemäß der Erfindung verwendbar ist. Der
in Fig. 10 dargestellte, zur Innenseite des Kartuschenelementes sich öffnende Winkel beta ist nicht kritisch und kann irgend
einen Wert von Null aufwärts haben.
Im Rahmen der vorliegenden Erfindung ist irgendein nicht verdampfendes
Gettermetall verwendbar. Als nicht verdampfendes Gettermetall bezeichnet man Metalle, die Gase absorbieren und
deren Gasdruck bei 1000 C geringer als 10~ Torr ist. Beispiele für geeignete Gettermetalle sind unter anderem Niob, Tantal,
Vanadium, Zirkon, Titan, Gemische und Legierungen dieser Metalle und mit anderen Metallen, wie etwa Aluminium, die die Absorptionsfähigkeit
dieser Metalle nicht _if@sentliefe
Das bevorzugte Gettermetall ist eine Legierung anas
Gewichtsprozent, vorzugsweise 13 bis 18 Gewichtsprozent Aluminium, Rest Zirkon. Eine bevorzugte, spezifische Legierung besteht aus 16% Aluminium und 84% Zirkon; diese Legierung wird
von der Firma S.A.E.S. Getters S.p.A. unter dem Handeisnamen
St 101 vertrieben. Das fein zerteilte Gettermetall kam sehr
unterschiedliche Partikelgrößem haben, s© ä&B as cikrclr ein
U.S. Standardsieb mit zehn Maschesa je Zoll und vorzugsweise
durah ein SIe^ mit hundert Maschen je Zeil dteekgeht lasad auf
6/1502 ^ ORIGINAL INSPECTED
einern Sieb mit sechshundert Naschen je Zoll festgehalten wird.
Die Unterlage 45 kann aus irgendeinem Metall bestehen, vorzugsweise
besteht sie jedoch aus einen Metall, das weicher ist als
das Gettenneteil. Geeignete Metalle für die Unterlage sind
unter anderem Eisen und rostfreier Stahl.
Die Getterkartuschen gemäß der Erfindung kann man in Getterpumpen
mit oder ohne Hitzeschirme benutzen, wie sie in der oben unter c) erwähnten Patentanmeldung beschrieben sind. Gemäß
einer anderen Ausführung*form der Erfindung kann das Heizelement
22 entfallen und statt dessen eine Unterlage 45 mit hohem elektrischem Widerstand benutzt werden, wie es in der oben unter d) genannten Patentanmeldung beschrieben ist.
Die Erfindung wurde hier anhand von bevorzugten Ausführungsbeispielen im einzelnen, beschrieben» ohne daß diese Ausführungsbeispiele
in irgendeiner Weise zur Abgrenzung des Erfindungsgedankens
dienen sollen. Vilemehr sind im Rahmen der zur Erläuterung der Erfindung dienenden Ausführungsbeispiele zahlreiche
Abwandlungen und Änderungen möglich, die in den Schutzumfang
der vorliegenden Erfindung fallen.
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Claims (14)
1. ) Kartusche für eine Getterpumpe, bestehend aus wenigstens einem Kartuschenelement, mit wenigstens einem
hin- und hergefalteten Trägerstreifen, auf dem ein nicht verdampfendes
Gettermetall angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, daß benachbarte Flächentelle (41-44) des TrägerStreifens
(40) durch Abstandshalter (58-61) zwischen diesen Flächenteilen unter einem bestimmten Winkel (alpha) zueinander gehalten
sind.
2. Kartusche nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß die benachbarten Flächenteile (41 -44) des Trägerstreifens (40) miteinander verbunden sind und
die Abstandshalter(58-61) den Winkel (alpha) zwischen zur
Kartuschenaußenseite sich öffnenden Flächenteilen auf einem
konstanten Wert halten.
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3. Kartusche nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet, daß der Winkel (alpha) 1 bis 15 und
vorzugsweise 2 bis 10 beträgt.
4. Kartusche nach den Ansprüchen 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Abstandshalter (58-61) aus
wenigstens einer an einem der Flächenteile (41-44) befestigten Erhebung bestehen.
5. Kartusche nach einem der vorangehenden Ansprü- ä
ehe, dadurch gekennzeichnet, daß die Abstandshalter-Erhebungen
(58-61) in einem von Gettermetall freien Randstreifen (50,51) des Trägerstreifens (40) angeordnet sind.
6. Kartusche nach Anspruch 5,
dadurch gekennzeichnet, daß in jedem zweiten Flächenteil (41, 43) des Trägerstreifens (40) in beiden längsverlaufenden Randstreifen
(50,51) je eine Abstandshalter-Erhebung (58-61) angeordnet
ist.
7. Kartusche nach den Ansprüchen 4, 5 oder 6, %
dadurch gekennzeichnet, daß die Abstandshalter-Erhebungen (58-
61) aus dem aus Metall bestehenden Trägerstreifen (40) einstückig ausgeformt sind.
8. Flacher, fortlaufender Streifen, der zur Bildung eines Kartuschenelementes für eine Getterpumpe hin-
und herfaltbar und zu einem Ring biegbar ist, gekennzeichnet
durch die Kombination folgender Merkmale: der Streifen (40) besteht aus Flächenteilen (41-44), die von
einer ein nicht verdampfbares Gettermetall (46-49) tragenden Unterlage (45) gebildet werden, die benachbarten Flächenteile
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(41-44) sind durch faltbare Anschlüsse (52-55) miteinander
verbunden und auf den Flächentellen (41-44) sind Erhebungen
(58-61) als Abstandshalter angeordnet, um die Flächentelle bei
hin- und hergefaltetem Streifen (40) In gleichem Winkelabstand
zu halten.
9. Streifen nach Anspruch 8,
dadurch gekennzeichnet, daß die Erhebungen (58-61) gleichen Abstand und gleiche Höhe (h) haben.
10. Streifen nach Anspruch 9,
dadurch gekennzeichnet, daß die Höhe (h) der Erhebungen (58-61)
über den Flächenteilen (41-44) dividiert durch den Abstand (1) der Erhebungen von den benachbarten Faltlinien des Streifens
(40) gleich dem Tangens eines Winkels von 1 bis 15 , vorzugsweise von 2° bis 10° ist.
11. Streifen nach einem der Ansprüche 8 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Flächenteile (41-44) rechteckig
sind und die Unterlage (45) aus Metall besteht, wobei das Gettermetall (46-49) in Form von Partikeln auf dem Mittelteil
der Flächenteile angelagert ist, während entlang den Längskanten
des Streifens (40) je ein von Gettermetallpartikeln freier Randstreifen (50,51) vorhanden ist, daß die faltbaren
Anschlüsse (52-55) im Bereich der Randstreifen (50, 51) angeordnet
sind und eine Verschwächungslinie entlang der gewünschten
Faltkante aufweisen, und daß zwei Erhebungen (58-61) auf jedem zweiten Flächenteil (41-43) im Bereich der von Gettermetallpartikeln
freien Randstreifen (50, 51) als Vorwälbung der Metallunterlage (45) ausgebildet sind und in der gleichen
Richtung vorspringen.
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12. Streifen nach einem der Ansprüche 8 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Unterlage (45) aus einem Mate*
rial mit hohem elektrischem Widerstand besteht.
13. Streifen nach einem der Ansprüche 8 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß das Gettermetall (46-49) eine
Legierung aus 131 bis 18X Aluminium, Rest Zirkon ist.
14. Getterpumpe bestehend aus wenigstens einer
Kartusche nach einem der Ansprüche 1 bis 7, die aus einem Streifen nach einem der Ansprüche 8 bis 13 besteht,
gekennzeichnet durch eine mittig in der Kartusche (10) angeordnete
Heizvorrichtung (22).
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